JP2588473Y2 - 表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡 - Google Patents
表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡Info
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- JP2588473Y2 JP2588473Y2 JP1991097777U JP9777791U JP2588473Y2 JP 2588473 Y2 JP2588473 Y2 JP 2588473Y2 JP 1991097777 U JP1991097777 U JP 1991097777U JP 9777791 U JP9777791 U JP 9777791U JP 2588473 Y2 JP2588473 Y2 JP 2588473Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、フォトマスクサブスト
レート等の表面微小欠陥や微小付着物を立体的に観察で
きる光学顕微鏡に関する。
レート等の表面微小欠陥や微小付着物を立体的に観察で
きる光学顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、フォトマスクサブストレート
等の表面微小欠陥や微小付着物を観察するものとして、
レーザースポットをレチクル上で走査して散乱光を検出
し、異物の有無や大きさを図る装置（特開昭５８−６２
５４４号公報）、光透過性の板状物体の一方から光ビー
ムを照射し、この板状物体に付着した異物から生じる散
乱光を検出して、異物の有無を検出する装置（特開昭５
９−１８６３２４号公報）、Ｘ線を用い、該Ｘ線の波長
領域外の特定の波長域の光を殆ど吸収する膜厚を最小膜
厚とする有機膜を塗布して異物の散乱光を検査する方法
（特開昭６３−２８９８１４号公報）、及び防塵膜を通
して特定の位相のずれを生ずるように照射光と受光角で
照射するようにした異物検査装置（特開平２−１８９４
４９号公報）等が開示されている。
等の表面微小欠陥や微小付着物を観察するものとして、
レーザースポットをレチクル上で走査して散乱光を検出
し、異物の有無や大きさを図る装置（特開昭５８−６２
５４４号公報）、光透過性の板状物体の一方から光ビー
ムを照射し、この板状物体に付着した異物から生じる散
乱光を検出して、異物の有無を検出する装置（特開昭５
９−１８６３２４号公報）、Ｘ線を用い、該Ｘ線の波長
領域外の特定の波長域の光を殆ど吸収する膜厚を最小膜
厚とする有機膜を塗布して異物の散乱光を検査する方法
（特開昭６３−２８９８１４号公報）、及び防塵膜を通
して特定の位相のずれを生ずるように照射光と受光角で
照射するようにした異物検査装置（特開平２−１８９４
４９号公報）等が開示されている。
【０００３】また、光学顕微鏡によるフォトマスクサブ
ストレート上の微小欠陥、付着物の観察は、図７に示す
ように試料直上部から直接照明光をあてて観察してい
た。
ストレート上の微小欠陥、付着物の観察は、図７に示す
ように試料直上部から直接照明光をあてて観察してい
た。
【０００４】
【考案が解決しょうとする課題】しかし、従来例に開示
された発明は、あくまで特殊装置による異物検査装置で
あり、構造が複雑であったり、コストがかかったり、光
学顕微鏡を用いているときに異物を発見したときに装置
を替える必要があり、簡易に異物を検査することができ
なかった。
された発明は、あくまで特殊装置による異物検査装置で
あり、構造が複雑であったり、コストがかかったり、光
学顕微鏡を用いているときに異物を発見したときに装置
を替える必要があり、簡易に異物を検査することができ
なかった。
【０００５】また、光学顕微鏡による観察では、付着物
等の試料直上部から直接照明光をあてるため、凹凸のあ
る異物も直上から均一に光があたり凹凸部に明暗がつき
にくく、観察像の形状が不明確で、凸（付着物）、凹
（欠陥）の判断が困難で異物等の凸凹の判別を行なう場
合には、顕微鏡をのぞきながら観察物を針でつついて判
別せねばならず、その時にフォトマスクサブストレート
表面にキズをつけるおそれがある。
等の試料直上部から直接照明光をあてるため、凹凸のあ
る異物も直上から均一に光があたり凹凸部に明暗がつき
にくく、観察像の形状が不明確で、凸（付着物）、凹
（欠陥）の判断が困難で異物等の凸凹の判別を行なう場
合には、顕微鏡をのぞきながら観察物を針でつついて判
別せねばならず、その時にフォトマスクサブストレート
表面にキズをつけるおそれがある。
【０００６】そのため、特殊の検査装置を用いることな
く、光学顕微鏡を改良して低コストで表面微小欠陥や付
着物の立体像観察を可能にする光学顕微鏡の開発が望ま
れていた。
く、光学顕微鏡を改良して低コストで表面微小欠陥や付
着物の立体像観察を可能にする光学顕微鏡の開発が望ま
れていた。
【０００７】本考案は、前記欠点を解決し、表面微小欠
陥や付着物の立体像観察を光学顕微鏡を改良して低コス
トで提供することを目的とする。
陥や付着物の立体像観察を光学顕微鏡を改良して低コス
トで提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】光源の光をミラー部で直
角に反射させ、対物レンズを介して試料に照射し、反射
