JP3033350B2 - チップの観察装置 - Google Patents
チップの観察装置Info
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- JP3033350B2 JP3033350B2 JP4196643A JP19664392A JP3033350B2 JP 3033350 B2 JP3033350 B2 JP 3033350B2 JP 4196643 A JP4196643 A JP 4196643A JP 19664392 A JP19664392 A JP 19664392A JP 3033350 B2 JP3033350 B2 JP 3033350B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はチップの観察装置に係
り、詳しくは、チップの電極を明るい背景の中に暗く観
察することと、暗い背景の中に明るく観察することを選
択できるチップの観察装置に関する。
り、詳しくは、チップの電極を明るい背景の中に暗く観
察することと、暗い背景の中に明るく観察することを選
択できるチップの観察装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ，ＬＳＩ、抵抗チップ、コンデンサ
チップなどのチップタイプの電子部品（以下、「チッ
プ」という）を基板に自動搭載するチップマウンタは、
移載ヘッドのノズルの下端部にチップを真空吸着し、こ
のチップを基板の上方へ移送して、チップの電極を基板
の電極に合致させて搭載するようになっている。
チップなどのチップタイプの電子部品（以下、「チッ
プ」という）を基板に自動搭載するチップマウンタは、
移載ヘッドのノズルの下端部にチップを真空吸着し、こ
のチップを基板の上方へ移送して、チップの電極を基板
の電極に合致させて搭載するようになっている。
【０００３】この場合、チップの電極は基板の電極に正
しく合致させて搭載せねばならないことから、移載ヘッ
ドがチップを基板に搭載する前に、ノズルに吸着された
チップをカメラにより観察してチップの位置ずれ、殊に
その電極の位置ずれを光学的に検出し、検出された位置
ずれを補正したうえで、基板に搭載するようになってい
る。
しく合致させて搭載せねばならないことから、移載ヘッ
ドがチップを基板に搭載する前に、ノズルに吸着された
チップをカメラにより観察してチップの位置ずれ、殊に
その電極の位置ずれを光学的に検出し、検出された位置
ずれを補正したうえで、基板に搭載するようになってい
る。
【０００４】このようなチップの観察装置としては、例
えば特開平２−９９０００号公報に開示されているよう
に、移載ヘッドの下部に白色のアクリル樹脂板のような
光拡散板を設け、この光拡散板に向って下方から光を照
射し、その反射光を下方のカメラで受光する手段が知ら
れており、この手段によれば図３に示すように明るい背
景の中にチップＰの電極Ｌを暗く観察することができ
る。
えば特開平２−９９０００号公報に開示されているよう
に、移載ヘッドの下部に白色のアクリル樹脂板のような
光拡散板を設け、この光拡散板に向って下方から光を照
射し、その反射光を下方のカメラで受光する手段が知ら
れており、この手段によれば図３に示すように明るい背
景の中にチップＰの電極Ｌを暗く観察することができ
る。
【０００５】またこれとは反対に、移載ヘッドの下部に
暗色の光吸収板を設け、ノズルに真空吸着されたチップ
へ向って下方から光を照射して、下方のカメラで観察す
ることにより、図４に示すように暗い背景の中にチップ
Ｐの電極Ｌを明るく観察する手段が知られている。何れ
にせよ、チップの観察装置は、チップの電極とその背景
を明瞭な明暗のコントラストで観察することにより、電
極を明瞭に認識するようになっている。
暗色の光吸収板を設け、ノズルに真空吸着されたチップ
へ向って下方から光を照射して、下方のカメラで観察す
ることにより、図４に示すように暗い背景の中にチップ
Ｐの電極Ｌを明るく観察する手段が知られている。何れ
にせよ、チップの観察装置は、チップの電極とその背景
を明瞭な明暗のコントラストで観察することにより、電
極を明瞭に認識するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】移載ヘッドは、様々な
品種のチップを基板に移送搭載するものであり、チップ
