JPH0688923A - 光ファイバの光軸とオプトエレクトロニクス部品の位置合せ法およびこの方法による装置 - Google Patents
光ファイバの光軸とオプトエレクトロニクス部品の位置合せ法およびこの方法による装置Info
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- JPH0688923A JPH0688923A JP3297637A JP29763791A JPH0688923A JP H0688923 A JPH0688923 A JP H0688923A JP 3297637 A JP3297637 A JP 3297637A JP 29763791 A JP29763791 A JP 29763791A JP H0688923 A JPH0688923 A JP H0688923A
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- sleeve
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/422—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
- G02B6/4225—Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements by a direct measurement of the degree of coupling, e.g. the amount of light power coupled to the fibre or the opto-electronic element
-
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- G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
- G02B6/4237—Welding
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
光を放射しまたは光を受ける半導体部品の光軸の上に光
ファイバを配置する方法であり、この方法は金属部分の
間の線接触のみを用いている。２つの溝を有したベース
に固定された部品と、スリーブを用いたファイバを用い
て、ファイバの位置が少なくとも２つのプレートによる
極座標で定められるが、このプレートは溝の中にあり調
整可能な角度を有している。位置は、配置が定まるとレ
ーザはんだ付けにより固定される。この装置はオプティ
カルヘッドに適用できる。
ファイバを配置する方法であり、この方法は金属部分の
間の線接触のみを用いている。２つの溝を有したベース
に固定された部品と、スリーブを用いたファイバを用い
て、ファイバの位置が少なくとも２つのプレートによる
極座標で定められるが、このプレートは溝の中にあり調
整可能な角度を有している。位置は、配置が定まるとレ
ーザはんだ付けにより固定される。この装置はオプティ
カルヘッドに適用できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は光ファイバと例えばレ
ーザタイプのオプトエレクトロニクス半導体装置との間
に光学的に配置する装置および配置法に関する。この装
置と方法はファイバの位置を決めるためデカルト座標よ
りも極座標を用いているという点において新奇性があ
る。
ーザタイプのオプトエレクトロニクス半導体装置との間
に光学的に配置する装置および配置法に関する。この装
置と方法はファイバの位置を決めるためデカルト座標よ
りも極座標を用いているという点において新奇性があ
る。
【０００２】
【従来の技術】レーザ、フォトダイオード、エレクトロ
ルミネセンスダイオードのような光を放射する、または
光を受けるオプトエレクトロニクス部品の大きさが非常
に小さいため、光学的ダイオードを配置する調整は微妙
な仕事であるが、それは特定の場合その調整に１マイク
ロメータ程度の精度またはそれ以上の精度が必要である
からである。これはオプトエレクトロニクス装置を操作
する間に配置の調整が一般には非常に動的に行われ、更
にマイクロマニプレータで移動される光ファイバが位置
を合わせるように調整されるからである。
ルミネセンスダイオードのような光を放射する、または
光を受けるオプトエレクトロニクス部品の大きさが非常
に小さいため、光学的ダイオードを配置する調整は微妙
な仕事であるが、それは特定の場合その調整に１マイク
ロメータ程度の精度またはそれ以上の精度が必要である
からである。これはオプトエレクトロニクス装置を操作
する間に配置の調整が一般には非常に動的に行われ、更
にマイクロマニプレータで移動される光ファイバが位置
を合わせるように調整されるからである。
【０００３】この調整は簡便性のため光軸に直角な平面
内の軸Ｏx とＯy 、更に光軸に平行な平面内の軸Ｏz と
