JPS597325A - ケ−ラ−照明光学系 - Google Patents
ケ−ラ−照明光学系Info
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- JPS597325A JPS597325A JP11637582A JP11637582A JPS597325A JP S597325 A JPS597325 A JP S597325A JP 11637582 A JP11637582 A JP 11637582A JP 11637582 A JP11637582 A JP 11637582A JP S597325 A JPS597325 A JP S597325A
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- illumination
- light
- optical system
- lens
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/12—Condensers affording bright-field illumination
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光学機器の照明装置、特に顕微鏡、投影検査
機などのように拡大像を得るだめの光学機器に用いられ
る照明装置の光学系に関する。
機などのように拡大像を得るだめの光学機器に用いられ
る照明装置の光学系に関する。
顕微鏡や投影検査機などのように、極めて小さい物体を
拡大観察または拡大撮影する場合には、その物体（以下
［標本１と称する。）を強い光で照明しなければ明るい
拡大像は得られない。しかも、標本の細部まで明瞭な像
を得るためには、その照明光は、対物レンズの開口数を
充分溝すようにその開口−ぽいに拡がっていなければな
らない。
拡大観察または拡大撮影する場合には、その物体（以下
［標本１と称する。）を強い光で照明しなければ明るい
拡大像は得られない。しかも、標本の細部まで明瞭な像
を得るためには、その照明光は、対物レンズの開口数を
充分溝すようにその開口−ぽいに拡がっていなければな
らない。
この・ような条件を満足する方法として、光源とコンデ
ンザーレンズとの間に補助集光レンズを設けて、光源の
像を標本面上に結ばせるようにした臨界照明法が古くか
ら知られている。しかし、この臨界照明では、標本と光
源像とが重々るため、対物レンズを通して両者の拡大像
が一緒に見えることになり、従って照明むらを生ずる恐
れが有る。
ンザーレンズとの間に補助集光レンズを設けて、光源の
像を標本面上に結ばせるようにした臨界照明法が古くか
ら知られている。しかし、この臨界照明では、標本と光
源像とが重々るため、対物レンズを通して両者の拡大像
が一緒に見えることになり、従って照明むらを生ずる恐
れが有る。
この照明むらを除く最も優れた照明方法とｌ〜て従来か
らり一−−ラー照明法が広く用いられている。
らり一−−ラー照明法が広く用いられている。
このケーラー照明は、通常、光源像をコンデンサーレン
ズの前側焦点（ただＬ、反射照明の場合には対物レンズ
の後側焦点）位肪″近傍に形成し、このコンデンサ−レ
ンズ（反射照明の場合には対物レンズ）から射出される
ほぼ平行な照明光束により標本を照明するように構成さ
れる。この場合、その光源像は、各種の異った開口数の
対物レンズに適合するように充分な大きさでかつ均等な
明るさをもつようにしなければ、対物レンズの開口数に
対応干る分解能は得られない。
ズの前側焦点（ただＬ、反射照明の場合には対物レンズ
の後側焦点）位肪″近傍に形成し、このコンデンサ−レ
ンズ（反射照明の場合には対物レンズ）から射出される
ほぼ平行な照明光束により標本を照明するように構成さ
れる。この場合、その光源像は、各種の異った開口数の
対物レンズに適合するように充分な大きさでかつ均等な
明るさをもつようにしなければ、対物レンズの開口数に
対応干る分解能は得られない。
それ故、ケーラー照明法による光学系において、上記の
ようん照明状態を得るために、光学系内の視野絞りの前
方に拡散板を設けたり、光源の後方に凹面鏡を配置して
、並列する２個の光源像を形成したものが公知である。
ようん照明状態を得るために、光学系内の視野絞りの前
方に拡散板を設けたり、光源の後方に凹面鏡を配置して
、並列する２個の光源像を形成したものが公知である。
しかしながら、前者は、周辺部才で均等な明るさが得ら
