JP2516439B2 - 積層型圧電アクチュエ―タ素子 - Google Patents
積層型圧電アクチュエ―タ素子Info
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- JP2516439B2 JP2516439B2 JP1316449A JP31644989A JP2516439B2 JP 2516439 B2 JP2516439 B2 JP 2516439B2 JP 1316449 A JP1316449 A JP 1316449A JP 31644989 A JP31644989 A JP 31644989A JP 2516439 B2 JP2516439 B2 JP 2516439B2
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- JP
- Japan
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- piezoelectric actuator
- actuator element
- laminated
- internal electrodes
- laminated body
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- Rear-View Mirror Devices That Are Mounted On The Exterior Of The Vehicle (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 積層型圧電アクチュエータ素子の改良に関し、 内部電極間の絶縁性を十分に確保して素子の信頼性を向
上させることを目的とし、 多数の圧電セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積
層して成る積層体を用いて構成され、該積層体の全周面
が鏡面状態となっている構成とする。
上させることを目的とし、 多数の圧電セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積
層して成る積層体を用いて構成され、該積層体の全周面
が鏡面状態となっている構成とする。
〔産業上の利用分野〕 本発明は積層型圧電アクチュエータ素子の改良に関す
るものである。
るものである。
最近ワイヤドットインパクトプリンタ用印字ヘッドの
アクチュエータとして積層型圧電アクチュエータ素子が
採用されつつあるが、拡大機構の負荷を少なくするため
高電圧で駆動されることが多く、温度、湿度に対する十
分な信頼性が要求されている。このため、電極間の絶縁
耐圧性能を向上させる必要がある。
アクチュエータとして積層型圧電アクチュエータ素子が
採用されつつあるが、拡大機構の負荷を少なくするため
高電圧で駆動されることが多く、温度、湿度に対する十
分な信頼性が要求されている。このため、電極間の絶縁
耐圧性能を向上させる必要がある。
積層型圧電アクチュエータ素子は、片側の表面に内部
電極となる金属ペースト膜が形成された複数枚の圧電セ
ラミックスのグリーンシートを積層した積層体を形成
し、これを焼成することによって得られる。
電極となる金属ペースト膜が形成された複数枚の圧電セ
ラミックスのグリーンシートを積層した積層体を形成
し、これを焼成することによって得られる。
この場合、従来は、焼成後の積層体をダイシングマシ
ンで所定の寸法に切断したままである。
ンで所定の寸法に切断したままである。
このような工程で製造される従来の積層型圧電アクチ
ュエータ素子においては、周面の面精度が十分であり、
内部電極付近では、内部電極材料に銀主体の合金が多く
使用されていることから、内部電極材料のばり，かえり
等が見られる場合がある。さらに、切断面に生じる凹凸
の突起部から放電する可能性があり、素子破壊の原因と
なっている。また、表面に凹凸が残ることによって表面
積が増えて微細なごみが付着し易くなり、そのごみが核
となって水分を凝集するといった現象が生じる。このよ
うに内部電極材料及び圧電セラミックス板にばり，かえ
り，突起状の凹凸部等が生じたり、そのためにセラミッ
クス表面に空気中の水分が凝集したりすると、内部電極
間の間隙が正常に保たれなくなったり放電による短絡が
発生したりして、使用中に素子が破壊するといった問題
を生じていた。
ュエータ素子においては、周面の面精度が十分であり、
内部電極付近では、内部電極材料に銀主体の合金が多く
使用されていることから、内部電極材料のばり，かえり
等が見られる場合がある。さらに、切断面に生じる凹凸
の突起部から放電する可能性があり、素子破壊の原因と
なっている。また、表面に凹凸が残ることによって表面
積が増えて微細なごみが付着し易くなり、そのごみが核
となって水分を凝集するといった現象が生じる。このよ
うに内部電極材料及び圧電セラミックス板にばり，かえ
り，突起状の凹凸部等が生じたり、そのためにセラミッ
クス表面に空気中の水分が凝集したりすると、内部電極
間の間隙が正常に保たれなくなったり放電による短絡が
発生したりして、使用中に素子が破壊するといった問題
を生じていた。
本発明は、内部電極間の絶縁性を十分に確保して素子
の信頼性を向上させることのできる積層型圧電アクチュ
エータ素子を提供することを目的としている。
の信頼性を向上させることのできる積層型圧電アクチュ
エータ素子を提供することを目的としている。
上述の目的を達成するため、本発明では、多数の圧電
セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積層して成る
積層体を用いて構成され、該積層体の全周面が鏡面状態
になっている構成とする。
セラミックス板をそれぞれ内部電極を介し積層して成る
積層体を用いて構成され、該積層体の全周面が鏡面状態
になっている構成とする。
積層体の全周面が鏡面状態となっており、内部電極の
ばり，かえりやセラミックス表面の凹凸はなくなってい
るので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気中の
水分が凝縮するときの核となるような微細なごみの付着
を排除し、高電圧で駆動しても安定した電気絶縁性を得
ることができる。
ばり，かえりやセラミックス表面の凹凸はなくなってい
るので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気中の
水分が凝縮するときの核となるような微細なごみの付着
を排除し、高電圧で駆動しても安定した電気絶縁性を得
ることができる。
以下、図面に関連して本発明の実施例を説明する。
第１図は本例の積層型圧電アクチュエータ素子１の外
観を示す斜視図で、圧電アクチュエータ素子１は、多数
の圧電セラミックス板２をそれぞれ内部電極３を介し積
