JPH05113408A - 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 - Google Patents
斜め照明付き反射型光学顕微鏡Info
- Publication number
- JPH05113408A JPH05113408A JP30412791A JP30412791A JPH05113408A JP H05113408 A JPH05113408 A JP H05113408A JP 30412791 A JP30412791 A JP 30412791A JP 30412791 A JP30412791 A JP 30412791A JP H05113408 A JPH05113408 A JP H05113408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- oblique illumination
- optical microscope
- illumination
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、試料を斜め方向より照らすことに
より、半導体装置の製造プロセスにおける外観検査で、
アルミニウムボイドを他の欠陥と判別することを可能に
する。 【構成】 試料５１の上方より照明を当てて外観検査を
行う反射型光学顕微鏡１０であって、試料５１を斜め上
方向より照らす斜め照明２１を設けたものである。ある
いは、斜め照明（図示せず）の光軸が試料の一定位置に
向く状態に当該斜め照明を設けるとともに、当該斜め照
明を移動自在にする移動機構（図示せず）を設けたもの
である。
より、半導体装置の製造プロセスにおける外観検査で、
アルミニウムボイドを他の欠陥と判別することを可能に
する。 【構成】 試料５１の上方より照明を当てて外観検査を
行う反射型光学顕微鏡１０であって、試料５１を斜め上
方向より照らす斜め照明２１を設けたものである。ある
いは、斜め照明（図示せず）の光軸が試料の一定位置に
向く状態に当該斜め照明を設けるとともに、当該斜め照
明を移動自在にする移動機構（図示せず）を設けたもの
である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造プロ
セスにおける外観検査でボイドや結晶欠陥等を観察する
ための斜め照明付き反射型光学顕微鏡に関する。
セスにおける外観検査でボイドや結晶欠陥等を観察する
ための斜め照明付き反射型光学顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の微細化にともなって、
ストレスマイグレーションによる故障モードが問題にな
っている。ストレスマイグレーションは、ウエハプロセ
スの加熱処理または組立て後の長時間にわたる信頼性試
験の際に、アルミニウム配線のボイドや断線が発生する
現象である。上記ウエハプロセス中に発生するボイドの
うち、断線に至らないボイドは、ライン内品質管理にお
いて、反射型光学顕微鏡を用いた目視検査によって発見
している。
ストレスマイグレーションによる故障モードが問題にな
っている。ストレスマイグレーションは、ウエハプロセ
スの加熱処理または組立て後の長時間にわたる信頼性試
験の際に、アルミニウム配線のボイドや断線が発生する
現象である。上記ウエハプロセス中に発生するボイドの
うち、断線に至らないボイドは、ライン内品質管理にお
いて、反射型光学顕微鏡を用いた目視検査によって発見
している。
【０００３】ところが、反射型光学顕微鏡を用いた目視
検査では、配線幅が１μｍ以下になると、配線中のボイ
ドと他の欠陥とを識別することが困難になる。ところ
が、非破壊でかつ反射型光学顕微鏡と同程度以上の解像
度を有する観察手段は他にない。そこで、反射型光学顕
微鏡の解像度を最高レベルに引き出すことが求められ
る。その要求を満たすものにレーザ顕微鏡がある。レー
ザ顕微鏡では、共焦点光学系が採用されていて、焦点が
あった位置における結像のみを拾い出すことが可能にな
る。また不要な散乱を大幅にカットすることができるの
で、高解像度を得ることができる。
検査では、配線幅が１μｍ以下になると、配線中のボイ
ドと他の欠陥とを識別することが困難になる。ところ
が、非破壊でかつ反射型光学顕微鏡と同程度以上の解像
度を有する観察手段は他にない。そこで、反射型光学顕
微鏡の解像度を最高レベルに引き出すことが求められ