の品種に応じて、図３及び図４に示す２つの明暗態様で
チップを観察することが望ましい。ところが従来、同一
の観察装置で前記２つの明暗態様で観察できる手段はな
かったため、図３に示すように電極Ｌを明るい背景の中
で暗く観察する手段か、又は図４に示すように暗い背景
の中で明るく観察する手段が択一的に採用されていた。
品種のチップを基板に移送搭載するものであり、チップ
の品種に応じて、図３及び図４に示す２つの明暗態様で
チップを観察することが望ましい。ところが従来、同一
の観察装置で前記２つの明暗態様で観察できる手段はな
かったため、図３に示すように電極Ｌを明るい背景の中
で暗く観察する手段か、又は図４に示すように暗い背景
の中で明るく観察する手段が択一的に採用されていた。
【０００７】そこで本発明は、チップの品種に応じて、
その電極を明るい背景の中に暗く観察することと、暗い
背景の中に明るく観察することがいずれも可能であっ
て、この２つの観察態様を簡単に選択できるチップの観
察装置を提供することを目的とする。
その電極を明るい背景の中に暗く観察することと、暗い
背景の中に明るく観察することがいずれも可能であっ
て、この２つの観察態様を簡単に選択できるチップの観
察装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、ノ
ズルの下端部に真空吸着されたチップの背後に配置され
た光反射板と、この光反射板の下部にこの光反射板に重
ねて配置されて複数種の光に対する透過率の異なるフィ
ルターと、このフィルター及び光反射板へ向かって複数
種の光を照射する光源と、この光の種類を切替える切替
手段と、前記フィルター及び光反射板に透過・反射され
た光が入射するカメラとを設けたものである。
ズルの下端部に真空吸着されたチップの背後に配置され
た光反射板と、この光反射板の下部にこの光反射板に重
ねて配置されて複数種の光に対する透過率の異なるフィ
ルターと、このフィルター及び光反射板へ向かって複数
種の光を照射する光源と、この光の種類を切替える切替
手段と、前記フィルター及び光反射板に透過・反射され
た光が入射するカメラとを設けたものである。
【０００９】
【作用】上記構成によれば、チップの品種などに応じて
光の種類を切替えることにより、チップの電極を明るい
背景の中に暗く観察することと、暗い背景の中に明るく
観察することを簡単に選択しながらチップを観察するこ
とができる。
光の種類を切替えることにより、チップの電極を明るい
背景の中に暗く観察することと、暗い背景の中に明るく
観察することを簡単に選択しながらチップを観察するこ
とができる。
【００１０】
（実施例１）次に、図面を参照しながら本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１１】図１はチップの観察装置の側面図である。
移載ヘッド１の下部には、例えばアルミニウム板のよう
な光反射板２が配置されており、またこの光反射板２の
下部には青色透明のフィルター３が重ねて設けられてい
る。この移載ヘッド１から下方へ突出するノズル４の下
端部には、ＱＦＰやＳＯＰのような電極としてのリード
Ｌを有するチップＰが真空吸着されている。光反射板２
とフィルター３は、ノズル４の下端部１に真空吸着され
たチップＰの背後に配置されている。本実施例では、光
反射板２とフィルター３は積層されているが、両者の間
にギャップを設けてもよい。この移載ヘッド１は、パー
ツフィーダ（図外）に備えられたチップＰをノズル４に
真空吸着してピックアップし、基板（図外）に移送搭載
するものであり、この移送の途中において、この観察装
置によりノズル４に吸着されたチップＰのリードＬの位
置ずれを検出する。
移載ヘッド１の下部には、例えばアルミニウム板のよう
な光反射板２が配置されており、またこの光反射板２の
下部には青色透明のフィルター３が重ねて設けられてい
る。この移載ヘッド１から下方へ突出するノズル４の下
端部には、ＱＦＰやＳＯＰのような電極としてのリード
Ｌを有するチップＰが真空吸着されている。光反射板２
とフィルター３は、ノズル４の下端部１に真空吸着され
たチップＰの背後に配置されている。本実施例では、光
反射板２とフィルター３は積層されているが、両者の間
にギャップを設けてもよい。この移載ヘッド１は、パー
ツフィーダ（図外）に備えられたチップＰをノズル４に
真空吸着してピックアップし、基板（図外）に移送搭載