層して成る積層体４の周面4a,4bに、上下に伸びる外部
電極（図示せず）をそれぞれ形成して構成される。積層
体４は、片側の表面に内部電極となる金属ペースト膜が
形成された複数枚の圧電セラミックスのグリーンシート
を積層し、これを焼成することによって得られるが、本
発明では、該積層体４の周面4a,4bを含む全周面が鏡面
状態となっている。これは、上記焼成完了後に所定サイ
ズに切断した後、全周面にラップ加工、ポリッシング加
工を順次施し、超音波洗浄後乾燥させることによって実
現される。加工は、内部電極３及び圧電セラミックス板
２が平行に積層された方向に沿って行い、1.0S以上の表
面精度を得ることができる。各外部電極は、各内部電極
３に交互に接続している。
観を示す斜視図で、圧電アクチュエータ素子１は、多数
の圧電セラミックス板２をそれぞれ内部電極３を介し積
層して成る積層体４の周面4a,4bに、上下に伸びる外部
電極（図示せず）をそれぞれ形成して構成される。積層
体４は、片側の表面に内部電極となる金属ペースト膜が
形成された複数枚の圧電セラミックスのグリーンシート
を積層し、これを焼成することによって得られるが、本
発明では、該積層体４の周面4a,4bを含む全周面が鏡面
状態となっている。これは、上記焼成完了後に所定サイ
ズに切断した後、全周面にラップ加工、ポリッシング加
工を順次施し、超音波洗浄後乾燥させることによって実
現される。加工は、内部電極３及び圧電セラミックス板
２が平行に積層された方向に沿って行い、1.0S以上の表
面精度を得ることができる。各外部電極は、各内部電極
３に交互に接続している。
この圧電アクチュエータ素子１は、実際には、内部電
極の絶縁コーティング（外部電極との絶縁を要する部分
に施す）、外部電極付け、上，下接続部材5,6の取り付
け、素子全面の絶縁、防湿コーティング処理を施して使
用可能なものとなる。
極の絶縁コーティング（外部電極との絶縁を要する部分
に施す）、外部電極付け、上，下接続部材5,6の取り付
け、素子全面の絶縁、防湿コーティング処理を施して使
用可能なものとなる。
第２図（ｂ）は鏡面状態の素子表面を示し、該素子表
面には凹凸がなく、外部電極３のばり，かえりもない。
これは、上述の表面加工によって実現されるものであ
る。一方、従来の素子表面には、第２図（ａ）に示すよ
うに、110〜115μｍ程度の多くの凹凸７と内部電極３の
ばり（かえり）８とが見られ、素子破壊の原因となって
いる。この第２図（ａ），（ｂ）の対比に明らかなよう
に、本発明の素子の積層体４の表面は鏡面状態となって
おり、従来存在していたばり、かえりや凹凸がなくなっ
ているので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気
中の水分が凝縮するときの核となるような微細なごみの
付着を排除し、素子を高電圧で駆動しても絶縁破壊を起
こすことはなく、安定した電気絶縁性を得ることができ
る。
面には凹凸がなく、外部電極３のばり，かえりもない。
これは、上述の表面加工によって実現されるものであ
る。一方、従来の素子表面には、第２図（ａ）に示すよ
うに、110〜115μｍ程度の多くの凹凸７と内部電極３の
ばり（かえり）８とが見られ、素子破壊の原因となって
いる。この第２図（ａ），（ｂ）の対比に明らかなよう
に、本発明の素子の積層体４の表面は鏡面状態となって
おり、従来存在していたばり、かえりや凹凸がなくなっ
ているので、内部電極の間隙を正常に保つとともに空気
中の水分が凝縮するときの核となるような微細なごみの
付着を排除し、素子を高電圧で駆動しても絶縁破壊を起
こすことはなく、安定した電気絶縁性を得ることができ
る。
以上述べたように、本発明によれば、素子駆動時にお
ける絶縁破壊を防止して素子の信頼性を向上させること
ができる。その結果、高電圧駆動においても温度、湿度
の変動に対して安定して使用することが可能となる。
ける絶縁破壊を防止して素子の信頼性を向上させること
ができる。その結果、高電圧駆動においても温度、湿度
の変動に対して安定して使用することが可能となる。
第１図は本発明の実施例の積層型圧電アクチュエータ素
子の外観を示す斜視図、 第２図（ａ），（ｂ）は本発明の効果説明図で、 図中、 １は圧電アクチュエータ素子、 ２は圧電セラミックス板、 ３は内部電極、 ４は積層体である。
子の外観を示す斜視図、 第２図（ａ），（ｂ）は本発明の効果説明図で、 図中、 １は圧電アクチュエータ素子、 ２は圧電セラミックス板、 ３は内部電極、 ４は積層体である。
Claims (1)
- 【請求項１】多数の圧電セラミックス板（２）をそれぞ
れ内部電極（３）を介し積層して成る積層体（４）を用
いて構成され、該積層体（４）の全周面が鏡面状態にな
っていることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316449A JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316449A JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03178174A JPH03178174A (ja) | 1991-08-02 |
| JP2516439B2 true JP2516439B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=18077212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1316449A Expired - Fee Related JP2516439B2 (ja) | 1989-12-07 | 1989-12-07 | 積層型圧電アクチュエ―タ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516439B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005039191A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Kyocera Corp | 積層型電子部品およびこれを用いた噴射装置 |
| JP2007232542A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
-
1989
- 1989-12-07 JP JP1316449A patent/JP2516439B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03178174A (ja) | 1991-08-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |