JP4280321B2 - 圧電ユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、アクチュエータ等に使用され且つ積層型圧電素子を複数個接合してなる圧電ユニットとその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
圧電素子は、微小位置決め性や高速応答性を有することから、従来にないアクチュエータとして多方面で用いられてきている。圧電素子は、単板型ではアクチュエータとして使用するには駆動電圧が高く、変位量が少ない。このため、アクチュエータ用には、圧電セラミックスと内部電極とを多数積層した積層型の圧電素子が製造されている。
【0003】
しかし、積層型圧電素子であっても、用途によっては、変位量が不足する場合がある。このような場合、積層型圧電素子を複数個接合して一体化した圧電ユニットを形成し、必要な変位量を得ている。
【0004】
図12に示されるように、積層型圧電素子は、内部電極4が印刷され且つ変位する活性部1と、内部電極が印刷されず変位しない不活性部2が存在する。また、圧電素子の両端部にはそれぞれ内部電極が存在しない保護層3が形成され、保護層3の表面が変位取り出し面5として利用される。図12に斜線部により表わされる不活性部2と保護層3は共に変位しないため、これら不活性部2及び保護層3によって活性部1の変位が阻害され、変位取り出し面5の変位には分布が生じている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このように、変位取り出し面5の変位に分布が生じるため、変位取り出し面5の全面に接着剤を塗布して二つ積層型圧電素子を接合し圧電ユニットを形成した場合、接着面の中心に圧縮応力、周辺部に引っ張り応力がそれぞれ作用する。このことにより圧電ユニットの変位の低下や素子の信頼性低下の虞れがあった。従って、内部に応力が発生しない圧電ユニットの実現が強く望まれていた。
【0006】
この発明は、積層型圧電素子を複数個接合した圧電ユニットであって、接合による変位阻害が少なく、内部応力の発生が起こりにくい圧電ユニット及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る圧電ユニットは、積層型圧電素子を複数個接合して得られる圧電ユニットにおいて、各積層型圧電素子はその正方形状の変位取り出し面にて互いに接着され、変位取り出し面の接着剤を塗布する部分は、変位取り出し面の外辺の各辺と塗布する接着剤の端部が接触する円形の形状であり、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有するものである。
【0008】
又、この発明に係る圧電ユニットは、積層型圧電素子を複数個接合して得られる圧電ユニットにおいて、各積層型圧電素子はその正方形状の変位取り出し面にて互いに接着され、変位取り出し面の接着剤を塗布する部分は変位取り出し面の外辺の一辺における長さより長い直径からなる円と変位取り出し面が重なる部分であり、積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有し、且つ変位取り出し面の四隅に接着剤を塗布しない部分を有するものである。
【0009】
又、この発明に係る圧電ユニットの製造方法は、積層型圧電素子を複数個接合された圧電ユニットの製造方法において、各積層型圧電素子での正方形状である変位取り出し面の外辺の各辺と塗布する接着剤の端部が接触する円形の形状で、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有するように変位取り出し面に接着剤を塗布し、積層型圧電素子を互いに接着する方法である。
【0010】
又、この発明に係る圧電ユニットの製造方法は、積層型圧電素子を複数個接合された圧電ユニットの製造方法において、各積層型圧電素子の変位取り出し面の四隅に接着剤を塗布しない部分が存在し、正方形状である変位取り出し面の外辺の一辺における長さより長い直径からなる円と変位取り出し面が重なる部分で、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有するように変位取り出し面に接着剤を塗布し、積層型圧電素子を互いに接着する方法である。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。積層型圧電素子は、通常、図1に示されるように、変位しない不活性部及び保護層3を有するため、鼓型に変形しながら変位する。そこで、図2に示されるように、変位取り出し面5の周辺部に塗布されない部分が存在するように変位取り出し面5の中央部に接着剤6を塗布して圧電素子A及びBを互いに接着することで、接着面に作用する内部応力を解放、緩和することができる。具体的には、変位取り出し面5に生じる変位分布の一つの変位等高線の内側に接着剤を塗布することにより圧電素子A及びBを変位分布に沿って互いに接着することが望ましい。
【0012】
以下に、二つの積層型圧電素子を互いに接着した圧電ユニットに適用された本発明の実施例を挙げて本発明をさらに説明する。
【0013】
Pb(Zr,Ti)03のセラミックス粉末をサンドミルで粉砕し、バインダー、分散剤、活性剤、消泡剤を加えて混練し、真空脱泡した後、ドクターブレード法を用いてグリ一ンシートを作製した。このグリーンシート上にスクリーン印刷法を用いて銀・パラジウム合金からなる内部電極を印刷した。次に、このグリーンシートを300×300mmの大きさに切断した後、グリーンシート130枚を積層して圧電部分を作成した。また、内部電極を印刷していないグリーンシート20枚を積層した保護層部分を作成し、圧電部分の上下にそれぞれ保護層部分をプレスにて圧着し、切断、焼成して、変位取り出し面6×6mm、高さ10mmの積層型圧電素子を得た。なお、内部電極の大きさは5×5mmである。
