JPH0314325B2 - - Google Patents
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- JPH0314325B2 JPH0314325B2 JP17167983A JP17167983A JPH0314325B2 JP H0314325 B2 JPH0314325 B2 JP H0314325B2 JP 17167983 A JP17167983 A JP 17167983A JP 17167983 A JP17167983 A JP 17167983A JP H0314325 B2 JPH0314325 B2 JP H0314325B2
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- JP
- Japan
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- aperture
- light
- objective lens
- illumination
- field
- Prior art date
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Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 42
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 21
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 241000276498 Pollachius virens Species 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/10—Condensers affording dark-field illumination
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、落射型顕微鏡特にその暗視野照明装
置に関する。
置に関する。
（発明の背景）
従来のこの種の装置では、例えば米国特許第
2809554号明細書に開示されているごとく、物体
面上の観察視野を覆う幅の照明光束を対物レンズ
の開口数N.A.で定まる角度より大きい角度で、
対物レンズの周囲から供給している。従つて、対
物レンズ鏡筒の口径は、対物レンズ本来の口径に
周囲の輪帯状光束の幅を加えたかなり大きなもの
となつている。特に、低倍率対物レンズでは、観
察視野が広いため暗視野照明のための輪帯状光束
の幅も大きくなり、対物レンズ鏡筒が極めて太い
ものとなる傾向にある。このため落射顕微鏡で暗
視野照明を行なうことができるのは実用上せいぜ
い５倍程度までであり、これにより低倍率での暗
視野照明は実用化されていなかつた。
2809554号明細書に開示されているごとく、物体
面上の観察視野を覆う幅の照明光束を対物レンズ
の開口数N.A.で定まる角度より大きい角度で、
対物レンズの周囲から供給している。従つて、対
物レンズ鏡筒の口径は、対物レンズ本来の口径に
周囲の輪帯状光束の幅を加えたかなり大きなもの
となつている。特に、低倍率対物レンズでは、観
察視野が広いため暗視野照明のための輪帯状光束
の幅も大きくなり、対物レンズ鏡筒が極めて太い
ものとなる傾向にある。このため落射顕微鏡で暗
視野照明を行なうことができるのは実用上せいぜ
い５倍程度までであり、これにより低倍率での暗
視野照明は実用化されていなかつた。
（発明の目的）
本発明の目的は、対物レンズ鏡筒の口径をあま
り大きくすることなく低倍率においても優れた暗
視野照明を可能とする落射型顕微鏡を提供するこ
とにある。
り大きくすることなく低倍率においても優れた暗
視野照明を可能とする落射型顕微鏡を提供するこ
とにある。
（発明の概要）
本発明は、開口絞りの像を光分割鏡を介して対
物レンズの瞳面上に投影するためのフイールドレ
ンズを有し、該光分割鏡及び該対物レンズを介し
て被検物体へ照明光を供給する照明系を備えた落
射型顕微鏡において、 中心部に開口を有し、また該開口の外側に非点
対称形状の開口部を有する絞り部材を前記対物レ
ンズの瞳面上に配置すると共に、前記照明系を該
絞り部材の中心開口の外側の開口部へ光束を供給
する構成としたものである。
物レンズの瞳面上に投影するためのフイールドレ
ンズを有し、該光分割鏡及び該対物レンズを介し
て被検物体へ照明光を供給する照明系を備えた落
