JPH0316207A - リング状スピンナーヘッド - Google Patents
リング状スピンナーヘッドInfo
- Publication number
- JPH0316207A JPH0316207A JP15187489A JP15187489A JPH0316207A JP H0316207 A JPH0316207 A JP H0316207A JP 15187489 A JP15187489 A JP 15187489A JP 15187489 A JP15187489 A JP 15187489A JP H0316207 A JPH0316207 A JP H0316207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- ring
- suction
- spinner head
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置におけるスビンナーヘッドに関する
ものである。
ものである。
従来の技術
従来から半導体装置におけるスビンナーヘッドは、ウェ
ハを裏面中央部で真空吸着している。
ハを裏面中央部で真空吸着している。
第2図(a) , (b)に従来のスピンナーヘッド部
の平面図及び断面図を示す。
の平面図及び断面図を示す。
第2図の1はシリコンウェハ、2はスビンナーヘッド、
3は真空吸着の為の気孔である。
3は真空吸着の為の気孔である。
発明が解決しようとする課題
従来のスビンナーヘッド構造ではウェハ中央部の吸着部
分の面積が大きく、その為、ウェハ裏面の吸着ダストに
よる汚染,パターン欠陥の影響がある。
分の面積が大きく、その為、ウェハ裏面の吸着ダストに
よる汚染,パターン欠陥の影響がある。
又、スビンナーヘッドに接続するモーターの熱伝導によ
り、中央部吸着部と非吸着部とにおいて、レジスト塗布
の場合には、その塗布膜厚の均一性がそこなわれる欠点
がある。
り、中央部吸着部と非吸着部とにおいて、レジスト塗布
の場合には、その塗布膜厚の均一性がそこなわれる欠点
がある。
本発明は上記問題点を解決するもので、ウェハ裏面の吸
着部分の面積を縮小し、ウェハ裏面吸着ダストの低減、
及びレジスト塗布の場合におけるレジスト膜厚の面内均
−11の向上を目的とする。
着部分の面積を縮小し、ウェハ裏面吸着ダストの低減、
及びレジスト塗布の場合におけるレジスト膜厚の面内均
−11の向上を目的とする。
課題を解決するための手段
この目的の達成のために、本発明のスビンナーヘッド構
造は、円型からリング状のものとし、その吸着部分をウ
ェハ中央部ではなくウェハ外周部としたものである。更
に吸着面積の縮小をより達成するために、リング状スビ
ンナーヘッドに吸着のための気孔を必要とする箇所以外
は切削を施している。
造は、円型からリング状のものとし、その吸着部分をウ
ェハ中央部ではなくウェハ外周部としたものである。更
に吸着面積の縮小をより達成するために、リング状スビ
ンナーヘッドに吸着のための気孔を必要とする箇所以外
は切削を施している。
尚、このリング状スビンナーヘッドの外径はシリコンウ
ェハのOF(オリエンテーション・フラットネス〉より
内側とし、レジスト塗布の場合にはウェハ裏面へまわり
込むレジストを除去する為の裏面リンスに対し影響を及
ぼさない長さとする。
ェハのOF(オリエンテーション・フラットネス〉より
内側とし、レジスト塗布の場合にはウェハ裏面へまわり
込むレジストを除去する為の裏面リンスに対し影響を及
ぼさない長さとする。
作用
このリング状スビンナーヘッド構造により、従来構造の
スビンナーヘッド以上にウェハ裏面吸着ダストの低減と
塗布膜厚面内均一性の向上を図ることができる。
スビンナーヘッド以上にウェハ裏面吸着ダストの低減と
塗布膜厚面内均一性の向上を図ることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を第1図にて説明する。
第1図の1はシリコンウェハ、2は吸着部分以外に切削
を施したリング状スピンナー、3は真空吸着の為の気孔
、4はウェハ裏面リンス用のノズルである。
を施したリング状スピンナー、3は真空吸着の為の気孔
、4はウェハ裏面リンス用のノズルである。
上記のような本発明実施例によると、外周部においてウ
ェハ裏面と吸着することにより、ウェハ裏面吸着ダスト
の低減化、及びモーターの熱伝導の影響を抑え、レジス
ト塗布膜厚の面内均一性の向上を図ることができる。
ェハ裏面と吸着することにより、ウェハ裏面吸着ダスト
の低減化、及びモーターの熱伝導の影響を抑え、レジス
ト塗布膜厚の面内均一性の向上を図ることができる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ウェハ裏面吸着ダストの
低減化、及びモーターの熱伝導の影響を抑え、レジスト
塗布膜厚の面内均一性の向上を図ることができる。
低減化、及びモーターの熱伝導の影響を抑え、レジスト
塗布膜厚の面内均一性の向上を図ることができる。
第1図(a)は本発明の一実施例におけるスビンナーヘ
ッドの平面図、第1図(b)は同断面図、第2図(a)
は従来のスビンナーヘッドの平面図、第2図(b)は同
断面図である。 1・・・・・・シリコンウェハ、2・・・・・・スビン
ナー、3・・・・・・気孔、4・・・・・・ノズル。
ッドの平面図、第1図(b)は同断面図、第2図(a)
は従来のスビンナーヘッドの平面図、第2図(b)は同
断面図である。 1・・・・・・シリコンウェハ、2・・・・・・スビン
ナー、3・・・・・・気孔、4・・・・・・ノズル。
Claims (1)
- レジスト塗布装置でウェハ裏面の吸着面積を少なくし
裏面ダストを低減、及び塗布膜厚面内均一性を高めるよ
うに構成したリング状スピンナーヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15187489A JPH0316207A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | リング状スピンナーヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15187489A JPH0316207A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | リング状スピンナーヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0316207A true JPH0316207A (ja) | 1991-01-24 |
Family
ID=15528098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15187489A Pending JPH0316207A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | リング状スピンナーヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0316207A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04324818A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-13 | Sharp Corp | フレキシブル基板の吸着方法 |
JP2008108766A (ja) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Toppan Printing Co Ltd | チャックおよびスピンコータ装置 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15187489A patent/JPH0316207A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04324818A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-13 | Sharp Corp | フレキシブル基板の吸着方法 |
JP2008108766A (ja) * | 2006-10-23 | 2008-05-08 | Toppan Printing Co Ltd | チャックおよびスピンコータ装置 |
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