JP2007232542A - 圧力センサ素子 - Google Patents

Abstract

【課題】 気体中や雰囲気中の水分をさせずに正確な電荷の測定を行う。
【解決手段】 円盤状の水晶板２と、この水晶板２の両主面の少なくとも一方の主面に設けられる電極３と、を備え、前記水晶板２の前記電極３が設けられていない表面（一方の主面における電極３が設けられずに残された表面と側面と他方の主面）が鏡面となっており、その鏡面となる水晶板２の表面の表面粗さが４μｍ以下となって、正確な圧力の測定を行うことができるように構成した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、流体などの圧力の測定に用いられる圧力センサ素子に関する。

一般に、圧力センサ素子は、板状の圧電材料に電極を設けた構成のものが知られており、圧力に応じて圧電材料に生じる電荷を前記電極により引き出して計測することで液体や気体などの圧力を測定することができるようになっている（例えば、特許文献１参照）。この場合、圧電材料は、設けられる電極以外の表面が露出することとなる。このとき、圧電材料を水晶とし、測定対象を気体の圧力とするとき、露出する水晶の表面が気体中や雰囲気中の水分を吸着してしまう。
特開平１０−３００６０９号公報（段落００１３〜００２０、図２）

圧力センサ素子を構成する水晶の表面が気体中や雰囲気中の水分を吸着してしまうと、発生する電荷が下がってしまい、正確な測定が行えない恐れがある。

そこで、本発明では、前記した問題を解決し、気体中や雰囲気中の水分をさせずに正確な電荷の測定を行う圧力センサ素子を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明は、圧力センサ素子であって、水晶板と、この水晶板の両主面に設けられる電極と、を備え、前記水晶板の前記電極が設けられていない表面が鏡面となっていることを特徴とする。

このような圧力センサ素子によれば、気体中や雰囲気中の水分を付着させずに正確な電荷の測定を行うことができる。

次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施形態」という。）について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施形態に係る圧力センサ素子の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は本発明の実施形態に係る圧力センサ素子の一例を示す断面図である。

本発明の実施形態に係る圧力センサ素子１０は、水晶板２とこの水晶板を挟む２つ一対の電極３と、から構成されている。

水晶板２は、所定のカットアングルでカットされ、円盤状に形成されており、主面に圧力が印加されることで内部に電荷が生じるようになっている。
なお、水晶は、例えば、アズグロウンＸ板としても良い。また、水晶板２の表面は、電極３を設ける前にポリッシュ処理が施されており、水晶板２の表面を鏡面としている。これにより、水晶板２の表面に水分が付着するのを防止することができる。

電極３は、水晶板２の両主面であって、その中心部から所定の半径で円形形状に形成されており、水晶板２が生じる電荷を引き出せるようになっている。
なお、電極３は、従来周知の蒸着法により水晶板２に形成される。

このとき、水晶板２の両主面の中心から所定の半径で円形に電極３は、水晶板２の両主面の外側の表面を残して形成される。これにより、その水晶板２の両主面に残された露出する表面と側面とが鏡面となっている。
この鏡面は、ポリッシュ処理により形成され、その表面粗さは、４μｍ以下となっている。これは、鏡面となる水晶板２の表面の表面粗さが４μｍ以下となることで、水晶板２が保水しなくなり、気体中又は雰囲気中の水分を吸着しにくくさせることができる。これにより、圧力センサ素子１０の経時の延命をすることができる。

したがって、このように構成することにより、本発明の圧力センサ素子１０は、電極３が設けられずに露出する水晶板２の表面が鏡面となっているので、気体中や雰囲気中の水分を吸着することがなく、正確な圧力の測定を行うことができる。

（ａ）は本発明の実施形態に係る圧力センサ素子の一例を示す斜視図であり、（ｂ）は、本発明の実施形態に係る圧力センサ素子の一例を示す断面図である。

符号の説明

１０ 圧力センサ素子
２ 水晶板
３ 電極

Claims (1)

1. 水晶板と、この水晶板の両主面に設けられる電極と、を備え、
   前記水晶板の前記電極が設けられていない表面が鏡面となっていることを特徴とする圧力センサ素子。

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