【0014】
この積層型圧電素子に外部電極を焼き付け、分極した後、所定の電圧を印加したときの圧電素子単体の変位を測定したところ、変位取り出し面5が6×6mmの正方形であるために、図3に示されるように、変位分布はほぼ同心円状に現われた。図3において、曲線11は変位量11μmの等高線、曲線12は変位量10μmの等高線、曲線13は変位量9μmの等高線をそれぞれ示している。
【0015】
実施例1.図4に示されるように、上記の積層型圧電素子の変位取り出し面5の中央部に半径2mmの円形状に接着剤6を塗布し、二つの積層型圧電素子を接着して6×6×20mmの圧電ユニットを製造した。変位取り出し面5の周辺部は接着剤6が塗布されず、接着されていない。
【0016】
実施例2.図5に示されるように、上記の積層型圧電素子の変位取り出し面5の中央部に半径3mmの円形状に接着剤6を塗布し、二つの積層型圧電素子を接着して6×6×20mmの圧電ユニットを製造した。正方形状の変位取り出し面5の周辺部、特に四隅には接着剤6が塗布されず、接着されていない。
【0017】
実施例3.図6に示されるように、上記の積層型圧電素子の変位取り出し面5の中央部に半径3.5mmの円形状に接着剤6を塗布し、二つの積層型圧電素子を接着して6×6×20mmの圧電ユニットを製造した。正方形状の変位取り出し面5の四隅には接着剤6が塗布されず、接着されていない。
【0018】
実施例4.図7に示されるように、上記の積層型圧電素子の変位取り出し面5の中央部に5×5mmの正方形状に接着剤6を塗布し、二つの積層型圧電素子を接着して6×6×20mmの圧電ユニットを製造した。正方形状の変位取り出し面5の周辺部には接着剤6が塗布されず、接着されていない。
【0019】
比較例.図8に示されるように、従来の製造方法により、上記の積層型圧電素子の変位取り出し面5の全面に接着剤6を塗布し、二つの積層型圧電素子を接着して6×6×20mmの圧電ユニットを製造した。
【0020】
このようにして製造された実施例1〜4及び比較例の圧電ユニットに共通の電圧を印加して、それぞれ変位量を測定したところ、図9に示されるような結果が得られた。実施例1〜4の圧電ユニットでは、変位取り出し面5の全面を接着した比較例の圧電ユニットに比べて変位阻害を低く抑えられることがわかった。
【0021】
また、実施例1〜4及び比較例の圧電ユニットに対し、種々の印加電圧で10億回の駆動反復試験を行って、クラックの発生を観察したところ、図10に示されるような結果が得られた。比較例の圧電ユニットでは、90V程度以上の電圧を印加した場合に、図11に示されるように、保護層部分14と圧電部分15の境界でクラック7が生じた。一方、実施例1〜4の圧電ユニットでは、100V程度の印加電圧に対して、いずれもクラックは観察されなかった。特に、接着剤の塗布半径が2mmの実施例1の圧電ユニットと塗布半径が3mmの実施例2の圧電ユニットでは、印加電圧を150Vにまで上げて変位量を大きくしても、クラックが生じなかった。5×5mmの正方形状に接着剤を塗布した実施例4の圧電ユニットは、塗布半径3mmの実施例2の圧電ユニットより接着面積が小さいが、接着面積の大きな実施例2の圧電ユニットの方が内部応力が緩和されていることがわかる。
【0022】
圧電ユニットの変位を大きくとるためには、接着面積は少ないほどよいが、接着面積を少なくし過ぎると、接着強度が弱くなって実際の作業に支障を来す。また、印加電圧が少なくてよい場合など、使用状況や使用方法によっては、接着面積を大きく取ることも可能である。従って、使用方法によって接着剤を塗布する最適な面積、形状は異なるが、変位分布に沿った形で一つの変位等高線の内側に接着剤を塗布することにより、接着強度を保ちながら応力を緩和することが可能となる。
【0023】
なお、上記の各実施例1〜4では、二つの積層型圧電素子を接着して圧電ユニットを製造したが、これに限るものではなく、三つ以上の積層型圧電素子を直列に接着して圧電ユニットを製造することもできる。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、積層型圧電素子の変位取り出し面の周辺部に塗布されない部分が存在するように、変位取り出し面の中央部に接着剤を塗布し、積層型圧電素子を互いに接着して圧電ユニットを製造するので、製造工程上取り扱いに問題がなく、変位量が低下せず、信頼性も向上した圧電ユニットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 変位中の積層型圧電素子を示す断面図である。
【図2】 この発明の実施例1に係る圧電ユニットを示す断面図である。
【図3】 変位中の積層型圧電素子の変位取り出し面における変位等高線を示す平面図である。
【図4】 この発明の実施例1における積層型圧電素子の変位取り出し面への接着剤の塗布形状を示す平面図である。
【図5】 この発明の実施例2における積層型圧電素子の変位取り出し面への接着剤の塗布形状を示す平面図である。
【図6】 この発明の実施例3における積層型圧電素子の変位取り出し面への接着剤の塗布形状を示す平面図である。
【図7】 この発明の実施例4における積層型圧電素子の変位取り出し面への接着剤の塗布形状を示す平面図である。
【図8】 比較例における積層型圧電素子の変位取り出し面への接着剤の塗布形状を示す平面図である。
【図9】 実施例1〜4及び比較例の圧電ユニットに共通の電圧を印加したときの圧電ユニットの変位量を示すグラフである。
【図10】 実施例1〜4及び比較例の圧電ユニットに駆動反復試験を行ったときの破壊を生じない駆動電圧を示すグラフである。
【図11】 比較例の圧電ユニットに生じたクラックを示す模式図である。
【図12】 積層型圧電素子を示す断面図である。
