JPS6013235A - 圧力センサ− - Google Patents
圧力センサ−Info
- Publication number
- JPS6013235A JPS6013235A JP12064083A JP12064083A JPS6013235A JP S6013235 A JPS6013235 A JP S6013235A JP 12064083 A JP12064083 A JP 12064083A JP 12064083 A JP12064083 A JP 12064083A JP S6013235 A JPS6013235 A JP S6013235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- crystal
- protrusion
- recess
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、安定な特性か得られる圧力センサーに関する
。
。
最近、圧力を測定する各種の圧力センサーか用いられて
いる。その中で、水晶振動子を用いた圧力センサーは、
圧力の変化かディジタル置去して得られるためマイクロ
コンピュータ−で情報処理する場合にＡ／Ｄ変換を行う
必要かなく好都合である。しかし、水晶圧力センサーは
外形が大きくなることさ、同一規格のものを多数個均一
に作るのか困難である。
いる。その中で、水晶振動子を用いた圧力センサーは、
圧力の変化かディジタル置去して得られるためマイクロ
コンピュータ−で情報処理する場合にＡ／Ｄ変換を行う
必要かなく好都合である。しかし、水晶圧力センサーは
外形が大きくなることさ、同一規格のものを多数個均一
に作るのか困難である。
従来の水晶圧力センサーの概略図を第１図に示す。水晶
振動板１１か両端部を接着剤にて金属枠Ｉ２に保持され
ている。電極１３は水晶板１１の中心部の両側に対向し
て設けられ、リード線１４により外部へ引き出されてい
る。圧力は水晶板の両端部の金属枠間にかけられ、この
圧力により水晶振動子の発振周波数か変化する。この様
な圧力センサーで問題になるのは感度であるか、この場
合は単位圧力当たりの周波数の変化か感度になる。
振動板１１か両端部を接着剤にて金属枠Ｉ２に保持され
ている。電極１３は水晶板１１の中心部の両側に対向し
て設けられ、リード線１４により外部へ引き出されてい
る。圧力は水晶板の両端部の金属枠間にかけられ、この
圧力により水晶振動子の発振周波数か変化する。この様
な圧力センサーで問題になるのは感度であるか、この場
合は単位圧力当たりの周波数の変化か感度になる。
水晶の圧力センサーの感度は、約１０ＭＨｚの発振周波
数の水晶を用いて２Ｉ−１ｚ／ｇ＋・程度である。
数の水晶を用いて２Ｉ−１ｚ／ｇ＋・程度である。
これは１００ｇｒの荷重に対しても２００１−１ｚの周
波数変化にしかならず、発振か不安定であると、圧力に
よる変化分が不安定さにマスキングされてし」うので、
発振の非常な安定性を要求される。
波数変化にしかならず、発振か不安定であると、圧力に
よる変化分が不安定さにマスキングされてし」うので、
発振の非常な安定性を要求される。
通常、水晶振動子は極力応力の加わらない状態に保持さ
れ安定な発振を行う。圧力の加わった状態でこれを実現
するのは困難であり、水晶の保持等に各種の工夫かこら
されている。また水晶扱き金属枠とを固定している接着
剤も、その材質か圧力の一部を吸収するため感度のバラ
ツキ、ヒステリシス等の原因になる。
れ安定な発振を行う。圧力の加わった状態でこれを実現
するのは困難であり、水晶の保持等に各種の工夫かこら
されている。また水晶扱き金属枠とを固定している接着
剤も、その材質か圧力の一部を吸収するため感度のバラ
ツキ、ヒステリシス等の原因になる。
本発明は、前述した水晶圧力センサーの欠点に鑑み水晶
振動子を用いなから従来き異なる水晶の使い方を行い、
圧力センサーを実現するものである。即ち、水晶振動子
がその負荷容量で発振周波数を変化さゼることかできる
ことを利用し、水晶振動子の負荷容量を圧力によって変
化させ水晶振動子の発振周波数を変化させ、安価で安定
な圧力センサーを得ようとするものである。