射型顕微鏡において、 中心部に開口を有し、また該開口の外側に非点
対称形状の開口部を有する絞り部材を前記対物レ
ンズの瞳面上に配置すると共に、前記照明系を該
絞り部材の中心開口の外側の開口部へ光束を供給
する構成としたものである。
ここで、瞳面上に配置される絞り部材の非点対
称形状の開口部とは、絞り部材の中央開口の外側
に形成された一つ或は複数の開口部分の中央開口
の中心に関して点対称な部分が遮光部分であるこ
とを意味する。換言すれば、絞り部材をその中心
すなわち光軸との交点を回転中心として180゜回転
しても開口部がもとの開口部と重複しないような
形状の開口部を意味する。そして望ましくは、遮
光板を180゜回転した状態の開口部と回転しない状
態の開口部とが互いに相補的となるような形状で
ある。このような非点対称形状開口部の最も好適
なものは、寄数個の開口部分が等角度間隔で形成
された輪帯領域を構成することによつて達成され
る。
称形状の開口部とは、絞り部材の中央開口の外側
に形成された一つ或は複数の開口部分の中央開口
の中心に関して点対称な部分が遮光部分であるこ
とを意味する。換言すれば、絞り部材をその中心
すなわち光軸との交点を回転中心として180゜回転
しても開口部がもとの開口部と重複しないような
形状の開口部を意味する。そして望ましくは、遮
光板を180゜回転した状態の開口部と回転しない状
態の開口部とが互いに相補的となるような形状で
ある。このような非点対称形状開口部の最も好適
なものは、寄数個の開口部分が等角度間隔で形成
された輪帯領域を構成することによつて達成され
る。
（実施例）
以下、図示した実施例に基づいて本発明を詳述
する。
する。
第１図は本発明による落射照明型顕微鏡の一実
施例の構成を示す光路図である。半透過鏡１を介
して供給される照明光は対物レンズL0を通つて
被検物体Ｏを照明し、対物レンズL0により物体
Ｏの像Ｉが形成される。ここで、照明系における
開口絞り２及び視野絞り３についての各共役関係
は周知のとおりである。詳述すれば、光源Ｓから
発する照明光は集光レンズL1により開口絞り２
の位置に集光され、さらにフイールドレンズL2
により半透過鏡１を介して対物レンズL0の瞳面
すなわち光源側焦点面Ｆ上に集光される。これに
よりいわゆるケーラー照明が達成され、照明光の
明るさは開口絞り２の口径を変えることにより制
御される。また、視野絞り３はフイールドレンズ
L2及び対物レンズL0により半透過鏡１を介して
物体Ｏ上に投影され、視野絞り３の開口を変える
ことにより照明領域（視野）を変えることができ
る。すなわち、集光レンズL1に関して光源Ｓと
開口絞り２とが共役であり、フイールドレンズ
L2に関して開口絞り２と対物レンズL0の光源側
瞳面Ｆとが共役である。そして、フイールドレン
ズL2と対物レンズL0とに関して、視野絞り３と
物体Ｏとが共役である。
施例の構成を示す光路図である。半透過鏡１を介
して供給される照明光は対物レンズL0を通つて
被検物体Ｏを照明し、対物レンズL0により物体
Ｏの像Ｉが形成される。ここで、照明系における
開口絞り２及び視野絞り３についての各共役関係
は周知のとおりである。詳述すれば、光源Ｓから
発する照明光は集光レンズL1により開口絞り２
の位置に集光され、さらにフイールドレンズL2
により半透過鏡１を介して対物レンズL0の瞳面
すなわち光源側焦点面Ｆ上に集光される。これに
よりいわゆるケーラー照明が達成され、照明光の
明るさは開口絞り２の口径を変えることにより制
御される。また、視野絞り３はフイールドレンズ
L2及び対物レンズL0により半透過鏡１を介して
物体Ｏ上に投影され、視野絞り３の開口を変える
ことにより照明領域（視野）を変えることができ
る。すなわち、集光レンズL1に関して光源Ｓと
開口絞り２とが共役であり、フイールドレンズ
L2に関して開口絞り２と対物レンズL0の光源側
瞳面Ｆとが共役である。そして、フイールドレン
ズL2と対物レンズL0とに関して、視野絞り３と
物体Ｏとが共役である。
このような落射型顕微鏡の基本構成において、
開口絞り２の位置には第２図に示すごとき遮光板
４が配置されている。第２図は第１図における遮
光板４の−矢視平面図であり、図示のごとく
遮光板４は光軸を中心とする輪帯開口４ａを有し
ている。また、対物レンズL0の光源側瞳位置
（焦点面）Ｆには第３図に示すごとき絞り部材５
が配置されている。第３図は第１図における絞り
部材５の−矢視平面図であり、図示のごと
く、絞り部材５はその中心部に円形開口５ａを有