するものであり、この移送の途中において、この観察装
置によりノズル４に吸着されたチップＰのリードＬの位
置ずれを検出する。
【００１２】５は移載ヘッド１の移動路の下方に設けら
れたケースであり、その内部にはハーフミラー６が４５
°傾斜して内蔵されており、またその側方にはハーフミ
ラー６に反射された光を受光するカメラ７が設けられて
いる。またハーフミラー６の背面には、移載ヘッド１へ
向って光を照射する光源８が設けられている。本実施例
ではこの光源８はＬＥＤであって、分光特性の異なる緑
色光と赤色光の２種類の光を選択的に照射する。９は緑
色光と赤色光を切替えるための切替手段としての制御部
である。勿論、緑色光の光源と赤色光の光源を別個に設
けてもよい。１０は補助板であって、上記光反射板２及
びフィルター３と同材質の光反射板２ａとフィルター３
ａを重ねて構成されている（図７も参照）。１３はノズ
ル４に嵌入させるためのスリットである。この補助板１
０はシリンダ１１のロッド１２に保持されており、ロッ
ド１２が突没することにより、移載ヘッド１の直下に前
進し、また側方へ退避する。この補助板１０の役目につ
いては後で説明する。
れたケースであり、その内部にはハーフミラー６が４５
°傾斜して内蔵されており、またその側方にはハーフミ
ラー６に反射された光を受光するカメラ７が設けられて
いる。またハーフミラー６の背面には、移載ヘッド１へ
向って光を照射する光源８が設けられている。本実施例
ではこの光源８はＬＥＤであって、分光特性の異なる緑
色光と赤色光の２種類の光を選択的に照射する。９は緑
色光と赤色光を切替えるための切替手段としての制御部
である。勿論、緑色光の光源と赤色光の光源を別個に設
けてもよい。１０は補助板であって、上記光反射板２及
びフィルター３と同材質の光反射板２ａとフィルター３
ａを重ねて構成されている（図７も参照）。１３はノズ
ル４に嵌入させるためのスリットである。この補助板１
０はシリンダ１１のロッド１２に保持されており、ロッ
ド１２が突没することにより、移載ヘッド１の直下に前
進し、また側方へ退避する。この補助板１０の役目につ
いては後で説明する。
【００１３】図２は緑色光Ｇと赤色光Ｒの分光特性と、
フィルター３の光の透過率ＢＦの特性を示している。図
示するように、緑色光Ｇのピーク波長は５６５nm付近で
あって、この波長付近に集中しているのに対し、赤色光
Ｒのピーク波長は６６０nm付近である。またフィルター
３の透過率は６１０nm付近以下で高く（８０％）、それ
以上では著しく低い（１０％）。したがってこのフィル
ター３は赤色光Ｒは殆ど透過しないが、緑色光Ｇは大部
分透過する。
フィルター３の光の透過率ＢＦの特性を示している。図
示するように、緑色光Ｇのピーク波長は５６５nm付近で
あって、この波長付近に集中しているのに対し、赤色光
Ｒのピーク波長は６６０nm付近である。またフィルター
３の透過率は６１０nm付近以下で高く（８０％）、それ
以上では著しく低い（１０％）。したがってこのフィル
ター３は赤色光Ｒは殆ど透過しないが、緑色光Ｇは大部
分透過する。
【００１４】図３は、赤色光Ｒを消灯し、緑色光Ｇを点
灯して、チップＰを観察した画像を示している。この画
像は、明るい背景の中で、チップＰは暗く観察される。
図５はその理由を示すものである。図５（ａ）は、光反
射板２の反射面（アルミニウムミラー面）の明るさを示
している。ハーフミラー６の透過率は０．５、フィルタ
ー３の透過率は０．８（図２参照）、反射板（アルミニ
ウムミラー）２の反射率は０．８である。したがって光
源８から照射された緑色光Ｇは、ハーフミラー６→フィ
ルター３→光反射板２→フィルター３→ハーフミラー６
を透過・反射してカメラ７に入射するので、緑色光Ｇの
有効率は各々の透過率及び反射率の積であり、次のとお
りである。
灯して、チップＰを観察した画像を示している。この画
像は、明るい背景の中で、チップＰは暗く観察される。
図５はその理由を示すものである。図５（ａ）は、光反
射板２の反射面（アルミニウムミラー面）の明るさを示
している。ハーフミラー６の透過率は０．５、フィルタ
ー３の透過率は０．８（図２参照）、反射板（アルミニ
ウムミラー）２の反射率は０．８である。したがって光
源８から照射された緑色光Ｇは、ハーフミラー６→フィ
ルター３→光反射板２→フィルター３→ハーフミラー６
を透過・反射してカメラ７に入射するので、緑色光Ｇの
有効率は各々の透過率及び反射率の積であり、次のとお