振動子を用いなから従来き異なる水晶の使い方を行い、
圧力センサーを実現するものである。即ち、水晶振動子
がその負荷容量で発振周波数を変化さゼることかできる
ことを利用し、水晶振動子の負荷容量を圧力によって変
化させ水晶振動子の発振周波数を変化させ、安価で安定
な圧力センサーを得ようとするものである。
第２図は水晶発振器のブロックダイアグラムで２１か水
晶振動子、２２が可変容量、２３が帰還増幅器で全体と
して水晶発振器を形成している。
晶振動子、２２が可変容量、２３が帰還増幅器で全体と
して水晶発振器を形成している。
この可変容量２２を変化させると水晶発振器の発振周波
数が変化することは一般によく知られている。１ｊｔっ
で本発明は、圧力によりこの容量を変化させることに着
目し、その容量素子を発明した。
数が変化することは一般によく知られている。１ｊｔっ
で本発明は、圧力によりこの容量を変化させることに着
目し、その容量素子を発明した。
本発明を、実施例に基づいて説明する。第３図は、シリ
コンゴム等の弾性体の薄１摸３工に一体成形された突起
部３２を有してお１バその突起部３２に電極として金属
リング３３かはめ込まれている。なお、電極はメッキや
金属箔をはりつける方法等であってもよい。このような
素子か組み込まれノこ圧力センサーの断面図を第４図（
ａ）に示す。
コンゴム等の弾性体の薄１摸３工に一体成形された突起
部３２を有してお１バその突起部３２に電極として金属
リング３３かはめ込まれている。なお、電極はメッキや
金属箔をはりつける方法等であってもよい。このような
素子か組み込まれノこ圧力センサーの断面図を第４図（
ａ）に示す。
第３図の突起部３２を有した弾性体薄膜３１は筐体部４
１ａ４２とにより、その端部を挾み込まれて保持されて
いる。筐体部４１には突起部３２と嵌合する如く凹部４
５かあり、これに金属リング４３か挿入されており、弾
性体薄！摸３１の突起部３２に、はめ込まれた金属リン
グ３３との間で容量を形成している。筐体部４２には凹
部４４かあり、この凹部より流体の圧力か加えられる。
１ａ４２とにより、その端部を挾み込まれて保持されて
いる。筐体部４１には突起部３２と嵌合する如く凹部４
５かあり、これに金属リング４３か挿入されており、弾
性体薄！摸３１の突起部３２に、はめ込まれた金属リン
グ３３との間で容量を形成している。筐体部４２には凹
部４４かあり、この凹部より流体の圧力か加えられる。
圧力か加わると第４図（ｂ）の如く弾性体薄１模３１か
伸び、突起部３２が凹部４５の中へ押し込まれ、金属リ
ング３３と４３七の間の容量か増加する。この金属リン
グ３３．４３間に、薄いテフロン等の誘電体４６を介在
させるこ七により、金属リング両者の短絡を防止するた
めにも好ましい。このようにして出来た容量素子に圧力
を加えた場合、容量か２ｐＦより１０ｐＦまで変化させ
られた。これを３．５ＭＩ−（ｚの水晶振動子２１に直
列に、この容量素子を接続し発振させる表、発振周波数
の変化量は、１．８ｋＨｚ、ｌ０１ＶＩＨｚでは４．１
ｋＨｚの変化量が得られた。圧）Ｊによる容量の変化量
は、突起部の移動距離によって決定されるか、これは結
８弾１１体薄膜と突起部に加わる面積（カー面積×圧力
）及び突起部の外形等により任意に決定される。従って
従来の水晶振動子に直接圧力を加える方法より感度の段
ｄ４が容易である。また感度のバラツキの調整も、その
容量素子の容量に並列にトリマーコンデンサーを挿入し
相対的な容量変化を加減することにより行うことができ
る。第５図で２２は容量素子であり、５１はトリマーコ
ンデンサーを表わす。また第３図の弾性体薄膜は、第６
図に示す断面図の如く端部に肉厚部６１を設け、繰り返
し使用により保持部分のはずれ、ゆるみが生し測定値か
変化しないよう配慮か必要である。
伸び、突起部３２が凹部４５の中へ押し込まれ、金属リ
ング３３と４３七の間の容量か増加する。この金属リン
グ３３．４３間に、薄いテフロン等の誘電体４６を介在
させるこ七により、金属リング両者の短絡を防止するた
めにも好ましい。このようにして出来た容量素子に圧力
を加えた場合、容量か２ｐＦより１０ｐＦまで変化させ
られた。これを３．５ＭＩ−（ｚの水晶振動子２１に直
