JPH0763995A - 顕微鏡用照明装置 - Google Patents
顕微鏡用照明装置Info
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- JPH0763995A JPH0763995A JP6110253A JP11025394A JPH0763995A JP H0763995 A JPH0763995 A JP H0763995A JP 6110253 A JP6110253 A JP 6110253A JP 11025394 A JP11025394 A JP 11025394A JP H0763995 A JPH0763995 A JP H0763995A
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- light
- illumination light
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- G02B21/08—Condensers
- G02B21/082—Condensers for incident illumination only
- G02B21/084—Condensers for incident illumination only having annular illumination around the objective
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 分解能を低下させずに標本表面の穴の底面を
観察できるようにする。 【構成】 集光レンズ２からの照明光を制限するピンホ
ール絞り３と、このピンホール絞り３により制限された
照明光を標本９上に集光する対物レンズ８とを備え、ピ
ンホール絞り３を対物レンズ８の瞳面と共役な位置に配
置した。ピンホール絞り３は、照明光の光軸中心Ｌに配
置されたピンホール３ａと、このピンホール３ａと境界
を接し、且つこれを取り囲むように配置され、入射した
照明光を制限し、その一部を通過させる減光部３ｂとを
備えている。また、ピンホール絞り３の近傍に、減光部
３ｂを通過した照明光を制限する開口絞りを配置した。
観察できるようにする。 【構成】 集光レンズ２からの照明光を制限するピンホ
ール絞り３と、このピンホール絞り３により制限された
照明光を標本９上に集光する対物レンズ８とを備え、ピ
ンホール絞り３を対物レンズ８の瞳面と共役な位置に配
置した。ピンホール絞り３は、照明光の光軸中心Ｌに配
置されたピンホール３ａと、このピンホール３ａと境界
を接し、且つこれを取り囲むように配置され、入射した
照明光を制限し、その一部を通過させる減光部３ｂとを
備えている。また、ピンホール絞り３の近傍に、減光部
３ｂを通過した照明光を制限する開口絞りを配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は顕微鏡用照明装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来の顕微鏡用照明装置を示す全
体構成図である。
体構成図である。
【０００３】光源１０１からの光は集光レンズ１０２で
集光され、開口絞り１０３で絞られる。開口絞り１０３
で絞られた光はリレーレンズ１０４を通過後、視野絞り
１０５、視野レンズ１０６を通過し、ハーフミラー１０
７で反射され、対物レンズ１０８の後側焦点位置に光源
１０１と開口絞り１０３との実像１１２が結像される。
対物レンズ１０８を通過した光は開口絞り１０３の開き
径に相当する開口角αで標本１０９に照射される。
集光され、開口絞り１０３で絞られる。開口絞り１０３
で絞られた光はリレーレンズ１０４を通過後、視野絞り
１０５、視野レンズ１０６を通過し、ハーフミラー１０
７で反射され、対物レンズ１０８の後側焦点位置に光源
１０１と開口絞り１０３との実像１１２が結像される。
対物レンズ１０８を通過した光は開口絞り１０３の開き
径に相当する開口角αで標本１０９に照射される。
【０００４】使用する対物レンズ１０８の開口数の最大
の開口角αで標本１０９を照明すると、その対物レンズ
１０８の最大の分解能が得られるが、コントラストが低
下する。逆に、開口絞り１０３を絞るにつれて分解能は
低下するが、コントラストは向上する。
の開口角αで標本１０９を照明すると、その対物レンズ
１０８の最大の分解能が得られるが、コントラストが低
下する。逆に、開口絞り１０３を絞るにつれて分解能は
低下するが、コントラストは向上する。
【０００５】そこで、一般に、使用する対物レンズ１０
８の開口数の７０〜８０％に絞ると、余り分解能は落ち
ず、コントラストの良い照明が得られると考えられてい
る。
８の開口数の７０〜８０％に絞ると、余り分解能は落ち
ず、コントラストの良い照明が得られると考えられてい
る。
【０００６】一般に対物レンズ１０８は倍率が高くなる
にしたがって開口数が大きくなり、その結果、開口角α
は大きくなる。このような照明条件で例えばアスペクト
比の大きなＬＳＩにおけるコンタクトホール１０９ａ
（図８参照）を有する標本１０９を、高倍率の対物レン
ズ１０８で観察した場合、開口絞り１０３を開いて照明
すると、図８に示すように、開口絞り１０３の開き径に
対応した光軸Ｌから離れた位置の光源１０１からの光束
１１４ｂ，１１４ｃはコンタクトホール１０９ａの底部
に届かず、コンタクトホール１０９ａの照度と標本１０
９表面の照度との差が大きくなり過ぎ、コンタクトホー
ル１０９ａは黒い点としてしか観察することができな
い。
にしたがって開口数が大きくなり、その結果、開口角α
は大きくなる。このような照明条件で例えばアスペクト
比の大きなＬＳＩにおけるコンタクトホール１０９ａ
（図８参照）を有する標本１０９を、高倍率の対物レン
ズ１０８で観察した場合、開口絞り１０３を開いて照明
すると、図８に示すように、開口絞り１０３の開き径に
