JPH09218357A - 偏斜・暗視野検鏡装置 - Google Patents
偏斜・暗視野検鏡装置Info
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- JPH09218357A JPH09218357A JP2370396A JP2370396A JPH09218357A JP H09218357 A JPH09218357 A JP H09218357A JP 2370396 A JP2370396 A JP 2370396A JP 2370396 A JP2370396 A JP 2370396A JP H09218357 A JPH09218357 A JP H09218357A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、良好な偏斜・暗視野検鏡を実現でき
る装置を提供する。 【解決手段】光源２１からの照明光を絞り位置Ａに配置
されたリング照明絞り２２を通して対物瞳位置Ｂにリン
グ絞り像として結像し、このリング絞り像からなる照明
光を対物レンズ２５の有効ＮＡの外側を通して、標本２
６に投光角の小さな暗視野照明を入射し、さらに、標本
２６面で散乱される光による観察像について対物レンズ
２５、リレーレンズ２８を通して対物瞳位置Ｃ上の遮蔽
部材２９に送り、この遮蔽部材２９の円形状開口部２９
１によりリング絞り像のリング部分（明部）をカットす
る。
る装置を提供する。 【解決手段】光源２１からの照明光を絞り位置Ａに配置
されたリング照明絞り２２を通して対物瞳位置Ｂにリン
グ絞り像として結像し、このリング絞り像からなる照明
光を対物レンズ２５の有効ＮＡの外側を通して、標本２
６に投光角の小さな暗視野照明を入射し、さらに、標本
２６面で散乱される光による観察像について対物レンズ
２５、リレーレンズ２８を通して対物瞳位置Ｃ上の遮蔽
部材２９に送り、この遮蔽部材２９の円形状開口部２９
１によりリング絞り像のリング部分（明部）をカットす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＩＣやＬＳ
Ｉのような細かい配線などを有する標本観察に用いられ
る偏斜・暗視野検鏡装置に関するものである。
Ｉのような細かい配線などを有する標本観察に用いられ
る偏斜・暗視野検鏡装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、標本観察に用いられる検鏡方法に
は、対物レンズの瞳位置やコンデンサレンズの瞳位置に
瞳変調モジュールを挿入することにより、標本特有の性
質を引き出して可視化するような技術が知られている。
は、対物レンズの瞳位置やコンデンサレンズの瞳位置に
瞳変調モジュールを挿入することにより、標本特有の性
質を引き出して可視化するような技術が知られている。
【０００３】そして、対物レンズおよびコンデンサレン
ズの瞳を利用したものに微分干渉、位相差検鏡、ホフマ
ン検鏡、コンデンサレンズの瞳を利用したものに偏斜・
暗視野検鏡がある。
ズの瞳を利用したものに微分干渉、位相差検鏡、ホフマ
ン検鏡、コンデンサレンズの瞳を利用したものに偏斜・
暗視野検鏡がある。
【０００４】図４は、暗視野照明を用いた暗視野検鏡の
光路図を示すもので、図示しない光源からの照明光を投
光レンズ１を通して対物レンズ３の光軸上に配置された
中空ミラー２で反射させ、この反射光を、さらに対物レ
ンズ３の周囲に配置したミラー４で反射させて対物レン
ズ３を通すことなく標本５面に照射し、標本５での観察
像を対物レンズ３からミラー２の中空部を通して観察す
るようになっている。この場合、暗視野照明による光束
の投光角θが対物レンズ３のＮＡ（開口数）より大きけ
ればよいが、暗い背景色に標本５面上のエッヂや異物が
明るく見えるのがよいとされることから、光束の投光角
θはできる限り大きく取るようにしている。こうすれ
ば、より大きく散乱される光を拾えるし、投光光学系の
迷光もカットできることから良好な観察が得られること
になる。
光路図を示すもので、図示しない光源からの照明光を投
光レンズ１を通して対物レンズ３の光軸上に配置された
中空ミラー２で反射させ、この反射光を、さらに対物レ
ンズ３の周囲に配置したミラー４で反射させて対物レン
ズ３を通すことなく標本５面に照射し、標本５での観察
像を対物レンズ３からミラー２の中空部を通して観察す
るようになっている。この場合、暗視野照明による光束
の投光角θが対物レンズ３のＮＡ（開口数）より大きけ
ればよいが、暗い背景色に標本５面上のエッヂや異物が
明るく見えるのがよいとされることから、光束の投光角
