JP3454610B2 - 光モジュールの光軸測定方法 - Google Patents
光モジュールの光軸測定方法Info
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- JP3454610B2 JP3454610B2 JP17871895A JP17871895A JP3454610B2 JP 3454610 B2 JP3454610 B2 JP 3454610B2 JP 17871895 A JP17871895 A JP 17871895A JP 17871895 A JP17871895 A JP 17871895A JP 3454610 B2 JP3454610 B2 JP 3454610B2
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- optical axis
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光モジュールの光
軸測定方法に関する。
軸測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】集光レンズや発光素子等の光部品が収納
されたパッケージに、集光レンズや光ファイバ等を組み
付けて光モジュールを組み立てる場合、自動組立装置が
使用されている。この自動組立装置においては、パッケ
ージの外周面、例えば、外側面や底面を基準面として光
軸測定装置の治具に固定し、治具の所定の軸に対して光
モジュールの光軸測定を行っていた。
されたパッケージに、集光レンズや光ファイバ等を組み
付けて光モジュールを組み立てる場合、自動組立装置が
使用されている。この自動組立装置においては、パッケ
ージの外周面、例えば、外側面や底面を基準面として光
軸測定装置の治具に固定し、治具の所定の軸に対して光
モジュールの光軸測定を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
にして光モジュールの光軸測定を行う場合、パッケージ
の外側面や底面が光モジュールの光軸に対して平行ある
いは垂直でないと、パッケージ毎に治具への固定位置が
異なって位置再現性が低下してしまうという問題があっ
た。また、治具への固定に際してパッケージの外側面や
底面を光軸測定の際の基準面として使用すると、測定精
度を向上することができず、パッケージに他の光部品を
組み付けるときに、改めて光モジュールの光軸測定をし
直さなければならないという問題があった。
にして光モジュールの光軸測定を行う場合、パッケージ
の外側面や底面が光モジュールの光軸に対して平行ある
いは垂直でないと、パッケージ毎に治具への固定位置が
異なって位置再現性が低下してしまうという問題があっ
た。また、治具への固定に際してパッケージの外側面や
底面を光軸測定の際の基準面として使用すると、測定精
度を向上することができず、パッケージに他の光部品を
組み付けるときに、改めて光モジュールの光軸測定をし
直さなければならないという問題があった。
【０００４】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、光モジュールの光軸測定に際し、パッケージ外周面
と光モジュールの光軸との間にずれがあっても、パッケ
ージの位置再現性に優れ、パッケージの外周形状とは無
関係に光モジュールの光軸を高い精度で測定することが
可能な光モジュールの光軸測定方法を提供することを課
題とする。
で、光モジュールの光軸測定に際し、パッケージ外周面
と光モジュールの光軸との間にずれがあっても、パッケ
ージの位置再現性に優れ、パッケージの外周形状とは無
関係に光モジュールの光軸を高い精度で測定することが
可能な光モジュールの光軸測定方法を提供することを課
題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
本発明の光モジュールの光軸測定方法によれば、発光素
子を含む光部品が収納された光モジュール用パッケージ
の開口側の基準面に対し、この基準面までの距離を基準
面上の３点以上の複数点にて光学測定系により測定し、
この測定結果に基づきパッケージの姿勢を変位させて光
学測定系の基準光軸に対して基準面を修正し、この後、
