JPS6317176B2 - - Google Patents
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- JPS6317176B2 JPS6317176B2 JP4973480A JP4973480A JPS6317176B2 JP S6317176 B2 JPS6317176 B2 JP S6317176B2 JP 4973480 A JP4973480 A JP 4973480A JP 4973480 A JP4973480 A JP 4973480A JP S6317176 B2 JPS6317176 B2 JP S6317176B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/12—Condensers affording bright-field illumination
- G02B21/125—Condensers affording bright-field illumination affording both dark- and bright-field illumination
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路の配線の断線不良箇所検出装
置に関し、特に反射型光学顕微鏡及びTVカメラ
を用いてパターン認識により断線不良箇所を検出
するものに関するものである。
置に関し、特に反射型光学顕微鏡及びTVカメラ
を用いてパターン認識により断線不良箇所を検出
するものに関するものである。
光学顕微鏡が試料を拡大観察するのに極めて有
用であることは言うまでもなく、例えば半導体工
業における集積回路の不良解析等に用いられてい
る。そして近年益々微細パターン化、高集積化さ
れる集積回路の不良解析においては、人間の視覚
認識によれば長時間の観察時間を要し、作業者の
疲労の増大と不良箇所の見逃がしを生じる恐れが
生じる。そこで最近では光学顕微鏡の接眼にTV
カメラを取り付け、拡大光学像を電気的映像信号
像に変換したのち、画像処理によるパターン認識
で不良箇所の発見を行う方法が進歩しつつある。
用であることは言うまでもなく、例えば半導体工
業における集積回路の不良解析等に用いられてい
る。そして近年益々微細パターン化、高集積化さ
れる集積回路の不良解析においては、人間の視覚
認識によれば長時間の観察時間を要し、作業者の
疲労の増大と不良箇所の見逃がしを生じる恐れが
生じる。そこで最近では光学顕微鏡の接眼にTV
カメラを取り付け、拡大光学像を電気的映像信号
像に変換したのち、画像処理によるパターン認識
で不良箇所の発見を行う方法が進歩しつつある。
しかしながら、こうしたTVカメラによるパタ
ーン認識で集積回路の不良解析を従来の反射型光
学顕微鏡で行おうとすると次のような欠点があつ
た。すなわち従来の反射型光学顕微鏡は、明視野
や暗視野等の各種の検鏡法にてそれぞれの検鏡法
の特徴ある光学像を観察できるけれども、TVカ
メラによるパターン認識では、かえつて各検鏡法
の特徴が画像解析を妨げる場合が集積回路の不良
解析において生じやすい。とくに集積回路の不良
解析に頻繁に用いられる明視野および暗視野の検
鏡法ではこの欠点が、第１図でもつて説明するよ
うに顕著となる。
ーン認識で集積回路の不良解析を従来の反射型光
学顕微鏡で行おうとすると次のような欠点があつ
た。すなわち従来の反射型光学顕微鏡は、明視野
や暗視野等の各種の検鏡法にてそれぞれの検鏡法
の特徴ある光学像を観察できるけれども、TVカ
メラによるパターン認識では、かえつて各検鏡法
の特徴が画像解析を妨げる場合が集積回路の不良
解析において生じやすい。とくに集積回路の不良
解析に頻繁に用いられる明視野および暗視野の検
鏡法ではこの欠点が、第１図でもつて説明するよ
うに顕著となる。
第１図は、従来の反射型光学顕微鏡によるによ
る欠点を説明するための図であつて、図において
第１図ａ，ｂは明視野顕鏡法の場合のパターン平
面図および断面図、第１図ｃ，ｄは暗視野検鏡法
の場合のパターン平面図および断面図である。図
では、TVカメラで画像処理し不良解析を行おう
とする試料１００として本発明の目的を理解し易
いように、Siウエハ１上に部分的に膜厚の異なる
凹凸状のSiO2膜２が形成され、その上にAl配線
３が設けられたものとする。なおAl配線３には
不良としての断線不良箇所４が存在しているもの
としておく。明視野顕鏡法の場合には、第１図ａ
に示す如く、Al配線３のところは光反射率が大
きいため明るく（図では白部）、SiO2膜２のとこ
ろはAl配線３のところより光反射率が小さいた
め暗く（図では交叉斜線部）なる。ただし断線不
良箇所４のところはAl欠除のため下地のSiO2膜
２が露出しているから暗く（図では交叉斜線部）
となつている。更に詳細には、SiO2膜２の膜厚
の変化する箇所すなわちSiO2膜段差部２１（破
線）上のAl配線段差部３１は、SiO2膜平坦部２
２上のAl配線平坦部３２よりも暗く（図では単
斜線部）なる。これは第１図ｂに示す如く明視野
検鏡法においては、入射光ａ１が試料１００へ垂
直に照射され、試料１００と垂直に反射した反射
光ａ２が対物レンズ５へ入るようになつているか
ら、Al配線段差部３１のところはたとえ試料１
００面に対して入射光ａ１が垂直であつても、
SiO2段差部２１上のAl配線段差部３１面に対し
ては非垂直であり、反射光ａ２′の光量は少なく、
かつ対物レンズ５へ入りがたい反射方向となるか
らである。したがつて、TVカメラによつて光学
線の光電変換を行うとき、真の不良箇所の断線不
良箇所４とSiO2段差部２１上のAl配線段差部３
１との電気的映像信号レベルの差が少ないので両
者の識別・画像解析が困難となつてくる。また暗
視野検鏡法の場合には、第１図ｃに示す如く、
SiO2膜平坦部２２およびAl配線平坦部３２は暗
く（図では交叉斜線部）なり、Al配線段差部３
１、Al配線エツジ部３３、及びSiO2膜段差部２
１が明るく（図では白）となる。これは第１図ｄ
に示す如く暗視野検鏡法では入射光ｂ１が試料１
００面へ斜め照射されるから、Al配線段差部３
１、Al配線エツジ部３３及びSiO2膜段差部２１
で入射光ｂ１が散乱され、反射光ｂ２の１部ｂ
２′は対物レンズ５へ入射するようになるからで
ある。したがつてTVカメラによつて光学像の光
電変換を行うとき、明視野検鏡法での欠点である
SiO2膜段差部２１上のAl配線段差部３１におけ
る電気的映像信号レベルの低下は無くなるが、
Al配線平坦部３２は暗いためAl配線平坦部３２
の画像面積が少なくなつて、断線不良箇所４との
対比が弱く、画像解析が困難となつてくる。
る欠点を説明するための図であつて、図において
第１図ａ，ｂは明視野顕鏡法の場合のパターン平
面図および断面図、第１図ｃ，ｄは暗視野検鏡法
の場合のパターン平面図および断面図である。図
では、TVカメラで画像処理し不良解析を行おう
とする試料１００として本発明の目的を理解し易
いように、Siウエハ１上に部分的に膜厚の異なる
凹凸状のSiO2膜２が形成され、その上にAl配線
３が設けられたものとする。なおAl配線３には
不良としての断線不良箇所４が存在しているもの
としておく。明視野顕鏡法の場合には、第１図ａ
に示す如く、Al配線３のところは光反射率が大
きいため明るく（図では白部）、SiO2膜２のとこ
ろはAl配線３のところより光反射率が小さいた
め暗く（図では交叉斜線部）なる。ただし断線不
良箇所４のところはAl欠除のため下地のSiO2膜
２が露出しているから暗く（図では交叉斜線部）
となつている。更に詳細には、SiO2膜２の膜厚
の変化する箇所すなわちSiO2膜段差部２１（破
線）上のAl配線段差部３１は、SiO2膜平坦部２
２上のAl配線平坦部３２よりも暗く（図では単
斜線部）なる。これは第１図ｂに示す如く明視野
検鏡法においては、入射光ａ１が試料１００へ垂
直に照射され、試料１００と垂直に反射した反射
光ａ２が対物レンズ５へ入るようになつているか
ら、Al配線段差部３１のところはたとえ試料１
００面に対して入射光ａ１が垂直であつても、
SiO2段差部２１上のAl配線段差部３１面に対し
ては非垂直であり、反射光ａ２′の光量は少なく、
かつ対物レンズ５へ入りがたい反射方向となるか
らである。したがつて、TVカメラによつて光学
線の光電変換を行うとき、真の不良箇所の断線不
良箇所４とSiO2段差部２１上のAl配線段差部３
１との電気的映像信号レベルの差が少ないので両
者の識別・画像解析が困難となつてくる。また暗
視野検鏡法の場合には、第１図ｃに示す如く、
SiO2膜平坦部２２およびAl配線平坦部３２は暗
く（図では交叉斜線部）なり、Al配線段差部３
１、Al配線エツジ部３３、及びSiO2膜段差部２
１が明るく（図では白）となる。これは第１図ｄ
に示す如く暗視野検鏡法では入射光ｂ１が試料１
００面へ斜め照射されるから、Al配線段差部３
１、Al配線エツジ部３３及びSiO2膜段差部２１
で入射光ｂ１が散乱され、反射光ｂ２の１部ｂ
２′は対物レンズ５へ入射するようになるからで
ある。したがつてTVカメラによつて光学像の光
電変換を行うとき、明視野検鏡法での欠点である
SiO2膜段差部２１上のAl配線段差部３１におけ
る電気的映像信号レベルの低下は無くなるが、
Al配線平坦部３２は暗いためAl配線平坦部３２
の画像面積が少なくなつて、断線不良箇所４との
対比が弱く、画像解析が困難となつてくる。
本発明は上記のような問題点を解決するために
なされたもので、光学顕微鏡を用いてパターン認
識により集積回路の配線の断線不良箇所を検出す
る装置において、明視野検鏡では配線の平坦部と
断線箇所との対比は十分できるがその段差部と断
線箇所との識別が困難であり、一方暗視野検鏡で
は逆に段差部と断線箇所との識別は可能であるが
平坦部と断線箇所との対比は不十分であるという
点に着目し、それぞれの画像解析上の欠点を補つ
て断線不良箇所の検出を精確に行なうため、明視
野及び暗視野の複合照明のもとで被検集積回路の
配線パターンからの反射光による拡大光学像を得
るための反射型光学顕微鏡と、該配線パターンの
拡大光学像を光学変換するTVカメラと、その全
映像信号から、配線下層絶縁膜の配線直下部分以
外の段差部パターンに相当する映像信号を除去し
て暗視野映像信号を取り出す暗視野映像信号処理
手段と、該暗視野映像信号を上記TVカメラから
の明視野映像信号と合成する映像信号合成手段と
を設けたものである。
なされたもので、光学顕微鏡を用いてパターン認
識により集積回路の配線の断線不良箇所を検出す
る装置において、明視野検鏡では配線の平坦部と
断線箇所との対比は十分できるがその段差部と断
線箇所との識別が困難であり、一方暗視野検鏡で
は逆に段差部と断線箇所との識別は可能であるが
平坦部と断線箇所との対比は不十分であるという
点に着目し、それぞれの画像解析上の欠点を補つ
て断線不良箇所の検出を精確に行なうため、明視
野及び暗視野の複合照明のもとで被検集積回路の
配線パターンからの反射光による拡大光学像を得
るための反射型光学顕微鏡と、該配線パターンの
拡大光学像を光学変換するTVカメラと、その全
映像信号から、配線下層絶縁膜の配線直下部分以
外の段差部パターンに相当する映像信号を除去し
て暗視野映像信号を取り出す暗視野映像信号処理
手段と、該暗視野映像信号を上記TVカメラから
の明視野映像信号と合成する映像信号合成手段と
を設けたものである。
以下本発明の一実施例を図について説明する。
第２図は本発明の一実施例による集積回路の配線
の断線不良箇所検出装置に用いる反射型光学顕微