る。その要求を満たすものにレーザ顕微鏡がある。レー
ザ顕微鏡では、共焦点光学系が採用されていて、焦点が
あった位置における結像のみを拾い出すことが可能にな
る。また不要な散乱を大幅にカットすることができるの
で、高解像度を得ることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
顕微鏡を用いても、試料の照明方法は、一般の反射型光
学顕微鏡と同様である。すなわち、図６に示す反射型光
学顕微鏡７０のように、照明７１より発した照明光８１
は集光レンズ７２，ビームスプリッター７３，対物レン
ズ７４を透過して試料５１に照射される。したがって、
照明光８１は試料５１に対してほぼ垂直に照射される。
このため、図７に示すように、ボイド６１，ヒロック６
２，凹み６３，結晶粒界６４等の欠陥が存在するアルミ
ニウム配線６０に、照明光８１を照射した場合には、各
欠陥に傾斜部分が存在するために、傾斜部分では対物レ
ンズ７４（図６参照）に入射する観察可能な反射光８２
が得られない。この結果、図８に示すように、観察され
る顕微鏡像は、ボイド６１，ヒロック６２，凹み６３，
結晶粒界６４等が暗い影（網目で示す部分）として表れ
る。このため、重大な欠陥であるボイド６１と他の欠陥
との判別がつかない。
顕微鏡を用いても、試料の照明方法は、一般の反射型光
学顕微鏡と同様である。すなわち、図６に示す反射型光
学顕微鏡７０のように、照明７１より発した照明光８１
は集光レンズ７２，ビームスプリッター７３，対物レン
ズ７４を透過して試料５１に照射される。したがって、
照明光８１は試料５１に対してほぼ垂直に照射される。
このため、図７に示すように、ボイド６１，ヒロック６
２，凹み６３，結晶粒界６４等の欠陥が存在するアルミ
ニウム配線６０に、照明光８１を照射した場合には、各
欠陥に傾斜部分が存在するために、傾斜部分では対物レ
ンズ７４（図６参照）に入射する観察可能な反射光８２
が得られない。この結果、図８に示すように、観察され
る顕微鏡像は、ボイド６１，ヒロック６２，凹み６３，
結晶粒界６４等が暗い影（網目で示す部分）として表れ
る。このため、重大な欠陥であるボイド６１と他の欠陥
との判別がつかない。
【０００５】本発明は、アルミニウム配線のボイドと他
の欠陥とを判別して観察できる斜め照明付き反射型光学
顕微鏡を提供することを目的とする。
の欠陥とを判別して観察できる斜め照明付き反射型光学
顕微鏡を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされた斜め照明付き反射型光学顕微鏡で
ある。すなわち、試料の上方より照明を当てて外観検査
を行う反射型光学顕微鏡であって、試料を斜め上方向よ
り照らす斜め照明を、当該反射型光学顕微鏡に設けたも
のである。あるいは、斜め照明の照射方向が試料方向に
向く状態にして当該斜め照明を移動可能にする移動機構
を設けたものである。
成するためになされた斜め照明付き反射型光学顕微鏡で
ある。すなわち、試料の上方より照明を当てて外観検査
を行う反射型光学顕微鏡であって、試料を斜め上方向よ
り照らす斜め照明を、当該反射型光学顕微鏡に設けたも
のである。あるいは、斜め照明の照射方向が試料方向に
向く状態にして当該斜め照明を移動可能にする移動機構
を設けたものである。
【０００７】
【作用】上記構成の斜め照明付き反射型光学顕微鏡で
は、試料を斜め方向より照らす斜め照明を設けたので、
ボイド以外の欠陥の傾斜部分を照らした照明光の反射光
が観察者側に入射する。このため、重大な欠陥であるア
ルミニウム配線のボイドは他の欠陥と判別される。ある
いは、斜め照明の照射方向が試料方向に向く状態にして
当該斜め照明を移動可能にする移動機構を設けたので、
暗い影として観察されていたボイド以外の欠陥が種々の
方向より照明され、傾斜部分を照らす照明光の反射光が
観察者側に入射する。このため、重大な欠陥であるアル
ミニウム配線のボイドと他の欠陥との判別がさらに容易
になる。
は、試料を斜め方向より照らす斜め照明を設けたので、
ボイド以外の欠陥の傾斜部分を照らした照明光の反射光
が観察者側に入射する。このため、重大な欠陥であるア
ルミニウム配線のボイドは他の欠陥と判別される。ある
いは、斜め照明の照射方向が試料方向に向く状態にして
当該斜め照明を移動可能にする移動機構を設けたので、
暗い影として観察されていたボイド以外の欠陥が種々の
方向より照明され、傾斜部分を照らす照明光の反射光が
