JPH03177389A - シリコン単結晶の引上げ装置 - Google Patents
シリコン単結晶の引上げ装置Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
ン単結晶の製造に際して、酸化珪素および炭化珪素の付
着によるシリコン単結晶の有転位化を防止するとともに
、シリコン単結晶中の酸素誘起積層欠陥(O5F)の発
生を防止するための装置に関するものである。
せつつ引き上げるCZ法が広く行なわれている。
し、下端が該シリコン単結晶及び融液に近接する逆円錐
状のカバーを設けることにより、融液および坩堝からの
輻射熱を遮断して結晶の引上げ速度を高めるとともに、
融液からの蒸発物がシリコン単結晶の上方に行くのを遮
り、該蒸発物が凝固し落下してシリコン単結晶が有転位
成長するのを防止することか、特公昭57−40,11
9号公報により知られている。しかしながら、このカバ
ーは、赤外線を反射させるためにタングステン、ニオブ
、タンタル、銅、ニッケル、ゲルマニウムといった金属
で作られているので、これを設けたCZ法装置によりシ
リコン単結晶を引き上げると、カバーを構成する金属と
融液から発生した酸化珪素ガスとの反応生成物が落下し
てシリコン融l夜中に溶は込み、シリコン単結晶が金属
汚染されるという問題か生じる。
温で安定なセラミックスとすることにより金属汚染を回
避し、引き上げ炉内にアルゴンを流して前記カバーで該
シリコン単結晶に集約して当てて該蒸発物の付着を防止
することか、特開昭62−138,386号公報におい
て提唱されている。
(Pドープ材、無添加物、P型高抵抗材)は、引上げ中
の結晶の各部位の冷却速度が速まると、酸化誘起積層欠
陥(O8F)の発生が著しくなる。前記カバーを設けた
装置で、アルゴンの流れを用いて蒸発物のシリコン単結
晶への付着を防止するためには、前記カバーの下端を該
シリコン単結晶に接近させなければならないが、接近さ
せると、シリコン融液からの熱輻射を遮断してシリコン
単結晶の冷却速度が速くなりO8Fが発生し易くなると
いう問題が生じる。
単結晶の製造に際して、蒸発物の付着によるシリコン単
結晶の有転位化を防止するとともに、シリコン単結晶中
の酸化誘起積層欠陥(O8F)発生を防止することを目
的とする。
からシリコン単結晶を引上げる装置であって、該単結晶
の引上げ方法を軸として引上げ中の該単結晶を囲む管体
が設けられており、該管体は下端が該単結晶及び前記融
液に近接し、上部が逆円錐形状をなし、下部が円筒形状
をなしていることを特徴としている。
態様の構成を示す断面図である。
坩堝1中の融液2からシリコン単結晶3が引上げられ、
引上げ中のシリコン単結晶3と坩堝1の間には、シリコ
ン単結晶3を取り囲むように引上げ方向を軸として管体
4か設けられている。
部は円筒形状部4bからなる。管体4の下端がシリコン
単結晶3および融7夜2に近接するように設けられてい
る。第1図において、シリコン単結晶3は径制御用カメ
ラ5によって径制御されていて、融液2は管状のヒータ
ー6で加熱さ−れ、管状のインナーシールド7およびア
ウターシールド8で覆われている。管体4は、インナー
シールド7およびアウターシールド8の上に設けられた
支持台9に支持されている。10は単結晶を成長させる
種結晶である。引上げ炉外壁11内の矢印はアルゴンの
流線を示し、−点鎖線は径制御用カメラ5の視線を示す
。
セラミックスなどが用いられており、少なくともその表
面が上記したような非金属材料から構成されていればよ
く、金属材料に石英やセラミックスを被覆したものであ
ってもよい。
に示すように、シリコン単結晶3と坩堝1の間に、シリ
コン単結晶3を取り囲むように管体4が位置しているが
、上部が逆円錐形状4aであることにより、径制御用カ
メラ5の視野を確保するための非対称形状部が存在せず
、アルゴン流が乱れない。さらに、管体4の下部形状が
円筒形状4bであるために、乱れのない整流化されたア
ルゴン流が効率よく融液2からの蒸発物の舞い上がりを
抑制でき、さらに、蒸発物を排除できることによって、
引上げ中のシリコン単結晶3に転位が発生するのを防止
することが出来る。さらに、円筒形状部4bの内径を広
くすることが出来るために、融液2の表面からの輻射熱
が遮断されずに引上げ中のシリコン単結晶3に照射され
、引上げ中のシリコン単結晶3の各部位の特に高温部の
急速冷却が緩和され、O8Fの発生が防止される。なお