【符号の説明】
1 活性部
2 不活性部
3 保護層
4 内部電極
5 変位取り出し面
6 接着剤
7 クラック
11,12,13 等高線
14 保護層部分
15 圧電部分
Claims (4)
- 積層型圧電素子を複数個接合して得られる圧電ユニットにおいて、各積層型圧電素子はその正方形状の変位取り出し面にて互いに接着され、変位取り出し面の接着剤を塗布する部分は、変位取り出し面の外辺の各辺と塗布する接着剤の端部が接触する円形の形状であり、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有することを特徴とする圧電ユニット。
- 積層型圧電素子を複数個接合して得られる圧電ユニットにおいて、各積層型圧電素子はその正方形状の変位取り出し面にて互いに接着され、変位取り出し面の接着剤を塗布する部分は変位取り出し面の外辺の一辺における長さより長い直径からなる円と変位取り出し面が重なる部分であり、積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有し、且つ変位取り出し面の四隅に接着剤を塗布しない部分を有することを特徴とする圧電ユニット。
- 積層型圧電素子を複数個接合された圧電ユニットの製造方法において、各積層型圧電素子での正方形状である変位取り出し面の外辺の各辺と塗布する接着剤の端部が接触する円形の形状で、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有するように変位取り出し面に接着剤を塗布し、積層型圧電素子を互いに接着することを特徴とする圧電ユニットの製造方法。
- 積層型圧電素子を複数個接合された圧電ユニットの製造方法において、各積層型圧電素子の変位取り出し面の四隅に接着剤を塗布しない部分が存在し、正方形状である変位取り出し面の外辺の一辺における長さより長い直径からなる円と変位取り出し面が重なる部分で、且つ積層型圧電素子の活性部での内部電極より大きい面積を有するように変位取り出し面に接着剤を塗布し、積層型圧電素子を互いに接着することを特徴とする圧電ユニットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7759298A JP4280321B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 圧電ユニット及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7759298A JP4280321B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 圧電ユニット及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11274590A JPH11274590A (ja) | 1999-10-08 |
JP4280321B2 true JP4280321B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=13638243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7759298A Expired - Fee Related JP4280321B2 (ja) | 1998-03-25 | 1998-03-25 | 圧電ユニット及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4280321B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218864A (ja) | 2007-03-07 | 2008-09-18 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
JP5076733B2 (ja) | 2007-08-24 | 2012-11-21 | 株式会社デンソー | 積層型圧電素子 |
JP5825656B2 (ja) * | 2011-02-28 | 2015-12-02 | 株式会社日本セラテック | 圧電アクチュエータおよび連結型圧電アクチュエータ |
JP6927848B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2021-09-01 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータ |
-
1998
- 1998-03-25 JP JP7759298A patent/JP4280321B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11274590A (ja) | 1999-10-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070222 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071218 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080215 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090303 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090316 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 4 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |