JPH03178174A - 積層型圧電アクチュエータ素子 - Google Patents
積層型圧電アクチュエータ素子Info
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- JPH03178174A JPH03178174A JP1316449A JP31644989A JPH03178174A JP H03178174 A JPH03178174 A JP H03178174A JP 1316449 A JP1316449 A JP 1316449A JP 31644989 A JP31644989 A JP 31644989A JP H03178174 A JPH03178174 A JP H03178174A
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- Japan
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- inner electrodes
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- piezoelectric actuator
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Rear-View Mirror Devices That Are Mounted On The Exterior Of The Vehicle (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
積層型圧電アクチュエータ素子の改良に関し、内部電極
間の絶縁性を十分に確保して素子の信頼性を向上させる
ことを目的とし、 多数の圧電セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積
層して成る積層体を用いて構成され、該積層体の全周面
が鏡面状態となっている構成とする。
間の絶縁性を十分に確保して素子の信頼性を向上させる
ことを目的とし、 多数の圧電セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積
層して成る積層体を用いて構成され、該積層体の全周面
が鏡面状態となっている構成とする。
本発明は積層型圧電アクチュエータ素子の改良に関する
ものである。
ものである。
最近ワイヤドツトインパクトプリンタ用印字ヘッドのア
クチュエータとして積層型圧電アクチュエータ素子が採
用されつつあるが、拡大機構の負荷を少なくするため高
電圧で駆動されることが多く、温度、湿度に対する十分
な信頼性が要求されている。このため、電極間の絶縁耐
圧性能を向上させる必要がある。
クチュエータとして積層型圧電アクチュエータ素子が採
用されつつあるが、拡大機構の負荷を少なくするため高
電圧で駆動されることが多く、温度、湿度に対する十分
な信頼性が要求されている。このため、電極間の絶縁耐
圧性能を向上させる必要がある。
積層型圧電アクチュエータ素子は、片側の表面に内部電
極となる金属ペースト膜が形威された複数枚の圧電セラ
ミックスのグリーンシートを積層した積層体を形威し、
これを焼成することによって得られる。
極となる金属ペースト膜が形威された複数枚の圧電セラ
ミックスのグリーンシートを積層した積層体を形威し、
これを焼成することによって得られる。
この場合、従来は、焼成後の積層体をダイシングマシン
で所定の寸法に切断したままである。
で所定の寸法に切断したままである。
このような工程で製造される従来の積層型圧電アクチュ
エータ素子においては、周面の面精度が十分であり、内
部電極付近では、内部電極材料に銀主体の合金が多く使
用されていることから、内部電極材料のぼり、かえり等
が見られる場合がある。さらに、切断面に生じる凹凸の
突起部から放電する可能性があり、素子破壊の原因とな
っている。また、表面に凹凸が残ることによって表面積
が増えて微細なごみが付着し易くなり、そのごみが核と
なって水分を凝集するといった現象が生じる。このよう
に内部電極材料及び圧電セラミックス仮にぼり、かえり
、突起状の凹凸部等が生したり、そのためにセラミック
ス表面に空気中の水分が凝集したりすると、内部電極間
の間隙が正常に保たれなくなったり放電による短絡が発
生したりして、使用中に素子が破壊するといった問題を
生じていた。
エータ素子においては、周面の面精度が十分であり、内
部電極付近では、内部電極材料に銀主体の合金が多く使
用されていることから、内部電極材料のぼり、かえり等
が見られる場合がある。さらに、切断面に生じる凹凸の
突起部から放電する可能性があり、素子破壊の原因とな
っている。また、表面に凹凸が残ることによって表面積
が増えて微細なごみが付着し易くなり、そのごみが核と
なって水分を凝集するといった現象が生じる。このよう
に内部電極材料及び圧電セラミックス仮にぼり、かえり
、突起状の凹凸部等が生したり、そのためにセラミック
ス表面に空気中の水分が凝集したりすると、内部電極間
の間隙が正常に保たれなくなったり放電による短絡が発
生したりして、使用中に素子が破壊するといった問題を
生じていた。
本発明は、内部電極間の絶縁性を十分に確保して素子の
信頼性を向上させることのできる積層型圧電アクチュエ
ータ素子を提供することを目的としている。
信頼性を向上させることのできる積層型圧電アクチュエ
ータ素子を提供することを目的としている。
（課題を解決するための手段〕
上述の目的を達成するため、本発明では、多数の圧電セ
ラ２ツクス板をそれぞれ内部電極を介し積層して成る積
層体を用いて構成され、該積層体の全周面が鏡面状態に
なっている構成とする。
ラ２ツクス板をそれぞれ内部電極を介し積層して成る積
層体を用いて構成され、該積層体の全周面が鏡面状態に
なっている構成とする。
［作 用］
積層体の全周面が鏡面状態となっており、内部電極のぼ
り、かえりやセラミックス表面の凹凸はなくなっている
ので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気中の水
分が凝縮するときの核となるような微細なごみの付着を
排除し、高電圧で駆動しても安定した電気絶縁性を得る
ことができる。
り、かえりやセラミックス表面の凹凸はなくなっている
ので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気中の水
分が凝縮するときの核となるような微細なごみの付着を
排除し、高電圧で駆動しても安定した電気絶縁性を得る
ことができる。
〔実施例］
以下、図面に関連して本発明の詳細な説明する。
第１図は本例の積層型圧電アクチュエータ素子１の外観
