JP2998420B2 - チップの観察装置 - Google Patents
チップの観察装置Info
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- JP2998420B2 JP2998420B2 JP4132139A JP13213992A JP2998420B2 JP 2998420 B2 JP2998420 B2 JP 2998420B2 JP 4132139 A JP4132139 A JP 4132139A JP 13213992 A JP13213992 A JP 13213992A JP 2998420 B2 JP2998420 B2 JP 2998420B2
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- Japan
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- light
- chip
- light source
- plate
- polarizing plate
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチップの観察装置に係
り、詳しくは、明るい背景の中にチップを暗く観察する
ことと、暗い背景の中にチップを明るく観察することを
選択できるチップの観察装置に関する。
り、詳しくは、明るい背景の中にチップを暗く観察する
ことと、暗い背景の中にチップを明るく観察することを
選択できるチップの観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ、ＬＳＩ、抵抗チップ、コンデンサ
チップなどのチップを基板に自動搭載するチップマウン
タは、移載ヘッドのノズルにチップを真空吸着し、この
チップを基板へ移送するようになっている。
チップなどのチップを基板に自動搭載するチップマウン
タは、移載ヘッドのノズルにチップを真空吸着し、この
チップを基板へ移送するようになっている。
【０００３】この場合、チップは基板の所定の座標位置
に正しく搭載せねばならないことから、移載ヘッドがチ
ップを基板に移送する途中において、ノズルに吸着され
たチップをカメラにより観察してチップの位置ずれを光
学的に検出し、検出された位置ずれを補正したうえで、
基板に搭載するようになっている。
に正しく搭載せねばならないことから、移載ヘッドがチ
ップを基板に移送する途中において、ノズルに吸着され
たチップをカメラにより観察してチップの位置ずれを光
学的に検出し、検出された位置ずれを補正したうえで、
基板に搭載するようになっている。
【０００４】このようなチップの観察装置としては、例
えば特開平２−９９０００号公報に開示されているよう
に、移載ヘッドの下部に白色のアクリル樹脂板のような
光拡散板を設け、この光拡散板に向かって下方から光を
照射し、その反射光を下方のカメラで受光する手段が知
られており、この手段によれば図２に示すように明るい
背景の中にチップＰを暗く観察することができる。
えば特開平２−９９０００号公報に開示されているよう
に、移載ヘッドの下部に白色のアクリル樹脂板のような
光拡散板を設け、この光拡散板に向かって下方から光を
照射し、その反射光を下方のカメラで受光する手段が知
られており、この手段によれば図２に示すように明るい
背景の中にチップＰを暗く観察することができる。
【０００５】またこれとは反対に、移載ヘッドの下部に
暗色の光吸収板を設け、移載ヘッドのノズルに真空吸着
されたチップへ向かって下方から光を照射して、下方の
カメラで観察することにより、図３に示すように暗い背
景の中にチップＰを明るく観察する手段が知られてい
る。何れにせよ、チップの観察装置は、チップとその背
景を明瞭な明暗のコントラストで観察するようになって
いる。
暗色の光吸収板を設け、移載ヘッドのノズルに真空吸着
されたチップへ向かって下方から光を照射して、下方の
カメラで観察することにより、図３に示すように暗い背
景の中にチップＰを明るく観察する手段が知られてい
る。何れにせよ、チップの観察装置は、チップとその背
景を明瞭な明暗のコントラストで観察するようになって
いる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】移載ヘッドは、様々な
品種のチップを基板に移送搭載するものであり、チップ
の品種に応じて、図２及び図３に示す２つの明暗態様で
チップを観察することが望ましい。ところが従来、同一
の観察装置では前記２つの明暗態様で観察できる手段は
なかったため、図２に示すようにチップを明るい背景の
中で暗く観察するか、又は図３に示すように暗い背景の
中で明るく観察する手段が択一的に採用されていた。
品種のチップを基板に移送搭載するものであり、チップ
の品種に応じて、図２及び図３に示す２つの明暗態様で
チップを観察することが望ましい。ところが従来、同一
の観察装置では前記２つの明暗態様で観察できる手段は
なかったため、図２に示すようにチップを明るい背景の
中で暗く観察するか、又は図３に示すように暗い背景の
中で明るく観察する手段が択一的に採用されていた。
【０００７】そこで本発明は、チップの品種に応じて、
明るい背景の中にチップを暗く観察することと、暗い背
景の中にチップを明るく観察することを選択できるチッ
プの観察装置を提供することを目的とする。
明るい背景の中にチップを暗く観察することと、暗い背
景の中にチップを明るく観察することを選択できるチッ
プの観察装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ノ
ズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向かって光を照射
する第１の光源及び第２の光源と、前記移載ヘッドの下
部に設けられた光拡散板と、この光拡散板及び前記チッ
プに反射された光が入射するカメラとを構成している。
そして第１の光源の光の照射角度を、前記光拡散板及び
前記チップに共に照射される角度に設定するとともに、
この光の光路に光を吸収する第１の偏光板と第２の偏光
板を配設することにより、前記光拡散板に反射された光
が前記カメラに入射しないようにし、また前記第２の光
源の光の照射角度を、前記光拡散板のみに光が照射され
且つ前記チップには照射されない角度としたものであ
る。
ズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向かって光を照射
する第１の光源及び第２の光源と、前記移載ヘッドの下
部に設けられた光拡散板と、この光拡散板及び前記チッ
プに反射された光が入射するカメラとを構成している。
そして第１の光源の光の照射角度を、前記光拡散板及び
前記チップに共に照射される角度に設定するとともに、
この光の光路に光を吸収する第１の偏光板と第２の偏光
板を配設することにより、前記光拡散板に反射された光
が前記カメラに入射しないようにし、また前記第２の光
源の光の照射角度を、前記光拡散板のみに光が照射され
且つ前記チップには照射されない角度としたものであ
る。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、２つの光源を切り替えるこ
とにより、明るい背景の中にチップを暗く観察すること
と、暗い背景の中にチップを明るく観察することを選択
することができる。
とにより、明るい背景の中にチップを暗く観察すること
と、暗い背景の中にチップを明るく観察することを選択
することができる。
【００１０】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１１】図１はチップの観察装置の側面図である。
移載ヘッド１の下部には、アルミニウムなどの金属板か
ら成る光拡散板２と、第１の偏光板３が積層して設けら
れており、またこの移載ヘッド１から下方へ突出するノ
ズル４の下端部４にチップＰが真空吸着されている。こ
の移載ヘッド１は、パーツフィーダ（図外）に備えられ
たチップＰを真空吸着してピックアップし、基板（図
外）に移送搭載するものであり、この移送の途中におい
て、この観察装置によりノズル４に吸着されたチップＰ
の位置ずれを検出する。
移載ヘッド１の下部には、アルミニウムなどの金属板か
ら成る光拡散板２と、第１の偏光板３が積層して設けら
れており、またこの移載ヘッド１から下方へ突出するノ
ズル４の下端部４にチップＰが真空吸着されている。こ
の移載ヘッド１は、パーツフィーダ（図外）に備えられ
たチップＰを真空吸着してピックアップし、基板（図
外）に移送搭載するものであり、この移送の途中におい
て、この観察装置によりノズル４に吸着されたチップＰ
の位置ずれを検出する。
【００１２】５は移載ヘッド１の移動路の下方に設けら
れたケースであり、その内部にはミラー６が４５°傾斜
して内蔵されており、またその側方にはミラー６に反射
された光を受光するカメラ７が設けられている。このミ
ラー６はハーフミラーであり、その下方には第１の光源
８と第２の偏光板１０が設けられている。第１の偏光板
３と第２の偏光板１０は直交させて配置されている。ま
たケース５の上面には第２の光源９が設けられている。
れたケースであり、その内部にはミラー６が４５°傾斜
して内蔵されており、またその側方にはミラー６に反射
された光を受光するカメラ７が設けられている。このミ
ラー６はハーフミラーであり、その下方には第１の光源
８と第２の偏光板１０が設けられている。第１の偏光板
３と第２の偏光板１０は直交させて配置されている。ま
たケース５の上面には第２の光源９が設けられている。
【００１３】本実施例では、第１の光源８はＬＥＤであ
り、またこれから照射されるＬＥＤ光ＬＬの照射角度θ
１はかなり広角度であって、ノズル４に吸着された小チ
ップやＱＦＰのようなリードを有する大チップに光を照
射する。また第２の光源９はハロゲンランプであり、こ
れから照射されるハロゲン光ＨＬの照射角度θ２は狭角
度であり、光拡散板２に対してのみ光を照射し、チップ
Ｐには光が照射されない角度に設定してある。また移載
ヘッド１は、モータ１１、タイミングベルト１２によ
り、軸心線を中心にＮ方向に水平回転する。したがって
このモータ１１を駆動することにより、第１の偏光板３
が第２の偏光板１０に対して直交するよう角度調整し、
またチップＰの回転方向の角度設定を行う。
り、またこれから照射されるＬＥＤ光ＬＬの照射角度θ
１はかなり広角度であって、ノズル４に吸着された小チ
ップやＱＦＰのようなリードを有する大チップに光を照
射する。また第２の光源９はハロゲンランプであり、こ
れから照射されるハロゲン光ＨＬの照射角度θ２は狭角
度であり、光拡散板２に対してのみ光を照射し、チップ
Ｐには光が照射されない角度に設定してある。また移載
ヘッド１は、モータ１１、タイミングベルト１２によ
り、軸心線を中心にＮ方向に水平回転する。したがって
このモータ１１を駆動することにより、第１の偏光板３
が第２の偏光板１０に対して直交するよう角度調整し、
またチップＰの回転方向の角度設定を行う。
【００１４】図２は、第１の光源８を消灯し、第２の光
源９を点灯してチップＰを観察した場合の画像を示して
いる。この場合、上述したように光源９から照射された
光は、光拡散板２のみに照射され、チップＰには照射さ
れないので、光拡散板２は光を散乱して明るく観察さ
れ、チップＰは暗く観察される。
源９を点灯してチップＰを観察した場合の画像を示して
いる。この場合、上述したように光源９から照射された
光は、光拡散板２のみに照射され、チップＰには照射さ
れないので、光拡散板２は光を散乱して明るく観察さ
れ、チップＰは暗く観察される。
【００１５】また図３は、第１の光源８を点灯し、第２
の光源９を消灯してチップＰを観察した場合の画像を示
している。この場合、第１の光源８の照射角度θ１は上
述のようにチップＰを包含する光拡散板２のほぼ全面に
光が照射される角度に設定しているので、チップＰの下
面は光を反射し、その反射光はハーフミラー６に反射さ
れてカメラ７に入射するので、チップＰは明るく観察さ
れる。また光拡散板２の前方には、互いに直交する２枚
の偏光板３、１０が配置されているため、光拡散板２に
入射しようとする光はすべて吸収され、したがって光拡
散板２は暗く観察される。
の光源９を消灯してチップＰを観察した場合の画像を示
している。この場合、第１の光源８の照射角度θ１は上
述のようにチップＰを包含する光拡散板２のほぼ全面に
光が照射される角度に設定しているので、チップＰの下
面は光を反射し、その反射光はハーフミラー６に反射さ
れてカメラ７に入射するので、チップＰは明るく観察さ
れる。また光拡散板２の前方には、互いに直交する２枚
の偏光板３、１０が配置されているため、光拡散板２に
入射しようとする光はすべて吸収され、したがって光拡
散板２は暗く観察される。
【００１６】以上のように本手段によれば、チップＰの
品種に応じて、第１の光源８と第２の光源９の点灯消灯
を切り替えることにより、図２、図３に示す２つの明暗
コントラストで選択的にチップＰを観察できる。
品種に応じて、第１の光源８と第２の光源９の点灯消灯
を切り替えることにより、図２、図３に示す２つの明暗
コントラストで選択的にチップＰを観察できる。
【００１７】図４は本発明の他の実施例を示している。
このものは、第１の偏光板２２は１／４波長板であり、
また第２の偏光板２３はハーフミラー６よりも上方のス
テージ面に配設されており、偏光板２２と偏光板２３は
４５°の角度で配置されている点において、図１に示す
ものと相違している。
このものは、第１の偏光板２２は１／４波長板であり、
また第２の偏光板２３はハーフミラー６よりも上方のス
テージ面に配設されており、偏光板２２と偏光板２３は
４５°の角度で配置されている点において、図１に示す
ものと相違している。
【００１８】このものは、第１の光源８を消灯し、第２
の光源９を点灯した場合は、第１実施例とまったく同じ
であって、チップＰは図２に示すように明るい背景の中
に暗く観察される。
の光源９を点灯した場合は、第１実施例とまったく同じ
であって、チップＰは図２に示すように明るい背景の中
に暗く観察される。
【００１９】また第１の光源８を点灯し、第２の光源９
を消灯した場合、第１の光源８から照射された光は、ハ
ーフミラー６を透過した後、一定の振動方向の光Ｌ１の
みが第２の偏光板２３を透過する。またこの光Ｌ１は、
１／４波長板である第１の偏光板２２を透過する際に、
振動方向は４５°回転したうえで光拡散板２に反射さ
れ、反射光Ｌ２は再びこの第１の偏光板２２を透過する
が、その際、その振動方向は更に４５°回転するので、
この偏光板２２を往復透過する際に、合計９０°回転す
ることになる。次いでこの反射光Ｌ２は第２の偏光板２
３に再び入射するが、この反射光Ｌ２の振動方向は９０
°回転しているので、第２の偏光板２３を透過できず、
したがって光拡散板２は暗く観察される。また第１の光
源８からチップＰに照射された光は、チップＰの下面に
反射され、更にハーフミラー６に反射されてカメラ７に
入射する。したがってチップＰは図３に示すように暗い
背景の中に明るく観察される。このように偏光板の種類
や配設仕様は様々考えられるのであって、要は、図２及
び図３に示すように２つの明暗コントラストでチップＰ
を選択的に観察できるようにすればよい。
を消灯した場合、第１の光源８から照射された光は、ハ
ーフミラー６を透過した後、一定の振動方向の光Ｌ１の
みが第２の偏光板２３を透過する。またこの光Ｌ１は、
１／４波長板である第１の偏光板２２を透過する際に、