対応した光軸Ｌから離れた位置の光源１０１からの光束
１１４ｂ，１１４ｃはコンタクトホール１０９ａの底部
に届かず、コンタクトホール１０９ａの照度と標本１０
９表面の照度との差が大きくなり過ぎ、コンタクトホー
ル１０９ａは黒い点としてしか観察することができな
い。
【０００７】そこで、開口絞り１０３を最小に絞るか、
絞り切れないときは、図９に示すように、開口絞り１０
３の代わりに、金属板にピンホール２０３ａを設けてな
るピンホール絞り２０３を光軸中心Ｌに配置すると、非
常に小さな開口角で標本１０９を照明することになる。
その結果標本１０９のコンタクトホール１０９ａの底部
と標本１０９表面との照度差が小さくなり、コンタクト
ホール１０９ａの底部を観察することができる。
絞り切れないときは、図９に示すように、開口絞り１０
３の代わりに、金属板にピンホール２０３ａを設けてな
るピンホール絞り２０３を光軸中心Ｌに配置すると、非
常に小さな開口角で標本１０９を照明することになる。
その結果標本１０９のコンタクトホール１０９ａの底部
と標本１０９表面との照度差が小さくなり、コンタクト
ホール１０９ａの底部を観察することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図９に示すよ
うなピンホール照明にすると、コンタクトホール１０９
ａの底部は観察できるが、絞り過ぎにより、対物レンズ
１０８の分解能を劣化させ、コントラストが強調され過
ぎたギラギラした像しか観察できないという問題があっ
た。
うなピンホール照明にすると、コンタクトホール１０９
ａの底部は観察できるが、絞り過ぎにより、対物レンズ
１０８の分解能を劣化させ、コントラストが強調され過
ぎたギラギラした像しか観察できないという問題があっ
た。
【０００９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は分解能を低下させずに標本表面の
穴の底面を観察することができる顕微鏡用照明装置を提
供することである。
たもので、その課題は分解能を低下させずに標本表面の
穴の底面を観察することができる顕微鏡用照明装置を提
供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の第１の発明の顕微鏡用照明装置は、光
源からの照明光を集光する集光レンズと、この集光レン
ズからの照明光を制限するピンホール絞りと、このピン
ホール絞りにより制限された照明光を標本上に集光する
対物レンズとを備え、前記ピンホール絞りが前記対物レ
ンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕微鏡用照明装
置において、前記ピンホール絞りは、前記照明光の略光
軸上に配置されたピンホールと、該ピンホールと境界を
接し、かつ、これを取り囲むように配置され、入射した
前記照明光を制限しその一部を通過させる減光部とを備
えている。
め請求項１記載の第１の発明の顕微鏡用照明装置は、光
源からの照明光を集光する集光レンズと、この集光レン
ズからの照明光を制限するピンホール絞りと、このピン
ホール絞りにより制限された照明光を標本上に集光する
対物レンズとを備え、前記ピンホール絞りが前記対物レ
ンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕微鏡用照明装
置において、前記ピンホール絞りは、前記照明光の略光
軸上に配置されたピンホールと、該ピンホールと境界を
接し、かつ、これを取り囲むように配置され、入射した
前記照明光を制限しその一部を通過させる減光部とを備
えている。
【００１１】また、請求項２記載の発明の顕微鏡用照明
装置は、前記ピンホール絞りは、２枚の偏光フィルタを
備え、該偏光フィルタの少なくとも一方に前記ピンホー
ルを形成し、これらの偏光フィルタを光軸を回転中心に
して相対回転可能に配置した。
装置は、前記ピンホール絞りは、２枚の偏光フィルタを
備え、該偏光フィルタの少なくとも一方に前記ピンホー
ルを形成し、これらの偏光フィルタを光軸を回転中心に
して相対回転可能に配置した。
【００１２】更に、請求項３記載の発明の顕微鏡用照明
装置は、光源からの照明光を集光する集光レンズと、こ
の集光レンズからの照明光を制限するピンホール絞り
と、このピンホール絞りにより制限された照明光を標本
上に集光する対物レンズとを備え、前記ピンホール絞り
が前記対物レンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕
微鏡用照明装置において、前記ピンホール絞りは、前記
照明光の略光軸上に配置されたピンホールと、該ピンホ
ールと境界を接し、かつ、これを取り囲むように配置さ
れ、入射した前記照明光を遮光する遮光部と、前記遮光
部と境界を接し、少なくとも一部の前記照明光を通過さ
せる透過部とを備えている。
装置は、光源からの照明光を集光する集光レンズと、こ
の集光レンズからの照明光を制限するピンホール絞り
と、このピンホール絞りにより制限された照明光を標本
上に集光する対物レンズとを備え、前記ピンホール絞り
が前記対物レンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕
微鏡用照明装置において、前記ピンホール絞りは、前記
照明光の略光軸上に配置されたピンホールと、該ピンホ
ールと境界を接し、かつ、これを取り囲むように配置さ
れ、入射した前記照明光を遮光する遮光部と、前記遮光
部と境界を接し、少なくとも一部の前記照明光を通過さ
せる透過部とを備えている。
【００１３】また、請求項４記載の発明の顕微鏡用照明
装置は、前記透過部は、前記遮光部を取り囲むように配
置され、環状に形成された開口からなる。
装置は、前記透過部は、前記遮光部を取り囲むように配
置され、環状に形成された開口からなる。
【００１４】更に、請求項５記載の発明の顕微鏡用照明