光を接眼レンズに入射させ観察する反射光学系顕微鏡に
おいて、顕微鏡に対し着脱自在に構成された、ミラーの
前方及び／又は後方に光源からの光を一端部のみに限定
する透過孔を有するスリット板と、ミラーとを一体とし
た立体観察用治具により、光源からの光を限定し、集光
レンズで試料に一方向から一定の角度で照射することに
より、前記課題が解決でき、立体像が光学顕微鏡で観察
できるとの知見を得て本考案を完成した。
角に反射させ、対物レンズを介して試料に照射し、反射
光を接眼レンズに入射させ観察する反射光学系顕微鏡に
おいて、顕微鏡に対し着脱自在に構成された、ミラーの
前方及び／又は後方に光源からの光を一端部のみに限定
する透過孔を有するスリット板と、ミラーとを一体とし
た立体観察用治具により、光源からの光を限定し、集光
レンズで試料に一方向から一定の角度で照射することに
より、前記課題が解決でき、立体像が光学顕微鏡で観察
できるとの知見を得て本考案を完成した。
【０００９】以下、本考案を図面に基づいて説明する。
図１は、本考案の概念を示す図であり、光学反射顕微鏡
において、入射光１はミラー部２で直角に反射させる
前、及び／又は、後に設けた透過孔を有するスリット板
３（及び／又は４）により一部が遮断され、上又は下端
部の光のみに限定される。端部に限定された入射光１は
集光レンズ５の端部付近より屈折され、試料に対して一
方向から一定の角度θで照射される。
図１は、本考案の概念を示す図であり、光学反射顕微鏡
において、入射光１はミラー部２で直角に反射させる
前、及び／又は、後に設けた透過孔を有するスリット板
３（及び／又は４）により一部が遮断され、上又は下端
部の光のみに限定される。端部に限定された入射光１は
集光レンズ５の端部付近より屈折され、試料に対して一
方向から一定の角度θで照射される。
【００１０】このとき、透過孔を有するスリット板は、
ミラー部の前部のみに設けて入射光を限定しても良い
し、又はミラー部の反射側の位置のみに設けても良く、
さらにはミラー部の前後両方に設け入射光を限定するこ
とができるが、スリット板を多く設置すればそれだけ乱
反射を防止できる。
ミラー部の前部のみに設けて入射光を限定しても良い
し、又はミラー部の反射側の位置のみに設けても良く、
さらにはミラー部の前後両方に設け入射光を限定するこ
とができるが、スリット板を多く設置すればそれだけ乱
反射を防止できる。
【００１１】試料への照射角度θは、スリット板３又は
４の透過孔を調整することによって、また集光レンズ５
によって自在に調整することができる。
４の透過孔を調整することによって、また集光レンズ５
によって自在に調整することができる。
【００１２】また、本考案を光学顕微鏡に用いるとき
は、後述するように、ミラー部、スリット部を一体とし
た立体観察用治具８（図６参照）として光学顕微鏡内に
組み込むことによって光学顕微鏡で簡易に立体像を観察
することができる。
は、後述するように、ミラー部、スリット部を一体とし
た立体観察用治具８（図６参照）として光学顕微鏡内に
組み込むことによって光学顕微鏡で簡易に立体像を観察
することができる。
【００１３】入射光となる照明光はスリット板により大
部分がカットされるため光量不足を補うため試料下部よ
り補助光を照射する。補助光の光量はコンデンサーの開
口部を調節することによって調整することができる。
部分がカットされるため光量不足を補うため試料下部よ
り補助光を照射する。補助光の光量はコンデンサーの開
口部を調節することによって調整することができる。
【００１４】図２は、本考案を光学反射顕微鏡に用いた
光路図を示すもので、ミラー部２、及びスリット３を着
脱自在な立体観察用治具８として光学反射顕微鏡に組み
込んだものである。
光路図を示すもので、ミラー部２、及びスリット３を着
脱自在な立体観察用治具８として光学反射顕微鏡に組み
込んだものである。
【００１５】立体観察用治具８に設けられたスリット板
は、例えば、図３、図４に示す形状の透過孔９を有し、
入射光端部の一部のみを透過するように構成する。ま
た、図５のように長方形状のスリット板に円形状の透過
孔を設け、可動板によって透過孔を調節して透過光量を
調整することもできる。
は、例えば、図３、図４に示す形状の透過孔９を有し、
入射光端部の一部のみを透過するように構成する。ま
た、図５のように長方形状のスリット板に円形状の透過
孔を設け、可動板によって透過孔を調節して透過光量を
調整することもできる。
【００１６】透過孔の形状によって、例えば図３に示す
形状のものでは側面方向から、また、図４のものでは限
定された周方向からというように、入射光の方向を適宜
変更することができる。
形状のものでは側面方向から、また、図４のものでは限
定された周方向からというように、入射光の方向を適宜
変更することができる。
【００１７】図５のスリット板を用いたときは、まず透
過孔を異物中央で全開となる位置にして入射光を異物上
に真上から照射し、集光レンズで焦点を定める。次い
で、スリット板を移動させて端部の透過光のみを試料に
対して一方向より角度を付けて照射するか、または焦点
を定めた段階で図３、図４のスリット板と交換し、試料
に対して一方向より角度を付けて照射する。
過孔を異物中央で全開となる位置にして入射光を異物上
に真上から照射し、集光レンズで焦点を定める。次い
で、スリット板を移動させて端部の透過光のみを試料に
対して一方向より角度を付けて照射するか、または焦点
