JP5400257B2 - 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 - Google Patents
半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 Download PDFInfo
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上記目的を達成するために、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決する手段としている。すなわち、第1の発明は、パッケージ内の固定部に半導体レーザ素子搭載用の基台を半田付けする装置であって、
パッケージが収容配置されるチャンバと、
チャンバ内に固定されて設けられ前記パッケージが載置されるパッケージ載置部と、
前記基台を把持する基台把持手段と、
半導体レーザ素子を搭載した基台が基台把持手段に把持されて前記パッケージ載置部に載置されたパッケージ内の固定部の上部に配置されている状態で、前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出するLD光軸傾き検出手段と、
このLD光軸傾き検出手段の検出結果に基づいて基台把持手段とパッケージ載置部を相対的に変位させ半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整する光軸調整手段とを有し、当該光軸調整手段は、水平平面をXZ平面と成して、XZ平面に直交する上下方向をY方向としてX、Z、Yの三軸直交座標を定義した場合に、前記基台把持手段に把持されている基台と前記パッケージとの位置を、X、Z、Yの三軸方向と、XZ平面に沿う回転のθ方向と、Y軸に対する傾きのα方向に相対的に変位させて前記半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整可能な構成と成し、
前記パッケージ載置部は、加熱手段を有し、
前記チャンバは、前記パッケージ載置部に載置されて当該チャンバ内に収容配置されたパッケージを当該チャンバの外部から見るとともに、チャンバ内の前記半導体レーザ素子から出射されるレーザ光をチャンバ外へ導光するための覗き窓を備えており、
前記基台は、前記半導体レーザ素子のレーザ光の出射方向が前記覗き窓の方向となるように前記パッケージ内に配置され、
光軸調整手段による半導体レーザ素子の光軸調整が終了した後に、光軸調整状態を維持したまま前記加熱手段を加熱して基台を前記パッケージ内の前記固定部に半田固定する構成をもって前記課題を解決する手段としている。
半導体レーザ素子を基台に固定し、
その後、半導体レーザ素子が固定された基台を、覗き窓を備えるチャンバ内に固定された前記パッケージ内に移動して、前記基台を前記半導体レーザ素子のレーザ光の出射方向が前記覗き窓の方向となるように前記パッケージ内に配置し、然る後に半導体レーザ素子からレーザ光を出射させ、そのレーザ光を前記覗き窓を通してチャンバの外側で検出して前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出し、
水平平面をXZ平面と成して、XZ平面に直交する上下方向をY方向としてX、Z、Yの三軸直交座標を定義した場合に、前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きの検出結果に基づいて、パッケージと基台との位置をX、Z、Yの三軸方向と、XZ平面に沿う回転のθ方向と、Y軸に対する傾きのα方向に相対的に変位させて半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整し、
然る後に、半導体レーザ素子の光軸と前記パッケージの基準光軸との調整状態を維持し、前記パッケージを載置するパッケージ載置部に備えられた加熱手段を加熱して基台を前記パッケージ内の固定部に半田固定することを特徴として構成されている。
2 半導体レーザ素子
3 光ファイバ
4 パッケージ
5 温度制御手段
6 基台
25 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置
27 チャンバ
29 チャンバ変位手段
30 基台把持手段
31 把持手段変位機構
34 LD光軸傾き検出手段
43 支持手段
Claims (8)
- パッケージ内の固定部に半導体レーザ素子搭載用の基台を半田付けする装置であって、
パッケージが収容配置されるチャンバと、
チャンバ内に固定されて設けられ前記パッケージが載置されるパッケージ載置部と、
前記基台を把持する基台把持手段と、
半導体レーザ素子を搭載した基台が基台把持手段に把持されて前記パッケージ載置部に載置されたパッケージ内の固定部の上部に配置されている状態で、前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出するLD光軸傾き検出手段と、
このLD光軸傾き検出手段の検出結果に基づいて基台把持手段とパッケージ載置部を相対的に変位させ半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整する光軸調整手段とを有し、当該光軸調整手段は、水平平面をXZ平面と成して、XZ平面に直交する上下方向をY方向としてX、Z、Yの三軸直交座標を定義した場合に、前記基台把持手段に把持されている基台と前記パッケージとの位置を、X、Z、Yの三軸方向と、XZ平面に沿う回転のθ方向と、Y軸に対する傾きのα方向に相対的に変位させて前記半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整可能な構成と成し、
前記パッケージ載置部は、加熱手段を有し、
前記チャンバは、前記パッケージ載置部に載置されて当該チャンバ内に収容配置されたパッケージを当該チャンバの外部から見るとともに、チャンバ内の前記半導体レーザ素子から出射されるレーザ光をチャンバ外へ導光するための覗き窓を備えており、
前記基台は、前記半導体レーザ素子のレーザ光の出射方向が前記覗き窓の方向となるように前記パッケージ内に配置され、
光軸調整手段による半導体レーザ素子の光軸調整が終了した後に、光軸調整状態を維持したまま前記加熱手段を加熱して基台を前記パッケージ内の前記固定部に半田固定することを特徴とした半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- LD光軸傾き検出手段は、レーザ光が入射される受光部を基準光軸に沿って変位させ、互いに異なる複数の測定箇所での前記受光部におけるレーザ光の入射位置情報に基づいて、基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出する光学測定系を備えていることを特徴とした請求項1記載の半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- LD光軸傾き検出手段は、半導体レーザ素子から出射されたレーザ光を受け、この受けたレーザ光に基づいて、基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを角度情報として検出する光学測定系を備えていることを特徴とした請求項1記載の半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- パッケージ載置部に載置されたパッケージの向きを予め定めた基準の向きに調整するパッケージ調整手段が設けられ、このパッケージ調整手段によってパッケージの向きが基準の向きに調整された以降に、LD光軸傾き検出手段により半導体レーザ素子の光軸の傾き検出が行われることを特徴とした請求項1又は請求項2又は請求項3記載の半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- 水平平面をXZ平面と成し、XZ平面に直交する上下方向をY方向としてX、Z、Yの三軸直交座標を定義した場合に、パッケージ調整手段は、パッケージが載置されているパッケージ載置部をX、Z、Yの三軸方向と、XZ平面に沿う回転のθ方向と、Y軸に対する傾きのα方向との移動を制御指令によって移動させる構成と成したことを特徴とする請求項4記載の半田付け装置。
- 基台把持手段に把持された基台の底面が固定部の上面に面で当接するように傾動自在に基台把持手段を支持する支持手段と、この支持手段に対する基台把持手段の傾動状態を固定する傾動固定手段とを有し、基台の底面と固定部の上面が略平行な状態で、前記傾動固定手段によって前記支持手段に対する基台把持手段の傾動を固定した後に、基台を固定部に半田付けすることを特徴とした請求項1乃至請求項5の何れか1つに記載の半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- 固定部は半導体レーザ素子の温度を制御する温度制御手段であることを特徴とした請求項1乃至請求項6の何れか1つに記載の半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
- 半導体レーザ素子が光ファイバと光結合状態でパッケージに固定されている半導体レーザモジュールの製造方法において、
半導体レーザ素子を基台に固定し、
その後、半導体レーザ素子が固定された基台を、覗き窓を備えるチャンバ内に固定された前記パッケージ内に移動して、前記基台を前記半導体レーザ素子のレーザ光の出射方向が前記覗き窓の方向となるように前記パッケージ内に配置し、然る後に半導体レーザ素子からレーザ光を出射させ、そのレーザ光を前記覗き窓を通してチャンバの外側で検出して前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出し、
水平平面をXZ平面と成して、XZ平面に直交する上下方向をY方向としてX、Z、Yの三軸直交座標を定義した場合に、前記パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きの検出結果に基づいて、パッケージと基台との位置をX、Z、Yの三軸方向と、XZ平面に沿う回転のθ方向と、Y軸に対する傾きのα方向に相対的に変位させて半導体レーザ素子の光軸を前記パッケージの基準光軸に調整し、
然る後に、半導体レーザ素子の光軸と前記パッケージの基準光軸との調整状態を維持し、前記パッケージを載置するパッケージ載置部に備えられた加熱手段を加熱して基台を前記パッケージ内の固定部に半田固定することを特徴とした半導体レーザモジュールの製造方法。
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JP2001204852A JP5400257B2 (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2001204852A JP5400257B2 (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 |
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Family Applications (1)
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JP2001204852A Expired - Lifetime JP5400257B2 (ja) | 2001-07-05 | 2001-07-05 | 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 |
Country Status (1)
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