りである。
【００１５】積（有効率）＝０．５×０．８×０．８×
０．８×０．５＝０．１２８ また光源８からリードＬ（反射率０．１）へ照射された
緑色光Ｇは、ハーフミラー６→リードＬ→ハーフミラー
６を通過してカメラ７に入射するので、有効率は次のと
おりである（図５（ｂ）も参照）。
０．８×０．５＝０．１２８ また光源８からリードＬ（反射率０．１）へ照射された
緑色光Ｇは、ハーフミラー６→リードＬ→ハーフミラー
６を通過してカメラ７に入射するので、有効率は次のと
おりである（図５（ｂ）も参照）。
【００１６】 積（有効率）＝０．５×０．１×０．５＝０．０２５ すなわち、チップＰのバックプレートであるアルミニウ
ムミラー面（光反射板２）の有効率０．１２８は、リー
ドＬの有効率０．０２５よりも相対的にきわめて大きい
ので、図３に示すようにチップＰのリードＬは明るい背
景の中に暗く観察される。なおチップＰのモールド体Ｍ
は、黒色であって光を吸収するので、リードＬと同様に
暗く観察される。
ムミラー面（光反射板２）の有効率０．１２８は、リー
ドＬの有効率０．０２５よりも相対的にきわめて大きい
ので、図３に示すようにチップＰのリードＬは明るい背
景の中に暗く観察される。なおチップＰのモールド体Ｍ
は、黒色であって光を吸収するので、リードＬと同様に
暗く観察される。
【００１７】また緑色光Ｇを消灯して赤色光Ｒを点灯し
た場合は、図４に示すようにチップＰは暗い背景の中に
明るく観察される。この場合、フィルタ３の赤色光Ｒの
透過率は０．１であって（図２参照）、光反射板２の反
射面（アルミニウムミラー面）の有効率は０．００２、
リードＬの有効率は図５（ｂ）の場合とまったく同様に
０．０２５である。したがってリードＬの有効率０．０
２５はそのバックプレートであるアルミニウムミラー面
（光反射板２）の有効率０．００２よりも相対的にきわ
めて大きいので、図４に示すようにチップＰのリードＬ
は暗い背景の中に明るく観察される。
た場合は、図４に示すようにチップＰは暗い背景の中に
明るく観察される。この場合、フィルタ３の赤色光Ｒの
透過率は０．１であって（図２参照）、光反射板２の反
射面（アルミニウムミラー面）の有効率は０．００２、
リードＬの有効率は図５（ｂ）の場合とまったく同様に
０．０２５である。したがってリードＬの有効率０．０
２５はそのバックプレートであるアルミニウムミラー面
（光反射板２）の有効率０．００２よりも相対的にきわ
めて大きいので、図４に示すようにチップＰのリードＬ
は暗い背景の中に明るく観察される。
【００１８】ところで、大形のチップＰの場合、リード
Ｌが光反射板２やフィルター３から側方へばり出してし
まう。この場合には、シリンダ１１のロッド１２を突出
させて補助板１０をチップＰの直上へ前進させて、チッ
プＰの上方をこの補助板１０でカバーする。この補助板
１０も、上記光反射板２及びフィルター３と同材質の反
射板２ａ，フィルター３ａを重ねて形成しているので、
図５及び図６に示した場合と同様の有効率が得られ、図
３及び図４に示すようにチップＰが観察される。
Ｌが光反射板２やフィルター３から側方へばり出してし
まう。この場合には、シリンダ１１のロッド１２を突出
させて補助板１０をチップＰの直上へ前進させて、チッ
プＰの上方をこの補助板１０でカバーする。この補助板
１０も、上記光反射板２及びフィルター３と同材質の反
射板２ａ，フィルター３ａを重ねて形成しているので、
図５及び図６に示した場合と同様の有効率が得られ、図
３及び図４に示すようにチップＰが観察される。
【００１９】（実施例２）図８は他の実施例のチップの
観察装置の側面図である。光反射板２とフィルター３の
形状は、斜下方から照射された光を下方へ反射できる形
状、すなわちＶ字状若しくは円錐状となっている。２０
はランプケースであって、その上面には第１の光源２１
と第２の光源２２が設けられている。第１の光源２１は
緑色光Ｇ（ピーク波長５６５nm）を発光し、第２の光源
は赤色光Ｒ（ピーク波長６６０nm）の光を発光する。光
反射板２及びフィルター３がＶ字状の場合は、光源２
１、２２はライン状の光源が用いられ、また反射板２及
びフィルター３が円錐状の場合は、リング状の光源が用
いられる。
観察装置の側面図である。光反射板２とフィルター３の
形状は、斜下方から照射された光を下方へ反射できる形
状、すなわちＶ字状若しくは円錐状となっている。２０
はランプケースであって、その上面には第１の光源２１