振動方向は４５°回転したうえで光拡散板２に反射さ
れ、反射光Ｌ２は再びこの第１の偏光板２２を透過する
が、その際、その振動方向は更に４５°回転するので、
この偏光板２２を往復透過する際に、合計９０°回転す
ることになる。次いでこの反射光Ｌ２は第２の偏光板２
３に再び入射するが、この反射光Ｌ２の振動方向は９０
°回転しているので、第２の偏光板２３を透過できず、
したがって光拡散板２は暗く観察される。また第１の光
源８からチップＰに照射された光は、チップＰの下面に
反射され、更にハーフミラー６に反射されてカメラ７に
入射する。したがってチップＰは図３に示すように暗い
背景の中に明るく観察される。このように偏光板の種類
や配設仕様は様々考えられるのであって、要は、図２及
び図３に示すように２つの明暗コントラストでチップＰ
を選択的に観察できるようにすればよい。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ノ
ズルに吸着されたチップの品種に応じて、第１の光源と
第２の光源を切り替えることにより、明るい背景の中に
チップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを
明るく観察することを選択することができる。
ズルに吸着されたチップの品種に応じて、第１の光源と
第２の光源を切り替えることにより、明るい背景の中に
チップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを
明るく観察することを選択することができる。
【図１】本発明の実施例１に係るチップの観察装置の側
面図
面図
【図２】本発明の実施例１に係るチップの画像図
【図３】本発明の実施例１に係るチップの画像図
【図４】本発明の実施例２に係るチップの観察装置の側
面図
面図
１ 移載ヘッド ２ 光拡散板 ３ 第１の偏光板 ４ ノズル ７ カメラ ８ 第１の光源 ９ 第２の光源 １０ 第２の偏光板 ２２ 第１の偏光板 ２３ 第２の偏光板
Claims (1)
- 【請求項１】ノズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向
かって光を照射する第１の光源及び第２の光源と、前記
移載ヘッドの下部に設けられた光拡散板と、この光拡散
板及び前記チップに反射された光が入射するカメラとを
備え、前記第１の光源の光の照射角度を、前記光拡散板
及び前記チップに共に照射される角度に設定するととも
に、この光の光路に光を吸収する第１の偏光板と第２の
偏光板を配設することにより、前記光拡散板に反射され
た光が前記カメラに入射しないようにし、また前記第２
の光源の光の照射角度を、前記光拡散板のみに光が照射
され且つ前記チップには照射されない角度としたことを
特徴とするチップの観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132139A JP2998420B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | チップの観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4132139A JP2998420B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | チップの観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05326660A JPH05326660A (ja) | 1993-12-10 |
| JP2998420B2 true JP2998420B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=15074278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4132139A Expired - Lifetime JP2998420B2 (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | チップの観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2998420B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021025821A (ja) * | 2019-08-01 | 2021-02-22 | 株式会社Pfu | 撮影装置および検査装置 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP4132139A patent/JP2998420B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05326660A (ja) | 1993-12-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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