し、また、円形開口５ａの周囲の輪帯領域には５
個の扇形開口部５ｂと５個の扇形遮光部５ｂとが
交互に等角度間隔で形成されている。絞り部材５
の輪帯領域では、５個の扇形開口部５ｂは全体と
して非点対称形状であり、絞り部材５をその中心
に関して180゜回転する場合には５個の扇形遮光部
に合致する。そして、視野絞り２と対物レンズ
L0の瞳Ｆとは前述したとおり共役であるから、
遮光板４の輪帯開口４ａの像が絞り部材５の輪帯
領域上に形成される。
開口絞り２の位置には第２図に示すごとき遮光板
４が配置されている。第２図は第１図における遮
光板４の−矢視平面図であり、図示のごとく
遮光板４は光軸を中心とする輪帯開口４ａを有し
ている。また、対物レンズL0の光源側瞳位置
（焦点面）Ｆには第３図に示すごとき絞り部材５
が配置されている。第３図は第１図における絞り
部材５の−矢視平面図であり、図示のごと
く、絞り部材５はその中心部に円形開口５ａを有
し、また、円形開口５ａの周囲の輪帯領域には５
個の扇形開口部５ｂと５個の扇形遮光部５ｂとが
交互に等角度間隔で形成されている。絞り部材５
の輪帯領域では、５個の扇形開口部５ｂは全体と
して非点対称形状であり、絞り部材５をその中心
に関して180゜回転する場合には５個の扇形遮光部
に合致する。そして、視野絞り２と対物レンズ
L0の瞳Ｆとは前述したとおり共役であるから、
遮光板４の輪帯開口４ａの像が絞り部材５の輪帯
領域上に形成される。
従つて、光源Ｓから供給され集光レンズL1に
より遮光板４の輪帯開口４ａに集光される光束
は、フイールドレンズL2により半透過鏡１を介
して絞り部材５上の輪帯領域上に集光され、扇形
開口部５ｂに達する光束は対物レンズL0を通つ
て物体Ｏに達する。そして遮光板４の輪帯開口部
４ａを通り対物レンズの瞳面Ｆ上で集光されて、
扇形開口部５ｂを通つて物体Ｏに達する光束は、
物体Ｏで反射された後対物レンズL0の作用によ
り再び瞳面Ｆ上に集光される。このような照明光
の光路は第１図中で斜線部によつて表わされてい
る。
より遮光板４の輪帯開口４ａに集光される光束
は、フイールドレンズL2により半透過鏡１を介
して絞り部材５上の輪帯領域上に集光され、扇形
開口部５ｂに達する光束は対物レンズL0を通つ
て物体Ｏに達する。そして遮光板４の輪帯開口部
４ａを通り対物レンズの瞳面Ｆ上で集光されて、
扇形開口部５ｂを通つて物体Ｏに達する光束は、
物体Ｏで反射された後対物レンズL0の作用によ
り再び瞳面Ｆ上に集光される。このような照明光
の光路は第１図中で斜線部によつて表わされてい
る。
ここで、瞳面Ｆ上では光軸と交わる中心点に関
して互いに点対称な位置が対物レンズL0及び物
体Ｏでの反射に関して相互に共役となつており、
従つて、第３図に示した絞り部材５上において、
輪帯領域上の扇形開口部５ｂは物体面での反射光
に関して扇形遮光部５ｃと共役である。このた
め、絞り部材５の開口部５ｂを通過し、物対面Ｏ
で反射された光束は全て絞り部材５の遮光部５ｃ
に達し、物体面での直接反射光は瞳面で完全に遮
光される。瞳面を通過して像面に達する光は、物
体面での直接反射光以外の光、すなわち物体面で
の散乱或は回折光のうち、瞳面上に配置された絞
り部材５の中央開口５ａを通る光である。このよ
うな構成により、照明光のうち直接反射光が完全
に遮光され、散乱或は回折光のみによつて物体像
が形成される。この像が暗視野照明による所望の
物体像である。
して互いに点対称な位置が対物レンズL0及び物
体Ｏでの反射に関して相互に共役となつており、
従つて、第３図に示した絞り部材５上において、
輪帯領域上の扇形開口部５ｂは物体面での反射光
に関して扇形遮光部５ｃと共役である。このた
め、絞り部材５の開口部５ｂを通過し、物対面Ｏ
で反射された光束は全て絞り部材５の遮光部５ｃ
に達し、物体面での直接反射光は瞳面で完全に遮
光される。瞳面を通過して像面に達する光は、物
体面での直接反射光以外の光、すなわち物体面で
の散乱或は回折光のうち、瞳面上に配置された絞
り部材５の中央開口５ａを通る光である。このよ
うな構成により、照明光のうち直接反射光が完全
に遮光され、散乱或は回折光のみによつて物体像
が形成される。この像が暗視野照明による所望の
物体像である。
上記実施例のごとく、本発明による暗視野照明
型落射顕微鏡は、従来の一般的落射照明型顕微鏡
において、対物レンズの瞳面上に第３図に示した
ごとき絞り部材５を配置し、開口絞り面上に第２
図に示したごとき遮光板４を挿入することによつ
て達成される。この場合、対物レンズの有効径は