と第２の光源２２が設けられている。第１の光源２１は
緑色光Ｇ（ピーク波長５６５nm）を発光し、第２の光源
は赤色光Ｒ（ピーク波長６６０nm）の光を発光する。光
反射板２及びフィルター３がＶ字状の場合は、光源２
１、２２はライン状の光源が用いられ、また反射板２及
びフィルター３が円錐状の場合は、リング状の光源が用
いられる。
【００２０】ランプケース２０は鏡筒２３に支持されて
おり、鏡筒２３の下部にはカメラ７が配置されている。
この第１の光源２１と第２の光源２２からの光の照射
は、制御部９により切替えられる。
おり、鏡筒２３の下部にはカメラ７が配置されている。
この第１の光源２１と第２の光源２２からの光の照射
は、制御部９により切替えられる。
【００２１】第１の光源２１を点灯し、第２の光源２２
を消灯した場合、第１の光源２１から照射された緑色光
Ｇは、フィルター３→反射板２→フィルターを通過して
カメラに入射するので、その有効率は次のとおりであ
る。
を消灯した場合、第１の光源２１から照射された緑色光
Ｇは、フィルター３→反射板２→フィルターを通過して
カメラに入射するので、その有効率は次のとおりであ
る。
【００２２】 積（有効率）＝０．８×０．８×０．８＝０．５１２ またリードＬの反射率（有効率）は上述のように０．１
である。したがってこの場合、リードＬは図３に示すよ
うに明るい背景の中に暗く観察される。
である。したがってこの場合、リードＬは図３に示すよ
うに明るい背景の中に暗く観察される。
【００２３】また第１の光源２１を消灯し、第２の光源
２２を点灯した場合、第２の光源２２から照射された赤
色光Ｒは、フィルター３→反射板２→フィルター３を通
過してカメラ７に入射するので、その有効率は次のとお
りである。
２２を点灯した場合、第２の光源２２から照射された赤
色光Ｒは、フィルター３→反射板２→フィルター３を通
過してカメラ７に入射するので、その有効率は次のとお
りである。
【００２４】 積（有効率）＝０．１×０．８×０．１＝０．００８ またリードＬの反射率（有効率）は０．１であるので、
この場合、リードＬは図４に示すように暗い背景の中に
明るく観察される。
この場合、リードＬは図４に示すように暗い背景の中に
明るく観察される。
【００２５】（実施例３）図９に示す反射板２とフィル
ター３は、実施例２と同様のものである。またこのもの
は、緑色光Ｇを発光する第１の光源２４は移載ヘッド１
の側方に設けられており、また赤色光Ｒを発光する第２
の光源２５は移載ヘッド１の下方に設けられている。
ター３は、実施例２と同様のものである。またこのもの
は、緑色光Ｇを発光する第１の光源２４は移載ヘッド１
の側方に設けられており、また赤色光Ｒを発光する第２
の光源２５は移載ヘッド１の下方に設けられている。
【００２６】このものの作用は実施例２のものとまった
く同じものであって、第１の光源２４を点灯すると、リ
ードＬは図３に示すように明るい背景の中に暗く観察さ
れ、また第２の光源２５を点灯すると、図４に示すよう
に暗い背景の中に明るく観察される。このように光学系
は種々のものが考えられる。
く同じものであって、第１の光源２４を点灯すると、リ
ードＬは図３に示すように明るい背景の中に暗く観察さ
れ、また第２の光源２５を点灯すると、図４に示すよう
に暗い背景の中に明るく観察される。このように光学系
は種々のものが考えられる。
【００２７】本発明は上記実施例に限定されないのであ
って、例えば光源としては、緑色光や赤色光以外のもの
でもよく、要は分光特性の異なる複数種の光を照射する
光源を使用して移載ヘッド１側へ照射される光の種類を
切替えることにより、図３及び図４で示す２つの明暗コ
ントラストでチップを観察できるようにすればよいもの
である。また上記実施例では、ＱＦＰのようなリード付
チップを例にとって説明したが、本発明はコンデンサチ
ップや抵抗チップなどの電極の観察手段にも適用できる
ことは言うまでもない。
って、例えば光源としては、緑色光や赤色光以外のもの
でもよく、要は分光特性の異なる複数種の光を照射する
光源を使用して移載ヘッド１側へ照射される光の種類を
切替えることにより、図３及び図４で示す２つの明暗コ
ントラストでチップを観察できるようにすればよいもの
である。また上記実施例では、ＱＦＰのようなリード付
チップを例にとって説明したが、本発明はコンデンサチ
ップや抵抗チップなどの電極の観察手段にも適用できる