装置は、前記ピンホール絞りの近傍に、前記減光部を通
過した前記照明光を制限する開口絞りを配置した。
装置は、前記ピンホール絞りの近傍に、前記減光部を通
過した前記照明光を制限する開口絞りを配置した。
【００１５】また、請求項６記載の発明の顕微鏡用照明
装置は、光源からの照明光を集光する集光レンズと、こ
の集光レンズからの照明光を制限する開口絞りと、この
開口絞りにより絞られた照明光を標本上に集光する対物
レンズとを備え、前記開口絞りが前記対物レンズの瞳面
と略共役な位置に配置された顕微鏡用照明装置におい
て、前記開口絞りにより制限する照明光を集光するリレ
ーレンズと、このリレーレンズの前記開口絞りの共役面
に配置されたピンホール絞りとを備え、前記ピンホール
絞りは、前記照明光の略光軸上に配置されたピンホール
と、このピンホールと境界を接し、且つ、これを取り囲
むように配置され、入射した前記照明光を制限し、その
一部を通過させる減光部とを備えている。
装置は、光源からの照明光を集光する集光レンズと、こ
の集光レンズからの照明光を制限する開口絞りと、この
開口絞りにより絞られた照明光を標本上に集光する対物
レンズとを備え、前記開口絞りが前記対物レンズの瞳面
と略共役な位置に配置された顕微鏡用照明装置におい
て、前記開口絞りにより制限する照明光を集光するリレ
ーレンズと、このリレーレンズの前記開口絞りの共役面
に配置されたピンホール絞りとを備え、前記ピンホール
絞りは、前記照明光の略光軸上に配置されたピンホール
と、このピンホールと境界を接し、且つ、これを取り囲
むように配置され、入射した前記照明光を制限し、その
一部を通過させる減光部とを備えている。
【００１６】
【作用】標本上にピンホールを透過した光束が照射され
るとともに、ピンホール周辺の減光部を透過した光束が
照射されるので、標本表面の穴の内部の観察が可能であ
り、分解能も低下せず、絞り過ぎに起因するギラギラす
るコントラストの付き過ぎも解消できる。
るとともに、ピンホール周辺の減光部を透過した光束が
照射されるので、標本表面の穴の内部の観察が可能であ
り、分解能も低下せず、絞り過ぎに起因するギラギラす
るコントラストの付き過ぎも解消できる。
【００１７】また、ピンホール絞りとして２枚の偏光板
を用い、少なくとも一方の偏光板に光軸中心に配置する
ピンホールを有し、且ついずれか一方の偏光板を光軸回
りに回転可能にすることにより、ピンホールからの光量
とピンホール以外の部分からの光量との比を任意に調整
することができるので、分解能の高い状態で標本の様々
な形状の穴をも観察することができる。
を用い、少なくとも一方の偏光板に光軸中心に配置する
ピンホールを有し、且ついずれか一方の偏光板を光軸回
りに回転可能にすることにより、ピンホールからの光量
とピンホール以外の部分からの光量との比を任意に調整
することができるので、分解能の高い状態で標本の様々
な形状の穴をも観察することができる。
【００１８】更に、ピンホール絞りと併せて開口絞りを
用いるようにすれば、減光部からの光束を適宜絞ること
ができるので、例えば対物レンズ、標本の表面形状及び
標本の反射率の変化に対応でき、全体としてコントラス
トの高い像を得ることができる。
用いるようにすれば、減光部からの光束を適宜絞ること
ができるので、例えば対物レンズ、標本の表面形状及び
標本の反射率の変化に対応でき、全体としてコントラス
トの高い像を得ることができる。
【００１９】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００２０】図１はこの発明の第１実施例に係る顕微鏡
用照明装置を示す全体構成図である。光源１の前方には
照明光を集光する集光レンズ２が配置され、集光レンズ
２の前方にはピンホール絞り３が配置されている。ピン
ホール絞り３の前方にはリレーレンズ４、視野絞り５及
び視野レンズ６が配置され、視野レンズ６の前方には視
野レンズ６を出た照明光を直角に曲げるハーフミラー７
が配置されている。ハーフミラー７で反射された照明光
は対物レンズ８を介して標本９上に照射され、いわゆる
ケーラー照明になっている。対物レンズ８の後方の光路
上には図示しない接眼レンズが配置されている。
用照明装置を示す全体構成図である。光源１の前方には
照明光を集光する集光レンズ２が配置され、集光レンズ
２の前方にはピンホール絞り３が配置されている。ピン
ホール絞り３の前方にはリレーレンズ４、視野絞り５及
び視野レンズ６が配置され、視野レンズ６の前方には視
野レンズ６を出た照明光を直角に曲げるハーフミラー７
が配置されている。ハーフミラー７で反射された照明光
は対物レンズ８を介して標本９上に照射され、いわゆる
ケーラー照明になっている。対物レンズ８の後方の光路
上には図示しない接眼レンズが配置されている。
【００２１】前記ピンホール絞り３は対物レンズ８の瞳
面と共役な位置に配置されている。ピンホール絞り３は
ピンホール３ａを有し、ピンホール３ａが光軸中心Ｌに
配置されている。
面と共役な位置に配置されている。ピンホール絞り３は
ピンホール３ａを有し、ピンホール３ａが光軸中心Ｌに
配置されている。
【００２２】図２はこの発明の第１実施例に係る顕微鏡
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図で
ある。
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図で
ある。
【００２３】この実施例のピンホール絞り３は、透明の
ガラスフィルタ１０の中央部の直径ｄの部分を除いて、
ガラスフィルタ１０の片面に減光膜１１を蒸着してな
る。減光膜１１が蒸着され、且つ直径Ｄの円で囲まれた
部分が減光部３ｂであり、減光膜１１が蒸着されていな
い直径ｄの部分がピンホール３ａである。直径Ｄは対物
レンズ８の瞳の直径に相当する。ピンホール３ａからの
照明光の明るさと減光部３ｂからの照明光の明るさとは