対物レンズに固有の開口数を保持するのに必要な
有効径よりやや大きくすることが望ましい。但
し、低倍率の対物レンズでは高倍率ほどには開口
数を重視しないため、対物レンズの開口数を瞳面
上に配置される絞り部材５の中心開口５ａの口径
でやや制限することとすれば、従来の対物レンズ
をそのまま流用することも可能である。等倍の対
物レンズを用いて暗視野照明を行う場合につい
て、従来の装置の延長のものと本発明のものとを
比較してみるに、等倍では視野の直径が約20mmで
あるから従来の装置では輪帯状の照明光束の幅も
20mm程必要であり、対物レンズ本来の口径が約20
mmであるため対物レンズ全体の口径は60mm程度に
もなるところ、本発明によれば、対物レンズの有
効径を数mm大きくするだけで同一のN.A.を維持
したまま暗視野照明が可能であるため、対物レン
ズの実際上の口径は原理的に従来の半分以下と極
めて小さくすることが可能である。
型落射顕微鏡は、従来の一般的落射照明型顕微鏡
において、対物レンズの瞳面上に第３図に示した
ごとき絞り部材５を配置し、開口絞り面上に第２
図に示したごとき遮光板４を挿入することによつ
て達成される。この場合、対物レンズの有効径は
対物レンズに固有の開口数を保持するのに必要な
有効径よりやや大きくすることが望ましい。但
し、低倍率の対物レンズでは高倍率ほどには開口
数を重視しないため、対物レンズの開口数を瞳面
上に配置される絞り部材５の中心開口５ａの口径
でやや制限することとすれば、従来の対物レンズ
をそのまま流用することも可能である。等倍の対
物レンズを用いて暗視野照明を行う場合につい
て、従来の装置の延長のものと本発明のものとを
比較してみるに、等倍では視野の直径が約20mmで
あるから従来の装置では輪帯状の照明光束の幅も
20mm程必要であり、対物レンズ本来の口径が約20
mmであるため対物レンズ全体の口径は60mm程度に
もなるところ、本発明によれば、対物レンズの有
効径を数mm大きくするだけで同一のN.A.を維持
したまま暗視野照明が可能であるため、対物レン
ズの実際上の口径は原理的に従来の半分以下と極
めて小さくすることが可能である。
尚、上記実施例では、開口絞り２の位置に配置
される遮光板４に輪帯状の開口４ａを設け、瞳面
Ｆ上の絞り部材５へ輪帯状光束を供給する構成と
したが、絞り部材５の周辺部の遮光部５ｂへ達す
る光は全く不必要であるため、この部分の光束を
予め遮光板で遮光することも可能である。このた
めの遮光板は第４図の平面図に示すごとく、中心
部は勿論遮光部であるが、その周囲の輪帯領域は
第３図に示した絞り部材５の輪帯領域と同一又は
相似形状の開口部４ｂと遮光部４ｃとが間隔で交
互に形成されている。
される遮光板４に輪帯状の開口４ａを設け、瞳面
Ｆ上の絞り部材５へ輪帯状光束を供給する構成と
したが、絞り部材５の周辺部の遮光部５ｂへ達す
る光は全く不必要であるため、この部分の光束を
予め遮光板で遮光することも可能である。このた
めの遮光板は第４図の平面図に示すごとく、中心
部は勿論遮光部であるが、その周囲の輪帯領域は
第３図に示した絞り部材５の輪帯領域と同一又は
相似形状の開口部４ｂと遮光部４ｃとが間隔で交
互に形成されている。
また、上記実施例では対物レンズの瞳面の輪帯
領域を10分割し、５個の扇形開口部が等角度間隔
で配置するような絞り部材を設けたが、これに限
らず第５図の平面図に示すごとく、中心開口５ａ
の外側の輪帯領域を60゜づつ６分割し、３個の扇
形開口部５b′と３個の遮光部５c′とを有する絞り
部材５′を配置してもよい。この場合にも、扇形
開口部５b′を通過して物体面に達する照明光のう
ち、物体面での正反射光は全て扇形開口部５b′と
点対称形状の扇形遮光部５c′に集光するため、物
体面での散乱或は回折光のみによつて物体像が形
成され、完全な暗視野観察が可能となる。このよ
うな絞り部材５′を対物レンズの瞳面に配置する
場合には、第２図に示したごとき輪帯状の開口４
ａを有する遮光板４を開口絞り位置に配置すれば
よいが、第６図に示したごとく、輪帯領域を等角
度に６分割し、３個の扇形開口部４b′を有する遮
光板４″を配置することも有効である。この時、
遮光板４″の３個の扇形開口部４b′がそれぞれ絞
り部材５′の扇形開口部５b′に対応することはい
うまでもない。
領域を10分割し、５個の扇形開口部が等角度間隔
で配置するような絞り部材を設けたが、これに限
らず第５図の平面図に示すごとく、中心開口５ａ
の外側の輪帯領域を60゜づつ６分割し、３個の扇
形開口部５b′と３個の遮光部５c′とを有する絞り