れるように拡散度の強い拡散板を使用するので、コンデ
ンサーに向う光の損失が大きく、標本像が暗くなる欠点
がある。捷だ後者にあっては、光源からの直接像と凹面
鏡からの反射像との明るさの差が大きく、従って同−視
野内において部分的に著１−＜分解能が低ドする恐れが
ある。また光源像を形成する光学系を切り換えて、光源
像の拡大率が数段階に変えられるものや、ズーム変倍光
学系を内蔵（〜たものも公知であるが、これらはいずれ
も、構造が複雑で高仙１なものとなる欠点がある。
れるように拡散度の強い拡散板を使用するので、コンデ
ンサーに向う光の損失が大きく、標本像が暗くなる欠点
がある。捷だ後者にあっては、光源からの直接像と凹面
鏡からの反射像との明るさの差が大きく、従って同−視
野内において部分的に著１−＜分解能が低ドする恐れが
ある。また光源像を形成する光学系を切り換えて、光源
像の拡大率が数段階に変えられるものや、ズーム変倍光
学系を内蔵（〜たものも公知であるが、これらはいずれ
も、構造が複雑で高仙１なものとなる欠点がある。
捷だ一方、ケーラ照明法における上記のような従来の光
源像形成方法の欠点を回避する一つの方法として、高倍
率の対物レンズに対１〜ては、ケーラー照明を臨界照明
（（切り換えて使用する照明光学系が、例えば特公昭４
４−４５１３号の特許公報により公知である。しかしな
がら、この臨界照明法は、前述の如く照明むらを生じる
恐れがあるので、少なくとも高倍率の対物レンズの実視
野に生ずる光源像が、一様な輝度をもつように光源を＃
軸調整して、輝度の一様な部分を選ぶ仏間があり、その
調整操作が畑雑である。（−かもその、巽ばれた位置が
、光源の片側に偏した位ｆ！’、 （／Ｃあるときｄ−
、ケーラー照明に切り換えだとき、再び光源像がｌｌ＋
位置（光ｔｌＱｉ＋中＋ｌｙ’ ）に復帰寸Ｚ、」、う
に光源位宿゛究内調整しなければ々らない。
源像形成方法の欠点を回避する一つの方法として、高倍
率の対物レンズに対１〜ては、ケーラー照明を臨界照明
（（切り換えて使用する照明光学系が、例えば特公昭４
４−４５１３号の特許公報により公知である。しかしな
がら、この臨界照明法は、前述の如く照明むらを生じる
恐れがあるので、少なくとも高倍率の対物レンズの実視
野に生ずる光源像が、一様な輝度をもつように光源を＃
軸調整して、輝度の一様な部分を選ぶ仏間があり、その
調整操作が畑雑である。（−かもその、巽ばれた位置が
、光源の片側に偏した位ｆ！’、 （／Ｃあるときｄ−
、ケーラー照明に切り換えだとき、再び光源像がｌｌ＋
位置（光ｔｌＱｉ＋中＋ｌｙ’ ）に復帰寸Ｚ、」、う
に光源位宿゛究内調整しなければ々らない。
本発明は、上記のような従来装置の欠点を解決（７、光
源からの光の光融損失が少く、明るく、しかも、高倍率
の対物レンズに対しても、その開口数に応じた分解能が
全視野にわたり１３・らなく得られるようなり−ラー照
明光学系を安価に提供することを間約とする。そのため
、本発明においては、ケーラー照明光学系の光源と視野
絞りとの間の照明光路上υ乙照明光束を互いに異なる所
定の方向に偏向して検数の光束に分割子る光束分割手段
を設けて、コンデンサーレンズ（捷たは対物レンズ）の
開口絞り位置（瞳位置）近傍の同一平面」二に複数の光
源像を形成＋るようにし、コンデンサーレンズ（才たは
対物レンズ）ｆ介して標本を１」（イ明することを特徴
と１．ている。
源からの光の光融損失が少く、明るく、しかも、高倍率
の対物レンズに対しても、その開口数に応じた分解能が
全視野にわたり１３・らなく得られるようなり−ラー照
明光学系を安価に提供することを間約とする。そのため
、本発明においては、ケーラー照明光学系の光源と視野
絞りとの間の照明光路上υ乙照明光束を互いに異なる所
定の方向に偏向して検数の光束に分割子る光束分割手段
を設けて、コンデンサーレンズ（捷たは対物レンズ）の
開口絞り位置（瞳位置）近傍の同一平面」二に複数の光
源像を形成＋るようにし、コンデンサーレンズ（才たは
対物レンズ）ｆ介して標本を１」（イ明することを特徴
と１．ている。
以１、添付の１シー而に従一つで本発明を訂しく説明−
Ｊ−る。
Ｊ−る。
／
／′
／′
／
／
＝、 Ｊ ｌ゛；！ｌは、従来からよく顕微鏡等に使用
されている公知のケーラ照明装置の原理的光学系の配置
ｒ図である。フィラメント光源１から放射された光は、
コレクターレンズ２によって州党され、結像レンズ：３
を介してコンデンザーレンズ４の前側焦点位１飾゛に設
けられた開口絞り５の近傍に光源像６を形成し、更にコ
ンデンザーレンズ４を通過してほぼ平行光束となり、標
本Ｓを照明する。照明された標本Ｓの像は図示されてい
ないダｊ物レンズによって周知の如く拡大して結像され
る。まだコンデンザーレンズ４と結像レンズ３との合成
光学系に関し、標本Ｓと共役な位１笹に視野絞り７が設
けられ、コレクターレンズ２と結イＳＩレンズ３との間
の照明光束がほぼ平行光束となるように光′ｍ、１とコ
レクターレンズ２七の間隔は設定されている。
されている公知のケーラ照明装置の原理的光学系の配置
ｒ図である。フィラメント光源１から放射された光は、
コレクターレンズ２によって州党され、結像レンズ：３
を介してコンデンザーレンズ４の前側焦点位１飾゛に設
けられた開口絞り５の近傍に光源像６を形成し、更にコ
ンデンザーレンズ４を通過してほぼ平行光束となり、標
本Ｓを照明する。照明された標本Ｓの像は図示されてい
ないダｊ物レンズによって周知の如く拡大して結像され
る。まだコンデンザーレンズ４と結像レンズ３との合成
光学系に関し、標本Ｓと共役な位１笹に視野絞り７が設
けられ、コレクターレンズ２と結イＳＩレンズ３との間
の照明光束がほぼ平行光束となるように光′ｍ、１とコ
レクターレンズ２七の間隔は設定されている。
上記のような顕微鍋１の一般面ケーラー照明光学系にお
いて重要なことは、各種の異った開口数をもつ対！ｊＩ
Ｖ＃＋レンズに適合するように、開口絞り５の而に十分
な大きさで且つ均等な明るさになるような光源像を作る
ことである。Ｉかしながら、フィラメント光源を明るき
の均一な面光源とすることは困難である。それ故、光源
像６を拡散して拡大す２だめに、第１図に鉛線Ｖこて示
したようにコレクターレンズ２と視野絞り７との間の光
路中（ｒ（′拡散度の強い拡散板８が置かれるが、その
ため集光レンズ５に向・う光が減少し１、高倍率の対物
レンズに対１〜ては標本像が暗くなり、明瞭な像の観、
察せたけ操影が不可能となる。
いて重要なことは、各種の異った開口数をもつ対！ｊＩ
Ｖ＃＋レンズに適合するように、開口絞り５の而に十分
な大きさで且つ均等な明るさになるような光源像を作る
ことである。Ｉかしながら、フィラメント光源を明るき
の均一な面光源とすることは困難である。それ故、光源
像６を拡散して拡大す２だめに、第１図に鉛線Ｖこて示
したようにコレクターレンズ２と視野絞り７との間の光
路中（ｒ（′拡散度の強い拡散板８が置かれるが、その
ため集光レンズ５に向・う光が減少し１、高倍率の対物
レンズに対１〜ては標本像が暗くなり、明瞭な像の観、
察せたけ操影が不可能となる。
第２図、第３Ａ図および第３Ｂ図は本発明の光束分割フ
ィルターを照明光路上に設けたケーラ照明光学系の実施
例を示す光学系配置図である。なお、フィラメント光臨
１、コレクターレンズ２、集光レンズ３、コンデンザー
レンズ４、開口絞り５および視野絞り７は、いずれも第
１図のそれと同一であるので説明を省略する。第２図は
第１図の拡散板８のかわりに後で詳しく述べられる本発
明による透明な光栄分割フィルター９がコレクターレン
ズ２と視野絞り７との間の照明光路上に設−けられた本
の、ら′！、 ３ Ａ図は、第２図の光束分割フィルタ
ー９の近傍に更に拡散度の弱い拡散板８′を付加したも
の、筑３ＢＩＸｉは光束分割フィルター９をモーターＭ
で回転可能になしたものである。
ィルターを照明光路上に設けたケーラ照明光学系の実施
例を示す光学系配置図である。なお、フィラメント光臨
１、コレクターレンズ２、集光レンズ３、コンデンザー
レンズ４、開口絞り５および視野絞り７は、いずれも第
１図のそれと同一であるので説明を省略する。第２図は
第１図の拡散板８のかわりに後で詳しく述べられる本発
明による透明な光栄分割フィルター９がコレクターレン
ズ２と視野絞り７との間の照明光路上に設−けられた本
の、ら′！、 ３ Ａ図は、第２図の光束分割フィルタ
ー９の近傍に更に拡散度の弱い拡散板８′を付加したも
の、筑３ＢＩＸｉは光束分割フィルター９をモーターＭ
で回転可能になしたものである。
第４Ａ図は本発明の光束分割フィルター９の一部を切除
した斜視図で、その−面に第４Ｂ図の如く傾角θの斜面
にて形成された平行な多数の山形９ａが形成されている
。第２図のコレクターレンズ２からの光束は、光束分割
フィルター９の傾角θにより偏角αおよび一部だけ屈折
仏；向される。
した斜視図で、その−面に第４Ｂ図の如く傾角θの斜面
にて形成された平行な多数の山形９ａが形成されている
。第２図のコレクターレンズ２からの光束は、光束分割
フィルター９の傾角θにより偏角αおよび一部だけ屈折
仏；向される。
この偏角αおよび−αに偏向して分割された光束は第２
図の如く結像レンズ３により開口絞り５の而−ヒに集光
され、同一の光源像６ａおよび６ｂが結像される。第４
ｃ図は開口絞り面における光源像の平面図である。この
場合、山形９ａの斜面の幅をすべて等しくすると、その
２組の光源像６ａおよび６ｂの明るさは等しくなる。こ
の光源像を全く等しい２個の光源像に分割する光束分割
フィルター９は、第４Ｃ図に示されているようにフィラ
メントの輪郭が縦横比率の大きい矩形状の場合に、光の
損失が極めて少なく合理的である。
図の如く結像レンズ３により開口絞り５の而−ヒに集光
され、同一の光源像６ａおよび６ｂが結像される。第４
ｃ図は開口絞り面における光源像の平面図である。この
場合、山形９ａの斜面の幅をすべて等しくすると、その
２組の光源像６ａおよび６ｂの明るさは等しくなる。こ
の光源像を全く等しい２個の光源像に分割する光束分割
フィルター９は、第４Ｃ図に示されているようにフィラ
メントの輪郭が縦横比率の大きい矩形状の場合に、光の
損失が極めて少なく合理的である。
第２図において、コレクターレンズ２から平行光束が結
像レンズ３に入射するものとし、この結像レンズ２の焦
点距離をｆ１光源像の光軸中心からの偏位置を又とする
と、光束分割フィルターの山形斜面の傾角θは次式によ
って求めることができる。
像レンズ３に入射するものとし、この結像レンズ２の焦
点距離をｆ１光源像の光軸中心からの偏位置を又とする
と、光束分割フィルターの山形斜面の傾角θは次式によ
って求めることができる。
だだＬ、ｎは光束分割フィルターの屈折率である。
この傾角θを適当に選ぶことにより、互いに重なること
の無い同一の明るさの光源像を２個作ることができる。
の無い同一の明るさの光源像を２個作ることができる。
卯、５Ａ図および第５Ｂ図は光束分割フィルター９の他
の実施例で、第５Ａ図は隣接する各山形９ａの間の谷部
に平行平面部９ｂを設けたもの、第５Ｂ図は各山形の頂
点部分に平行平面部９ｃを設けたものである。このよう
に平行平面部９ｂ１９ｃｆ設けることにより、光軸上に
もう１個の光佇像を作ることができる。第５ｃ図は平行
平面部９ｂ、９Ｃを追加することにより分割形成された
３個の光源像を示すものである。この場合も山形の傾角
θは前記の算式によって求めることができる。
の実施例で、第５Ａ図は隣接する各山形９ａの間の谷部
に平行平面部９ｂを設けたもの、第５Ｂ図は各山形の頂
点部分に平行平面部９ｃを設けたものである。このよう
に平行平面部９ｂ１９ｃｆ設けることにより、光軸上に
もう１個の光佇像を作ることができる。第５ｃ図は平行
平面部９ｂ、９Ｃを追加することにより分割形成された
３個の光源像を示すものである。この場合も山形の傾角
θは前記の算式によって求めることができる。
なお、傾角θをもつ山形またけＶ字谷形の幅をＰとする
と、平行平面部の幅はＰ／２とすることにより３個の光
源像は等しい明るさとなる。
と、平行平面部の幅はＰ／２とすることにより３個の光
源像は等しい明るさとなる。
第６Ａ図は、傾角θ１およびθ２の２つの異なる角度を
有する山形が交互に配置された光束分割フィルターの実
施例を示すもので、これにより４個の光源像が第６Ｂ図
の如く得られる。この嚇合、各山形のピッチＰを等しく
すれば、４個の光源像は等しい明るさとなる。この場合
の傾角θ１およびθ２は、前記のｆｆｌ角θの算式から
求めることができ、＠６Ｂ図の光源イ＠） ５ ａおよ
び６ｂは傾角θ１から、光源像６′ａおよび６’ｂｌｄ
（Ｅｌ’ｌ角０２シζよって摺られる。
有する山形が交互に配置された光束分割フィルターの実
施例を示すもので、これにより４個の光源像が第６Ｂ図
の如く得られる。この嚇合、各山形のピッチＰを等しく
すれば、４個の光源像は等しい明るさとなる。この場合
の傾角θ１およびθ２は、前記のｆｆｌ角θの算式から
求めることができ、＠６Ｂ図の光源イ＠） ５ ａおよ
び６ｂは傾角θ１から、光源像６′ａおよび６’ｂｌｄ
（Ｅｌ’ｌ角０２シζよって摺られる。
第７Ａ図は第４Ｂ図のような傾角θをもつ山形列を両面
に形成した光束分割フィルター９′の平面図で、第７Ｂ
図は第７Ａ図のＩＯ［面図である。この場合、表面の山
形９ａと裏面の山形９ｄとは互いに山交するように形成
されているので、これにより、光束は４つの所定の方向
に偏向され、光源像は第７Ｃ図の如く上・下２個ずつ計
４個の像に分割される。この場合は、フィラメント光源
の輪郭形状はほぼ正方形ないｌ−円形に近いものが有利
である。なお第４Ａ図の光線分割フィルターを２枚使用
し、その山形列を〃いに直交−する如く配置しても同様
に４１１Ｉ！ｉｌの像がイ！ｔられる。
に形成した光束分割フィルター９′の平面図で、第７Ｂ
図は第７Ａ図のＩＯ［面図である。この場合、表面の山
形９ａと裏面の山形９ｄとは互いに山交するように形成
されているので、これにより、光束は４つの所定の方向
に偏向され、光源像は第７Ｃ図の如く上・下２個ずつ計
４個の像に分割される。この場合は、フィラメント光源
の輪郭形状はほぼ正方形ないｌ−円形に近いものが有利
である。なお第４Ａ図の光線分割フィルターを２枚使用
し、その山形列を〃いに直交−する如く配置しても同様
に４１１Ｉ！ｉｌの像がイ！ｔられる。
第７Ａ図の光束分割フィルター９′の表、裏いずれか一
方の面の山形を第６Ａ図のように何１角ｌ）、およびθ
２の山形に形成−ｔ５モと、光源像は第８図の如く、縦
２列、横４列、合計８個の光源像が得られる。捷た、第
６Ａ図のような１…角０１とθ、をもつ山形列が両面に
形成された光束分割フィルターを用いると、元帥、像は
゛第９図の如く細、横それぞれ４列、合計１６個の光源
像がイ！手られる。
方の面の山形を第６Ａ図のように何１角ｌ）、およびθ
２の山形に形成−ｔ５モと、光源像は第８図の如く、縦
２列、横４列、合計８個の光源像が得られる。捷た、第
６Ａ図のような１…角０１とθ、をもつ山形列が両面に
形成された光束分割フィルターを用いると、元帥、像は
゛第９図の如く細、横それぞれ４列、合計１６個の光源
像がイ！手られる。
上記のように、穐々の光束分割フィルターにより光源像
の形成個数およびその配置がそれぞれ異なるが、フィラ
メント光源の輪郭形状およびフィラメントの粗密の程度
に従って、その光束分割フィルターの山形をどのように
するかを決定−ｆｉＩげよい。なお、より多くの異なっ
た傾角をもつ山形を形成中れば多数の光源像が得られる
ことは貢う捷でもない。また、山形の傾角θが等しい場
合にｔよ、片面のみに互いに交差した山形列を形成して
もよい。この場合には第７ｃ図と同様な４個の光ｍ、像
を得ることがでへる。
の形成個数およびその配置がそれぞれ異なるが、フィラ
メント光源の輪郭形状およびフィラメントの粗密の程度
に従って、その光束分割フィルターの山形をどのように
するかを決定−ｆｉＩげよい。なお、より多くの異なっ
た傾角をもつ山形を形成中れば多数の光源像が得られる
ことは貢う捷でもない。また、山形の傾角θが等しい場
合にｔよ、片面のみに互いに交差した山形列を形成して
もよい。この場合には第７ｃ図と同様な４個の光ｍ、像
を得ることがでへる。
光源１のフィラメントの粗密の程度、輪郭の大きさおよ
び光源像の拡大倍率（コレクターレンズ２と結像レンズ
の焦点距離の比）によっては、光源像の光輝部分が極め
て粗くなったり、複数の光源像が部分的に重なり合って
明るさの均一を欠き、そのため、視野内において部分的
処分解能にむらを生じる場合がある。このようなときは
、第３Ａ図のように、光束分割フィルター９に近接して
拡散度の比較的弱い拡散板８′を設けることによって、
連続した一様な明るさの拡散光源像が得られる。
び光源像の拡大倍率（コレクターレンズ２と結像レンズ
の焦点距離の比）によっては、光源像の光輝部分が極め
て粗くなったり、複数の光源像が部分的に重なり合って
明るさの均一を欠き、そのため、視野内において部分的
処分解能にむらを生じる場合がある。このようなときは
、第３Ａ図のように、光束分割フィルター９に近接して
拡散度の比較的弱い拡散板８′を設けることによって、
連続した一様な明るさの拡散光源像が得られる。
この場合、拡散板８′は、第１図の従来の拡散板８のよ
うに拡散庫の強いものを用いる必要がなく、拡散度が弱
いので、拡散板８′による光量損失は極めて少い。また
この場合、少なくとも一方の面に化学腐蝕などの表面処
理を施し、その而をマット而に々して、光束分割フィル
ターと拡散板とを一体に形ｈｖシてもよい。
うに拡散庫の強いものを用いる必要がなく、拡散度が弱
いので、拡散板８′による光量損失は極めて少い。また
この場合、少なくとも一方の面に化学腐蝕などの表面処
理を施し、その而をマット而に々して、光束分割フィル
ターと拡散板とを一体に形ｈｖシてもよい。
寸だ、Ａｉｌ述のように視野内において部分的に分解能
にむらを生じる場合の対策として、第３Ｂ図の如く光束
分割フィルター９、（蛸をモー！’−Ｍによって照明光
１１１１ ｆ中心として回転するように構成すれば、光
＃、像５ａ、（５ｂは照明光軸を中心に大きい回転速Ｉ
Ｑをもって族１川するので、照明光は平均化され、分解
能のむらが解消さ〕］５る。
にむらを生じる場合の対策として、第３Ｂ図の如く光束
分割フィルター９、（蛸をモー！’−Ｍによって照明光
１１１１ ｆ中心として回転するように構成すれば、光
＃、像５ａ、（５ｂは照明光軸を中心に大きい回転速Ｉ
Ｑをもって族１川するので、照明光は平均化され、分解
能のむらが解消さ〕］５る。
なお第１図乃至第３Ｂ図におけるケーラー照明光学系Ｃ
」５、透過型ケーラー照明として説明しだが、反射型ケ
ーラー照明に卦いては、対物レンズの後側焦点位置に光
源像を形成した後、対物レンズを通して標本Ｓを照明す
るように構成される。従って、本発明を反射型ケーラー
照明に適用゛するときは、コンデンザーレンズ４のかわ
りに対物レンズが使用されるに過ぎないから、その詳し
い説明ｄ、省略する。
」５、透過型ケーラー照明として説明しだが、反射型ケ
ーラー照明に卦いては、対物レンズの後側焦点位置に光
源像を形成した後、対物レンズを通して標本Ｓを照明す
るように構成される。従って、本発明を反射型ケーラー
照明に適用゛するときは、コンデンザーレンズ４のかわ
りに対物レンズが使用されるに過ぎないから、その詳し
い説明ｄ、省略する。
なお、光源像を形成するためのコレクターレンズと結像
レンズを含む照明光源装圓中に設けられる上記の光束分
割フィルターを透明な合成樹脂にて型成形すれば、製作
が容易で、極めて安価に製作することができる。
レンズを含む照明光源装圓中に設けられる上記の光束分
割フィルターを透明な合成樹脂にて型成形すれば、製作
が容易で、極めて安価に製作することができる。
以−ヒの如く本発明により、け、ケーラー照明光学系の
照明光路中に光束分割手段を設けて複数の光源像をコン
デンサーレンズの前側焦点面凍だは対物１／ンズの後側
焦点位置近傍の同一面上に形成し、その複数の光源像を
もってそれ等のレンズ開口をほぼ満すように構成したの
で、光量損失が極めて少く、高倍率の対物レンズに対し
ても明るく、全視野にわたり明るさと分解能にむらの無
い照明を行うことができる。
照明光路中に光束分割手段を設けて複数の光源像をコン
デンサーレンズの前側焦点面凍だは対物１／ンズの後側
焦点位置近傍の同一面上に形成し、その複数の光源像を
もってそれ等のレンズ開口をほぼ満すように構成したの
で、光量損失が極めて少く、高倍率の対物レンズに対し
ても明るく、全視野にわたり明るさと分解能にむらの無
い照明を行うことができる。
第１図は従来のケーラー照明光学系の説明図、第２図１
は本発明の一実施例を示す光学系配置図、第３Ａ図、第
３Ｂ図はそれぞれ本発明の別の実施例を示す光学系配置
図で、第３Ａ図は第２１ン１に拡散板を付加したもの、
第３Ｂ図は第２図のフィルターを回転口Ｊ能としプｒも
のを示し、第４Ａ図は第２Ｍ乃至第３Ｂ図の実施例に使
用さシ１．る光線分割フィルターの斜視図、第４Ｂ図は
第４Ａ図の光束分割フィルターの山形列の拡大断面図、
第４Ｃ図は第２図の開口絞り位置における光源像の配置
図、第５Ａ図および第５Ｂ図はそれぞれ第４Ｂ図とは異
なる山形列の拡大断ｒｆｉｊ ｌｌ＆ｌ、第５Ｃ図は第
５Ａ図、第５Ｂ図の山形列をもつ光束分割フィルターに
よる光源像配置１ゾ、第６Ａ図は別の山形列の拡大断面
図で第６Ｂ図はその第６Ａ図の山形列をもつ光束分割フ
ィルターを用いた場合の光源像配置図、第７Ａ図は第４
Ｂ図の山形列を両面に施１７だ光束分割フィルターの平
面図、第７Ｂ図はその断面図で第７Ｃ図はこれを使用し
たときに形成される光源像配置図、第８図、第９図はそ
れぞれ両１箱に山形列を施ｌ−だ別の光束分割フィルタ
ーを用いたと、きの光源像配置図である。 １・・・・・光ｔｌｆ、、 ２・・・・・・コレク
ターレンズ３・・・・・集光レンズ ４・・・・・・コンデンサーレンズまたは対物レンズ５
・・・・・・開口絞り ６．６ａ、６ｂ・・・・・・光源像 ７・・・・・視野絞り ９．９′・・・光束分割手段 出１幀人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 第１図 イー７図 矛３Ａ図 ７４Ａ［Ｄ 之す４汗層口
鍔″、ゴーＣ口司／；ｌＩ′５Ａ図 ２−５Ｂ図
則−５Ｃ因オ６△図 オフＡ図 第８図 、ｔ６ｔ３図 矛７Ｂ区矛７Ｃ図 矛ＣＩ図
は本発明の一実施例を示す光学系配置図、第３Ａ図、第
３Ｂ図はそれぞれ本発明の別の実施例を示す光学系配置
図で、第３Ａ図は第２１ン１に拡散板を付加したもの、
第３Ｂ図は第２図のフィルターを回転口Ｊ能としプｒも
のを示し、第４Ａ図は第２Ｍ乃至第３Ｂ図の実施例に使
用さシ１．る光線分割フィルターの斜視図、第４Ｂ図は
第４Ａ図の光束分割フィルターの山形列の拡大断面図、
第４Ｃ図は第２図の開口絞り位置における光源像の配置
図、第５Ａ図および第５Ｂ図はそれぞれ第４Ｂ図とは異
なる山形列の拡大断ｒｆｉｊ ｌｌ＆ｌ、第５Ｃ図は第
５Ａ図、第５Ｂ図の山形列をもつ光束分割フィルターに
よる光源像配置１ゾ、第６Ａ図は別の山形列の拡大断面
図で第６Ｂ図はその第６Ａ図の山形列をもつ光束分割フ
ィルターを用いた場合の光源像配置図、第７Ａ図は第４
Ｂ図の山形列を両面に施１７だ光束分割フィルターの平
面図、第７Ｂ図はその断面図で第７Ｃ図はこれを使用し
たときに形成される光源像配置図、第８図、第９図はそ
れぞれ両１箱に山形列を施ｌ−だ別の光束分割フィルタ
ーを用いたと、きの光源像配置図である。 １・・・・・光ｔｌｆ、、 ２・・・・・・コレク
ターレンズ３・・・・・集光レンズ ４・・・・・・コンデンサーレンズまたは対物レンズ５
・・・・・・開口絞り ６．６ａ、６ｂ・・・・・・光源像 ７・・・・・視野絞り ９．９′・・・光束分割手段 出１幀人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 第１図 イー７図 矛３Ａ図 ７４Ａ［Ｄ 之す４汗層口
鍔″、ゴーＣ口司／；ｌＩ′５Ａ図 ２−５Ｂ図
則−５Ｃ因オ６△図 オフＡ図 第８図 、ｔ６ｔ３図 矛７Ｂ区矛７Ｃ図 矛ＣＩ図
Claims (4)
- （１） ケーラー照明装置中の光源と視野絞りとの間
の照明光路中に、光束を互いに異なる所定の方向に偏向
ｉ−て複数の光束に分割する光束分割手段を設け、同一
平面−Ｈに複数の光源［象を形成する如く構成したこと
を特徴とするクーラー照明光学系。 - （２）前記光束分割手段は、所定の知角の傾斜面に、し
って形成された複数の平行な山形列を有する透明フィル
ター （９，９′）であって、ＭｉＪ記光源（１）から
の光束を前記傾斜面の所定の卸角１） Ｉｉ（従って）
１−６折偏向し、＾１［紀結伶レンズ（３）を介し７て
複数の光＃、像を同一平面−）二に形成する如く構成し
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のケーラ
ー照明光学系。 - （３）前記複数の光源像Ｃよ、前記透明フィルター（９
，９′）に隣接１．て前記光束中に設けられた拡散板（
（イ）によりそれぞれ拡散されるように構成したことを
特徴とする特許請求の範囲第２項記載のり。 −ラー照明光学系。 - （４）前記透明フィルター（９、ｑ′）は、照明光軸を
中心として回軸可能に構成されていることを特徴とする
特許請求の範囲？Ｒ２項記載のケーラー照明光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11637582A JPH0247724B2 (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Keeraashomeikogakukei |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11637582A JPH0247724B2 (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Keeraashomeikogakukei |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS597325A true JPS597325A (ja) | 1984-01-14 |
| JPH0247724B2 JPH0247724B2 (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=14685425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11637582A Expired - Lifetime JPH0247724B2 (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | Keeraashomeikogakukei |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247724B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4627693A (en) * | 1983-11-22 | 1986-12-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Transmission type illuminating device for stereomicroscopes |
| US5005968A (en) * | 1988-08-31 | 1991-04-09 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Contrast decreasing apparatus in image forming optical system |
| WO1994007170A1 (de) * | 1992-09-19 | 1994-03-31 | Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh | Hellfeld-durchlicht-beleuchtungseinrichtung für mikroskope |
| EP1750154A1 (en) * | 2005-07-26 | 2007-02-07 | Olympus Corporation | Microscope illumination apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4511563B2 (ja) * | 2007-02-13 | 2010-07-28 | 株式会社林創研 | 顕微鏡 |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP11637582A patent/JPH0247724B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4627693A (en) * | 1983-11-22 | 1986-12-09 | Olympus Optical Co., Ltd. | Transmission type illuminating device for stereomicroscopes |
| US5005968A (en) * | 1988-08-31 | 1991-04-09 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Contrast decreasing apparatus in image forming optical system |
| WO1994007170A1 (de) * | 1992-09-19 | 1994-03-31 | Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh | Hellfeld-durchlicht-beleuchtungseinrichtung für mikroskope |
| EP0613569A1 (de) * | 1992-09-19 | 1994-09-07 | Leica Mikroskopie & Syst | Hellfeld-durchlicht-beleuchtungseinrichtung für mikroskope. |
| EP1750154A1 (en) * | 2005-07-26 | 2007-02-07 | Olympus Corporation | Microscope illumination apparatus |
| US7443578B2 (en) | 2005-07-26 | 2008-10-28 | Olympus Corporation | Microscopic illumination apparatus |
| US7800821B2 (en) | 2005-07-26 | 2010-09-21 | Olympus Corporation | Microscopic illumination apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0247724B2 (ja) | 1990-10-22 |
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