それぞれ直径の２乗に比例し、ピンホール３ａからの照
明光量と減光部３ｂからの照明光量との比はおよそｄ2
／Ｄ2 となる。この実施例ではピンホール絞り３のピン
ホール３ａからの照明光量と減光部３ｂからの照明光量
とをほぼ等しくするために、減光部３ｂをｄ2 ／Ｄ2 の
透過率にした。
ガラスフィルタ１０の中央部の直径ｄの部分を除いて、
ガラスフィルタ１０の片面に減光膜１１を蒸着してな
る。減光膜１１が蒸着され、且つ直径Ｄの円で囲まれた
部分が減光部３ｂであり、減光膜１１が蒸着されていな
い直径ｄの部分がピンホール３ａである。直径Ｄは対物
レンズ８の瞳の直径に相当する。ピンホール３ａからの
照明光の明るさと減光部３ｂからの照明光の明るさとは
それぞれ直径の２乗に比例し、ピンホール３ａからの照
明光量と減光部３ｂからの照明光量との比はおよそｄ2
／Ｄ2 となる。この実施例ではピンホール絞り３のピン
ホール３ａからの照明光量と減光部３ｂからの照明光量
とをほぼ等しくするために、減光部３ｂをｄ2 ／Ｄ2 の
透過率にした。
【００２４】光源１からの光は集光レンズ２で集光さ
れ、ピンホール絞り３で制限される。ピンホール絞り３
で制限された光はリレーレンズ４を通過後、視野絞り
５、視野レンズ６を通過し、ハーフミラー７で反射さ
れ、対物レンズ８の後側焦点位置に光源１とピンホール
絞り３との実像１２が結像される。対物レンズ８を通過
した光はで標本９上に照射される。光源１の中心部から
の強い光１４ａはピンホール絞り３のピンホール３ａを
透過し、光軸Ｌから離れた位置の光源１からの弱い光１
４ｂ，１４ｃは減光部３ｂで減光されて透過し、標本９
上に至る。
れ、ピンホール絞り３で制限される。ピンホール絞り３
で制限された光はリレーレンズ４を通過後、視野絞り
５、視野レンズ６を通過し、ハーフミラー７で反射さ
れ、対物レンズ８の後側焦点位置に光源１とピンホール
絞り３との実像１２が結像される。対物レンズ８を通過
した光はで標本９上に照射される。光源１の中心部から
の強い光１４ａはピンホール絞り３のピンホール３ａを
透過し、光軸Ｌから離れた位置の光源１からの弱い光１
４ｂ，１４ｃは減光部３ｂで減光されて透過し、標本９
上に至る。
【００２５】標本９の反射光は対物レンズ８で集光され
てハーフミラー７を透過し、図示しない接眼レンズに至
る。
てハーフミラー７を透過し、図示しない接眼レンズに至
る。
【００２６】この実施例では、前述のように開口絞りに
代えてピンホール絞り３を採用し、ピンホール絞り３の
ピンホール３ａを光軸Ｌ上に配置し、減光部３ｂの透過
率をピンホール３ａによる照明光量とほぼ等しい照明光
量が得られるように設定したので、絞り過ぎに起因する
ギラギラするコントラストの付き過ぎを解消でき、分解
能の高い状態でコンタクトホール９ａのような標本９の
表面の穴の内部の観察が可能となる。
代えてピンホール絞り３を採用し、ピンホール絞り３の
ピンホール３ａを光軸Ｌ上に配置し、減光部３ｂの透過
率をピンホール３ａによる照明光量とほぼ等しい照明光
量が得られるように設定したので、絞り過ぎに起因する
ギラギラするコントラストの付き過ぎを解消でき、分解
能の高い状態でコンタクトホール９ａのような標本９の
表面の穴の内部の観察が可能となる。
【００２７】なお、減光フィルタの濃度は一定でなくと
もよいし、またピンホール３ａに近い中心付近を遮光膜
を形成し、周辺側を減光フィルタにしてもよい。
もよいし、またピンホール３ａに近い中心付近を遮光膜
を形成し、周辺側を減光フィルタにしてもよい。
【００２８】図３はこの発明の第２実施例に係る顕微鏡
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図で
ある。第１実施例と共通する部分については説明を省略
する。
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図で
ある。第１実施例と共通する部分については説明を省略
する。
【００２９】この実施例のピンホール絞り１３は、透明
のガラスフィルタ１５の中央部の直径ｄの部分及び直径
ｄの部分を中心とする幅ｔの環状部分を除いて、ガラス
フィルタ１５の片面に不透明な遮光膜１６を蒸着してな
る。遮光膜１６が蒸着されていない直径ｄの部分がピン
ホール１３ａであり、遮光膜１６が蒸着されていない幅
ｔの環状部分が透過部１３ｃである。環状の透過部は対
物レンズ８の開口数の７０〜８０％の位置に形成されて
いる。遮光膜１６が蒸着され、且つ直径Ｄの円で囲まれ
た部分が遮光部１３ｂである。
のガラスフィルタ１５の中央部の直径ｄの部分及び直径
ｄの部分を中心とする幅ｔの環状部分を除いて、ガラス
フィルタ１５の片面に不透明な遮光膜１６を蒸着してな
る。遮光膜１６が蒸着されていない直径ｄの部分がピン
ホール１３ａであり、遮光膜１６が蒸着されていない幅
ｔの環状部分が透過部１３ｃである。環状の透過部は対
物レンズ８の開口数の７０〜８０％の位置に形成されて
いる。遮光膜１６が蒸着され、且つ直径Ｄの円で囲まれ
た部分が遮光部１３ｂである。
【００３０】ピンホール１３ａからの光量と環状の透過
部１３ｃからの光量との比は、ｄ2 ／４ｔ（ｄ1 ＋ｔ）
となる。図３（ｂ）のｄ1 は環状の透過部１３ｃの直径
を示す。この実施例ではピンホール１３ａからの光量と
環状の透過部１３ｃからの光量とをほぼ等しくするため
に、ｄ2 ＝４ｔ（ｄ1 ＋ｔ）となるように寸法を設定し
た。
部１３ｃからの光量との比は、ｄ2 ／４ｔ（ｄ1 ＋ｔ）
となる。図３（ｂ）のｄ1 は環状の透過部１３ｃの直径
を示す。この実施例ではピンホール１３ａからの光量と
環状の透過部１３ｃからの光量とをほぼ等しくするため
に、ｄ2 ＝４ｔ（ｄ1 ＋ｔ）となるように寸法を設定し
た。
【００３１】この第２実施例の顕微鏡用照明装置によれ
ば、前述の第１実施例の顕微鏡用照明装置と同様の効果
を得ることができる。
ば、前述の第１実施例の顕微鏡用照明装置と同様の効果
を得ることができる。
【００３２】なお、第２実施例の変形例として、単一の
環状の透過部１３ｃの代わりに、ピンホール１３ａの周
辺にピンホール１３ａよりも微小な複数の透過部を散点
状に配設するようにしてもよいし、ピンホール１３ａを
中心として複数の透過部を放射状に配設するようにして
もよい。
環状の透過部１３ｃの代わりに、ピンホール１３ａの周
辺にピンホール１３ａよりも微小な複数の透過部を散点
状に配設するようにしてもよいし、ピンホール１３ａを
中心として複数の透過部を放射状に配設するようにして
もよい。
【００３３】更に、第２実施例の他の変形例として、ガ
ラスフィルタ１５に遮光膜１１を蒸着してなる第２実施
例のピンホール絞り１３に代え、金属板の中心部にピン
ホールを設けるとともに、そのピンホールを中心とする
仮想円に沿って複数の円弧状の長孔を一定間隔置きに設
けるようにしてもよい。
ラスフィルタ１５に遮光膜１１を蒸着してなる第２実施
例のピンホール絞り１３に代え、金属板の中心部にピン
ホールを設けるとともに、そのピンホールを中心とする
仮想円に沿って複数の円弧状の長孔を一定間隔置きに設
けるようにしてもよい。
【００３４】第１実施例及び第２実施例でピンホール部
と周辺部からの光量がほぼ等しくなるよう設定している
が、対物レンズの倍率、開口数、コンタクトホール等の
標本の穴の大きさ、標本の反射率等に適したように条件
に合せて光量比を選ぶようにピンホール絞りのピンホー
ルの大きさ、周辺の光量を決定すると良い。
と周辺部からの光量がほぼ等しくなるよう設定している
が、対物レンズの倍率、開口数、コンタクトホール等の
標本の穴の大きさ、標本の反射率等に適したように条件
に合せて光量比を選ぶようにピンホール絞りのピンホー
ルの大きさ、周辺の光量を決定すると良い。
【００３５】なお、図３のピンホール絞りではリング状
の開口を１つ設けたが、複数のリングを設けてもよい
し、開口の形状を複数の極小穴の集合にしたり、放射状
の複数の線にするなどの他の形状にしてもよい（この場
合光軸に対して対称であることを要し、例えば左右など
で偏りがあってはならない。）、また透過部に減光フィ
ルタを形成して減光してもよい。
の開口を１つ設けたが、複数のリングを設けてもよい
し、開口の形状を複数の極小穴の集合にしたり、放射状
の複数の線にするなどの他の形状にしてもよい（この場
合光軸に対して対称であることを要し、例えば左右など
で偏りがあってはならない。）、また透過部に減光フィ
ルタを形成して減光してもよい。
【００３６】図４はこの発明の第３実施例に係る顕微鏡
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図で
ある。第１実施例と共通する部分については説明を省略
する。
用照明装置のピンホール絞りを示し、同図（ａ）は正面
図、同図（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図で
ある。第１実施例と共通する部分については説明を省略
する。
【００３７】この第３実施例では、ピンホール絞りとし
て２枚の偏光板２３，２４を用い、偏光板２３，２４に
ピンホール２３ａ，２４ａをそれぞれ設け、偏光板２４
を駆動モータ２５により光軸回りに回転可能にした。な
お、偏光板は手動で回すようにしてもよい。
て２枚の偏光板２３，２４を用い、偏光板２３，２４に
ピンホール２３ａ，２４ａをそれぞれ設け、偏光板２４
を駆動モータ２５により光軸回りに回転可能にした。な
お、偏光板は手動で回すようにしてもよい。
【００３８】偏光板２４を光軸回りに回転させれば、ピ
ンホール２３ａ，２４ａからの光量とピンホール２３
ａ，２４ａを除く直径Ｄの円で囲まれた部分からの光量
との比は任意に調整することができる。したがって、偏
光板２４を回転させてピンホール２３ａ，２４ａからの
光量とピンホール２３ａ，２４ａを除く直径Ｄの円で囲
まれた部分からの光量とをほぼ等しくすることもでき、
第１実施例と同様の効果を得ることができる。
ンホール２３ａ，２４ａからの光量とピンホール２３
ａ，２４ａを除く直径Ｄの円で囲まれた部分からの光量
との比は任意に調整することができる。したがって、偏
光板２４を回転させてピンホール２３ａ，２４ａからの
光量とピンホール２３ａ，２４ａを除く直径Ｄの円で囲
まれた部分からの光量とをほぼ等しくすることもでき、
第１実施例と同様の効果を得ることができる。
【００３９】なお、この実施例ではピンホールを両方の
偏光板２３，２４に設けた場合について述べたが、ピン
ホールからの光量の減少を無視できるのであれば、ピン
ホールをいずれか一方の偏光板に設けるようにしてもよ
い。
偏光板２３，２４に設けた場合について述べたが、ピン
ホールからの光量の減少を無視できるのであれば、ピン
ホールをいずれか一方の偏光板に設けるようにしてもよ
い。
【００４０】上述の第１実施例及び第３実施例の場合、
ピンホール周辺部からの光を完全に遮ぎるタイプではな
いので、光源側の像全体を見ることができ、対物レンズ
の光軸上に光源の像が重なるように行う光源の位置合わ
せが容易である。
ピンホール周辺部からの光を完全に遮ぎるタイプではな
いので、光源側の像全体を見ることができ、対物レンズ
の光軸上に光源の像が重なるように行う光源の位置合わ
せが容易である。
【００４１】なお、中心付近をピンホールと遮光膜とで
形成し、周辺だけを偏光フィルタにしてもよい。
形成し、周辺だけを偏光フィルタにしてもよい。
【００４２】図５はこの発明の第４実施例に係る顕微鏡
用照明装置を示す全体構成図である。第１実施例と共通
する部分には同一符号を付して説明を省略する。
用照明装置を示す全体構成図である。第１実施例と共通
する部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００４３】この第４実施例は図１に示す第１実施例の
変形例に相当し、図５に示すように、ピンホール絞り３