θはできる限り大きく取るようにしている。こうすれ
ば、より大きく散乱される光を拾えるし、投光光学系の
迷光もカットできることから良好な観察が得られること
になる。
【０００５】図５は、暗視野照明に対する標本面のエッ
ジでの入射光と０次光および回析光の関係を示すもの
で、標本５面上のエッジ５ａに対し対物レンズ３のＮＡ
よりできるだけ大きな投光角θで入射光６を与えると、
反射０次光８（法線７に対して対象でない）の他に、１
次回析光９、２次回析光１０が得られるが、このうちの
１次回析光９および２次回析光１０のみを拾うことによ
り、０次光８の入らない標本像を得られるようになる。
こうした場合、低周波数の像の解像力は悪いが、高周波
数の像の解像力はよいといわれ、明視野検鏡では見えな
いといわれる細菌のベン毛なども観察できるといわれて
いる。
ジでの入射光と０次光および回析光の関係を示すもの
で、標本５面上のエッジ５ａに対し対物レンズ３のＮＡ
よりできるだけ大きな投光角θで入射光６を与えると、
反射０次光８（法線７に対して対象でない）の他に、１
次回析光９、２次回析光１０が得られるが、このうちの
１次回析光９および２次回析光１０のみを拾うことによ
り、０次光８の入らない標本像を得られるようになる。
こうした場合、低周波数の像の解像力は悪いが、高周波
数の像の解像力はよいといわれ、明視野検鏡では見えな
いといわれる細菌のベン毛なども観察できるといわれて
いる。
【０００６】一方、図６は、偏斜照明検鏡の光路図を示
すもので、光源１１からの照明光を投光レンズ１２を通
し、標本１４に対する投光角を可変できるように回動自
在に設けられたミラー１３で反射させ、標本１４に所定
の偏斜を持たせて入射し、標本１４からの透過像を対物
レンズ１５を通して観察するようになっている。
すもので、光源１１からの照明光を投光レンズ１２を通
し、標本１４に対する投光角を可変できるように回動自
在に設けられたミラー１３で反射させ、標本１４に所定
の偏斜を持たせて入射し、標本１４からの透過像を対物
レンズ１５を通して観察するようになっている。
【０００７】そして、このような偏斜照明検鏡は、実態
顕微鏡の透過観察法の１つとして、例えば液晶パネルの
製造過程でガラス板上に形成される透明電極パターン
（ＩＴＯ配線）などのエッジ強調観察に採用されてい
る。
顕微鏡の透過観察法の１つとして、例えば液晶パネルの
製造過程でガラス板上に形成される透明電極パターン
（ＩＴＯ配線）などのエッジ強調観察に採用されてい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前者の暗視
野検鏡によると、照明光の投光角θが対物レンズのＮＡ
より十分に大きく設定することから、０次光が大きく変
化するような部分（例えば、ごみ、傷）での観察はでき
るが、僅かに散乱角のずれを生じているような部分（例
えば、配線エッジのダレ）での観察は不可能であり、し
かも、当然のことながら像全体が暗いという問題があっ
た。このため、生物観察では十分であったものの、最近
になって適用されているＩＣやＬＳＩのように細かい配
線が配列されるような標本での細部にわたる観察には適
するもといえなかった。
野検鏡によると、照明光の投光角θが対物レンズのＮＡ
より十分に大きく設定することから、０次光が大きく変
化するような部分（例えば、ごみ、傷）での観察はでき
るが、僅かに散乱角のずれを生じているような部分（例
えば、配線エッジのダレ）での観察は不可能であり、し
かも、当然のことながら像全体が暗いという問題があっ
た。このため、生物観察では十分であったものの、最近
になって適用されているＩＣやＬＳＩのように細かい配
線が配列されるような標本での細部にわたる観察には適
するもといえなかった。
【０００９】また、後者の偏斜照明検鏡によると、ミラ
ー１５の傾き方向は決まっていて、標本１４に対する投
光角は、一軸方向にのみ傾けられるようになるので、Ｉ
ＯＴ配線の方向によって、つまり、投光角の傾きに直交
する方向の配線と投光角の傾きに沿った方向の配線とで
明るい部分と暗い部分ができてしまい、観察像として極
めて見にくいものになるという問題点がある。
ー１５の傾き方向は決まっていて、標本１４に対する投
光角は、一軸方向にのみ傾けられるようになるので、Ｉ
ＯＴ配線の方向によって、つまり、投光角の傾きに直交
する方向の配線と投光角の傾きに沿った方向の配線とで
明るい部分と暗い部分ができてしまい、観察像として極
めて見にくいものになるという問題点がある。
【００１０】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、良好な偏斜・暗視野検鏡を実現できる装置を提供す
ることを目的とする。
で、良好な偏斜・暗視野検鏡を実現できる装置を提供す
ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
照明光学系の明るさ絞り位置に設けられリング状開口部
を有するリング照明絞りと、このリング照明絞より形成
されるリング絞り像の照明光が照射される標本からの観
察像を取り込む対物レンズと、この対物レンズの瞳位置
をリレーするリレー光学系と、このリレー光学系より形
成される対物瞳位置に設けられ前記リング絞り像のリン
グ部分をカットする遮蔽部材とにより構成している。
照明光学系の明るさ絞り位置に設けられリング状開口部
を有するリング照明絞りと、このリング照明絞より形成
されるリング絞り像の照明光が照射される標本からの観
察像を取り込む対物レンズと、この対物レンズの瞳位置
をリレーするリレー光学系と、このリレー光学系より形
成される対物瞳位置に設けられ前記リング絞り像のリン
グ部分をカットする遮蔽部材とにより構成している。
【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、リング照明絞りは、リング状開口部の内側直径を
対物レンズ２５の瞳の大きさの０．９５〜０．７の範囲
に設定している。
いて、リング照明絞りは、リング状開口部の内側直径を
対物レンズ２５の瞳の大きさの０．９５〜０．７の範囲
に設定している。
【００１３】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載において、リング照明絞りおよび遮蔽部材は、それ
ぞれ挿脱可能にしている。
記載において、リング照明絞りおよび遮蔽部材は、それ
ぞれ挿脱可能にしている。
【００１４】この結果、請求項１記載の発明によれば、
照明光学系の明るさ絞り位置に設けられリング状開口部
を有するリング照明絞りによりリング絞り像の照明光を
生成し、この照明光が照射される標本からの観察像を対
物レンズより取り込むとともに、リレー光学系により形
成される対物瞳位置にリング絞り像のリング部分をカッ
トする遮蔽部材を設けることにより、低角暗視野による
観察像を得られるので、かかる低角暗視野により僅かな
散乱角のずれを生じているような部分の観察までも精度
よく行うことができる。
照明光学系の明るさ絞り位置に設けられリング状開口部
を有するリング照明絞りによりリング絞り像の照明光を
生成し、この照明光が照射される標本からの観察像を対
物レンズより取り込むとともに、リレー光学系により形
成される対物瞳位置にリング絞り像のリング部分をカッ
トする遮蔽部材を設けることにより、低角暗視野による
観察像を得られるので、かかる低角暗視野により僅かな
散乱角のずれを生じているような部分の観察までも精度
よく行うことができる。
【００１５】また、請求項２記載の発明によれば、リン
グ照明絞りのリング状開口部の内側直径を対物レンズ２
５の瞳の大きさの０．９５〜０．７の範囲に設定するこ
とにより、低角暗視野によって明るい観察像が得られ、
良好な観察を実現することができる。
グ照明絞りのリング状開口部の内側直径を対物レンズ２
５の瞳の大きさの０．９５〜０．７の範囲に設定するこ
とにより、低角暗視野によって明るい観察像が得られ、
良好な観察を実現することができる。
【００１６】また、請求項３記載の発明によれば、リン
グ照明絞りおよび遮蔽部材をそれぞれ挿脱可能にするこ
とで、低角暗視野検鏡、リング偏斜照明検鏡および明視
野検鏡を選択的に実行することができる。
グ照明絞りおよび遮蔽部材をそれぞれ挿脱可能にするこ
とで、低角暗視野検鏡、リング偏斜照明検鏡および明視
野検鏡を選択的に実行することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。
面に従い説明する。
【００１８】図１は、一実施の形態の概略構成を示して
いる。図において、２１は光源で、この光源２１からの
照明光を、図示しない集光レンズにより明るさ絞り位置
Ａに集めるようにしている。
いる。図において、２１は光源で、この光源２１からの
照明光を、図示しない集光レンズにより明るさ絞り位置
Ａに集めるようにしている。
【００１９】この絞り位置Ａにリング照明絞り２２を配
置している。このリング照明絞り２２は、図２に示すよ
うに中心部にリング状の開口部２２１を有するものであ
る。この場合、リング状開口部２２１の内側直径をφｄ
2 、外側直径をφｄ1 、後述する対物レンズ２５の瞳の
大きさ（ＮＡ）をφＤ、投光レンズ２３の倍率をｍ1と
すると、φＤ＝φｍ1 ｄ1 の関係が得られる。実際に
は、ｄ1 は対物瞳をカバーするためにｄ1 ＝（φＤ×1.
05）／ｍ1 である。また、ｄ2 は、φＤ×０．９＝φｍ
1 ｄ2 程度に設計されている。勿論、ここでの値０．９
は、一例であって標本の形状（線幅など）によっては
０．９５〜０．７の範囲で採用されるが、０．９〜０．
８の範囲が最適とされている。この場合、値が大きけれ
ば偏斜効果は期待できるが、像は暗くなる。
置している。このリング照明絞り２２は、図２に示すよ
うに中心部にリング状の開口部２２１を有するものであ
る。この場合、リング状開口部２２１の内側直径をφｄ
2 、外側直径をφｄ1 、後述する対物レンズ２５の瞳の
大きさ（ＮＡ）をφＤ、投光レンズ２３の倍率をｍ1と
すると、φＤ＝φｍ1 ｄ1 の関係が得られる。実際に
は、ｄ1 は対物瞳をカバーするためにｄ1 ＝（φＤ×1.
05）／ｍ1 である。また、ｄ2 は、φＤ×０．９＝φｍ
1 ｄ2 程度に設計されている。勿論、ここでの値０．９
は、一例であって標本の形状（線幅など）によっては
０．９５〜０．７の範囲で採用されるが、０．９〜０．
８の範囲が最適とされている。この場合、値が大きけれ
ば偏斜効果は期待できるが、像は暗くなる。
【００２０】そして、リング照明絞り２２を通った照明
光は、投光レンズ２３を通って倍率をｍ1 をかけられ反
射ミラー２４を介して対物瞳位置Ｂにリング絞り像とし
て結像されるようになっている。この場合のリング絞り
像は、図２（ｂ）のようになっている。
光は、投光レンズ２３を通って倍率をｍ1 をかけられ反
射ミラー２４を介して対物瞳位置Ｂにリング絞り像とし
て結像されるようになっている。この場合のリング絞り
像は、図２（ｂ）のようになっている。
【００２１】また、対物瞳位置Ｂでのリング絞り像は、
ケラー照明として対物レンズ２５を通って標本２６面に
照射され、標本２６面からの反射光は対物レンズ２５を
介して同じく対物瞳位置Ｂに結像され、さらに、対物瞳
位置Ｂ上での結像は、結像レンズ２７を経てリレーレン
ズ２８に送られ、対物瞳位置Ｃ上でも結像されるように
なっている。
ケラー照明として対物レンズ２５を通って標本２６面に
照射され、標本２６面からの反射光は対物レンズ２５を
介して同じく対物瞳位置Ｂに結像され、さらに、対物瞳
位置Ｂ上での結像は、結像レンズ２７を経てリレーレン
ズ２８に送られ、対物瞳位置Ｃ上でも結像されるように
なっている。
【００２２】そして、この対物瞳位置Ｃに遮蔽部材２９
を配置している。この遮蔽部材２９は、図３に示すよう
に中心部に円形状の開口部２９１を有するものである。
この場合、円形状開口部２９１は、その内径をφｄ3 に
設定している。この内径φｄ3 は、対物瞳位置Ｃに結像
されるリング絞り像のリング部分（明部）をカットする
ためのもので、リレーレンズ２８での倍率をｍ2 とする
と、φｄ3 ＝ｍ2 ・ｍ1 ・φｄ2 にしている。
を配置している。この遮蔽部材２９は、図３に示すよう
に中心部に円形状の開口部２９１を有するものである。
この場合、円形状開口部２９１は、その内径をφｄ3 に
設定している。この内径φｄ3 は、対物瞳位置Ｃに結像
されるリング絞り像のリング部分（明部）をカットする
ためのもので、リレーレンズ２８での倍率をｍ2 とする
と、φｄ3 ＝ｍ2 ・ｍ1 ・φｄ2 にしている。
【００２３】そして、対物瞳位置Ｃでの像は、結像レン
ズ３０を通して観察されるようになっている。
ズ３０を通して観察されるようになっている。
【００２４】なお、リング照明絞り２２および遮蔽部材
２９は、絞り位置Ａおよび対物瞳位置Ｃに対して挿脱可
能に構成している。
２９は、絞り位置Ａおよび対物瞳位置Ｃに対して挿脱可
能に構成している。
【００２５】しかして、このような構成において、い
ま、絞り位置Ａにリング照明絞り２２および対物瞳位置
Ｃに遮蔽部材２９をそれぞれ配置しているものとする。
ま、絞り位置Ａにリング照明絞り２２および対物瞳位置
Ｃに遮蔽部材２９をそれぞれ配置しているものとする。
【００２６】この状態から、光源２１からの照明光が図
示しない集光レンズにより明るさ絞り位置Ａに集められ
ると、この絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２２
により図示破線に沿って投光レンズ２３および反射ミラ
ー２４より対物瞳位置Ｂに達しリング絞り像として結像
される。
示しない集光レンズにより明るさ絞り位置Ａに集められ
ると、この絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２２
により図示破線に沿って投光レンズ２３および反射ミラ
ー２４より対物瞳位置Ｂに達しリング絞り像として結像
される。
【００２７】そして、この対物瞳位置Ｂでのリング絞り
像は、ケラー照明として対物レンズ２５より標本２６面
に照射される。この場合、リング絞り像からなる照明光
は、対物レンズ２５の有効ＮＡの外側を通って標本２６
面に照射され、この標本２６面で散乱される光による観
察像が、対物レンズ２５を介して対物瞳位置Ｂに結像さ
れる。そして、この対物瞳位置Ｂ上での結像は、さらに
結像レンズ２７よりリレーレンズ２８に送られ、対物瞳
位置Ｃにも結像される。
像は、ケラー照明として対物レンズ２５より標本２６面
に照射される。この場合、リング絞り像からなる照明光
は、対物レンズ２５の有効ＮＡの外側を通って標本２６
面に照射され、この標本２６面で散乱される光による観
察像が、対物レンズ２５を介して対物瞳位置Ｂに結像さ
れる。そして、この対物瞳位置Ｂ上での結像は、さらに
結像レンズ２７よりリレーレンズ２８に送られ、対物瞳
位置Ｃにも結像される。
【００２８】すると、この対物瞳位置Ｃに配置された遮
蔽部材２９の円形状開口部２９１によりリング絞り像の
リング部分（明部）がカットされて、リング絞り像の中
心部分の暗視野の観察像のみが取り出され、これが結像
レンズ３０を通して接眼レンズより観察されるようにな
る。
蔽部材２９の円形状開口部２９１によりリング絞り像の
リング部分（明部）がカットされて、リング絞り像の中
心部分の暗視野の観察像のみが取り出され、これが結像
レンズ３０を通して接眼レンズより観察されるようにな
る。
【００２９】従って、このようにすれば、光源２１から
の照明光を絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２２
を通して対物瞳位置Ｂにリング絞り像として結像し、こ
のリング絞り像からなる照明光を対物レンズ２５を通し
て、標本２６に投光角の小さな暗視野照明を入射し、さ
らに、標本２６面で散乱される光による観察像について
対物レンズ２５、リレーレンズ２８を通して対物瞳位置
Ｃ上の遮蔽部材２９に送り、この遮蔽部材２９の円形状
開口部２９１によりリング絞り像のリング部分（明部）
をカットすることで、低角暗視野による観察像を得るよ
うにしたので、かかる低角暗視野により僅かな散乱角の
ずれを生じているような部分の観察までも精度よく行う
ことができ、また、リング照明絞り２２の内側直径φｄ
2 を対物レンズ２５の瞳の大きさ（ＮＡ）に対して最適
に設定することにより、明るい観察像を得られ、さらに
回析光を効率よく捕らえるようにもできることから、高
周波数の像の解像力も改善できる。
の照明光を絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２２
を通して対物瞳位置Ｂにリング絞り像として結像し、こ
のリング絞り像からなる照明光を対物レンズ２５を通し
て、標本２６に投光角の小さな暗視野照明を入射し、さ
らに、標本２６面で散乱される光による観察像について
対物レンズ２５、リレーレンズ２８を通して対物瞳位置
Ｃ上の遮蔽部材２９に送り、この遮蔽部材２９の円形状
開口部２９１によりリング絞り像のリング部分（明部）
をカットすることで、低角暗視野による観察像を得るよ
うにしたので、かかる低角暗視野により僅かな散乱角の
ずれを生じているような部分の観察までも精度よく行う
ことができ、また、リング照明絞り２２の内側直径φｄ
2 を対物レンズ２５の瞳の大きさ（ＮＡ）に対して最適
に設定することにより、明るい観察像を得られ、さらに
回析光を効率よく捕らえるようにもできることから、高
周波数の像の解像力も改善できる。
【００３０】また、特に、ＩＣやＬＳＩのような細かい
配線が規則正しく配列されるようなものでは、配線部分
での散乱光と回析光の発生が著しいことから、光源とし
て高輝度の、例えば水銀灯などを用いれば、明るいパタ
ーン像が得られ、細かい配線部を高い解像度で観察する
ことができる。
配線が規則正しく配列されるようなものでは、配線部分
での散乱光と回析光の発生が著しいことから、光源とし
て高輝度の、例えば水銀灯などを用いれば、明るいパタ
ーン像が得られ、細かい配線部を高い解像度で観察する
ことができる。
【００３１】次に、対物瞳位置Ｃ上の遮蔽部材２９を取
り外して、絞り位置Ａのリング照明絞り２２のみを配置
したような場合、上述したと同様にして、光源２１から
の照明光は、絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２
２により投光レンズ２３および反射ミラー２４より対物
瞳位置Ｂに達しリング絞り像として結像され、ケラー照
明として対物レンズ２５を通って標本２６面に照射さ
れ、この標本２６面での観察像が、対物レンズ２５より
結像レンズ２７、３０を通して取り出される。この場
合、標本２６面には、照明光がリング偏斜照明として与
えられるので、標本２６面よりエッジの強調された三次
元的な像を得られ、しかも照明光がリング状をなしてい
て標本２６面にすべての方向から均一な偏斜照明を与え
ることができるので、配線などの方向によって観察像に
明暗が生じることもなくなり、非常に見やすい観察像を
得られる。
り外して、絞り位置Ａのリング照明絞り２２のみを配置
したような場合、上述したと同様にして、光源２１から
の照明光は、絞り位置Ａに配置されたリング照明絞り２
２により投光レンズ２３および反射ミラー２４より対物
瞳位置Ｂに達しリング絞り像として結像され、ケラー照
明として対物レンズ２５を通って標本２６面に照射さ
れ、この標本２６面での観察像が、対物レンズ２５より
結像レンズ２７、３０を通して取り出される。この場
合、標本２６面には、照明光がリング偏斜照明として与
えられるので、標本２６面よりエッジの強調された三次
元的な像を得られ、しかも照明光がリング状をなしてい
て標本２６面にすべての方向から均一な偏斜照明を与え
ることができるので、配線などの方向によって観察像に
明暗が生じることもなくなり、非常に見やすい観察像を
得られる。
【００３２】また、対物瞳位置Ｃ上の遮蔽部材２９と絞
り位置Ａのリング照明絞り２２をともに取り外した場合
は、光源２１からの照明光は、そのまま図示実線に沿っ
て進み、投光レンズ２３および反射ミラー２４を通って
対物レンズ２５より標本２６面に明視野照明として照射
され、標本２６面からの観察像が、対物レンズ２５より
結像レンズ２７、３０を通して取り出されるようにな
り、明視野による検鏡が可能になる。
り位置Ａのリング照明絞り２２をともに取り外した場合
は、光源２１からの照明光は、そのまま図示実線に沿っ
て進み、投光レンズ２３および反射ミラー２４を通って
対物レンズ２５より標本２６面に明視野照明として照射
され、標本２６面からの観察像が、対物レンズ２５より
結像レンズ２７、３０を通して取り出されるようにな
り、明視野による検鏡が可能になる。
【００３３】なお、上述した実施の形態では、一貫して
落射照明観察の場合を述べたが、透過照明観察の場合に
も適用することができる。
落射照明観察の場合を述べたが、透過照明観察の場合に
も適用することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、一般
対物レンズを用いて低角暗視野による観察像を得られ、
かかる低角暗視野により僅かな散乱角のずれを生じてい
るような部分の観察までも精度よく行うことができる。
また、低角暗視野によっても明るい観察像が得られ、良
好な観察を実現することができ、さらに、低角暗視野検
鏡、リング偏斜照明検鏡および明視野検鏡を選択的に実
行することもできる。この場合、対物レンズの持つＮＡ
を小さくすることになるが、対物ＮＡ×0.9 程度であ
り、結像性能を大きく劣化させることがない。
対物レンズを用いて低角暗視野による観察像を得られ、
かかる低角暗視野により僅かな散乱角のずれを生じてい
るような部分の観察までも精度よく行うことができる。
また、低角暗視野によっても明るい観察像が得られ、良
好な観察を実現することができ、さらに、低角暗視野検
鏡、リング偏斜照明検鏡および明視野検鏡を選択的に実
行することもできる。この場合、対物レンズの持つＮＡ
を小さくすることになるが、対物ＮＡ×0.9 程度であ
り、結像性能を大きく劣化させることがない。
【図１】本発明の一実施の形態の概略的構成を示す図。
【図２】一実施の形態に用いられるリング照明絞りを示
す図。
す図。
【図３】一実施の形態に用いられる遮蔽部材を示す図。
【図４】暗視野照明を用いた暗視野検鏡の一例を示す
図。
図。
【図５】暗視野照明に対する標本面エッジでの入射光と
０次光および回析光の関係を示す図。
０次光および回析光の関係を示す図。
【図６】偏斜照明検鏡の一例を示す図。
２１…光源、 ２２…リング照明絞り、 ２２１…リング状開口部、 ２３…投光レンズ、 ２４…反射ミラー、 ２５…対物レンズ、 ２６…標本、 ２７…結像レンズ、 ２８…リレーレンズ、 ２９…遮蔽部材、 ２９１…開口部、 ３０…結像レンズ。
Claims (3)
- 【請求項１】 照明光学系の明るさ絞り位置に設けられ
リング状開口部を有するリング照明絞りと、 このリング照明絞より形成されるリング絞り像の照明光
が照射される標本からの観察像を取り込む対物レンズ
と、 この対物レンズの瞳位置をリレーするリレー光学系と、 このリレー光学系より形成される対物瞳位置に設けられ
前記リング絞り像のリング部分をカットする遮蔽部材と
を具備したことを特徴とする偏斜・暗視野検鏡装置。 - 【請求項２】 リング照明絞りは、リング状開口部の内
側直径を対物レンズ２５の瞳の大きさの０．９５〜０．
７の範囲に設定したことを特徴とする請求項１記載の偏
斜・暗視野検鏡装置。 - 【請求項３】 リング照明絞りおよび遮蔽部材は、それ
ぞれ挿脱可能にしたことを特徴とする請求項１または２
記載の偏斜・暗視野検鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370396A JPH09218357A (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 偏斜・暗視野検鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2370396A JPH09218357A (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 偏斜・暗視野検鏡装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09218357A true JPH09218357A (ja) | 1997-08-19 |
Family
ID=12117740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2370396A Withdrawn JPH09218357A (ja) | 1996-02-09 | 1996-02-09 | 偏斜・暗視野検鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09218357A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014178294A1 (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-06 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| WO2016063429A1 (ja) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| WO2016132563A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
-
1996
- 1996-02-09 JP JP2370396A patent/JPH09218357A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014178294A1 (ja) * | 2013-04-30 | 2014-11-06 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| CN105209956A (zh) * | 2013-04-30 | 2015-12-30 | 奥林巴斯株式会社 | 标本观察装置和标本观察方法 |
| JP5996793B2 (ja) * | 2013-04-30 | 2016-09-21 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| CN105209956B (zh) * | 2013-04-30 | 2017-10-24 | 奥林巴斯株式会社 | 标本观察装置和标本观察方法 |
| US10133050B2 (en) | 2013-04-30 | 2018-11-20 | Olympus Corporation | Sample observation device and sample observation method |
| WO2016063429A1 (ja) * | 2014-10-20 | 2016-04-28 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| JPWO2016063429A1 (ja) * | 2014-10-20 | 2017-08-03 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
| US10310247B2 (en) | 2014-10-20 | 2019-06-04 | Olympus Corporation | Sample observation device and sample observation method |
| WO2016132563A1 (ja) * | 2015-02-19 | 2016-08-25 | オリンパス株式会社 | 標本観察装置及び標本観察方法 |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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