鏡を説明するための部分断面図である。したがつ
て図においては、本発明の主眼としない部分は省
略してある。光源部Ａの光源ランプ１１から放射
される光は照明レンズ６を通過したのち、半透明
鏡７で対物レンズ部Ｂの方向へ反射される。この
入射光ａ１およびｂ１のうち、入射光ａ１は、通
常の明視野検鏡法の場合と同様対物レンズ群８を
通過して試料１００面へ垂直に入射する。入射光
ｂ１は通常の暗視野検鏡法の場合と同様、対物レ
ンズ部Ｂ端に設けられた反射鏡９で光路を曲げら
れ、試料１００面へ斜めに入射する。すなわち従
来の光学顕微鏡では光源部Ａ内の光路切り換え機
構によつて入射光ａ１と入射光ｂ１が個別に選択
されていたが、本発明の光学顕微鏡では、光路切
り換え機構がなく入射光ａ１と入射光ｂ１が同時
に試料１００面へ垂直および斜めに入射するのが
特徴である。したがつて第１図と同じパターンの
試料１００面を接眼部Ｃ（詳細図示は省略してあ
るが、ここへTVカメラを取り付ける）で得られ
るパターン平面図は第３図のようになる。すなわ
ち、第１図で説明したようにAl配線段差部３１
が入射光ｂ１によつて、またAl配線平坦部２２
は入射光ａ１によつて、対物レンズ群８を通じ接
眼部Ｃで得られる画像が明るく（図では白く）な
つて、Al配線段差部３１を断線不良箇所４と誤
るようなことがない。またAl配線平坦部３２が
明るいため断線不良箇所４と対比しやすいので画
像解析が精確となる。
第２図は本発明の一実施例による集積回路の配線
の断線不良箇所検出装置に用いる反射型光学顕微
鏡を説明するための部分断面図である。したがつ
て図においては、本発明の主眼としない部分は省
略してある。光源部Ａの光源ランプ１１から放射
される光は照明レンズ６を通過したのち、半透明
鏡７で対物レンズ部Ｂの方向へ反射される。この
入射光ａ１およびｂ１のうち、入射光ａ１は、通
常の明視野検鏡法の場合と同様対物レンズ群８を
通過して試料１００面へ垂直に入射する。入射光
ｂ１は通常の暗視野検鏡法の場合と同様、対物レ
ンズ部Ｂ端に設けられた反射鏡９で光路を曲げら
れ、試料１００面へ斜めに入射する。すなわち従
来の光学顕微鏡では光源部Ａ内の光路切り換え機
構によつて入射光ａ１と入射光ｂ１が個別に選択
されていたが、本発明の光学顕微鏡では、光路切
り換え機構がなく入射光ａ１と入射光ｂ１が同時
に試料１００面へ垂直および斜めに入射するのが
特徴である。したがつて第１図と同じパターンの
試料１００面を接眼部Ｃ（詳細図示は省略してあ
るが、ここへTVカメラを取り付ける）で得られ
るパターン平面図は第３図のようになる。すなわ
ち、第１図で説明したようにAl配線段差部３１
が入射光ｂ１によつて、またAl配線平坦部２２
は入射光ａ１によつて、対物レンズ群８を通じ接
眼部Ｃで得られる画像が明るく（図では白く）な
つて、Al配線段差部３１を断線不良箇所４と誤
るようなことがない。またAl配線平坦部３２が
明るいため断線不良箇所４と対比しやすいので画
像解析が精確となる。
さらに本実施例ではTVカメラで得られる全映
像信号の内の暗視野照明による光学拡大像の映像
信号から、既知のSiO2膜のAl配線直下部分以外
の段差部パターンに相当する映像信号を除去し、
このようにして得られた暗視野映像信号を、TV
カメラからの視野映像信号と合成しており、すな
わち入射光ｂ１によるSiO2膜段差部２１での散
乱光による明るい部分は、TVカメラで得られる
全電気的映像信号から、既知のSiO2膜段差部２
１よりAl配線段差部３１を除いたライン状パタ
ーンが示す電気的映像信号を消去するものとなつ
ており、このことは、画像処理の妨げとはならな
い。これは、断線不良箇所のない正常な試料の場
合のパターンがすでに判つた形状寸法であるか
ら、前もつてSiO2膜段差部２１からAl配線段差
部３１を除いた映像情報を画像処理装置へ入力し
ておくことで可能である。したがつてTVカメラ
を用いる画像解析をこうした本発明の光学顕微鏡
で行うと、例えば断線不良箇所の無い場合のAl
面積と、被解析試料で測定したAl面積の差を比
較する等で容易に集積回路の配線の断線不良箇所
を検出できるなどの効果を発揮させることができ
る。
像信号の内の暗視野照明による光学拡大像の映像
信号から、既知のSiO2膜のAl配線直下部分以外
の段差部パターンに相当する映像信号を除去し、
このようにして得られた暗視野映像信号を、TV
カメラからの視野映像信号と合成しており、すな
わち入射光ｂ１によるSiO2膜段差部２１での散
乱光による明るい部分は、TVカメラで得られる
全電気的映像信号から、既知のSiO2膜段差部２
１よりAl配線段差部３１を除いたライン状パタ
ーンが示す電気的映像信号を消去するものとなつ
ており、このことは、画像処理の妨げとはならな
い。これは、断線不良箇所のない正常な試料の場
合のパターンがすでに判つた形状寸法であるか
ら、前もつてSiO2膜段差部２１からAl配線段差
部３１を除いた映像情報を画像処理装置へ入力し
ておくことで可能である。したがつてTVカメラ
を用いる画像解析をこうした本発明の光学顕微鏡
で行うと、例えば断線不良箇所の無い場合のAl
面積と、被解析試料で測定したAl面積の差を比
較する等で容易に集積回路の配線の断線不良箇所
を検出できるなどの効果を発揮させることができ
る。
このように本実施例によれば、検鏡を明視野及
び暗視野の複合照明のもとで行なうだけでなく、
被検集積回路の配線パターンからの反射光による
光学拡大像を映像信号に光電変換し、さらにこの
全映像信号の内の暗視野照明による拡大光学像の
映像信号から、SiO2膜のAl配線直下部分以外の
段差部パターンに相当する映像信号を除去し、こ
のようにして得られた暗視野映像信号をTVカメ
ラからの明視野映像信号と合成するようにしたの
で、パターン認識により集積回路の配線の断線箇
所を検出する場合の明視野検鏡、暗視野検鏡にお
ける欠点を補つて真の不良箇所を精確に検出する
ことができる。
び暗視野の複合照明のもとで行なうだけでなく、
被検集積回路の配線パターンからの反射光による
光学拡大像を映像信号に光電変換し、さらにこの
全映像信号の内の暗視野照明による拡大光学像の
映像信号から、SiO2膜のAl配線直下部分以外の
段差部パターンに相当する映像信号を除去し、こ
のようにして得られた暗視野映像信号をTVカメ
ラからの明視野映像信号と合成するようにしたの
で、パターン認識により集積回路の配線の断線箇
所を検出する場合の明視野検鏡、暗視野検鏡にお
ける欠点を補つて真の不良箇所を精確に検出する
ことができる。
第４図は、本発明の実施例装置に用いる反射型
の光学顕微鏡の他の例を示すものであつて、とく
に光源部Ａに関する部分断面図である。第４図に
おいて、光源ランプ部Ｄよりの光はコリメータ部
Ｅで平行光線束Ｃとなる。この部分の構成・構造
は通常の光学顕微鏡と同じなので説明は省略する
が、ここでは、暗視野光量調節用絞り１０の設け
られている点が第２図に示すものと異なる。暗視
野光量調節用絞り１０は平行光線束Ｃを外周囲か
ら連続的に遮光できる可変絞りであつて、入射光
ｂ１の光量を調節するものである。この入射光ｂ
１の光量調節を適切に設定することにより、第３
図に示すSiO2膜段差部２１で生じる散乱光でも
たらされるTVカメラの電気的映像信号を減少せ
しめ、断線不良箇所の検出等の画像解析をより精
確にできる。勿論この暗視野光量調節用絞り１０
を動作させるとSiO2膜段差部２１だけでなくAl
配線段差部３１における散乱光も減少するがAl
の反射率は大きいので相対的にAl部分のみの電
気的映像信号を抽出し易くなる効果を有する。
の光学顕微鏡の他の例を示すものであつて、とく
に光源部Ａに関する部分断面図である。第４図に
おいて、光源ランプ部Ｄよりの光はコリメータ部