ことは言うまでもない。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、ノズルに吸着されたチ
ップの品種に応じて移載ヘッド側へ照射される光の種類
を切替えるという簡単な操作により、明るい背景の中に
チップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを
明るく観察することを簡単に選択でき、しかも全体をコ
ンパクトに構成することができる。
ップの品種に応じて移載ヘッド側へ照射される光の種類
を切替えるという簡単な操作により、明るい背景の中に
チップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを
明るく観察することを簡単に選択でき、しかも全体をコ
ンパクトに構成することができる。
【図１】本発明の一実施例に係るチップの観察装置の側
面図
面図
【図２】本発明の一実施例に係るフィルターの光透過率
と分光特性図
と分光特性図
【図３】本発明の一実施例に係るチップの画像図
【図４】本発明の一実施例に係るチップの画像図
【図５】（ａ）本発明の一実施例に係る光の有効率の計
算図 （ｂ）本発明の一実施例に係る光の有効率の計算図
算図 （ｂ）本発明の一実施例に係る光の有効率の計算図
【図６】本発明の一実施例に係る光の有効率の計算図
【図７】本発明の一実施例に係る補助板の前進状態での
移載ヘッドの斜視図
移載ヘッドの斜視図
【図８】本発明の他の実施例に係るチップの観察装置の
側面図
側面図
【図９】本発明の他の実施例に係るチップの観察装置の
側面図
側面図
１ 移載ヘッド ２ 光反射板 ３ フィルター ４ ノズル ７ カメラ ８，２１，２２，２４，２５ 光源 ９ 切替手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 G01N 21/88 G01B 11/00 - 11/30 H05K 13/04 H05K 13/08
Claims (1)
- 【請求項１】ノズルの下端部に真空吸着されたチップの
背後に配置された光反射板と、この光反射板の下部にこ
の光反射板に重ねて配置されて複数種の光に対する透過
率の異なるフィルターと、このフィルター及び光反射板
へ向かって複数種の光を照射する光源と、この光の種類
を切替える切替手段と、前記フィルター及び光反射板に
透過・反射された光が入射することにより前記チップの
電極を観察するカメラとを備えたことを特徴とするチッ
プの観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4196643A JP3033350B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | チップの観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4196643A JP3033350B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | チップの観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0643102A JPH0643102A (ja) | 1994-02-18 |
| JP3033350B2 true JP3033350B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=16361189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4196643A Expired - Lifetime JP3033350B2 (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | チップの観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3033350B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-07-23 JP JP4196643A patent/JP3033350B2/ja not_active Expired - Lifetime
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