列に、この容量素子を接続し発振させる表、発振周波数
の変化量は、１．８ｋＨｚ、ｌ０１ＶＩＨｚでは４．１
ｋＨｚの変化量が得られた。圧）Ｊによる容量の変化量
は、突起部の移動距離によって決定されるか、これは結
８弾１１体薄膜と突起部に加わる面積（カー面積×圧力
）及び突起部の外形等により任意に決定される。従って
従来の水晶振動子に直接圧力を加える方法より感度の段
ｄ４が容易である。また感度のバラツキの調整も、その
容量素子の容量に並列にトリマーコンデンサーを挿入し
相対的な容量変化を加減することにより行うことができ
る。第５図で２２は容量素子であり、５１はトリマーコ
ンデンサーを表わす。また第３図の弾性体薄膜は、第６
図に示す断面図の如く端部に肉厚部６１を設け、繰り返
し使用により保持部分のはずれ、ゆるみが生し測定値か
変化しないよう配慮か必要である。
さらに第７図に他の実施例の断面図を示ず。弾１生体の
；Ｗ膜に２つの突起部７１．７１゛を設広筐体部にも突
起部７１．７１′に合わせて凹部７３．７３゛を設υる
、もちろん突起部７１．７１゛には電極７２．７２゛、
凹部７３．７３゛にも電極７４．７４゛を配置している
。この電極７２七７２′表は同電位古し、また電極７４
．７４゛を同電位にするこ七により、対向する電極面積
を大きくし容量の変化を大きく取るこ七かでき、従って
感度を大きく設定できるこ七である。
；Ｗ膜に２つの突起部７１．７１゛を設広筐体部にも突
起部７１．７１′に合わせて凹部７３．７３゛を設υる
、もちろん突起部７１．７１゛には電極７２．７２゛、
凹部７３．７３゛にも電極７４．７４゛を配置している
。この電極７２七７２′表は同電位古し、また電極７４
．７４゛を同電位にするこ七により、対向する電極面積
を大きくし容量の変化を大きく取るこ七かでき、従って
感度を大きく設定できるこ七である。
第８図は、他の実施例て突起部８１を短冊状にしたもの
である。この突起部８１の両側に同電位の電極８２か設
けられている。この感圧素子を用いノこ圧力センサーの
断面図を第９図に示す。加圧により突起部８２（」、凹
部８３にスライドしてい°く、凹部８３の側壁には同電
位の固定電極８４去可変電極８５とかあり、突起部の電
極８２との間で容量を形成している。この場合は可変電
極８５をネジ８６を回ずことにより微小＠城で移動させ
、電極８２との間の間隔を変化させることにより容量の
変化量を加減できる。従って感度の調整を機械的に行う
こ七かてきる。
である。この突起部８１の両側に同電位の電極８２か設
けられている。この感圧素子を用いノこ圧力センサーの
断面図を第９図に示す。加圧により突起部８２（」、凹
部８３にスライドしてい°く、凹部８３の側壁には同電
位の固定電極８４去可変電極８５とかあり、突起部の電
極８２との間で容量を形成している。この場合は可変電
極８５をネジ８６を回ずことにより微小＠城で移動させ
、電極８２との間の間隔を変化させることにより容量の
変化量を加減できる。従って感度の調整を機械的に行う
こ七かてきる。
以上の例は、圧力の増加により容量か増加する容量素子
であり、容量か増加すると当然水晶発振器の発振周波数
は低下する。これはマイクロコンピュータで処理する場
合何ら障害にはならないか、第」０図に示す断面図のよ
うにすれば、圧力により容量を１礒少せしめ発振周波数
を上昇させるこ去もできる。即ち容量素子は、その周辺
部の肉厚部１０１か筐体１０２表１０３に挾み込まれて
支持され、突起部１０４は筺体１０３に設けられた凹部
１０５に嵌合している。開口部１０６より圧力が付加さ
れると突起部１０４か、凹部１０５より抜ける方向へ移
動し、電極１０７と１０８表の間に形成された容量は減
少する。この場合も両電極の間に介在させる誘電体は省
略しである。水晶振動子の発振周波数を負荷容量の変化
で変化させる方法でも、前記した如く容量の２ｐＦより
ｌ０ｐＦよでの変化で、周波数の変化は３．５Ｍｌ−１
ｚの水晶で１．８ｋＨｚ程度であった。
であり、容量か増加すると当然水晶発振器の発振周波数
は低下する。これはマイクロコンピュータで処理する場
合何ら障害にはならないか、第」０図に示す断面図のよ
うにすれば、圧力により容量を１礒少せしめ発振周波数