Ｅで平行光線束Ｃとなる。この部分の構成・構造
は通常の光学顕微鏡と同じなので説明は省略する
が、ここでは、暗視野光量調節用絞り１０の設け
られている点が第２図に示すものと異なる。暗視
野光量調節用絞り１０は平行光線束Ｃを外周囲か
ら連続的に遮光できる可変絞りであつて、入射光
ｂ１の光量を調節するものである。この入射光ｂ
１の光量調節を適切に設定することにより、第３
図に示すSiO2膜段差部２１で生じる散乱光でも
たらされるTVカメラの電気的映像信号を減少せ
しめ、断線不良箇所の検出等の画像解析をより精
確にできる。勿論この暗視野光量調節用絞り１０
を動作させるとSiO2膜段差部２１だけでなくAl
配線段差部３１における散乱光も減少するがAl
の反射率は大きいので相対的にAl部分のみの電
気的映像信号を抽出し易くなる効果を有する。
以上のようにこの発明によれば、明視野及び暗
視野の複合照明のもとで被検集積回路の配線パタ
ーンからの反射光による拡大光学像を得るための
反射型光学顕微鏡と、該配線パターンの拡大光学
像を光電変換するTVカメラと、その全映像信号
から、配線下層絶縁膜の配線直下部分以外の段差
部パターンに相当する映像信号を除去して暗視野
映像信号を取り出す暗視野映像信号処理手段と、
該暗視野映像信号を上記TVカメラからの明視野
映像信号と合成する映像信号合成手段とを設けた
ので、段差部を有するAlなどの金属配線をTVカ
メラで撮影し画像処理を施してその断線箇所を検
出する場合、明視野及び暗視野検鏡における不具
合を補いあつて真の不良箇所を精確に検出できる
集積回路の配線の断線不良箇所検出装置を得るこ
とができる。
視野の複合照明のもとで被検集積回路の配線パタ
ーンからの反射光による拡大光学像を得るための
反射型光学顕微鏡と、該配線パターンの拡大光学
像を光電変換するTVカメラと、その全映像信号
から、配線下層絶縁膜の配線直下部分以外の段差
部パターンに相当する映像信号を除去して暗視野
映像信号を取り出す暗視野映像信号処理手段と、
該暗視野映像信号を上記TVカメラからの明視野
映像信号と合成する映像信号合成手段とを設けた
ので、段差部を有するAlなどの金属配線をTVカ
メラで撮影し画像処理を施してその断線箇所を検
出する場合、明視野及び暗視野検鏡における不具
合を補いあつて真の不良箇所を精確に検出できる
集積回路の配線の断線不良箇所検出装置を得るこ
とができる。
第１図ａ，ｃ及びｂ，ｄは従来の光学顕微鏡の
欠点を説明するためのパターン平面図及び断面
図、第２図は本発明の光学顕微鏡一実施例を示す
部分断面図、第３図は本発明の光学顕微鏡を用い
て観察した場合のパターンの平面図、第４図は本
発明の他の実施例を示す部分断面図である。 図において、１はSiウエハ、２はSiO2膜、３
はAl配線、４は断線不良箇所、５は対物レンズ、
６は照明レンズ、７は半透明鏡、８は対物レンズ
群、９は反射鏡、１０は暗視野光量調節用絞り、
１１は光源ランプ、２１及び３１はSiO2膜及び
Al配線の段差部、２２及び３２はSiO2膜及びAl
配線の平坦部、３３はAl配線エツジ部、ａ１，
ｂ１は入射光、ａ２，ｂ２は反射光、Ａは光源
部、Ｂは対物レンズ部、Ｃは接眼部、Ｄは光源ラ
ンプ部、Ｅはコリメータ部である。なお図中同一
符号は、同一または相当部分を示す。
欠点を説明するためのパターン平面図及び断面
図、第２図は本発明の光学顕微鏡一実施例を示す
部分断面図、第３図は本発明の光学顕微鏡を用い
て観察した場合のパターンの平面図、第４図は本
発明の他の実施例を示す部分断面図である。 図において、１はSiウエハ、２はSiO2膜、３
はAl配線、４は断線不良箇所、５は対物レンズ、
６は照明レンズ、７は半透明鏡、８は対物レンズ
群、９は反射鏡、１０は暗視野光量調節用絞り、
１１は光源ランプ、２１及び３１はSiO2膜及び
Al配線の段差部、２２及び３２はSiO2膜及びAl
配線の平坦部、３３はAl配線エツジ部、ａ１，
ｂ１は入射光、ａ２，ｂ２は反射光、Ａは光源
部、Ｂは対物レンズ部、Ｃは接眼部、Ｄは光源ラ
ンプ部、Ｅはコリメータ部である。なお図中同一
符号は、同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 明視野及び暗視野照明を同時に行い、この複
合照明のもとで、被検集積回路の配線パターンか
らの反射光による拡大光学像を得るための反射型
光学顕微鏡と、 該配線パターンの拡大光学像を光電変換して映
像信号を出力するTVカメラと、 該全映像信号の内の暗視野照明による拡大光学
像の映像信号から、配線下層絶縁膜の配線直下部
分以外の段差部パターンに相当する映像信号を除
去する暗視野映像信号処理手段と、 該手段により処理された暗視野映像信号と上記
TVカメラからの明視野映像信号とを合成する映
像信号合成手段とを備えたことを特徴とする集積
回路の配線の断線不良箇所検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4973480A JPS56146112A (en) | 1980-04-15 | 1980-04-15 | Optical microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4973480A JPS56146112A (en) | 1980-04-15 | 1980-04-15 | Optical microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56146112A JPS56146112A (en) | 1981-11-13 |
| JPS6317176B2 true JPS6317176B2 (ja) | 1988-04-12 |
Family
ID=12839413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4973480A Granted JPS56146112A (en) | 1980-04-15 | 1980-04-15 | Optical microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56146112A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4376583A (en) * | 1981-05-12 | 1983-03-15 | Aeronca Electronics, Inc. | Surface inspection scanning system |
| US4595289A (en) * | 1984-01-25 | 1986-06-17 | At&T Bell Laboratories | Inspection system utilizing dark-field illumination |
| JPS6235248A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-16 | Toshiba Corp | 物体の観測方法及び装置 |
| US5701196A (en) * | 1993-11-05 | 1997-12-23 | Olympus Optical Co., Ltd | Stereomicroscope |
-
1980
- 1980-04-15 JP JP4973480A patent/JPS56146112A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56146112A (en) | 1981-11-13 |
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