観察者側に入射する。このため、重大な欠陥であるアル
ミニウム配線のボイドと他の欠陥との判別がさらに容易
になる。
【０００８】
【実施例】本発明の第１の実施例を図１に示す概略構成
図により説明する。図に示すように、支持体１１に鏡筒
１２が設けられている。鏡筒１２の上端には接眼レンズ
１３が取り付けられていて、当該鏡筒１２の下端には対
物レンズ１４が取り付けられている。上記接眼レンズ１
３，上記対物レンズ１４のそれぞれは、単一レンズまた
は複数枚のレンズ群によって構成される。接眼レンズ１
３と対物レンズ１４との間の鏡筒１２にはビームスプリ
ッター１５が設けられている。このビームスプリッター
１５の横方向には、集光レンズ１６を介して、当該ビー
ムスプリッター１５に入射して対物レンズ１４方向に照
明光４１を照射する補助照明１７が設けられている。ま
た対物レンズ１４に対して接眼レンズ１３とは反対方向
で前記支持体１１の下部には、試料５１を載置するステ
ージ１８が設けられている。ステージ１８は、矢印ア方
向に昇降可能に形成されていてかつ任意の位置で停止可
能に形成されている。
図により説明する。図に示すように、支持体１１に鏡筒
１２が設けられている。鏡筒１２の上端には接眼レンズ
１３が取り付けられていて、当該鏡筒１２の下端には対
物レンズ１４が取り付けられている。上記接眼レンズ１
３，上記対物レンズ１４のそれぞれは、単一レンズまた
は複数枚のレンズ群によって構成される。接眼レンズ１
３と対物レンズ１４との間の鏡筒１２にはビームスプリ
ッター１５が設けられている。このビームスプリッター
１５の横方向には、集光レンズ１６を介して、当該ビー
ムスプリッター１５に入射して対物レンズ１４方向に照
明光４１を照射する補助照明１７が設けられている。ま
た対物レンズ１４に対して接眼レンズ１３とは反対方向
で前記支持体１１の下部には、試料５１を載置するステ
ージ１８が設けられている。ステージ１８は、矢印ア方
向に昇降可能に形成されていてかつ任意の位置で停止可
能に形成されている。
【０００９】さらにステージ１８の斜め上方には、顕微
鏡の視野方向に照明光４２を照射する斜め照明２１が設
けられている。この斜め照明２１は、斜め照明用鏡筒２
２の上端側に設けた光源２３と当該光源２３より発光さ
れた照明光４２を集光する複数枚のレンズで構成したレ
ンズ光学系２４とよりなる。なお斜め照明２１の照明光
４２の入射角θは、試料５１の表面に対して、例えばお
よそ３０°〜６０°の角度に設定されている。上記の如
くに、斜め照明付き反射型光学顕微鏡１０は構成され
る。
鏡の視野方向に照明光４２を照射する斜め照明２１が設
けられている。この斜め照明２１は、斜め照明用鏡筒２
２の上端側に設けた光源２３と当該光源２３より発光さ
れた照明光４２を集光する複数枚のレンズで構成したレ
ンズ光学系２４とよりなる。なお斜め照明２１の照明光
４２の入射角θは、試料５１の表面に対して、例えばお
よそ３０°〜６０°の角度に設定されている。上記の如
くに、斜め照明付き反射型光学顕微鏡１０は構成され
る。
【００１０】上記斜め照明付き反射型光学顕微鏡１０で
試料５１を観察するには、まずステージ１８に観察する
試料５１を載置する。そして補助照明１７と斜め照明２
１とを点灯して、試料５１にそれぞれの照明光４１，４
２を照射する。その後、ステージ１８の高さを調節する
ことで、当該反射型光学顕微鏡１０の焦点を合わせる。
試料５１を観察するには、まずステージ１８に観察する
試料５１を載置する。そして補助照明１７と斜め照明２
１とを点灯して、試料５１にそれぞれの照明光４１，４
２を照射する。その後、ステージ１８の高さを調節する
ことで、当該反射型光学顕微鏡１０の焦点を合わせる。
【００１１】上記の如くに、斜め照明２１の照明光４２
により試料５１を照らした場合には、図２に示す如く、
試料５１に形成したアルミニウム配線６０の表面に存在
するボイド６１，ヒロック６２，凹み６３，結晶粒界６
４等の欠陥に照射された照明光４２の反射光４３が対物
レンズ１４（図１参照），ビームスプリッター１５（図
１参照），接眼レンズ１３（図１参照）を透過して、観
察者（図示せず）の眼に結像する。
により試料５１を照らした場合には、図２に示す如く、
試料５１に形成したアルミニウム配線６０の表面に存在
するボイド６１，ヒロック６２，凹み６３，結晶粒界６
４等の欠陥に照射された照明光４２の反射光４３が対物
レンズ１４（図１参照），ビームスプリッター１５（図
１参照），接眼レンズ１３（図１参照）を透過して、観