を上昇させるこ去もできる。即ち容量素子は、その周辺
部の肉厚部１０１か筐体１０２表１０３に挾み込まれて
支持され、突起部１０４は筺体１０３に設けられた凹部
１０５に嵌合している。開口部１０６より圧力が付加さ
れると突起部１０４か、凹部１０５より抜ける方向へ移
動し、電極１０７と１０８表の間に形成された容量は減
少する。この場合も両電極の間に介在させる誘電体は省
略しである。水晶振動子の発振周波数を負荷容量の変化
で変化させる方法でも、前記した如く容量の２ｐＦより
ｌ０ｐＦよでの変化で、周波数の変化は３．５Ｍｌ−１
ｚの水晶で１．８ｋＨｚ程度であった。
これの血圧計への応用を考えると、圧力は大気に対し０
から５００ｇｒ／ｃｎｔまての変化を測定できることか
要求される。ゴム質弾性体表して用いるシリコンゴム等
の疲労を考えると、突起部の移動距離を大きくすること
は危険で、これをあえて大きくしようとすると外形を大
きくしなければならない。
から５００ｇｒ／ｃｎｔまての変化を測定できることか
要求される。ゴム質弾性体表して用いるシリコンゴム等
の疲労を考えると、突起部の移動距離を大きくすること
は危険で、これをあえて大きくしようとすると外形を大
きくしなければならない。
今回発明された圧力センサーはシリコンゴムの外形２０
φ、厚さ０ 、８ ｍｍに５φの突起部を有し、周辺部
を肉厚部で保持されており、突起部電極と凹部電極には
テフロンシートか挿入されている。−これに最大５００
ｇｒ／ｃａの圧力を加えた時の周波数変化は３．５ＭＨ
ｚの水晶発振器で１ 、８ ｋｌ−１ｚなので感度は、
３ 、６ Ｈｚ／ｇｒ／ｃｕｔである。通常水晶発振器
でも０〜４０℃の範囲で、温度特性も含めてＩＱｐｐｍ
程度の不安定さは持っている。これは３．５ＪｖｌＨｚ
の水晶発振器で３５１−１ｚてあり、約１０ｇｒ／ｃｉ
の圧力に相当する。これは測定器とじては大きな誤差に
なるので、普通第１１図の如く周波数の近い、もう一つ
の水晶発振器との間で差の周波数に変換する。即ち、容
量素子と水晶振動子との圧力センサーＩＩＩのついた水
晶振動子２１の発振周波数をｆｌ、固定容量１１２のつ
いた水晶振動子２１′の発振周波数をｆ２とする。この
２つの周波数をミキサー１１３に入れ、差の周波数へｆ
＝ｆ、−Ｆ２に変換する。両方の水晶振動子２１．２１
′の温度特性を合わせておけばΔｆも同等の温度特性に
なる。ここで、八ｆ＝５０ｋＨｚの周波数に変換したと
すると、５０ｋｌ−（ｚに対する不安定さ１０ｐｐｍは
、０．５Ｈｚになり、これは０．１４ｇｒ／。ｌｌｉに
相当し大幅に特性か改善される。二つの水晶振動子２１
．２１゛の特性を合わゼる為には、第１２図の如く一つ
の水晶板１２１の中心に切り込み１２２を入れ、両側に
それぞれ一組の電極を設け、一つのケース内に収容する
ようにずればよい。
φ、厚さ０ 、８ ｍｍに５φの突起部を有し、周辺部
を肉厚部で保持されており、突起部電極と凹部電極には
テフロンシートか挿入されている。−これに最大５００
ｇｒ／ｃａの圧力を加えた時の周波数変化は３．５ＭＨ
ｚの水晶発振器で１ 、８ ｋｌ−１ｚなので感度は、
３ 、６ Ｈｚ／ｇｒ／ｃｕｔである。通常水晶発振器
でも０〜４０℃の範囲で、温度特性も含めてＩＱｐｐｍ
程度の不安定さは持っている。これは３．５ＪｖｌＨｚ
の水晶発振器で３５１−１ｚてあり、約１０ｇｒ／ｃｉ
の圧力に相当する。これは測定器とじては大きな誤差に
なるので、普通第１１図の如く周波数の近い、もう一つ
の水晶発振器との間で差の周波数に変換する。即ち、容
量素子と水晶振動子との圧力センサーＩＩＩのついた水
晶振動子２１の発振周波数をｆｌ、固定容量１１２のつ
いた水晶振動子２１′の発振周波数をｆ２とする。この
２つの周波数をミキサー１１３に入れ、差の周波数へｆ
＝ｆ、−Ｆ２に変換する。両方の水晶振動子２１．２１
′の温度特性を合わせておけばΔｆも同等の温度特性に
なる。ここで、八ｆ＝５０ｋＨｚの周波数に変換したと
すると、５０ｋｌ−（ｚに対する不安定さ１０ｐｐｍは
、０．５Ｈｚになり、これは０．１４ｇｒ／。ｌｌｉに
相当し大幅に特性か改善される。二つの水晶振動子２１
．２１゛の特性を合わゼる為には、第１２図の如く一つ