前記光学測定系の基準光軸と前記パッケージの光軸との
なす変位角を測定する。
本発明の光モジュールの光軸測定方法によれば、発光素
子を含む光部品が収納された光モジュール用パッケージ
の開口側の基準面に対し、この基準面までの距離を基準
面上の３点以上の複数点にて光学測定系により測定し、
この測定結果に基づきパッケージの姿勢を変位させて光
学測定系の基準光軸に対して基準面を修正し、この後、
前記光学測定系の基準光軸と前記パッケージの光軸との
なす変位角を測定する。
【０００６】好ましくは、前記基準面の修正時、パッケ
ージは、該パッケージの光軸に対してそれぞれ直交する
Ｘ軸及びＹ軸の軸回りに回動される。また好ましくは、
前記変位角は、前記光学測定系を基準光軸に沿って移動
させ、パッケージの基準面までの距離を異ならせて発光
素子の発光点を光学測定系によりそれぞれ撮像し、この
撮像結果により得られた発光点の位置ずれに基づき測定
される。
ージは、該パッケージの光軸に対してそれぞれ直交する
Ｘ軸及びＹ軸の軸回りに回動される。また好ましくは、
前記変位角は、前記光学測定系を基準光軸に沿って移動
させ、パッケージの基準面までの距離を異ならせて発光
素子の発光点を光学測定系によりそれぞれ撮像し、この
撮像結果により得られた発光点の位置ずれに基づき測定
される。
【０００７】光モジュールのためのパッケージの基準面
を光学測定系の基準光軸に対して垂直に修正した後、光
学測定系の基準光軸とパッケージの光軸とのなす変位角
を測定すると、変位角が精度良く測定され、パッケージ
の良否が判別される。このとき、パッケージを、このパ
ッケージの光軸に対してそれぞれ直交するＸ軸及びＹ軸
の軸回りに回動変位させ、パッケージの基準面を光学測
定系の基準光軸に対して垂直に修正すると、パッケージ
の基準面が光学測定系の基準光軸に対して細かに調整さ
れる。
を光学測定系の基準光軸に対して垂直に修正した後、光
学測定系の基準光軸とパッケージの光軸とのなす変位角
を測定すると、変位角が精度良く測定され、パッケージ
の良否が判別される。このとき、パッケージを、このパ
ッケージの光軸に対してそれぞれ直交するＸ軸及びＹ軸
の軸回りに回動変位させ、パッケージの基準面を光学測
定系の基準光軸に対して垂直に修正すると、パッケージ
の基準面が光学測定系の基準光軸に対して細かに調整さ
れる。
【０００８】また、光学測定系を基準光軸に沿ってパッ
ケージの基準面に対して離接させたときの発光点の位置
ずれに基づいて、光学測定系の基準光軸とパッケージの
光軸とのなす変位角を測定すると、変位角が精度良く測
定される。
ケージの基準面に対して離接させたときの発光点の位置
ずれに基づいて、光学測定系の基準光軸とパッケージの
光軸とのなす変位角を測定すると、変位角が精度良く測
定される。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１乃
至図５に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の光
モジュールの光軸測定方法に用いる測定装置の一例に係
る概略構成を示すもので、測定装置１は、調整台１０、
光学測定部２０及び制御部３０を備えている。
至図５に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の光
モジュールの光軸測定方法に用いる測定装置の一例に係
る概略構成を示すもので、測定装置１は、調整台１０、
光学測定部２０及び制御部３０を備えている。
【００１０】調整台１０は、Ｘ軸スイベルステージ１
１、Ｙ軸スイベルステージ１２、Ｘ軸リニアステージ１
３、Ｙ軸リニアステージ１４が、上からこれらの順でＺ
軸ステージ１５に載置されている。Ｘ軸スイベルステー
ジ１１は、パッケージ２を着脱自在に固定する固定具３
が上部に取り付けられ、操作軸１１ａによってＸ軸の回
りに回動される。Ｙ軸スイベルステージ１２は、Ｘ軸ス
イベルステージ１１が載置され、操作軸１２ａにより前
記Ｘ軸と直交するＹ軸の回りに回動される。Ｘ軸リニア
ステージ１３は、Ｙ軸スイベルステージ１２が載置さ
れ、操作軸１３ａよる操作によりＸ軸に沿って移動され
る。Ｙ軸リニアステージ１４は、Ｘ軸リニアステージ１
３が載置され、操作軸１４ａよる操作によりＹ軸に沿っ
て移動される。Ｚ軸ステージ１５は、Ｙ軸リニアステー