、本発明装置を用いてシリコン単結晶を製造する際、引
上げ中のシリコン単結晶3の各部位の冷却速度が5°C
/minよりも遅い速度となるように調整するのが、O
3Fの発生を防止するのに好ましい。
強された内側直径16インチの石英坩堝1aに、原料と
して40kgの多結晶シリコンを装入して溶解し、直径
130mmのシリコン単結晶3を引上げた。黒鉛製の管
体4の円筒形状部4bの内径は250mmとし、管体4
の下端と融液2の液面との間隙は約30mmに保ち、シ
リコン単結晶3と管体4の間隙にアルゴンガスを矢印の
方向に流量15〜100ρ/winで流し、装置内を内
圧5〜35ミリバールのアルゴン雰囲気とした。
単結晶棒が得られ、引上げ中の転位発生が防止された。
著しく減少した。なお、第1表におけるO5F密度は、
シリコン単結晶を温潤酸素ガス中で1100°C80分
加熱した後、顕微鏡観察により測定したものである。
状にし、下端の内径を200mmとした以外は、上記本
発明例と同様にしてシリコン単結晶を引上げた。
結晶棒が得られ、引上げ中の転位発生は防止されたが、
第1表に示すようにO8Fが著しく発生した。
リコン単結晶の装置に際して、引上げ中の結晶欠陥発生
が防止されて単結晶の無転位引上げ率が向上し、さらに
、シリコン単結晶中の酸化誘起積鳩欠陥(O8F)発生
が防止される。
を夜、3・・・シリコン単結晶、4・・・管体、4a・
・・逆円錐形状部、4b・・・円筒形状部、5・・・径
制御用カメラ、6・・・ヒーター7・・・インナーシー
ルド、8・・・アウターシールド、9・・・支持台、1
0・・・種結晶、11・・・炉外壁。
Claims (1)
- 坩堝中の融液からシリコン単結晶を引上げる装置であ
って、該単結晶の引上げ方向を軸として引上げ中の該単
結晶を囲む管体が設けられており、該管体は下端が該単
結晶及び前記融液に近接し、上部が逆円錐形状をなし、
下部が円筒形状をなしていることを特徴とするシリコン
単結晶の引上げ装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6197111B1 (en) | 1999-02-26 | 2001-03-06 | Memc Electronic Materials, Inc. | Heat shield assembly for crystal puller |
US6482263B1 (en) | 2000-10-06 | 2002-11-19 | Memc Electronic Materials, Inc. | Heat shield assembly for crystal pulling apparatus |
WO2010010628A1 (ja) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Sumco Techxiv株式会社 | 単結晶の製造方法、整流筒、および、単結晶引き上げ装置 |
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JPH02116695A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-05-01 | Osaka Titanium Co Ltd | 単結晶の製造方法 |
-
1989
- 1989-12-04 JP JP1313378A patent/JP2755452B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5378215B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2013-12-25 | Sumco Techxiv株式会社 | 単結晶の製造方法 |
US8961686B2 (en) | 2008-07-25 | 2015-02-24 | Sumco Techxiv Corporation | Method of manufacturing monocrystal, flow straightening cylinder, and monocrystal pulling-up device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2755452B2 (ja) | 1998-05-20 |
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