呼ばれる空間内の３つの直交軸に沿って行われる：調整
はそれ故デカルト座標系内で行われている。
内の軸Ｏx とＯy 、更に光軸に平行な平面内の軸Ｏz と
呼ばれる空間内の３つの直交軸に沿って行われる：調整
はそれ故デカルト座標系内で行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】実際的な観点から見る
と、光ファイバとオプトエレクトロニクス装置の配置に
は基本的に２つの方法がある。第１の方法は光を放射す
るまたは光を受ける表面の近くに置いてあるしずく状の
接着剤または溶解はんだ内にファイバを移動させること
である。結合が最適になれば、しずく状の接着剤は紫外
線光の閃光により重合体となるか、またはしずく状のは
んだは冷却により凍結する。この方法は簡単であり経済
的であるが、しずくを硬くする時に生ずる収縮がファイ
バを移動させまたは破壊させるという欠点がある。
と、光ファイバとオプトエレクトロニクス装置の配置に
は基本的に２つの方法がある。第１の方法は光を放射す
るまたは光を受ける表面の近くに置いてあるしずく状の
接着剤または溶解はんだ内にファイバを移動させること
である。結合が最適になれば、しずく状の接着剤は紫外
線光の閃光により重合体となるか、またはしずく状のは
んだは冷却により凍結する。この方法は簡単であり経済
的であるが、しずくを硬くする時に生ずる収縮がファイ
バを移動させまたは破壊させるという欠点がある。
【０００５】第２の方法はこの直交な平面内でファイバ
を移動させることに基づいており、直交な平面の１つは
光軸に直角であるが、他の１つはその軸に平行である。
これは平面を機械で完全に加工し、ファイバの位置決め
を正確にしかも確実性があるようにすることを意味して
いる。更にエッヂが共通である場合を除いて、１つの平
面の部分を他の平面の部分に固定することは必ずしも容
易ではない。
を移動させることに基づいており、直交な平面の１つは
光軸に直角であるが、他の１つはその軸に平行である。
これは平面を機械で完全に加工し、ファイバの位置決め
を正確にしかも確実性があるようにすることを意味して
いる。更にエッヂが共通である場合を除いて、１つの平
面の部分を他の平面の部分に固定することは必ずしも容
易ではない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による方法およ
びこの方法により得られるオプトエレクトロニクス装置
には従来の技術のようにデカルト座標系をもはや使用し
ていない。むしろ、接触する機械的部分を単純化する利
点を有する極座標系を用いている。デカルト座標系の面
接触は極座標の線接触に置き替えられている。
びこの方法により得られるオプトエレクトロニクス装置
には従来の技術のようにデカルト座標系をもはや使用し
ていない。むしろ、接触する機械的部分を単純化する利
点を有する極座標系を用いている。デカルト座標系の面
接触は極座標の線接触に置き替えられている。
【０００７】要するに、光ファイバは金属スリーブの中
に固定されている。このあと光ファイバは所定の位置に
はんだ付けされる。このスリーブは少なくとも２つの金
属プレートにより位置が定められる。各プレートの一方
の端はレーザまたはオプトエレクトロニクス装置のベー
スとして使用されているブロックのくぼんだ溝の中に入
っている。各プレートの他方の端はファイバの金属スリ
ーブに対して置いてある。光ファイバがマイクロマニプ
レータにより、しかも装置を操作している間ある位置に
置かれると、金属部分の位置は金属部分を溶着させるレ
ーザファイアリング操作により固定される。
に固定されている。このあと光ファイバは所定の位置に
はんだ付けされる。このスリーブは少なくとも２つの金
属プレートにより位置が定められる。各プレートの一方
の端はレーザまたはオプトエレクトロニクス装置のベー
スとして使用されているブロックのくぼんだ溝の中に入
っている。各プレートの他方の端はファイバの金属スリ
ーブに対して置いてある。光ファイバがマイクロマニプ
レータにより、しかも装置を操作している間ある位置に
置かれると、金属部分の位置は金属部分を溶着させるレ
ーザファイアリング操作により固定される。
【０００８】より詳細には、この発明は基準平面として
の役目を果す上側の面をベースに固定した光ファイバま
たはオプトエレクトロニクス半導体部品の光軸を配置す
る方法に関しており、この方法ではベースの基準面の上
に保持するファイバの両側にある少なくとも２つのプレ
ートを用いて、ファイバが極座標系により部品に面して
配置されており、この基準面に対するプレートの角度に
よりファイバの位置が定められている。
の役目を果す上側の面をベースに固定した光ファイバま
たはオプトエレクトロニクス半導体部品の光軸を配置す
る方法に関しており、この方法ではベースの基準面の上
に保持するファイバの両側にある少なくとも２つのプレ
ートを用いて、ファイバが極座標系により部品に面して
配置されており、この基準面に対するプレートの角度に
よりファイバの位置が定められている。
【０００９】
【実施例】説明および図を簡単にするため、この発明で
はレーザの例に関して説明するが、これによりこの発明
の範囲が制限されないということは当業者には明らかで
ある。オプトエレクトロニクス半導体装置が例えばエレ
クトロルミネセンスダイオードまたはホトトランジスタ
であれば、ベース支持部の形状のみが変わる：この場
合、ファイバの取扱いがより簡単となるが、それはレー
ザの場合に配置に精度が最も要求されるからである。
はレーザの例に関して説明するが、これによりこの発明
の範囲が制限されないということは当業者には明らかで
ある。オプトエレクトロニクス半導体装置が例えばエレ
クトロルミネセンスダイオードまたはホトトランジスタ
であれば、ベース支持部の形状のみが変わる：この場
合、ファイバの取扱いがより簡単となるが、それはレー
ザの場合に配置に精度が最も要求されるからである。
【００１０】図１と図２ではレーザおよびファイバに共
通な光軸のレベルが慎重に配置されている。図１は装置
の対称な平面Ａ−Ａに沿った立面図の断面を示してお
り、図２はレーザに面したファイバの端のＢ−Ｂに沿っ
た立面図の断面を示している。
通な光軸のレベルが慎重に配置されている。図１は装置
の対称な平面Ａ−Ａに沿った立面図の断面を示してお
り、図２はレーザに面したファイバの端のＢ−Ｂに沿っ
た立面図の断面を示している。
【００１１】実際にはより一層複雑であり、パッケージ
およびその他の電子部品を含んでいるオプティカルヘッ
ドの部品には少なくとも１つの金属ベース１があり、こ
のベースの形状と寸法はレーザ２と光ファイバ３に対し
てベースおよび基準平面Ｒとして役立つ恒久的な特性を
各瞬間に有するようにされている。この光ファイバは、
破壊することなく微細に取扱うため、ファイバをつかむ
周知の技術によりそれ自体を通過させ円筒状の金属スリ
ーブ４の中に固定されている。
およびその他の電子部品を含んでいるオプティカルヘッ
ドの部品には少なくとも１つの金属ベース１があり、こ
のベースの形状と寸法はレーザ２と光ファイバ３に対し
てベースおよび基準平面Ｒとして役立つ恒久的な特性を
各瞬間に有するようにされている。この光ファイバは、
破壊することなく微細に取扱うため、ファイバをつかむ
周知の技術によりそれ自体を通過させ円筒状の金属スリ
ーブ４の中に固定されている。
【００１２】レーザ２が放射ストリップの上に配置され
た位置にファイバ３を固定するのに使用された装置には
少なくとも２つの金属プレート５と６がある。それぞれ
には傾斜させることが好ましい側面があり、この側面は
光軸に平行でベース１の中にくぼんだ溝７と８の中にそ
れぞれ入っている。溝７と８は互いに十分離れており、
それによりプレート５と６が重力の影響により金属スリ
ーブ４に対して横になるようにされている。溝７と８は
光軸に対し平行であるので、プレート５と６は円筒状の
スリーブ４の母線に接触している：それ故これは線接触
であり、その形成は従来の技術により行われる平面間の
接触よりも容易である。
た位置にファイバ３を固定するのに使用された装置には
少なくとも２つの金属プレート５と６がある。それぞれ
には傾斜させることが好ましい側面があり、この側面は
光軸に平行でベース１の中にくぼんだ溝７と８の中にそ
れぞれ入っている。溝７と８は互いに十分離れており、
それによりプレート５と６が重力の影響により金属スリ
ーブ４に対して横になるようにされている。溝７と８は
光軸に対し平行であるので、プレート５と６は円筒状の
スリーブ４の母線に接触している：それ故これは線接触
であり、その形成は従来の技術により行われる平面間の
接触よりも容易である。
【００１３】今までに記述したように、装置を形成する
部品は横になっている：これらの部品は固定されていな
い。これらの部品はレーザ２の光軸とファイバ３の光軸
との間の配置を調整した後に固定される。
部品は横になっている：これらの部品は固定されていな
い。これらの部品はレーザ２の光軸とファイバ３の光軸
との間の配置を調整した後に固定される。
【００１４】図２ではプレート５と６のそれぞれが溝７
と８の回りに回転でき、極座標系の中でそれ自体の角度
を取ることができる。２つのプレート５と６の角度を組
合せることによりファイバ３は軸Ｏy に沿って中心が合
わせられる。
と８の回りに回転でき、極座標系の中でそれ自体の角度
を取ることができる。２つのプレート５と６の角度を組
合せることによりファイバ３は軸Ｏy に沿って中心が合
わせられる。
【００１５】しかし、同時にマイクロマニプレータ（図
示していない）によりスリーブ４を上げまたは下げ軸Ｏ
x に沿ってレーザ２の上にファイバ３が配置される。こ
のようにすると、このスリーブ４の位置が変わればスリ
ーブ４によりプレート５と６が移動する。それ故、最終
的に光ファイバの位置の問題が解決されるのは極座標系
内においてであるが、この位置はプレート５または６の
一方とベース１の上面との間の角度αと、更にスリーブ
４が前記プレート５または６と接する点と溝との間の距
離“ｄ”により定められる。
示していない）によりスリーブ４を上げまたは下げ軸Ｏ
x に沿ってレーザ２の上にファイバ３が配置される。こ
のようにすると、このスリーブ４の位置が変わればスリ
ーブ４によりプレート５と６が移動する。それ故、最終
的に光ファイバの位置の問題が解決されるのは極座標系
内においてであるが、この位置はプレート５または６の
一方とベース１の上面との間の角度αと、更にスリーブ
４が前記プレート５または６と接する点と溝との間の距
離“ｄ”により定められる。
【００１６】全てのスリーブが高精度にしかも規則正し
く製造されたロットに対しては、ファイバの位置は更に
２つのプレート５と６の２つの角度により定められる。
く製造されたロットに対しては、ファイバの位置は更に
２つのプレート５と６の２つの角度により定められる。
【００１７】レーザ２とファイバ３の端との間の軸ＯZ
に沿った距離の調整は、軸ＸＯy に沿って配置する前か
または後に行われる。
に沿った距離の調整は、軸ＸＯy に沿って配置する前か
または後に行われる。
【００１８】動作中のレーザおよびマイクロマニプレー
タで移動されるスリーブ４により位置決めとダイナミッ
クな調整を行った後、この方法の最終段階は強力なレー
ザにより僅かなスポットのはんだを用いてベース、プレ
ートおよびスリーブを固く結合することから成る。図３
には円筒状のスリーブ４の２つの母線にプレート５と６
を固定するはんだスポット９と、更に同じプレートをベ
ース１に固定するはんだスポット１０を明確に示してい
る。
タで移動されるスリーブ４により位置決めとダイナミッ
クな調整を行った後、この方法の最終段階は強力なレー
ザにより僅かなスポットのはんだを用いてベース、プレ
ートおよびスリーブを固く結合することから成る。図３
には円筒状のスリーブ４の２つの母線にプレート５と６
を固定するはんだスポット９と、更に同じプレートをベ
ース１に固定するはんだスポット１０を明確に示してい
る。
【００１９】最も単純な場合は２つのプレート５と６の
みにより、スリーブ４内のファイバが支えられ正しい方
向に置かれている。種々のタイプの外部ストレスは図４
と図５に示すように３つまたは４つのプレート１１，１
２によりファイバ３をしっかり固定し動かないようにし
ている。この場合、レーザ２に最も近い２つのプレート
５と６が最初に固定されるが、更に外部ストレスがこの
装置を変形させファイバ３の配置をずらすようにするな
らば、このストレスはレーザ２から最も遠くにあるブレ
ート１１と１２の両方または一方の影響により打消され
る。
みにより、スリーブ４内のファイバが支えられ正しい方
向に置かれている。種々のタイプの外部ストレスは図４
と図５に示すように３つまたは４つのプレート１１，１
２によりファイバ３をしっかり固定し動かないようにし
ている。この場合、レーザ２に最も近い２つのプレート
５と６が最初に固定されるが、更に外部ストレスがこの
装置を変形させファイバ３の配置をずらすようにするな
らば、このストレスはレーザ２から最も遠くにあるブレ
ート１１と１２の両方または一方の影響により打消され
る。
【００２０】この装置の金属部分は例えばインバー（Ｉ
ｎｖａｒ）、コバー（Ｋｏｖａｒ）、デルバー（Ｄｅｌ
ｖｅｒ）であるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金のような温度によ
り若干曲がる材料で作られている。
ｎｖａｒ）、コバー（Ｋｏｖａｒ）、デルバー（Ｄｅｌ
ｖｅｒ）であるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金のような温度によ
り若干曲がる材料で作られている。
【００２１】記載の通り、部品はレーザ以外の半導体タ
イプに適合する場合があるということと、プレートの形
状はこの発明の範囲を制限しないということは当業者に
とって明らかである。
イプに適合する場合があるということと、プレートの形
状はこの発明の範囲を制限しないということは当業者に
とって明らかである。
【図１】この発明による装置の２つの直交な平面におけ
る断面を示す。
る断面を示す。
【図２】この発明による装置の２つの直交な平面におけ
る他の断面を示す。
る他の断面を示す。
【図３】この発明による装置の空間において、オプトエ
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する１番目
の実施例の図を示す。
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する１番目
の実施例の図を示す。
【図４】この発明による装置の空間において、オプトエ
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する２番目
の実施例の図を示す。