ジ１４が載置され、操作軸１５ａよる操作により前記Ｘ
軸及びＹ軸に直交するＺ軸に沿って上下方向に昇降され
る。
１、Ｙ軸スイベルステージ１２、Ｘ軸リニアステージ１
３、Ｙ軸リニアステージ１４が、上からこれらの順でＺ
軸ステージ１５に載置されている。Ｘ軸スイベルステー
ジ１１は、パッケージ２を着脱自在に固定する固定具３
が上部に取り付けられ、操作軸１１ａによってＸ軸の回
りに回動される。Ｙ軸スイベルステージ１２は、Ｘ軸ス
イベルステージ１１が載置され、操作軸１２ａにより前
記Ｘ軸と直交するＹ軸の回りに回動される。Ｘ軸リニア
ステージ１３は、Ｙ軸スイベルステージ１２が載置さ
れ、操作軸１３ａよる操作によりＸ軸に沿って移動され
る。Ｙ軸リニアステージ１４は、Ｘ軸リニアステージ１
３が載置され、操作軸１４ａよる操作によりＹ軸に沿っ
て移動される。Ｚ軸ステージ１５は、Ｙ軸リニアステー
ジ１４が載置され、操作軸１５ａよる操作により前記Ｘ
軸及びＹ軸に直交するＺ軸に沿って上下方向に昇降され
る。
【００１１】光学測定部２０は、昇降ステージ２１、測
長センサ２２、赤外線カメラ２３を有する光学測定系で
ある。昇降ステージ２１は、測長センサ２２及び赤外線
カメラ２３を取り付けて、Ｚ軸方向に昇降させるステー
ジで、操作軸２１ａにより昇降操作される。測長センサ
２２は、オートフォーカス機構を利用してパッケージ２
の基準面２ａまでの距離を測定するセンサで、各操作軸
１１ａ〜１５ａ，２１ａと制御部３０を介して接続され
ている。赤外線カメラ２３は、パッケージ２の発光点を
波長0.８〜1.６μｍの赤外線で撮影し、撮影した画像信
号を制御部３０へ出力する。
長センサ２２、赤外線カメラ２３を有する光学測定系で
ある。昇降ステージ２１は、測長センサ２２及び赤外線
カメラ２３を取り付けて、Ｚ軸方向に昇降させるステー
ジで、操作軸２１ａにより昇降操作される。測長センサ
２２は、オートフォーカス機構を利用してパッケージ２
の基準面２ａまでの距離を測定するセンサで、各操作軸
１１ａ〜１５ａ，２１ａと制御部３０を介して接続され
ている。赤外線カメラ２３は、パッケージ２の発光点を
波長0.８〜1.６μｍの赤外線で撮影し、撮影した画像信
号を制御部３０へ出力する。
【００１２】制御部３０は、光学測定部２０の各操作軸
１１ａ〜１５ａ，２１ａを駆動してパッケージ２の基準
面２ａがＺ軸に対して垂直となるよう自動的に制御する
と共に、赤外線カメラ２３から入力される画像信号に基
づいてパッケージ２の発光点に関する前記Ｚ軸を中心と
するＸ，Ｙ軸方向における位置並びに測長センサ２２並
びに赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS とパッケージ２の
光軸との間の変位量（角度）を演算する電子制御装置
（ＥＣＵ）である。
１１ａ〜１５ａ，２１ａを駆動してパッケージ２の基準
面２ａがＺ軸に対して垂直となるよう自動的に制御する
と共に、赤外線カメラ２３から入力される画像信号に基
づいてパッケージ２の発光点に関する前記Ｚ軸を中心と
するＸ，Ｙ軸方向における位置並びに測長センサ２２並
びに赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS とパッケージ２の
光軸との間の変位量（角度）を演算する電子制御装置
（ＥＣＵ）である。
【００１３】本発明の光モジュールの光軸測定方法は、
測定装置１を用いて以下のように実行される。先ず、測
定装置１をオンした後、Ｘ軸スイベルステージ１１に取
り付けた固定具３に測定対象のパッケージ２を固定す
る。すると、制御部３０は、測定装置１の作動を制御し
ながら、パッケージ２に関する以下の測定を自動的に行
う。
測定装置１を用いて以下のように実行される。先ず、測
定装置１をオンした後、Ｘ軸スイベルステージ１１に取
り付けた固定具３に測定対象のパッケージ２を固定す
る。すると、制御部３０は、測定装置１の作動を制御し
ながら、パッケージ２に関する以下の測定を自動的に行
う。
【００１４】先ず、赤外線カメラ２３がパッケージ２の
発光点を撮影し、発光点の画像信号を制御部３０に出力
する。制御部３０では、まず、パッケージ２の中心Ｃ
（図２（ｂ），２（ｃ）参照）と発光点との位置ずれを
測定し、次に、制御部３０は、赤外線カメラ２３から入
