JP4680545B2 - 外観検査方法、および外観検査装置 - Google Patents
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検出画像Aと先に検出した参照画像Bを比較して差画像ABを得る。図5の(1)は、差画像ABに差分が存在しないので、欠陥がないと判断される。また図5の(2)は、差画像ABに差分が存在する。この例では検出画像Aに欠陥Cが存在し、参照画像Bに欠陥が存在しない場合を示す。
Claims (9)
- 被検査体に対面する対物レンズと、
この対物レンズを通じて被検査体に照明光の光束を照射する光源と、
前記光源と前記対物レンズとの光路に置かれ、かつ照明光の光軸を中心として光透過領域と光不透過領域を点対称に設けた照明側空間フィルタと、
前記対物レンズで集められた前記被検査体からの反射集光を受光するイメージセンサーと、
前記対物レンズと前記イメージセンサーとの光路に置かれ、かつ回折・散乱光を含む前記反射集光から前方散乱光と後方散乱光のどちらか一方のみを選ぶ受光側空間フィルタを備え、
前記受光側空間フィルタは、前記反射集光の光軸を中心として光透過領域と光不透過領域を点対称に設け、
前記照明側空間フィルタまたは前記受光側空間フィルタの前記光透過領域と前記光不透過領域の位置を切り替えることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記後方散乱光を前記受光側空間フィルタの前記光透過領域で透過させ、前記前方散乱光を前記受光側空間フィルタの前記光不透過領域で遮断することを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記前方散乱光を前記受光側空間フィルタの前記光透過領域で透過させ、前記後方散乱光を前記受光側空間フィルタの前記光不透過領域で遮断することを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記照明側空間フィルタ、および前記受光側空間フィルタの前記光透過領域と前記光不透過領域が放射状に交互に配置されていることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記光透過領域と前記光不透過領域の数が同数であることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項5記載の外観検査装置において、
前記光透過領域の数と前記受光側空間フィルタの前記光透過領域の数が奇数であることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記照明側空間フィルタの前記光透過領域と前記受光側空間フィルタの前記光透過領域が同数、前記照明側空間フィルタの前記光不透過領域と前記受光側空間フィルタの前記光不透過領域が同数であることを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
前記光不透過領域の幅が前記光透過領域の幅よりも大きいことを特徴とする外観検査装置。 - 請求項1記載の外観検査装置において、
照明側空間フィルタまたは前記受光側空間フィルタの中央部を光不透過としたことを特徴とする外観検査装置。
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