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する２番目
の実施例の図を示す。
【図５】この発明による装置の空間において、オプトエ
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する３番目
の実施例の図を示す。
レクトロニクス部品の軸に光ファイバを配置する３番目
の実施例の図を示す。
１ 金属ベース ２ レーザ ３ ファイバ ４ 金属スリーブ ５，６，１１，１２ プレート ７，８ 溝 ９，１０ はんだスポット
Claims (5)
- 【請求項１】 基準平面としての役目を果す上側の面を
ベースに固定した光ファイバまたはオプトエレクトロニ
クス半導体部品の光軸を配置する方法に関しており、こ
の方法ではベースの基準面の上に保持するファイバの両
側にある少なくとも２つのプレートを用いて、ファイバ
が極座標系により部品に面して配置されており、この基
準面に対するプレートの角度によりファイバの位置が定
められる位置合せ法。 - 【請求項２】 ファイバの端に金属スリーブがあり、そ
の中ではプレートも更に金属であり、更にその中で配置
が定まればはんだスポットによりスリーブとベースにレ
ーザではんだ付けされる請求項１に記載の位置合せ法。 - 【請求項３】 それぞれのプレートはその一方がベース
のくぼんだ溝の中に入っており光軸に平行である請求項
１に記載の位置合せ法。 - 【請求項４】 オプトエレクトロニクス半導体部品の光
軸の上に配置された光ファイバから成り、金属スリーブ
を有した光ファイバは少なくとも２つの金属プレートに
より位置が定められているが、この金属プレートは１番
目に装置のベースのくぼんだ溝の中に入っており、２番
目にファイバのスリーブに対してベース、プレートおよ
びスリーブがレーザはんだ付けにより固く結合されてい
るオプトエレクトロニクス装置。 - 【請求項５】 溝が装置の光軸に平行であり、プレート
をスリーブの両側に置いてある請求項４に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9012957A FR2668267B1 (fr) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | Procede d'alignement des axes optiques d'une fibre et d'un composant optoelectronique, et dispositif obtenu par ce procede. |
| FR9012957 | 1990-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0688923A true JPH0688923A (ja) | 1994-03-29 |
Family
ID=9401394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3297637A Withdrawn JPH0688923A (ja) | 1990-10-19 | 1991-10-18 | 光ファイバの光軸とオプトエレクトロニクス部品の位置合せ法およびこの方法による装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5210811A (ja) |
| EP (1) | EP0481876B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0688923A (ja) |
| DE (1) | DE69109047T2 (ja) |
| FR (1) | FR2668267B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003509709A (ja) * | 1999-09-07 | 2003-03-11 | インテル・コーポレーション | 光電子アセンブリおよびその組立て方法 |
| WO2014097710A1 (ja) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバの固定構造、半導体レーザモジュール、光ファイバの固定方法 |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9100680D0 (en) * | 1991-01-11 | 1991-02-27 | Gen Electric Co Plc | Optical fibre interface |
| FR2690996A1 (fr) * | 1992-05-07 | 1993-11-12 | Thomson Hybrides | Dispositif d'alignement optique entre un composant optoélectronique et un composant optique, et procédé d'alignement. |