部材５′を配置してもよい。この場合にも、扇形
開口部５b′を通過して物体面に達する照明光のう
ち、物体面での正反射光は全て扇形開口部５b′と
点対称形状の扇形遮光部５c′に集光するため、物
体面での散乱或は回折光のみによつて物体像が形
成され、完全な暗視野観察が可能となる。このよ
うな絞り部材５′を対物レンズの瞳面に配置する
場合には、第２図に示したごとき輪帯状の開口４
ａを有する遮光板４を開口絞り位置に配置すれば
よいが、第６図に示したごとく、輪帯領域を等角
度に６分割し、３個の扇形開口部４b′を有する遮
光板４″を配置することも有効である。この時、
遮光板４″の３個の扇形開口部４b′がそれぞれ絞
り部材５′の扇形開口部５b′に対応することはい
うまでもない。
第１図に示した実施例では、開口絞りからの光
束を斜設した半透過鏡１により対物レンズへ導く
構成としたが、半透過鏡の代りに孔開き反射鏡を
斜設する構成とすることもできる。半透過鏡では
照明光も物体からの散乱或は回折光も半減するの
に対し、孔開き反射鏡の場合には結像光束の周囲
が若干遮られるものの照明光も物体からの散乱或
は回折光も減衰する恐れはない。従つて、通常の
落射照明の時には半透過鏡を配置し、暗視野の落
射照明を行なう際に、この半透過鏡を孔開き反射
鏡で置き換えることが有効である。
束を斜設した半透過鏡１により対物レンズへ導く
構成としたが、半透過鏡の代りに孔開き反射鏡を
斜設する構成とすることもできる。半透過鏡では
照明光も物体からの散乱或は回折光も半減するの
に対し、孔開き反射鏡の場合には結像光束の周囲
が若干遮られるものの照明光も物体からの散乱或
は回折光も減衰する恐れはない。従つて、通常の
落射照明の時には半透過鏡を配置し、暗視野の落
射照明を行なう際に、この半透過鏡を孔開き反射
鏡で置き換えることが有効である。
尚、上記各実施例における遮光板及び絞り部材
の形状は、各図に示したごとく、同一の大きさで
ある必要はなく、フイールドレンズに関する所定
倍率での共役関係により、遮光板の形状も絞り部
材の形状もそれぞれ相似形を維持しつつ大きさは
変わり得るものである。また、遮光板と絞り部材
との実際的配置に際しては、上述した光束の状態
が実現されるように両者のフイールドレンズに関
する共役関係に加えて光分割鏡での反射も考慮さ
れなければならないことはいうまでもない。ま
た、米国特許第2318705号明細書に開示されたご
とく、偏光板、λ／４板、検光子を組合せて迷光
を防止することが有効である。
の形状は、各図に示したごとく、同一の大きさで
ある必要はなく、フイールドレンズに関する所定
倍率での共役関係により、遮光板の形状も絞り部
材の形状もそれぞれ相似形を維持しつつ大きさは
変わり得るものである。また、遮光板と絞り部材
との実際的配置に際しては、上述した光束の状態
が実現されるように両者のフイールドレンズに関
する共役関係に加えて光分割鏡での反射も考慮さ
れなければならないことはいうまでもない。ま
た、米国特許第2318705号明細書に開示されたご
とく、偏光板、λ／４板、検光子を組合せて迷光
を防止することが有効である。
（発明の効果）
以上のごとく、本発明では対物レンズの瞳面の
周囲を開口部とこれに相補的な遮光部とに分割す
る構成であるため、従来のごとく対物レンズ鏡筒
の口径を極端に大きくする必要がなく、低倍率の
落射型顕微鏡でも完全な暗視野照明による検鏡を
行なうことができる。そして、従来の落射型顕微
鏡では実用不可能であつた等倍の対物レンズによ
る暗視野照明も可能である。
周囲を開口部とこれに相補的な遮光部とに分割す
る構成であるため、従来のごとく対物レンズ鏡筒
の口径を極端に大きくする必要がなく、低倍率の
落射型顕微鏡でも完全な暗視野照明による検鏡を
行なうことができる。そして、従来の落射型顕微
鏡では実用不可能であつた等倍の対物レンズによ
る暗視野照明も可能である。
第１図は本発明による落射型顕微鏡の実施例の
概略光路図、第２図は遮光板の平面図、第３図は
絞り部材の平面図、第４図は遮光板の他の例の平
面図、第５図は絞り部材の他の例の平面図、第６
図は遮光板のさらに他の例の平面図である。 主要部分の符号の説明、L1……集光レンズ、
L2……フイールドレンズ、L0……対物レンズ、
Ｆ……対物レンズの瞳面、１……半分割鏡、２…
…開口絞り、３……視野絞り、４……遮光板、５
……絞り部材。
概略光路図、第２図は遮光板の平面図、第３図は
絞り部材の平面図、第４図は遮光板の他の例の平
面図、第５図は絞り部材の他の例の平面図、第６
図は遮光板のさらに他の例の平面図である。 主要部分の符号の説明、L1……集光レンズ、
L2……フイールドレンズ、L0……対物レンズ、
Ｆ……対物レンズの瞳面、１……半分割鏡、２…
…開口絞り、３……視野絞り、４……遮光板、５
……絞り部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 開口絞りの像を光分割鏡を介して対物レンズ
の瞳面上に投影するためのフイールドレンズを有
し、該光分割鏡及び該対物レンズを介して被検物
体へ照明光を供給する照明系を備えた落射顕微鏡
において、 中心部に開口を有し、また該開口の外側に非点
対称形状の開口部を有する絞り部材を前記対物レ
ンズの瞳面上に配置すると共に、前記照明系を該
絞り部材の中心開口の外側の開口部へ光束を供給
する構成としたことを特徴とする暗視野用落射顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17167983A JPS6063514A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 暗視野用落射顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17167983A JPS6063514A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 暗視野用落射顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6063514A JPS6063514A (ja) | 1985-04-11 |
| JPH0314325B2 true JPH0314325B2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=15927684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17167983A Granted JPS6063514A (ja) | 1983-09-17 | 1983-09-17 | 暗視野用落射顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6063514A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5345333A (en) * | 1991-04-19 | 1994-09-06 | Unimat (Usa) Corporation | Illumination system and method for a high definition light microscope |
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| US6888148B2 (en) * | 2001-12-10 | 2005-05-03 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Arrangement for the optical capture of excited and /or back scattered light beam in a sample |
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| KR101064515B1 (ko) | 2009-05-15 | 2011-09-15 | 한국과학기술연구원 | 암시야 현미경 및 이를 이용한 산란광 검출 방법 |
| EP4030201A1 (en) * | 2014-10-14 | 2022-07-20 | Nanotronics Imaging, Inc. | An imaging apparatus and a process for imaging a surface of a specimen |
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-
1983
- 1983-09-17 JP JP17167983A patent/JPS6063514A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6063514A (ja) | 1985-04-11 |
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