を定めた段階で図３、図４のスリット板と交換し、試料
に対して一方向より角度を付けて照射する。
【００１８】
【本考案の効果】本考案によれば、顕微鏡観察像に陰影
によるコントラストを与え、像を立体的にすることによ
って、従来の光学顕微鏡観察では困難であったフォトマ
スクサブストレート上の微小欠点が、欠陥（凹）か、付
着物（凸）かの識別が、正確、かつ、容易に、またサブ
ストレート表面にキズを付けることなく行なうことがで
きる。また、付着物の立体的形状、欠陥においてのダメ
ージの入り方を観察することが出来るため、欠陥、付着
物発生原因の調査において欠陥、付着物の分類、同定が
正確かつ容易に行なえる。さらに、補助光をもちいるの
で試料を明確に観察することができる。また、入射光の
制限をミラーとスリット板を組み合わせた立体観察用治
具で行うようにすれば、従来の光学顕微鏡に簡単な改良
を施すだけでよく、安価に立体観察用光学顕微鏡を得る
ことができる。
によるコントラストを与え、像を立体的にすることによ
って、従来の光学顕微鏡観察では困難であったフォトマ
スクサブストレート上の微小欠点が、欠陥（凹）か、付
着物（凸）かの識別が、正確、かつ、容易に、またサブ
ストレート表面にキズを付けることなく行なうことがで
きる。また、付着物の立体的形状、欠陥においてのダメ
ージの入り方を観察することが出来るため、欠陥、付着
物発生原因の調査において欠陥、付着物の分類、同定が
正確かつ容易に行なえる。さらに、補助光をもちいるの
で試料を明確に観察することができる。また、入射光の
制限をミラーとスリット板を組み合わせた立体観察用治
具で行うようにすれば、従来の光学顕微鏡に簡単な改良
を施すだけでよく、安価に立体観察用光学顕微鏡を得る
ことができる。
【図１】本考案の概念を示す図。
【図２】本考案を光学反射顕微鏡に用いた光路図。
【図３】スリットの平面図。
【図４】スリットの平面図。
【図５】スリットの平面図。
【図６】スリットとミラー部を組み込んだ立体観察用治
具の光路図。
具の光路図。
【図７】従来の光路図。
１ 入射光 ２ ミラー ３、４ スリット ５ レンズ ６ 試料 ７ 補助光 ８ 立体観察用治具 ９ 透光孔 10 接眼レンズ 11 対物レンズ 12 光源
Claims (3)
- 【請求項１】 光源の光をミラー部で直角に反射させ、
対物レンズを介して試料に照射し、反射光を接眼レンズ
に入射させ観察する反射光学系顕微鏡において、顕微鏡
に対し着脱自在に構成された、ミラーの前方及び／又は
後方に光源からの光を一端部のみに限定する透過孔を有
するスリット板と、ミラーとを一体とした立体観察用治
具により、光源からの光を限定し、集光レンズで試料に
一方向から一定の角度で照射するようにした立体像観察
用光学顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１において、試料の下方に補助光
源を設けた立体像観察用光学顕微鏡。 - 【請求項３】 ミラーの前方及び／又は後方に光源から
の光を一端部のみに限定する透過孔を有するスリット板
とミラーで構成され顕微鏡に対し着脱自在とした立体観
察用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991097777U JP2588473Y2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991097777U JP2588473Y2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH068917U JPH068917U (ja) | 1994-02-04 |
| JP2588473Y2 true JP2588473Y2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=14201266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991097777U Expired - Fee Related JP2588473Y2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 表面微小欠陥・付着物の立体像観察用光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588473Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6063514A (ja) * | 1983-09-17 | 1985-04-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 暗視野用落射顕微鏡 |
| JPH01108508U (ja) * | 1988-01-16 | 1989-07-21 |
-
1991
- 1991-11-01 JP JP1991097777U patent/JP2588473Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH068917U (ja) | 1994-02-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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