JPH04361210A - 発光素子アレイまたは受光素子アレイと光ファイバアレイの接続装置及びその実装方法 - Google Patents

発光素子アレイまたは受光素子アレイと光ファイバアレイの接続装置及びその実装方法

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JPH04361210A
JPH04361210A JP3137716A JP13771691A JPH04361210A JP H04361210 A JPH04361210 A JP H04361210A JP 3137716 A JP3137716 A JP 3137716A JP 13771691 A JP13771691 A JP 13771691A JP H04361210 A JPH04361210 A JP H04361210A
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JP
Japan
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optical fiber
element array
fiber array
light
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JP3137716A
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English (en)
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Kazunori Miura
和則 三浦
Mitsuhiro Yano
矢野 光博
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/422Active alignment, i.e. moving the elements in response to the detected degree of coupling or position of the elements
    • G02B6/4226Positioning means for moving the elements into alignment, e.g. alignment screws, deformation of the mount
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/02Structural details or components not essential to laser action
    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/0225Out-coupling of light
    • H01S5/02251Out-coupling of light using optical fibres
    • HELECTRICITY
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    • H01S5/022Mountings; Housings
    • H01S5/023Mount members, e.g. sub-mount members
    • H01S5/02325Mechanically integrated components on mount members or optical micro-benches
    • H01S5/02326Arrangements for relative positioning of laser diodes and optical components, e.g. grooves in the mount to fix optical fibres or lenses
    • HELECTRICITY
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    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S5/00Semiconductor lasers
    • H01S5/40Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
    • H01S5/4025Array arrangements, e.g. constituted by discrete laser diodes or laser bar
    • H01S5/4031Edge-emitting structures

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Communication System (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信および光情報処
理(コンピュータ)に用いられる光回路素子の発光素子
アレイまたは受光素子アレイと光ファイバアレイの直接
結合を行う装置およびその実装方法に関するものであっ
て、特にレーザと単一モードファイバを用いた場合に最
適な半導体レーザアレイと光ファイバアレイを直接結合
した光回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の発光ダイオードと光ファイバーア
レイの結合方法の例を図2を参照して説明する。
【0003】図2(A)の斜視図及び図2(B)の側面
図に示した様に、Si基板1にLEDアレイ2を配置し
、一方のSi可動プレートにはV溝5を形成してこのV
溝5に適切な接着法により光ファイバアレイ7を固定す
る。Si稼働プレート3にはV溝5と平行により深いV
溝4を形成しておく。Si基板1にも対応するV溝を形
成しておく。この後に、Si可動プレート3の一辺を光
ファイバアレイ7と共に45度斜めに研磨して内部全反
射面8を形成する。さらに,光ファイバアレイ7のファ
イバ径よりも充分に大きな径の石英ロッドからなる一対
のガイドピン6をSi可動プレート3のV溝4とSi基
板1のV溝に噛ませた状態でSi可動プレート3をSi
基板上をスライドさせ、図2(B)に示すようにLED
アレイ2の真上に全反射面8内の光ファイバアレイ7の
コア中心を位置決めして固定し、LEDアレイ2からの
発光光線を光ファイバアレイ7のコア内に導入する構成
となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】こうした従来の発光ダ
イオードアレイと光ファイバーアレイの直接結合方法に
おいては、光ファイバアレイに用いられ光ファイバはマ
ルチモードファイバでありコア径が50μ程度であった
。このため、LEDアレイと光ファイバアレイの位置合
わせを比較的容易に行うことができた。
【0005】しかしながら、広帯域伝送や長距離伝送を
行う場合には半導体レーザアレイとコア径が数μの単一
モード光ファイバアレイを用いる。このため、高精度の
位置合わせが必要となり図2(A)および(B)に示し
た直接結合構造では充分な位置合わせ精度が得られない
という問題がある。
【0006】本発明の目的は、広帯域伝送や長距離伝送
を行う単一モード発振の半導体レーザアレイと単一モー
ド光ファイバアレイとの高精度の位置合わせが可能な発
光素子アレイまたは受光素子アレイと光ファイバアレイ
の接続装置及びその実装方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の発光素子アレイ
または受光素子アレイと光ファイバアレイの接続装置は
、発光素子アレイまたは受光素子アレイと基準面に平行
に配置された光ファイバアレイの直接結合を行う接続装
置であって、基準面に対して傾斜したスライド面を有し
、光ファイバアレイをファイバの長さ方向に調整可能に
保持した第1治具と、上記第1治具のスライド面と相互
にスライド可能な、基準面に対して傾斜した係合面を有
し、発光素子アレイまたは受光素子アレイを保持した第
2治具とを有する。
【0008】
【作用】互いに治具に固定された発光または受光素子ア
レイと光ファイバアレイとを、双方の治具の傾斜スライ
ド面の係合を利用して、ファイバの長さ方向と直行する
2方向に関して位置合わせすることができる。ファイバ
の長さ(光軸)方向の調整は第1の治具内で行われる。 軸方向や角度ズレには比較的大きな影響を受けないが、
上下方向および横方向の位置ズレには弱い光ファイバの
位置調整及び固定が比較的容易に精度良く行うことがで
きる。
【0009】
【実施例】以下、図示する実施例にもとづいて説明する
。図1に実施例による発光素子アレイと光ファイバアレ
イの接続装置の斜視図を示す。この接続装置では上面の
平坦部19と斜面16を有し、CuWから構成されるス
テム10が用いられている。このステム10の平坦部1
9上には、複数のレーザ素子等からなる発光素子アレイ
15をボンディングしたダイアモンドのヒートシンク1
4がハンダ付けされている。また、ステム10の斜面1
6上にはこの斜面16と係合してスライドする斜面17
を有する台形治具11が配置されている。この台形治具
11には水平方向の貫通穴18が形成されている。この
貫通穴18にファイバアレイ13を保持する直方体治具
12がスライド可能に挿入されている。これらの台形治
具11および直方体治具12もCuWから構成されてお
り、ステム平坦部上のヒートシンク14に取りつけられ
たレーザアレイ15に対するファイバアレイの位置決め
が完了した時点で接着剤あるいはレーザ溶接によって、
ステム10と台形治具11および直方体治具11の間が
固定される。
【0010】次に図3(A)〜(C)を参照して、この
接続装置の接続方法について説明する。図3(A)に示
した様に、CuWの直方体の一部を斜面を形成する様に
切り落として形成したステム10の平坦部19上に半導
体レーザアレイ15をボンディングしたヒートシンク1
4をハンダ付けする。一方、図3(B)に示すようにフ
ァイバアレイ13を固定した直方体治具12を、斜面1
7を有する様構成された台形治具11の貫通穴18に挿
入する。ここで図3(B)に示した様に、台形治具11
の斜面17をステム10の斜面16に載せてX、Z方向
に移動させると台形治具11のレーザアレイ15に関し
てファイバアレイ13のX、Y方向の位置調整がおこな
われる。この位置調整は台形治具11とステム10の斜
面17、16同士をスライドさせて行われるので安定し
て細かな調整が行われる。こうして、レーザアレイ15
の発光位置に対してファイバアレイ13のX、Y方向の
位置決めが行われる。この後に、図3(C)に示した様
に直方体治具12を台形治具11の貫通孔18内でZ方
向にスライドさせてレーザアレイ15の発光面とファイ
バアレイ13先端との間を30〜50μ程度のエアーギ
ャップを取る様に位置決めし、適切な接着剤あるいはレ
ーザ溶接によってステム10、台形治具11及び直方体
治具12との間を固定して接続装置の接続が完成する。
【0011】こうして、ファイバアレイ13を保持した
直方体治具12を台形治具11の貫通孔18内でスライ
ドさせ、直方体治具12が貫通孔18を通る台形治具1
1をステム10の斜面に沿ってスライドさせてレーザア
レイに対するファイバアレイ13の位置を調整し固定す
る際に、斜面16、17でスライド係合したステム10
と治具11との間および直方体治具12と台形治具11
の間にガタつきが生じないため、固定時の位置ずれを小
さくすることができ、安定な実装を行うことができる。
【0012】これまでの説明では、直方体治具12が台
形治具11内を貫通する構成としたが、図4に示した様
に直方体治具12aがステム10の斜面上をスライドす
る台形治具11aの上面に載ってスライドする構成とす
ることもできる。さらに、この実施例ではレーザアレイ
15側を固定してファイバアレイ13側を位置決め調整
の為に移動調整するものとしたが、これに対してファイ
バアレイ13側をステム10上に固定し、レーザアレイ
15側を直方体治具12側に取りつけて位置決めの為に
移動調整する構成とすることも同様に可能である。さら
に、この実施例では光回路の入力側でファイバアレイに
光信号を取り込む場合について例示したが、光回路の出
力側においてレーザアレイ15に代わってフォトダイオ
ードアレイを用いればレーザアレイ15中を伝播されて
来た光信号を取り出す光回路のファイバアレイと受光素
子アレイとの間の実装装置が容易に実現出来る。
【0013】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。たとえば、
種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者
に自明であろう。
【0014】
【発明の効果】この発明による発光素子アレイまたは受
光素子アレイと光ファイバアレイの接続装置及びその実
装方法によれば、傾斜したスライド面を有し、光ファイ
バアレイを長さ方向に調整可能に保持した治具と、治具
のスライド面と相互にスライド可能な傾斜した係合面を
有し、発光素子アレイまたは受光素子を保持した治具を
有する接続装置により、広帯域伝送や長距離伝送を行う
場合に必要な半導体レーザ等の発光素子アレイとコア径
がたとえば数μの細い単一モード光ファイバ等の光ファ
イバアレイとの高精度の位置合わせが比較的容易に行い
うる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の斜視図である。
【図2】従来例の構成を示す。図2(A)は斜視図、図
2(B)は側面図である。
【図3】図1の実施例の位置合わせを説明するための側
面図である。図3(A)はステム上へのヒートシンクを
介したレーザアレイの取付け状態を示す側面図、図3(
B)はステム斜面上での台形治具のXY方向の位置決め
状態を示す側面図、図3(C)は台形治具内に挿入され
た直方体治具を使ったZ方向の位置決め状態を示す側面
図である。
【図4】本発明の他の実施例を示す側面図である。
【符号の説明】
1    Si基板 2    LEDアレイ 3    Si可動プレート 4    V溝 5    V溝 6    ガイドピン 7    光ファイバアレイ 8    全反射面 10  ステム 11  台形治具 11a  台形治具 12  直方体治具 12a  直方体治具 13  光ファイバアレイ 14  ヒートシンク 15  レーザアレイ 16  斜面 17  斜面 18  貫通穴