の水晶板１２１の中心に切り込み１２２を入れ、両側に
それぞれ一組の電極を設け、一つのケース内に収容する
ようにずればよい。
アース電極１２３を共通とすれば三端子となり保持も容
易である。また、このようにミキサーを用いて周波数を
低減する方式では第１３図に示す断面図のように、中心
部の突起を上方の突起部Ｉ３１、下方の突起部１３２を
設（Ｊ、第４図及び第１０図の如く、一方は容量か増加
する如く、他方は容量が減少する如くに変化させるこ七
かできる。
易である。また、このようにミキサーを用いて周波数を
低減する方式では第１３図に示す断面図のように、中心
部の突起を上方の突起部Ｉ３１、下方の突起部１３２を
設（Ｊ、第４図及び第１０図の如く、一方は容量か増加
する如く、他方は容量が減少する如くに変化させるこ七
かできる。
この各々の容量を第１１図の容１１１１及び１１２に置
き換えれば、圧力変化により一方の発振器は周波数か上
昇し、他方は減少するため、差の周波数は２倍の変化幅
を示す。これは水晶に直接圧力を加える方式で、圧〕Ｊ
を圧縮と引張りに変換し各々の水晶に加え、差の周波数
を取るこ七により感度の上昇上温度特性の相殺を行って
いるのと間しである。
き換えれば、圧力変化により一方の発振器は周波数か上
昇し、他方は減少するため、差の周波数は２倍の変化幅
を示す。これは水晶に直接圧力を加える方式で、圧〕Ｊ
を圧縮と引張りに変換し各々の水晶に加え、差の周波数
を取るこ七により感度の上昇上温度特性の相殺を行って
いるのと間しである。
以上は主に１気圧より高い圧力の測定にふされしい形状
を示したか１気圧より低い圧力も含めて測定する場合は
、例えば第４図で１気圧の時に突起部３２か凹部４５の
中間位に位置するよう突起部３２または、凹部４５を設
計すればよい。そうすれば圧力が１気圧よりも低下ずれ
ば突起部は凹部より抜は出す方向へ移動し容量は減少し
発振器の周波数は」二昇する。
を示したか１気圧より低い圧力も含めて測定する場合は
、例えば第４図で１気圧の時に突起部３２か凹部４５の
中間位に位置するよう突起部３２または、凹部４５を設
計すればよい。そうすれば圧力が１気圧よりも低下ずれ
ば突起部は凹部より抜は出す方向へ移動し容量は減少し
発振器の周波数は」二昇する。
以上の如く、ゴム質弾性体を用いノこ簡便な圧力−容量
変換器と水晶振動子と組み合わせるこ七により、圧力の
変化をディジタル量として直接マイクロコンピュータ−
に入力できる。
変換器と水晶振動子と組み合わせるこ七により、圧力の
変化をディジタル量として直接マイクロコンピュータ−
に入力できる。
本発明において、弾性体としてシリコンゴムを例に挙げ
たか、他の弾性体であってもよい。また圧電体として、
水晶振動子を例に挙げたが他にタンタル酸リチウム、圧
電セラミック等であってもよい。
たか、他の弾性体であってもよい。また圧電体として、
水晶振動子を例に挙げたが他にタンタル酸リチウム、圧
電セラミック等であってもよい。
第１図は従来の圧力センサーの斜視図。第２図、第１１
図は水晶発振器のブロックダイアグラム。 第３図は本発明の弾性体斜視図。第４図（ａ＞（ｂ）は
圧力センサーの断面図。第５図は水晶発振器のブロック
ダイアグラム。第６図は弾性体の斜視図。 第７図は弾性体上凹部との断面図。第８図は弾性体の斜
視図。第９図、第１０図は圧力センサーの斜視図。第１
２図は水晶振動子のｊ］視図。第１３図は弾性体の断面
図である。 ４１１，１２・・・・・・筐体部 ３１・・・・・・弾性体 ３２．７１．７１’ 、８１．１０４，１３１，１３２
・・・・・・突起部４５．７３．７３’ 、８３．１０
５・・・・・・凹部３３．４３，７２．７２’ 、７４
．７４’ 、８２，８４，８５，１０７，１０８・・・
・・・電極 ４Ｇ・・・・・・誘電体 ２１・・・・・・圧電振動子 第８（２） 第１１図 第１２１１ 第１３圓
図は水晶発振器のブロックダイアグラム。 第３図は本発明の弾性体斜視図。第４図（ａ＞（ｂ）は
圧力センサーの断面図。第５図は水晶発振器のブロック
ダイアグラム。第６図は弾性体の斜視図。 第７図は弾性体上凹部との断面図。第８図は弾性体の斜
視図。第９図、第１０図は圧力センサーの斜視図。第１