察者（図示せず）の眼に結像する。
【００１２】このため、図３の顕微鏡像に示すように、
アルミニウム配線６０のヒロック６２，凹み６３，結晶
粒界６４等の欠陥とボイド６１とを見分けることが可能
になる。すなわち、アルミニウム配線６０のボイド６１
は傾斜面が急峻なので、照射光４２（図２参照）がボイ
ド６１の内部に反射される。したがって顕微鏡像では濃
い影（網目で示す部分）に見える。他の欠陥は、傾斜面
が見えるので、薄い影（斜線で示す部分）に見える。よ
ってボイド６１と他の欠陥とを判別することが可能にな
る。
アルミニウム配線６０のヒロック６２，凹み６３，結晶
粒界６４等の欠陥とボイド６１とを見分けることが可能
になる。すなわち、アルミニウム配線６０のボイド６１
は傾斜面が急峻なので、照射光４２（図２参照）がボイ
ド６１の内部に反射される。したがって顕微鏡像では濃
い影（網目で示す部分）に見える。他の欠陥は、傾斜面
が見えるので、薄い影（斜線で示す部分）に見える。よ
ってボイド６１と他の欠陥とを判別することが可能にな
る。
【００１３】上記斜め照明２１には、レンズ光学系２４
を用いたが、反射光学系を用いることも可能である。次
に、反射光学系の斜め照明を図４の概略構成図により説
明する。図に示すように、反射光学系の斜め照明２５
は、光源２６と、光源２６に対して試料５１側とは反対
側に設け凹面反射鏡２７とによりなる。この凹面反射鏡
２７の反射面２８は、光源２６より発光した照明光４４
が当該凹面反射鏡２７で反射し、試料５１に集光して照
射されるような曲率に形成されている。
を用いたが、反射光学系を用いることも可能である。次
に、反射光学系の斜め照明を図４の概略構成図により説
明する。図に示すように、反射光学系の斜め照明２５
は、光源２６と、光源２６に対して試料５１側とは反対
側に設け凹面反射鏡２７とによりなる。この凹面反射鏡
２７の反射面２８は、光源２６より発光した照明光４４
が当該凹面反射鏡２７で反射し、試料５１に集光して照
射されるような曲率に形成されている。
【００１４】上記の如くに、反射光学系の斜め照明２５
の照明光４４により試料５１を照らした場合には、前記
図２に示した場合と同様に、試料５１のアルミニウム配
線６０の表面に存在する各欠陥に照射された照明光４４
は、試料５１の表面で反射され、対物レンズ１４，ビー
ムスプリッター１５，接眼レンズ１３を透過して、観察
者（図示せず）の眼に到達する。このときの顕微鏡像
は、前記図３に示したと同様に表れ、アルミニウム配線
６０のボイド６１は傾斜面が見えないために濃い影（網
目で示す部分）に見え、他の欠陥は傾斜面が見えるので
薄い影（斜線で示す部分）に見える。このため、ヒロッ
ク６２，凹み６３，結晶粒界６４等の欠陥とボイド６１
とを見分けることが可能になる。
の照明光４４により試料５１を照らした場合には、前記
図２に示した場合と同様に、試料５１のアルミニウム配
線６０の表面に存在する各欠陥に照射された照明光４４
は、試料５１の表面で反射され、対物レンズ１４，ビー
ムスプリッター１５，接眼レンズ１３を透過して、観察
者（図示せず）の眼に到達する。このときの顕微鏡像
は、前記図３に示したと同様に表れ、アルミニウム配線
６０のボイド６１は傾斜面が見えないために濃い影（網
目で示す部分）に見え、他の欠陥は傾斜面が見えるので
薄い影（斜線で示す部分）に見える。このため、ヒロッ
ク６２，凹み６３，結晶粒界６４等の欠陥とボイド６１
とを見分けることが可能になる。
【００１５】次に第２の実施例を図５に示す概略構成図
により説明する。図に示す斜め照明付き反射型光学顕微
鏡３０は、前記第１の実施例で説明した斜め照明付き反
射型光学顕微鏡１０に移動機構３１を設けて、斜め照明
２１の光軸４５が前記試料５１の一定位置に向く状態に
して、当該斜め照明２１を上記移動機構３１に取り付け
たものである。
により説明する。図に示す斜め照明付き反射型光学顕微
鏡３０は、前記第１の実施例で説明した斜め照明付き反
射型光学顕微鏡１０に移動機構３１を設けて、斜め照明
２１の光軸４５が前記試料５１の一定位置に向く状態に
して、当該斜め照明２１を上記移動機構３１に取り付け
たものである。
【００１６】移動機構３１は、ほぼ半円形状に曲げた支
持アーム３２と、この支持アーム３２の頂上部に回動自
在に設けた回動支持部３３と、回動支持部３３に設けた
半円形状に曲げたレール３４と、このレール３４を摺動
自在に移動するスライダ３５とよりなる。このスライダ
３５は、通常のもので形成される。またスライダ３５に
は、レール３４に当該スライダ３５を固定するための固
定具３６が取り付けられている。この固定具３６は、例
えばレール３４の側面をねじ（図示せず）で締めつけて
スライダ３５をレール３４に固定するものである。そし
て上記斜め照明２１は、照明光４２の光軸４５が試料５
１の方向に向く状態にして、上記スライダ３５に取り付
けられている。なお接眼レンズ１３を覗き易くするため
に、斜め照明付き反射型光学顕微鏡３０の横方向から覗
けるように、プリズム（図示せず）を介して当該接眼レ
ンズ１３を鏡筒１２の上部横方向に取り付けることも可
能である。
持アーム３２と、この支持アーム３２の頂上部に回動自
在に設けた回動支持部３３と、回動支持部３３に設けた
半円形状に曲げたレール３４と、このレール３４を摺動
自在に移動するスライダ３５とよりなる。このスライダ
３５は、通常のもので形成される。またスライダ３５に
は、レール３４に当該スライダ３５を固定するための固
定具３６が取り付けられている。この固定具３６は、例
えばレール３４の側面をねじ（図示せず）で締めつけて
スライダ３５をレール３４に固定するものである。そし
て上記斜め照明２１は、照明光４２の光軸４５が試料５
１の方向に向く状態にして、上記スライダ３５に取り付
けられている。なお接眼レンズ１３を覗き易くするため
に、斜め照明付き反射型光学顕微鏡３０の横方向から覗
けるように、プリズム（図示せず）を介して当該接眼レ
ンズ１３を鏡筒１２の上部横方向に取り付けることも可
能である。
【００１７】次に上記移動機構３１を用いて、斜め照明
２１の照明光４２の照射角度を設定する方法の一例を説
明する。上記移動機構３１では、レール３４が回動支持
部３３によって矢印イ方向に回動する。また斜め照明２
１がスライダ３５を介してレール３４を矢印ウ方向に摺
動する。したがって、例えば斜め照明２１をレール３４
に沿って摺動させて、所定の照明光４２の試料５１に対
する入射角θを決定し、スライダ３５を固定具３６でレ
ール３４に固定する。続いてレール３４を回動支持部３
３を介して例えば矢印イ方向に回動して、斜め照明２１
の照明光４２の試料５１に対する照射方位を決定する。
このようにして、斜め照明２１の位置を設定することに
より、試料５１に対して様々な方向より照明を行うこと
が可能になる。なお、斜め照明２１の固定位置は、照明
光４２が鏡筒１２に遮られることなく試料５１に照射さ
れる位置に限定される。
２１の照明光４２の照射角度を設定する方法の一例を説
明する。上記移動機構３１では、レール３４が回動支持
部３３によって矢印イ方向に回動する。また斜め照明２
１がスライダ３５を介してレール３４を矢印ウ方向に摺
動する。したがって、例えば斜め照明２１をレール３４
に沿って摺動させて、所定の照明光４２の試料５１に対
する入射角θを決定し、スライダ３５を固定具３６でレ
ール３４に固定する。続いてレール３４を回動支持部３
３を介して例えば矢印イ方向に回動して、斜め照明２１
の照明光４２の試料５１に対する照射方位を決定する。
このようにして、斜め照明２１の位置を設定することに
より、試料５１に対して様々な方向より照明を行うこと
が可能になる。なお、斜め照明２１の固定位置は、照明
光４２が鏡筒１２に遮られることなく試料５１に照射さ
れる位置に限定される。
【００１８】上記移動機構３１は、上記説明した構造に
限定されることはなく、斜め照明２１を自在に移動する
ものであればどの様な構造のものでもよい。例えば、フ
レキシブルに曲げることが可能なアームで形成してもよ
く、または多関節アームで形成することも可能である。
限定されることはなく、斜め照明２１を自在に移動する
ものであればどの様な構造のものでもよい。例えば、フ
レキシブルに曲げることが可能なアームで形成してもよ
く、または多関節アームで形成することも可能である。
【００１９】上記の如くに、斜め照明２１の照明光４２
により試料５１を照らした場合には、前記図２で説明し
た場合と同様に、試料５１のアルミニウム配線６０の表
面に存在する凹凸の傾斜面（図示せず）に照射された斜
め照明２１の照明光４２が対物レンズ１４（図４参
照），ビームスプリッター１５（図４参照），接眼レン
ズ１３（図４参照）を透過して、観察者（図示せず）の
眼に結像する。顕微鏡像は、前記図３に示したと同様に
表れ、アルミニウム配線６０のボイド６１は傾斜面が見
えないために濃い影（網目で示す部分）に見え、他の欠
陥は傾斜面が見えるので薄い影（斜線で示す部分）に見
える。このため、ヒロック６２，凹み６３，結晶粒界６
４等の欠陥とボイド６１とを見分けることが可能にな
る。
により試料５１を照らした場合には、前記図２で説明し
た場合と同様に、試料５１のアルミニウム配線６０の表
面に存在する凹凸の傾斜面（図示せず）に照射された斜
め照明２１の照明光４２が対物レンズ１４（図４参
照），ビームスプリッター１５（図４参照），接眼レン
ズ１３（図４参照）を透過して、観察者（図示せず）の
眼に結像する。顕微鏡像は、前記図３に示したと同様に
表れ、アルミニウム配線６０のボイド６１は傾斜面が見
えないために濃い影（網目で示す部分）に見え、他の欠
陥は傾斜面が見えるので薄い影（斜線で示す部分）に見
える。このため、ヒロック６２，凹み６３，結晶粒界６
４等の欠陥とボイド６１とを見分けることが可能にな
る。
【００２０】斜め照明２１の光軸４５が試料５１の一定
位置に向く状態に、当該斜め照明２１が設けられてい
て、かつ移動機構３１によって、斜め照明２１が移動可
能なので、従来各欠陥（図示せず）の暗い影として観察
されていた部分が種々の方向より照明される。そして各
欠陥の傾斜部分を照らす照明光４２の反射光４３が観察
者（図示せず）側に入射する。このため、重大な欠陥で
あるアルミニウム配線６０のボイド６１と他の欠陥との
判別がさらに容易になる。
位置に向く状態に、当該斜め照明２１が設けられてい
て、かつ移動機構３１によって、斜め照明２１が移動可
能なので、従来各欠陥（図示せず）の暗い影として観察
されていた部分が種々の方向より照明される。そして各
欠陥の傾斜部分を照らす照明光４２の反射光４３が観察
者（図示せず）側に入射する。このため、重大な欠陥で
あるアルミニウム配線６０のボイド６１と他の欠陥との
判別がさらに容易になる。
【００２１】上記第１，第２の実施例では、斜め照明を
一つしか設けなかったが、例えば斜め照明を複数設け
て、複数方向より試料を照明することも可能である。こ
の場合には、欠陥の傾斜部分を複数方向より照らすこと
が可能になるので、欠陥の種類を判別することがさらに
容易になる。
一つしか設けなかったが、例えば斜め照明を複数設け
て、複数方向より試料を照明することも可能である。こ
の場合には、欠陥の傾斜部分を複数方向より照らすこと
が可能になるので、欠陥の種類を判別することがさらに
容易になる。
【００２２】また上記斜め照明２１，２５の各光源２
３，２６は白色光に限定されることはなく、他の光源と
して、例えばレーザ光発振器を用いることも可能であ
る。レーザ光としては、例えば波長が６３３ｎｍのＨｅ
−Ｎｅレーザ，波長が５１５ｎｍまたは４８８ｎｍのＡ
ｒレーザ，波長が３２５ｎｍのＨｅ−Ｃｄレーザ等を用
いることが可能である。なおレーザ光を用いる場合に
は、レーザ光の指向性が高いために、直接レーザ光を試
料に照射することが可能になる。このため、必ずしもレ
ンズ系等の集光手段は必要ない。
３，２６は白色光に限定されることはなく、他の光源と
して、例えばレーザ光発振器を用いることも可能であ
る。レーザ光としては、例えば波長が６３３ｎｍのＨｅ
−Ｎｅレーザ，波長が５１５ｎｍまたは４８８ｎｍのＡ
ｒレーザ，波長が３２５ｎｍのＨｅ−Ｃｄレーザ等を用
いることが可能である。なおレーザ光を用いる場合に
は、レーザ光の指向性が高いために、直接レーザ光を試
料に照射することが可能になる。このため、必ずしもレ
ンズ系等の集光手段は必要ない。
【００２３】上記第１，第２に実施例で説明した反射型
光学顕微鏡１０，３０の検査対象は、Ａｌ配線に限定さ
れることはなく、例えば、ｐｏｌｙ−Ｓｉ配線や他の材
料で形成した配線等の外観検査にも有効である。
光学顕微鏡１０，３０の検査対象は、Ａｌ配線に限定さ
れることはなく、例えば、ｐｏｌｙ−Ｓｉ配線や他の材
料で形成した配線等の外観検査にも有効である。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、試料を斜め方向より照らす斜め照明を設けたの
で、各欠陥の傾斜面が照明される。このため、重大な欠
陥であるアルミニウムボイドと他の欠陥との判別が可能
になる。請求項２の発明によれば、斜め照明の光軸が試
料の一定位置に向く状態に当該斜め照明を設け、かつ斜
め照明を移動自在に設けたので、各欠陥の傾斜面が様々
な方向より照明される。このため、重大な欠陥であるア
ルミニウムボイドと他の欠陥との判別がさらに容易にな
る。