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  発光素子アレイまたは受光素子アレイ
    (15)と基準面に平行に配置された光ファイバアレイ
    (13)の直接結合を行う接続装置であって、基準面に
    対して傾斜したスライド面(17)を有し、光ファイバ
    アレイ(13)をファイバの長さ方向に調整可能に保持
    した第1治具(11)と、上記第1治具(11)のスラ
    イド面(17)と相互にスライド可能な、基準面に対し
    て傾斜した係合面(16)を有し、発光素子アレイまた
    は受光素子アレイ(15)を保持した第2治具(10)
    とを有する発光素子アレイまたは受光素子アレイと光フ
    ァイバアレイの接続装置。
  2. 【請求項2】  発光素子アレイまたは受光素子アレイ
    (15)と基準面に平行に配置された光ファイバアレイ
    (13)の直接結合を行う実装方法において、基準面に
    対して傾斜したスライド面(17)を有し、光ファイバ
    アレイ(13)をファイバの長さ方向に調整可能に保持
    した第1治具(11)と、スライド面に対してスライド
    でき、基準面に対して傾斜した係合面(16)を有する
    第2治具(10)を用いて両治具をスライドさせること
    によって基準面に対して垂直な方向と基準面内の横軸方
    向の位置調整を行い、第1治具内でファイバの長さ方向
    の位置調整を行って、上記発光素子アレイまたは受光素
    子アレイ(15)の発光又は受光中心と上記光ファイバ
    アレイ(13)のコア中心との位置調整をし、次に両治
    具(10、11)間を固定する発光素子アレイまたは受
    光素子アレイと光ファイバアレイの実装方法。
JP3137716A 1991-06-10 1991-06-10 発光素子アレイまたは受光素子アレイと光ファイバアレイの接続装置及びその実装方法 Withdrawn JPH04361210A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06317729A (ja) * 1992-12-15 1994-11-15 Internatl Business Mach Corp <Ibm> レーザ・アレイをファイバ・アレイに整合させる方法、装置及び整合体
US5544269A (en) * 1994-12-14 1996-08-06 Ricoh Company Ltd. Optical transmission module and method of forming the same
CN103383483A (zh) * 2013-07-19 2013-11-06 武汉博昇光电技术有限公司 一种基于45°光纤阵列的并行光学发射组件及其制作方法
US20170214208A1 (en) * 2014-07-25 2017-07-27 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Optical fiber cooling device and laser oscillator

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