力される前記発光点の画像信号に基づき、各操作軸１３
ａ，１４ａに駆動信号を出力し、発光点が基準光軸ＡS
と一致するようにＸ軸リニアステージ１３及びＹ軸リニ
アステージ１４を駆動する。
発光点を撮影し、発光点の画像信号を制御部３０に出力
する。制御部３０では、まず、パッケージ２の中心Ｃ
（図２（ｂ），２（ｃ）参照）と発光点との位置ずれを
測定し、次に、制御部３０は、赤外線カメラ２３から入
力される前記発光点の画像信号に基づき、各操作軸１３
ａ，１４ａに駆動信号を出力し、発光点が基準光軸ＡS
と一致するようにＸ軸リニアステージ１３及びＹ軸リニ
アステージ１４を駆動する。
【００１５】次に、制御部３０は、測長センサ２２を駆
動し、図３に示すように、パッケージ２の基準面２ａま
での距離を複数点（３点以上）で測定し、その測定結果
である距離信号を制御装置３０に出力する。次いで、制
御装置３０は、入力された距離信号に基づいて、Ｘ軸ス
イベルステージ１１及びＹ軸スイベルステージ１２をＸ
軸及びＹ軸の回りに回動すべき回動量をそれぞれ演算す
る。
動し、図３に示すように、パッケージ２の基準面２ａま
での距離を複数点（３点以上）で測定し、その測定結果
である距離信号を制御装置３０に出力する。次いで、制
御装置３０は、入力された距離信号に基づいて、Ｘ軸ス
イベルステージ１１及びＹ軸スイベルステージ１２をＸ
軸及びＹ軸の回りに回動すべき回動量をそれぞれ演算す
る。
【００１６】そして、制御装置３０は、この演算結果に
基づき、各操作軸１１ａ，１２ａに駆動信号を出力し、
複数点で測定した基準面２ａまでの距離が等しくなるよ
うにＸ軸スイベルステージ１１及びＹ軸スイベルステー
ジ１２をそれぞれＸ軸及びＹ軸の回りに回動する。これ
により、測長センサ２２から基準面２ａまでの複数点で
測定した距離が等しく、即ち、パッケージ２の基準面２
ａが基準光軸ＡS に対して垂直になるように修正され
る。
基づき、各操作軸１１ａ，１２ａに駆動信号を出力し、
複数点で測定した基準面２ａまでの距離が等しくなるよ
うにＸ軸スイベルステージ１１及びＹ軸スイベルステー
ジ１２をそれぞれＸ軸及びＹ軸の回りに回動する。これ
により、測長センサ２２から基準面２ａまでの複数点で
測定した距離が等しく、即ち、パッケージ２の基準面２
ａが基準光軸ＡS に対して垂直になるように修正され
る。
【００１７】しかる後、制御装置３０は、操作軸２１ａ
に駆動信号を出力し、図２（ａ）に示すように、昇降ス
テージ２１をＺ軸方向に昇降させて、基準光軸ＡS とパ
ッケージ２の光軸とのなす変位角を測定する。即ち、制
御装置３０は、図２（ｂ），（ｃ）に示すように、測長
センサ２２と基準面２ａとの距離がそれぞれＬ1，Ｌ2と
なる２つの位置で赤外線カメラ２３が撮影したパッケー
ジ２の発光点ＰL1，ＰL2に基づき、両位置におけるＸ，
Ｙ，Ｚ軸方向の座標を演算すると共に、基準光軸ＡS に
対するパッケージ２の光軸とのなす角度、即ち、変位角
を演算し、その結果をメモリに記憶して本発明の光モジ
ュールの光軸測定方法が完了する。
に駆動信号を出力し、図２（ａ）に示すように、昇降ス
テージ２１をＺ軸方向に昇降させて、基準光軸ＡS とパ
ッケージ２の光軸とのなす変位角を測定する。即ち、制
御装置３０は、図２（ｂ），（ｃ）に示すように、測長
センサ２２と基準面２ａとの距離がそれぞれＬ1，Ｌ2と
なる２つの位置で赤外線カメラ２３が撮影したパッケー
ジ２の発光点ＰL1，ＰL2に基づき、両位置におけるＸ，
Ｙ，Ｚ軸方向の座標を演算すると共に、基準光軸ＡS に
対するパッケージ２の光軸とのなす角度、即ち、変位角
を演算し、その結果をメモリに記憶して本発明の光モジ
ュールの光軸測定方法が完了する。
【００１８】上記光軸測定方法によって測定した変位角
及びこの測定前に行ったパッケージ２の中心Ｃと発光点
ＰL1，ＰL2との位置ずれが、予め設定した許容範囲より
も大きいパッケージ２は、不良品として排除される。一
方、測定した変位角及びパッケージ２の中心Ｃと発光点
ＰL1，ＰL2との位置ずれが許容範囲内のパッケージ２
は、例えば、図４に示すように、集光部５を基準面２ａ
で位置決めして垂直にマウントし、ＹＡＧ溶接で溶接す
ると共に、ファイバ部６を集光部５に同様にして溶接し
て光モジュールに自動的に組み立てられる。
及びこの測定前に行ったパッケージ２の中心Ｃと発光点