| GB2296101B (en) * | 1994-12-12 | 1998-04-01 | Northern Telecom Ltd | Optically coupling optical fibres to injection lasers |
| US5857049A (en) * | 1997-05-05 | 1999-01-05 | Lucent Technologies, Inc., | Precision alignment of optoelectronic devices |
| US6227724B1 (en) * | 1999-01-11 | 2001-05-08 | Lightlogic, Inc. | Method for constructing an optoelectronic assembly |
| DE19904265C2 (de) * | 1999-02-03 | 2001-02-22 | Kufner Textilwerke Gmbh | Elastische Einlage, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung |
| GB0018534D0 (en) * | 2000-07-29 | 2000-09-13 | Agilent Technologies Inc | Optical Assembly and Method for Alignment therof |
| US6546173B2 (en) | 2001-02-20 | 2003-04-08 | Avanti Optics Corporation | Optical module |
| US20040212802A1 (en) * | 2001-02-20 | 2004-10-28 | Case Steven K. | Optical device with alignment compensation |
| US6546172B2 (en) | 2001-02-20 | 2003-04-08 | Avanti Optics Corporation | Optical device |
| US6956999B2 (en) | 2001-02-20 | 2005-10-18 | Cyberoptics Corporation | Optical device |
| US6443631B1 (en) | 2001-02-20 | 2002-09-03 | Avanti Optics Corporation | Optical module with solder bond |
| FR2831279B1 (fr) * | 2001-10-18 | 2003-12-12 | Commissariat Energie Atomique | Procede et dispositif de connexion/deconnexion de fibre optique avec un composant optoelectronique |
| US20030155486A1 (en) * | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Quantum Photonics | Method and apparatus for co-axial alignment through non-coaxial means |
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| US7126078B2 (en) | 2002-02-28 | 2006-10-24 | Emcore Corporation | Sub-micron adjustable mount for supporting a component and method |
| US6669379B2 (en) * | 2002-04-01 | 2003-12-30 | Princeton Lightwave, Inc. | Method of attaching optical fiber in alignment with a light source in an optical module |
| US20040264870A1 (en) * | 2002-08-20 | 2004-12-30 | Skunes Timothy A. | Optical alignment mount with height adjustment |
| CN110632715A (zh) * | 2019-09-24 | 2019-12-31 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 一种光模块 |
Family Cites Families (8)
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