の近傍にピンホール絞り３からの光を絞る開口絞り２０
を配置した点が、第１実施例と異なる。
変形例に相当し、図５に示すように、ピンホール絞り３
の近傍にピンホール絞り３からの光を絞る開口絞り２０
を配置した点が、第１実施例と異なる。
【００４４】この第４実施例によれば、第１実施例と同
様の効果を得ることができるとともに、ピンホール絞り
３の他に開口絞り２０を使用して、ピンホール絞り３の
減光部３ｂを対物レンズ８の開口数の７０〜８０％に絞
るようにしたので、対物レンズ８を異なる対物レンズに
変えたとしても、又は標本９の表面形状や反射率が変わ
ったとしても、全体としてコントラストの高い像を得る
ことができる。
様の効果を得ることができるとともに、ピンホール絞り
３の他に開口絞り２０を使用して、ピンホール絞り３の
減光部３ｂを対物レンズ８の開口数の７０〜８０％に絞
るようにしたので、対物レンズ８を異なる対物レンズに
変えたとしても、又は標本９の表面形状や反射率が変わ
ったとしても、全体としてコントラストの高い像を得る
ことができる。
【００４５】図６は第４実施例の変形例に係る顕微鏡用
照明装置を示す全体構成図である。第４実施例と共通す
る部分には同一符号を付して説明を省略する。
照明装置を示す全体構成図である。第４実施例と共通す
る部分には同一符号を付して説明を省略する。
【００４６】この変形例は、図６に示すように、開口絞
り２０とピンホール絞り３とをリレーレンズ２１の前後
の共役な離れた位置に配置した点で、第４実施例と異な
る。
り２０とピンホール絞り３とをリレーレンズ２１の前後
の共役な離れた位置に配置した点で、第４実施例と異な
る。
【００４７】この変形例では、集光レンズ２の前方に開
口絞り２０が配置され、開口絞り２０の前方に開口絞り
２０で制限された光を再度集光するリレーレンズ２１が
配置され、リレーレンズ２１の後方の開口絞り２０と共
役な位置にピンホール絞り３が配置され、前記開口絞り
２０とピンホール絞り３とは対物レンズ８の瞳面と共役
な位置に配置されている。ピンホール絞り３からの光は
リレーレンズ４等を経て標本９上に照射される。
口絞り２０が配置され、開口絞り２０の前方に開口絞り
２０で制限された光を再度集光するリレーレンズ２１が
配置され、リレーレンズ２１の後方の開口絞り２０と共
役な位置にピンホール絞り３が配置され、前記開口絞り
２０とピンホール絞り３とは対物レンズ８の瞳面と共役
な位置に配置されている。ピンホール絞り３からの光は
リレーレンズ４等を経て標本９上に照射される。
【００４８】この変形例によれば、第４実施例と同様の
効果（対物レンズ、標本の表面形状及び標本の反射率の
変化に応じて適切な開口数で観察が可能になる。）を得
ることができる。
効果（対物レンズ、標本の表面形状及び標本の反射率の
変化に応じて適切な開口数で観察が可能になる。）を得
ることができる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の顕微鏡用
照明装置によれば、絞り過ぎに起因するギラギラするコ
ントラストの付き過ぎを解消でき、分解能の高い状態で
コンタクトホールのような標本表面の穴の内部の観察が
可能となる。
照明装置によれば、絞り過ぎに起因するギラギラするコ
ントラストの付き過ぎを解消でき、分解能の高い状態で
コンタクトホールのような標本表面の穴の内部の観察が
可能となる。
【００５０】また、２枚の偏光板を用い、少なくとも一
方の偏光板に光軸中心に配置するピンホールを有し、且
ついずれか一方の偏光板を光軸回りに回転可能にするこ
とにより、ピンホールからの光量とピンホール以外の部
分からの光量との比を任意に調整することができるの
で、分解能の高い状態で標本の様々な形状の穴をも観察
することができる。
方の偏光板に光軸中心に配置するピンホールを有し、且
ついずれか一方の偏光板を光軸回りに回転可能にするこ
とにより、ピンホールからの光量とピンホール以外の部
分からの光量との比を任意に調整することができるの
で、分解能の高い状態で標本の様々な形状の穴をも観察
することができる。
【００５１】更に、ピンホール周辺部からの光を完全に
遮ぎるタイプではないので、光源側の像全体を見ること
ができ、対物レンズの光軸上に光源の像が重なるように
行う光源の位置合わせが容易である。
遮ぎるタイプではないので、光源側の像全体を見ること
ができ、対物レンズの光軸上に光源の像が重なるように
行う光源の位置合わせが容易である。
【００５２】また、ピンホール絞りと併せて開口絞りを
用いるようにすれば、減光部からの光束を適宜絞ること
ができるので、例えば対物レンズ、標本の表面形状及び
標本の反射率の変化に対応でき、全体としてコントラス
トの高い像を得ることができる。
用いるようにすれば、減光部からの光束を適宜絞ること
ができるので、例えば対物レンズ、標本の表面形状及び
標本の反射率の変化に対応でき、全体としてコントラス
トの高い像を得ることができる。
【図１】図１はこの発明の第１実施例に係る顕微鏡用照
明装置を示す全体構成図である。
明装置を示す全体構成図である。
【図２】図２は図１の顕微鏡用照明装置のピンホール絞
りを示す図である。
りを示す図である。
【図３】図３はこの発明の第２実施例に係る顕微鏡用照
明装置のピンホール絞りを示す図である。
明装置のピンホール絞りを示す図である。
【図４】図４はこの発明の第３実施例に係る顕微鏡用照
明装置のピンホール絞りを示す図である。
明装置のピンホール絞りを示す図である。
【図５】図５はこの発明の第４実施例に係る顕微鏡用照
明装置を示す全体構成図である。
明装置を示す全体構成図である。
【図６】図６はこの発明の第５実施例に係る顕微鏡用照
明装置を示す全体構成図である。
明装置を示す全体構成図である。
【図７】図７は従来の顕微鏡用照明装置を示す全体構成
図である。
図である。
【図８】図８は標本の断面図である。
【図９】図９は従来の他の顕微鏡用照明装置を示す全体
構成図である。
構成図である。
１ 光源 ２ 集光レンズ ３，１３ ピンホール絞り ３ａ，１３ａ ピンホール ３ｂ，１３ｂ 減光部 ８ 対物レンズ １０ ガラスフィルタ １１ 減光膜 ２０ 開口絞り
Claims (6)
- 【請求項１】 光源からの照明光を集光する集光レンズ
と、 この集光レンズからの照明光を制限するピンホール絞り
と、 このピンホール絞りにより制限された照明光を標本上に
集光する対物レンズとを備え、前記ピンホール絞りが前
記対物レンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕微鏡
用照明装置において、 前記ピンホール絞りは、 前記照明光の略光軸上に配置されたピンホールと、 該ピンホールと境界を接し、かつ、これを取り囲むよう
に配置され、入射した前記照明光を制限しその一部を通
過させる減光部とを備えていることを特徴とする顕微鏡
用照明装置。 - 【請求項２】 前記ピンホール絞りは、２枚の偏光フィ
ルタを備え、該偏光フィルタの少なくとも一方に前記ピ
ンホールを形成し、これらの偏光フィルタを光軸を回転
中心にして相対回転可能に配置したことを特徴とする請
求項１記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項３】 光源からの照明光を集光する集光レンズ
と、 この集光レンズからの照明光を制限するピンホール絞り
と、 このピンホール絞りにより制限された照明光を標本上に
集光する対物レンズとを備え、前記ピンホール絞りが前
記対物レンズの瞳面と略共役な位置に配置された顕微鏡
用照明装置において、 前記ピンホール絞りは、 前記照明光の略光軸上に配置されたピンホールと、 該ピンホールと境界を接し、かつ、これを取り囲むよう
に配置され、入射した前記照明光を遮光する遮光部と、 前記遮光部と境界を接し、少なくとも一部の前記照明光
を通過させる透過部とを備えていることを特徴とする顕
微鏡用照明装置。 - 【請求項４】 前記透過部は、前記遮光部を取り囲むよ
うに配置され、環状に形成された開口からなることを特
徴とする請求項３記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項５】 前記ピンホール絞りの近傍に、前記減光
部を通過した前記照明光を制限する開口絞りを配置した
ことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡用照明装置。 - 【請求項６】 光源からの照明光を集光する集光レンズ
と、 この集光レンズからの照明光を制限する開口絞りと、 この開口絞りにより絞られた照明光を標本上に集光する
対物レンズとを備え、 前記開口絞りが前記対物レンズの瞳面と略共役な位置に
配置された顕微鏡用照明装置において、 前記開口絞りにより制限する照明光を集光するリレーレ
ンズと、 このリレーレンズの前記開口絞りの共役面に配置された
ピンホール絞りとを備え、 前記ピンホール絞りは、 前記照明光の略光軸上に配置されたピンホールと、 このピンホールと境界を接し、且つ、これを取り囲むよ
うに配置され、入射した前記照明光を制限し、その一部
を通過させる減光部とを備えていることを特徴とする顕
微鏡用照明装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11025394A JP3395351B2 (ja) | 1993-06-15 | 1994-04-26 | 顕微鏡用照明装置 |
| US10/042,694 US6943943B1 (en) | 1993-06-15 | 1996-05-31 | Illuminating apparatus for a microscope |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16871693 | 1993-06-15 | ||
| JP5-168716 | 1993-06-15 | ||
| JP11025394A JP3395351B2 (ja) | 1993-06-15 | 1994-04-26 | 顕微鏡用照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763995A true JPH0763995A (ja) | 1995-03-10 |
| JP3395351B2 JP3395351B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=26449927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11025394A Expired - Fee Related JP3395351B2 (ja) | 1993-06-15 | 1994-04-26 | 顕微鏡用照明装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6943943B1 (ja) |
| JP (1) | JP3395351B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6188514B1 (en) | 1997-02-04 | 2001-02-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Confocal microscope |
| JP2002174779A (ja) * | 2000-12-08 | 2002-06-21 | Nikon Corp | 顕微鏡システム及び補助倍率決定方法 |
| JP2003248175A (ja) * | 2001-12-10 | 2003-09-05 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 試料内で励起および／または後方散乱を経た光ビームの光学的捕捉のための配置 |
| JP2010054690A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Nikon Corp | 共焦点顕微鏡 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130321906A1 (en) * | 2012-05-29 | 2013-12-05 | Peter KRIOFSKE | Annulus to create distinct illumination and imaging apertures for an imaging system |
| CN103645034B (zh) * | 2013-11-28 | 2016-06-01 | 上海华力微电子有限公司 | 集成光学透镜检测器 |
| DE102017108376A1 (de) * | 2017-04-20 | 2018-10-25 | Carl Zeiss Meditec Ag | Optisches Beobachtungsgerät |
| US11489989B2 (en) * | 2020-04-27 | 2022-11-01 | Viavi Solutions Inc. | System for illuminating and viewing recessed angled surfaces |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2152513A (en) * | 1937-02-11 | 1939-03-28 | Polaroid Corp | Polarizing attachment for optical instruments such as microscopes |
| US2207411A (en) * | 1938-07-28 | 1940-07-09 | Samuel E Witt | Method of photography and improved means for securing the same |
| US2944463A (en) * | 1955-01-14 | 1960-07-12 | Zeiss Carl | Illuminating device particularly for objects in microscopes |
| JPS5856107B2 (ja) * | 1976-09-25 | 1983-12-13 | オリンパス光学工業株式会社 | 定量化顕微鏡 |
| JPS56142509A (en) * | 1980-04-07 | 1981-11-06 | Olympus Optical Co Ltd | Lighting device of microscope |
| JPS6238133A (ja) * | 1985-08-12 | 1987-02-19 | 株式会社トプコン | 眼底カメラ |
| JPH07122694B2 (ja) * | 1986-10-16 | 1995-12-25 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡用照明装置 |
| DD261657B5 (de) * | 1987-06-01 | 1994-04-07 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Einfaches kontrastmikroskop |
| JP2532100B2 (ja) * | 1987-06-19 | 1996-09-11 | 株式会社リコー | 照度分布補正用透過型フィルタ |
| DE3920043C2 (de) * | 1989-06-20 | 2000-09-21 | Zeiss Carl Fa | Fluoreszenzmikroskop |
-
1994
- 1994-04-26 JP JP11025394A patent/JP3395351B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-05-31 US US10/042,694 patent/US6943943B1/en not_active Expired - Fee Related
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| US6188514B1 (en) | 1997-02-04 | 2001-02-13 | Olympus Optical Co., Ltd. | Confocal microscope |
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| JP4670031B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2011-04-13 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 試料内で励起および／または後方散乱を経た光ビームの光学的検出のための装置 |
| JP2010054690A (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-11 | Nikon Corp | 共焦点顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3395351B2 (ja) | 2003-04-14 |
| US6943943B1 (en) | 2005-09-13 |
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|---|---|---|---|
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