２図は水晶振動子のｊ］視図。第１３図は弾性体の断面
図である。 ４１１，１２・・・・・・筐体部 ３１・・・・・・弾性体 ３２．７１．７１’ 、８１．１０４，１３１，１３２
・・・・・・突起部４５．７３．７３’ 、８３．１０
５・・・・・・凹部３３．４３，７２．７２’ 、７４
．７４’ 、８２，８４，８５，１０７，１０８・・・
・・・電極 ４Ｇ・・・・・・誘電体 ２１・・・・・・圧電振動子 第８（２） 第１１図 第１２１１ 第１３圓
Claims (2)
- （１） 筺体部に端部を固定された弾性体の中央部付近
に電極を設けた突起部かあり、該突起部より大きめの四
部を該筐体部に設け、凹部の内面には電極を施し、該凹
部の内面の電極と前記突起部の電極との間で容量素子を
形成し、該容量素子七圧電振動子七を組合わせたこ吉を
＃機上する圧力センサー。 - （２） 該突起部吉該凹部との間に、誘電体を設置した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項の圧力センサー
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12064083A JPS6013235A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 圧力センサ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12064083A JPS6013235A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 圧力センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013235A true JPS6013235A (ja) | 1985-01-23 |
Family
ID=14791219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12064083A Pending JPS6013235A (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | 圧力センサ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013235A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5043841A (en) * | 1989-06-13 | 1991-08-27 | Bishop Robert P | High pressure transducer package |
| JP2001242027A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-09-07 | Rosemount Inc | 可動誘電体を有する容量型圧力感知装置 |
| JP2007232542A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
-
1983
- 1983-07-01 JP JP12064083A patent/JPS6013235A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5043841A (en) * | 1989-06-13 | 1991-08-27 | Bishop Robert P | High pressure transducer package |
| JP2001242027A (ja) * | 2000-01-06 | 2001-09-07 | Rosemount Inc | 可動誘電体を有する容量型圧力感知装置 |
| JP2007232542A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyocera Kinseki Corp | 圧力センサ素子 |
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