ＰL1，ＰL2との位置ずれが、予め設定した許容範囲より
も大きいパッケージ２は、不良品として排除される。一
方、測定した変位角及びパッケージ２の中心Ｃと発光点
ＰL1，ＰL2との位置ずれが許容範囲内のパッケージ２
は、例えば、図４に示すように、集光部５を基準面２ａ
で位置決めして垂直にマウントし、ＹＡＧ溶接で溶接す
ると共に、ファイバ部６を集光部５に同様にして溶接し
て光モジュールに自動的に組み立てられる。
【００１９】ここで、パッケージ２は、図４に示すよう
に、内部に配置される発光部２ｂ内に第１集光レンズ２
ｃと発光素子２ｄが収納されており、基準面２ａは開口
している。集光部５は、レンズケース５ａと第２集光レ
ンズ５ｂを有している。レンズケース５ａは、基準面２
ａの開口よりも小径の嵌合部５ｃを有する筒体で、レン
ズケース５ａ内に第２集光レンズ５ｂが取り付けられて
いる。また、ファイバ部６は、ファイバケース６ａと光
ファイバ６ｂを有し、ファイバケース６ａの端部にはレ
ンズケース５ａの端部に嵌め込まれる嵌合部６ｃが形成
され、ファイバ孔６ｄに光ファイバ６ｂの端部が接着さ
れている。
に、内部に配置される発光部２ｂ内に第１集光レンズ２
ｃと発光素子２ｄが収納されており、基準面２ａは開口
している。集光部５は、レンズケース５ａと第２集光レ
ンズ５ｂを有している。レンズケース５ａは、基準面２
ａの開口よりも小径の嵌合部５ｃを有する筒体で、レン
ズケース５ａ内に第２集光レンズ５ｂが取り付けられて
いる。また、ファイバ部６は、ファイバケース６ａと光
ファイバ６ｂを有し、ファイバケース６ａの端部にはレ
ンズケース５ａの端部に嵌め込まれる嵌合部６ｃが形成
され、ファイバ孔６ｄに光ファイバ６ｂの端部が接着さ
れている。
【００２０】このとき、パッケージ２は、測定した変位
角がゼロであっても、パッケージ２の光軸と測長センサ
２２及び赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS とが平行にず
れている場合がある。この場合には、パッケージ２に組
み付ける集光部５を光軸と直交する方向へ僅かに平行移
動させればよい。ところで、測長センサ２２は、パッケ
ージ２の基準面２ａまでの距離を求める精度が１／１０
００ｍｍあり、従って、１／１０００ｍｍの位置再現性
を有している。このことから、上記した本発明方法で
は、基準面２ａの直径が4.２ｍｍであるから、測長セン
サ２２及び赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS の傾斜誤差
θとしては逆三角関数による計算からθ＝0.０１３６゜
となる。
角がゼロであっても、パッケージ２の光軸と測長センサ
２２及び赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS とが平行にず
れている場合がある。この場合には、パッケージ２に組
み付ける集光部５を光軸と直交する方向へ僅かに平行移
動させればよい。ところで、測長センサ２２は、パッケ
ージ２の基準面２ａまでの距離を求める精度が１／１０
００ｍｍあり、従って、１／１０００ｍｍの位置再現性
を有している。このことから、上記した本発明方法で
は、基準面２ａの直径が4.２ｍｍであるから、測長セン
サ２２及び赤外線カメラ２３の基準光軸ＡS の傾斜誤差
θとしては逆三角関数による計算からθ＝0.０１３６゜
となる。
【００２１】これに対し、パッケージの外周面、例え
ば、外側面や底面を基準面として光軸測定装置の治具に
固定して行う従来の測定方法では、位置再現性は１／１
００ｍｍ程度で、パッケージの底辺の長さが8.２ｍｍで
あることから、傾斜誤差θを同様にして求めると、θ＝
0.０６９９゜となり、本発明方法は光モジュールの光軸
を高い精度で測定することが分かった。
ば、外側面や底面を基準面として光軸測定装置の治具に
固定して行う従来の測定方法では、位置再現性は１／１
００ｍｍ程度で、パッケージの底辺の長さが8.２ｍｍで
あることから、傾斜誤差θを同様にして求めると、θ＝
0.０６９９゜となり、本発明方法は光モジュールの光軸
を高い精度で測定することが分かった。
【００２２】尚、上記実施例では、測長センサ２２とパ
ッケージ２の基準面２ａとの間の距離をオートフォーカ
ス機構を利用した測長センサで測定したが、これに限定
されるものでないことは言うまでもなく、例えば、図５
に示す反射型レーザ変位センサ２５を使用することもで
きる。
ッケージ２の基準面２ａとの間の距離をオートフォーカ
ス機構を利用した測長センサで測定したが、これに限定
されるものでないことは言うまでもなく、例えば、図５
に示す反射型レーザ変位センサ２５を使用することもで
きる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
光モジュールの光軸測定方法によれば、光モジュールの
光軸測定に際し、光学測定系によりパッケージの基準面
までの距離を基準面上の３点以上の複数点にて測定し、
この測定結果に基づき光学測定系の基準光軸にパッケー
ジの基準面を垂直に修正したから、パッケージ外周面と
光モジュールの光軸との間にずれがあっても、パッケー
ジの位置再現性に優れ、パッケージの外周形状とは無関
係に光モジュールの光軸を高い精度で測定することがで
きる。
光モジュールの光軸測定方法によれば、光モジュールの
光軸測定に際し、光学測定系によりパッケージの基準面
までの距離を基準面上の３点以上の複数点にて測定し、
この測定結果に基づき光学測定系の基準光軸にパッケー
ジの基準面を垂直に修正したから、パッケージ外周面と
光モジュールの光軸との間にずれがあっても、パッケー
ジの位置再現性に優れ、パッケージの外周形状とは無関
係に光モジュールの光軸を高い精度で測定することがで
きる。
【００２４】基準面の修正時には、パッケージの光軸に
対して直交するＸ軸及びＹ軸の軸回りにパッケージが回
動変位されるので、パッケージの基準面を光学測定系の
基準光軸に対して細かに調整することができる。また、
光学測定系を基準光軸に沿ってパッケージの基準面に対
して離接させたときの発光点の位置ずれに基づいて、光
学測定系の基準光軸とパッケージの光軸とのなす変位角
を測定するので、変位角を精度良く測定することができ
る。
対して直交するＸ軸及びＹ軸の軸回りにパッケージが回
動変位されるので、パッケージの基準面を光学測定系の
基準光軸に対して細かに調整することができる。また、
光学測定系を基準光軸に沿ってパッケージの基準面に対
して離接させたときの発光点の位置ずれに基づいて、光
学測定系の基準光軸とパッケージの光軸とのなす変位角
を測定するので、変位角を精度良く測定することができ
る。
【図１】本発明方法を実行する測定装置の概略構成図で
ある。
ある。
【図２】光学測定系の基準光軸とパッケージの光軸との
なす変位角の測定方法を説明する説明図である。
なす変位角の測定方法を説明する説明図である。
【図３】パッケージの基準面と光学測定系との間の距離
を測定し、パッケージの基準面を光学測定系の基準光軸
に対して垂直に修正する方法を説明する斜視図である。
を測定し、パッケージの基準面を光学測定系の基準光軸
に対して垂直に修正する方法を説明する斜視図である。
【図４】光軸測定が終了したパッケージに他の光部品を
組み付けて光モジュールを組み立てる状態を、これらの
部品類を断面にして示した分解図である。
組み付けて光モジュールを組み立てる状態を、これらの
部品類を断面にして示した分解図である。
【図５】パッケージの基準面と光学測定系との間の距離
を測定する他の測長センサの例を示す斜視図である。
を測定する他の測長センサの例を示す斜視図である。
１ 測定装置
２ パッケージ
２ａ 基準面
３ 固定具
５ 集光部
６ ファイバ部
１０ 調整台
１１ Ｘ軸スイベルステージ
１２ Ｙ軸スイベルステージ
１３ Ｘ軸リニアステージ
１４ Ｙ軸リニアステージ
１５ Ｚ軸ステージ
２０ 光学測定部
２１ 昇降ステージ
２２ 測長センサ
２３ 赤外線カメラ
３０ 制御部
ＡS 基準光軸
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01B 11/00 - 11/30
G02B 6/42
Claims (3)
- 【請求項１】 発光素子を含む光部品が収納された光モ
ジュール用パッケージの開口側の基準面に対し、前記基
準面までの距離を前記基準面上の３点以上の複数点にて
光学測定系により測定し、この測定結果に基づき前記パ
ッケージの姿勢を変位させて前記光学測定系の基準光軸
に対して前記基準面を垂直に修正し、この後、前記光学
測定系の基準光軸と前記パッケージの光軸とのなす変位
角を測定することを特徴とする光モジュールの光軸測定
方法。 - 【請求項２】 前記基準面の修正時、前記パッケージ
は、該パッケージの光軸に対してそれぞれ直交するＸ軸
及びＹ軸の軸回りに回動される、請求項１の光モジュー
ルの光軸測定方法。 - 【請求項３】 前記変位角は、前記光学測定系を前記基
準光軸に沿って移動させ、前記パッケージの前記基準面
までの距離を異ならせて前記発光素子の発光点を前記光
学測定系によりそれぞれ撮像し、この撮像結果により得
られた前記発光点の位置ずれに基づき測定される、請求
項１の光モジュールの光軸測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17871895A JP3454610B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 光モジュールの光軸測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP17871895A JP3454610B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 光モジュールの光軸測定方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0933236A JPH0933236A (ja) | 1997-02-07 |
| JP3454610B2 true JP3454610B2 (ja) | 2003-10-06 |
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ID=16053357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17871895A Expired - Lifetime JP3454610B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | 光モジュールの光軸測定方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3454610B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3973182B2 (ja) * | 1998-07-27 | 2007-09-12 | アイシン高丘株式会社 | 鋳物の加工穴位置検出方法 |
| JP5400257B2 (ja) | 2001-07-05 | 2014-01-29 | 古河電気工業株式会社 | 半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法 |
| JP2003057499A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザモジュールの製造方法 |
| JP4339631B2 (ja) * | 2003-06-20 | 2009-10-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査方法及び検査装置 |
| JP2015119129A (ja) * | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール接合装置および光モジュールの製造方法 |
| CN106959705B (zh) * | 2017-05-02 | 2023-06-09 | 西安赛隆金属材料有限责任公司 | 一种用于快速成形设备的铺粉精度补偿系统及方法 |
| CN111964611A (zh) * | 2020-08-18 | 2020-11-20 | 山东理工大学 | 一种基于机器视觉的轴类零件直线度误差测量装置 |
-
1995
- 1995-07-14 JP JP17871895A patent/JP3454610B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0933236A (ja) | 1997-02-07 |
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