よれば、試料を斜め方向より照らす斜め照明を設けたの
で、各欠陥の傾斜面が照明される。このため、重大な欠
陥であるアルミニウムボイドと他の欠陥との判別が可能
になる。請求項２の発明によれば、斜め照明の光軸が試
料の一定位置に向く状態に当該斜め照明を設け、かつ斜
め照明を移動自在に設けたので、各欠陥の傾斜面が様々
な方向より照明される。このため、重大な欠陥であるア
ルミニウムボイドと他の欠陥との判別がさらに容易にな
る。
【図１】第１の実施例の概略構成図である。
【図２】反射光の光路の説明図である。
【図３】顕微鏡像による欠陥判別の説明図である。
【図４】反射光学系を用いた斜め照明の概略構成図であ
る。
る。
【図５】第２の実施例の概略構成図である。
【図６】従来の反射型光学顕微鏡の照明系の説明図であ
る。
る。
【図７】反射光の光路の説明図である。
【図８】顕微鏡像の説明図である。
１０ 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 ２１ 斜め照明 ２５ 斜め照明 ３０ 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 ３１ 移動機構 ４２ 照明光 ４４ 照明光 ５１ 試料
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 8406−4Ｍ Ｎ 8406−4Ｍ
Claims (2)
- 【請求項１】 試料の上方より照明を当てて外観検査を
行う反射型光学顕微鏡であって、 前記試料を斜め上方より照らす斜め照明を前記反射型光
学顕微鏡に設けたことを特徴とする斜め照明付き反射型
光学顕微鏡。 - 【請求項２】 試料の上方より照明を当てて外観検査を
行う反射型光学顕微鏡であって、 前記試料を斜め上方より照らす斜め照明と、 前記斜め照明の光の照射方向が前記試料方向に向く状態
で当該斜め照明を移動可能にする移動機構とを前記反射
型光学顕微鏡に設置したことを特徴とする斜め照明付き
反射型光学顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30412791A JPH05113408A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30412791A JPH05113408A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05113408A true JPH05113408A (ja) | 1993-05-07 |
Family
ID=17929366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30412791A Pending JPH05113408A (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05113408A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003010585A1 (fr) * | 2001-06-26 | 2003-02-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal |
| US7042510B2 (en) | 2000-09-14 | 2006-05-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Setting operation device and electronic apparatus |
| WO2008107951A1 (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-12 | Shimadzu Corporation | 共焦点光学顕微鏡 |
| JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
-
1991
- 1991-10-22 JP JP30412791A patent/JPH05113408A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7042510B2 (en) | 2000-09-14 | 2006-05-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Setting operation device and electronic apparatus |
| WO2003010585A1 (fr) * | 2001-06-26 | 2003-02-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope confocal |
| WO2008107951A1 (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-12 | Shimadzu Corporation | 共焦点光学顕微鏡 |
| JP2013145123A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Seiwa Optical Co Ltd | 広角反射同軸照明付光学系 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3458139B2 (ja) | パターニングされた基板の光学検査用装置 | |
| US7379173B2 (en) | High throughput brightfield/darkfield wafer inspection system using advanced optical techniques | |
| US5774222A (en) | Manufacturing method of semiconductor substrative and method and apparatus for inspecting defects of patterns on an object to be inspected | |
| US7554655B2 (en) | High throughput brightfield/darkfield water inspection system using advanced optical techniques | |
| JP3744966B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
| JP3379805B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JP2000506275A (ja) | サンプルの偏差を検出するためのシングルレーザ明視野及び暗視野装置 | |
| JPH0875661A (ja) | 欠陥検出装置 | |
| JP2009025003A (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JPS6321855B2 (ja) | ||
| JPH05264468A (ja) | 多層半導体基板等における内部欠陥の検出方法及び装置 | |
| JPH05113408A (ja) | 斜め照明付き反射型光学顕微鏡 | |
| JP3982017B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH08327557A (ja) | 欠陥検査装置及び方法 | |
| JP2004144764A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPS58120106A (ja) | 半導体ウエハの外観検査装置 | |
| JP2003202302A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| TWI817991B (zh) | 光學系統，照明模組及自動光學檢測系統 | |
| JP3981895B2 (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
| JP2001289794A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2002350359A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS6313446Y2 (ja) | ||
| JP3583772B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH0961370A (ja) | 微分干渉顕微鏡及び該顕微鏡を使った欠陥検査装置 | |
| JPS6317176B2 (ja) |