を示す斜視図で、圧電アクチュエータ素子１は、多数の
圧電セラミックス板２をそれぞれ内部電極３を介しＭｉ
層して成る積層体４の周面４ａ、４ｂに、上下に伸びる
外部電極（図示せず）をそれぞれ形成して構成される。
を示す斜視図で、圧電アクチュエータ素子１は、多数の
圧電セラミックス板２をそれぞれ内部電極３を介しＭｉ
層して成る積層体４の周面４ａ、４ｂに、上下に伸びる
外部電極（図示せず）をそれぞれ形成して構成される。
積層体４は、片側の表面に内部電極となる金属ペースト
膜が形成された複数枚の圧電セラミツクスのグリーンシ
ートを積層し、これを焼成することによって得られるが
、本発明では、該積層体４の周面４ａ、４ｂを含む全周
面が鏡面状態となっている。これは、上記焼成完了後に
所定す・ｆズに切断した後、全周面にラップ加工、ポリ
ッシング加工を順次施し、超音波洗浄後乾燥させること
によって実現される。
膜が形成された複数枚の圧電セラミツクスのグリーンシ
ートを積層し、これを焼成することによって得られるが
、本発明では、該積層体４の周面４ａ、４ｂを含む全周
面が鏡面状態となっている。これは、上記焼成完了後に
所定す・ｆズに切断した後、全周面にラップ加工、ポリ
ッシング加工を順次施し、超音波洗浄後乾燥させること
によって実現される。
加工は、内部電極３及び圧電セラミックス板２が平行に
積層された方向に沿って行い、１．Ｏ３以上の表面精度
を得ることができる。各外部電極は、各内部電極３に交
互に接続している。
積層された方向に沿って行い、１．Ｏ３以上の表面精度
を得ることができる。各外部電極は、各内部電極３に交
互に接続している。
この圧電アクチュエータ素子１は、実際には、内部電極
の絶縁コーティング（外部電極との絶縁を要する部分に
施す）、外部電極付け、上、下接続部材５，６の取り付
け、素子全面の絶縁、防湿コーティング処理を施して使
用可能なものとなる。
の絶縁コーティング（外部電極との絶縁を要する部分に
施す）、外部電極付け、上、下接続部材５，６の取り付
け、素子全面の絶縁、防湿コーティング処理を施して使
用可能なものとなる。
第２図（ｂ）は鏡面状態の素子表面を示し、該素子表面
には凹凸がなく、外部電極３のぼり、かえりもない。こ
れは、上述の表面加工によって実現されるものである。
には凹凸がなく、外部電極３のぼり、かえりもない。こ
れは、上述の表面加工によって実現されるものである。
一方、従来の素子表面には、第２図（ａ）に示すように
、１１０〜１１５μｍ程度の多くの凹凸７と内部電極３
のぼり（かえり）８とが見られ、素子破壊の原因となっ
ている。この第２図（ａ）、 （ｂ）の対比に明らかな
ように、本発明の素子の積層体４０表面は鏡面状態とな
っており、従来存在していたぼり、かえりや凹凸がなく
なっているので、内部電極の間隙を正常に保つとともに
空気中の水分が凝縮するときの核となるような微細なご
みの付着を排除し、素子を高電圧で駆動しても絶縁破壊
を起こすことはなく、安定した電気絶縁性を得ることが
できる。
、１１０〜１１５μｍ程度の多くの凹凸７と内部電極３
のぼり（かえり）８とが見られ、素子破壊の原因となっ
ている。この第２図（ａ）、 （ｂ）の対比に明らかな
ように、本発明の素子の積層体４０表面は鏡面状態とな
っており、従来存在していたぼり、かえりや凹凸がなく
なっているので、内部電極の間隙を正常に保つとともに
空気中の水分が凝縮するときの核となるような微細なご
みの付着を排除し、素子を高電圧で駆動しても絶縁破壊
を起こすことはなく、安定した電気絶縁性を得ることが
できる。
以上述べたように、本発明によれば、素子駆動時におけ
る絶縁破壊を防止して素子の信頼性を向上させることが
できる。その結果、高電圧駆動においても温度、湿度の
変動に対して安定して使用することが可能となる。
る絶縁破壊を防止して素子の信頼性を向上させることが
できる。その結果、高電圧駆動においても温度、湿度の
変動に対して安定して使用することが可能となる。
第１図は本発明の実施例の積層型圧電アクチュエータ素
子の外観を示す斜視図、 第２図（ａ）、 （ｂ）は本発明の効果説明図で、図中
、 １は圧電アクチュエータ素子、 ２は圧電セラミックス板、 ３は内部電極、 ４は積層体である。
子の外観を示す斜視図、 第２図（ａ）、 （ｂ）は本発明の効果説明図で、図中
、 １は圧電アクチュエータ素子、 ２は圧電セラミックス板、 ３は内部電極、 ４は積層体である。
Claims (1)
- 多数の圧電セラミックス板（２）をそれぞれ内部電極
（３）を介し積層して成る積層体（４）を用いて構成さ
れ、該積層体（４）の全周面が鏡面状態になっているこ
とを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316449A JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316449A JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03178174A true JPH03178174A (ja) | 1991-08-02 |
| JP2516439B2 JP2516439B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=18077212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1316449A Expired - Fee Related JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516439B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039191A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007232542A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
-
1989
- 1989-12-07 JP JP1316449A patent/JP2516439B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039191A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007232542A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2516439B2 (ja) | 1996-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |