JPS60205522A - コリメ−タ−対物レンズ - Google Patents
コリメ−タ−対物レンズInfo
- Publication number
- JPS60205522A JPS60205522A JP6293584A JP6293584A JPS60205522A JP S60205522 A JPS60205522 A JP S60205522A JP 6293584 A JP6293584 A JP 6293584A JP 6293584 A JP6293584 A JP 6293584A JP S60205522 A JPS60205522 A JP S60205522A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample surface
- lens system
- objective lens
- optical path
- field stop
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/086—Condensers for transillumination only
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lenses (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、顕微鏡、投影機等の観察装置に用いられる対
物レンズに関する。
物レンズに関する。
（発明の背景）
ＩＣチップ尋の撮影光学系において、比較的広視野で、
かつ高解像の写真を撮る場合、試料（物体）面と結像光
学系の光軸との直角度、言いがえれに試料面とフィルム
面の平行度ががなシ厳しくＩａａＷ ＪＦ Ｊ−１４Ｉ
Ｐ−）Ｊ−％ ）ｊ ４ ？ ４１＝又投影機等を使っ
て寸法を測定する際も、やはり試料面（被測定面）と結
像光学系の光軸との直角度も測定精度を確保する為に、
厳しく保証されなければならない。
かつ高解像の写真を撮る場合、試料（物体）面と結像光
学系の光軸との直角度、言いがえれに試料面とフィルム
面の平行度ががなシ厳しくＩａａＷ ＪＦ Ｊ−１４Ｉ
Ｐ−）Ｊ−％ ）ｊ ４ ？ ４１＝又投影機等を使っ
て寸法を測定する際も、やはり試料面（被測定面）と結
像光学系の光軸との直角度も測定精度を確保する為に、
厳しく保証されなければならない。
この為にこれらの装置にはそれぞれ特別な傾角ステージ
（試料面を傾斜させるための球面座を有する載物台）と
いうものが存在し、容易に標本を任意の方向に傾ける事
が出来る様になっている。
（試料面を傾斜させるための球面座を有する載物台）と
いうものが存在し、容易に標本を任意の方向に傾ける事
が出来る様になっている。
しかしながら、試料面と結像光学系の光軸との直角度の
確認をとる事唸容易では無い。
確認をとる事唸容易では無い。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を解決し、簡単な構造で容易に試
料面と結像光学系の光軸との直角度を知ることを目的と
する。
料面と結像光学系の光軸との直角度を知ることを目的と
する。
（発明の概ｌり
本発明は、少くとも光源と視野絞〕を有すると共に結像
光学系の対物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有
する観察装置の対物レンズであり ′て、前記視野絞シ
位置を後側焦点面とし、試料面を詰儂す石対物レンズに
代えて用いられることを特徴とするコリメータ一対物レ
ンズ。
光学系の対物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有
する観察装置の対物レンズであり ′て、前記視野絞シ
位置を後側焦点面とし、試料面を詰儂す石対物レンズに
代えて用いられることを特徴とするコリメータ一対物レ
ンズ。
（実施例）
以下図面に示した実施例に基づいて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例であって、対物レンズ１３は
、少くとも光源と視野絞シを有すると共に結像光学系の
対物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有する顕微
鏡の対物レンズでありて、レボルバ−の取付穴の雌ねじ
に螺合する雄ねじ１４を有する。対物レンズ１３は、レ
ボルバ−に取付けて光路中に挿入されたときに、視野絞
シ位置を後側焦点面とするコリメーターレンズ系１１を
有している。
、少くとも光源と視野絞シを有すると共に結像光学系の
対物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有する顕微
鏡の対物レンズでありて、レボルバ−の取付穴の雌ねじ
に螺合する雄ねじ１４を有する。対物レンズ１３は、レ
ボルバ−に取付けて光路中に挿入されたときに、視野絞
シ位置を後側焦点面とするコリメーターレンズ系１１を
有している。
次に第２図、第３図によって第１図の対物レンズ１３を
用いる顕微鏡光学系を説明する。
用いる顕微鏡光学系を説明する。
第２図において、光源１がらの光は第１照明レンズ系２
によって集光された後、第２照明レンズ系３によって開
口絞シ４を通って視野絞シ５の位置に集光する。視野絞
シ５を通った光は第３照明レンズ系６を経て光路分割器
７にて試料面９へ向けて反射される。光路分割器７の反
射光は対物レンズとしての結像レンズ８によって試料面
９へ集光される。試料面９を形成する試料は傾角ステー
ジ１２上に載置されている。試料面９がらの反射光は光
路分割器７を透過して結像面１ｏへ集光される。以上の
光源１、第１照明レンズ系２、第２照明レンズ系３、開
口絞シ４、視野絞シ５、第３照明レンズ系６、光路分割
器７、結像レンズ系８によって垂直照明光学系が構成さ
れておシ、結像レンズ系８によって結像光学系が構成さ
れている。
によって集光された後、第２照明レンズ系３によって開
口絞シ４を通って視野絞シ５の位置に集光する。視野絞
シ５を通った光は第３照明レンズ系６を経て光路分割器
７にて試料面９へ向けて反射される。光路分割器７の反
射光は対物レンズとしての結像レンズ８によって試料面
９へ集光される。試料面９を形成する試料は傾角ステー
ジ１２上に載置されている。試料面９がらの反射光は光
路分割器７を透過して結像面１ｏへ集光される。以上の
光源１、第１照明レンズ系２、第２照明レンズ系３、開
口絞シ４、視野絞シ５、第３照明レンズ系６、光路分割
器７、結像レンズ系８によって垂直照明光学系が構成さ
れておシ、結像レンズ系８によって結像光学系が構成さ
れている。
そして、図に示した光線路からもわかるように、視野絞
シ５は、第３照明レンズ系６と結像レンズ系８によって
試料面９に共役であシ、試料面９は、結像レンズ系８に
よりて結像面１０に共役でｓｂ、光線路としては示して
いないが、光源１は、第１照明レンズ系２、第２照明レ
ンズ系３によりて開口絞シ４に共役であシ、さらに、第
３照明レンズ系６によって結像レンズ系８の瞳の位置に
共役である。
シ５は、第３照明レンズ系６と結像レンズ系８によって
試料面９に共役であシ、試料面９は、結像レンズ系８に
よりて結像面１０に共役でｓｂ、光線路としては示して
いないが、光源１は、第１照明レンズ系２、第２照明レ
ンズ系３によりて開口絞シ４に共役であシ、さらに、第
３照明レンズ系６によって結像レンズ系８の瞳の位置に
共役である。
結像レンズ系８を保持する対物レンズは周知のレボルバ
−に取付けられておシ、レボルバ−の他の取付穴には第
１図の対物レンズ１３が取付けられておシ、第２図に矢
印Ａで示した如く、光路中ノ結像レンズ系８とコリメー
ターレンズ系１１とが交換される。光路中にコリメータ
ーレンズ系１１が挿入されると光線路は第３図の如くに
なる。
−に取付けられておシ、レボルバ−の他の取付穴には第
１図の対物レンズ１３が取付けられておシ、第２図に矢
印Ａで示した如く、光路中ノ結像レンズ系８とコリメー
ターレンズ系１１とが交換される。光路中にコリメータ
ーレンズ系１１が挿入されると光線路は第３図の如くに
なる。
第３図において、第２図と同一部材には同一符号を付す
。第３図が第２図と異なる点は、コリメーターレンズ系
１１が視野絞シ５の位置を後側焦点面としているので、
試料面９にほぼ平行な光が入射することである。
。第３図が第２図と異なる点は、コリメーターレンズ系
１１が視野絞シ５の位置を後側焦点面としているので、
試料面９にほぼ平行な光が入射することである。
従って、試料面９を鏡面と考えると、視野絞シ５の位置
は、第３照明レンズ系６、光路分割器７、コリメーター
レンズ系１１、試料面９、コリメーターレンズ系１１、
光路分割器７の光路によって結像面１０に共役となる。
は、第３照明レンズ系６、光路分割器７、コリメーター
レンズ系１１、試料面９、コリメーターレンズ系１１、
光路分割器７の光路によって結像面１０に共役となる。
それ故、不図示の観察鏡筒等で結像面１０の視野絞！７
５の像位置を観察すれば、試料面９と光軸ｔとの直角度
を知ることができる。すなわち、試料面９が光軸ｔに対
し直にあシ、上記直角からずれていれば、ずれ量に応じ
て視野絞シ５の像は視野の中心からずれる。従って、傾
角ステージ１２によって試料面９の傾き角を調整し、視
野絞シ５の像が視野の中心にくるように成せば、上記直
角が得られる。この状態で。
５の像位置を観察すれば、試料面９と光軸ｔとの直角度
を知ることができる。すなわち、試料面９が光軸ｔに対
し直にあシ、上記直角からずれていれば、ずれ量に応じ
て視野絞シ５の像は視野の中心からずれる。従って、傾
角ステージ１２によって試料面９の傾き角を調整し、視
野絞シ５の像が視野の中心にくるように成せば、上記直
角が得られる。この状態で。
コリメーターレンズ系１１を結像レンズ系８に交換すれ
ば、結像面１０には全面にわたって高解像の像を得るこ
とができる。結像面１０に写真フィルムを置けば、高解
像の写真を撮ることができる。
ば、結像面１０には全面にわたって高解像の像を得るこ
とができる。結像面１０に写真フィルムを置けば、高解
像の写真を撮ることができる。
試料面９としてＩＣチップ等を考えた場合、光路中にコ
リメーターレンズ系１１を挿入することによって、ＩＣ
チップ上のパターンによって回折光が生ずるが、０次回
新党を上述の視野絞シ５の像と考えることによって、全
く同様に試料面９と光軸りとの直角度を知ることができ
る。なお付言すれば、光源１として白色光源（通常用い
られる）を用いていれば、０次回新党は白色、他の回折
光は着色して見えるから回折光の識別は容易に行なえる
。
リメーターレンズ系１１を挿入することによって、ＩＣ
チップ上のパターンによって回折光が生ずるが、０次回
新党を上述の視野絞シ５の像と考えることによって、全
く同様に試料面９と光軸りとの直角度を知ることができ
る。なお付言すれば、光源１として白色光源（通常用い
られる）を用いていれば、０次回新党は白色、他の回折
光は着色して見えるから回折光の識別は容易に行なえる
。
？−ｈ ａｌｒ’１ｌｉｓｌｌ／Ａ喚ｎ／ ｊｌｌ ａ
−ａ−レンズＸ−＋光路中に挿入した場合には、視野絞
）５はできるだけ絞り込むと傾き調整が容易になる。勿
論、その場合には光源１の光量を増加させることが好ま
しい。また、第３図において、開口絞シ４は、試料面９
に入射する光束径を変化させる機能を呆すので、開口絞
シ４を絞ることによって、試料面９の中心部のみの直角
度をコントラスト良く確認することができる。
−ａ−レンズＸ−＋光路中に挿入した場合には、視野絞
）５はできるだけ絞り込むと傾き調整が容易になる。勿
論、その場合には光源１の光量を増加させることが好ま
しい。また、第３図において、開口絞シ４は、試料面９
に入射する光束径を変化させる機能を呆すので、開口絞
シ４を絞ることによって、試料面９の中心部のみの直角
度をコントラスト良く確認することができる。
以上の説明は顕微鏡の対物レンズとして用いた例であっ
たが、他の観察装置、例えば投影機の対物レンズとして
用いれば、試料面と結像光学系の光軸との直角を容易に
整えることができるので、寸法測定等において高精度測
定を行なうことができる。
たが、他の観察装置、例えば投影機の対物レンズとして
用いれば、試料面と結像光学系の光軸との直角を容易に
整えることができるので、寸法測定等において高精度測
定を行なうことができる。
なお、コリメーターレンズ系を光路中に挿入した場合に
、観察装置の視野絞り位置に十字スリット等を交換挿入
する如く成しても良い。
、観察装置の視野絞り位置に十字スリット等を交換挿入
する如く成しても良い。
（発明の効果）
以上述べた如く本発明は、結像レンズと交換して用いら
れるコリメータ一対物レンズであるから。
れるコリメータ一対物レンズであるから。
少くとも光源と視野絞シを有すると共に結像光学系の対
物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有する観察装
置に用いることによって、簡単な構造で容易に試料面と
結像光学系の光軸との直角度を知ることができる。
物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有する観察装
置に用いることによって、簡単な構造で容易に試料面と
結像光学系の光軸との直角度を知ることができる。
第１図は本発明の一実施例の部分断面図、第２図は本発
明の詳細な説明するための顕微鏡の光路図、第３図は本
発明のコリメータ一対物レンズを顕微鏡の光路に挿入し
た場合の光路図、でおる。 （主要部分の符号の説明） １１・・・コリメーターレンズ系。 １３・・・対物レンズ。 １４・・・雄ねじ。 出願人 日本光学工業株式会社 代理人渡辺隆男 第１図 第３図
明の詳細な説明するための顕微鏡の光路図、第３図は本
発明のコリメータ一対物レンズを顕微鏡の光路に挿入し
た場合の光路図、でおる。 （主要部分の符号の説明） １１・・・コリメーターレンズ系。 １３・・・対物レンズ。 １４・・・雄ねじ。 出願人 日本光学工業株式会社 代理人渡辺隆男 第１図 第３図
Claims (1)
- 少くとも光源と視野絞シを有すると共に結像光学系の対
物レンズを共用した垂直落射照明光学系を有する観察装
置のための対物レンズであって、前記視野絞シ位置を後
側焦点面と己、試料面を結像する対物レンズに代えて用
いられる仁とを特徴をするコリメータ一対物レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6293584A JPS60205522A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | コリメ−タ−対物レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6293584A JPS60205522A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | コリメ−タ−対物レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205522A true JPS60205522A (ja) | 1985-10-17 |
Family
ID=13214646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6293584A Pending JPS60205522A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | コリメ−タ−対物レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205522A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145313A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Opcell Co Ltd | オートコリメータ装置 |
| CN106017362A (zh) * | 2016-08-07 | 2016-10-12 | 哈尔滨工业大学 | 一种便携式高动态精度大工作距自准直装置与方法 |
| CN106017361A (zh) * | 2016-08-07 | 2016-10-12 | 哈尔滨工业大学 | 阵列调零高频响大工作距自准直装置与方法 |
| CN110091070A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-08-06 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 电机垂直度的检测装置及检测方法 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6293584A patent/JPS60205522A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010145313A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Opcell Co Ltd | オートコリメータ装置 |
| CN106017362A (zh) * | 2016-08-07 | 2016-10-12 | 哈尔滨工业大学 | 一种便携式高动态精度大工作距自准直装置与方法 |
| CN106017361A (zh) * | 2016-08-07 | 2016-10-12 | 哈尔滨工业大学 | 阵列调零高频响大工作距自准直装置与方法 |
| CN110091070A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-08-06 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 电机垂直度的检测装置及检测方法 |
| CN110091070B (zh) * | 2019-04-01 | 2021-03-02 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 电机垂直度的检测装置及检测方法 |
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