JPH03111334A - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JPH03111334A JPH03111334A JP1249641A JP24964189A JPH03111334A JP H03111334 A JPH03111334 A JP H03111334A JP 1249641 A JP1249641 A JP 1249641A JP 24964189 A JP24964189 A JP 24964189A JP H03111334 A JPH03111334 A JP H03111334A
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- semiconductor wafer
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 48
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 45
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
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- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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- Manipulator (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
半導体ウェーハ等の被搬送物を高速で長距離を搬送する
搬送装置に関し、 半導体ウェーハを搬送台車に積み降ろしする機構を簡潔
な構成にしてコストを低下させて搬送台車に内蔵せしめ
ることにより、スペース効率を高めることが可能な搬送
装置の提供のを目的とし、〔１〕レール上を慣性にて走
行する搬送台車、を、リニアモータなどによって駆動或
いは停止させ、前記搬送台車に搭載した被搬送物を搬送
する搬送装置において、前記搬送台車に搭載する前記被
搬送物を前記搬送台車に積み降ろしする機構及び該機構
を制御する前記制御装置を、前記搬送台車に内蔵し、動
力源を前記搬送台車外に具備するよう構成する。
搬送装置に関し、 半導体ウェーハを搬送台車に積み降ろしする機構を簡潔
な構成にしてコストを低下させて搬送台車に内蔵せしめ
ることにより、スペース効率を高めることが可能な搬送
装置の提供のを目的とし、〔１〕レール上を慣性にて走
行する搬送台車、を、リニアモータなどによって駆動或
いは停止させ、前記搬送台車に搭載した被搬送物を搬送
する搬送装置において、前記搬送台車に搭載する前記被
搬送物を前記搬送台車に積み降ろしする機構及び該機構
を制御する前記制御装置を、前記搬送台車に内蔵し、動
力源を前記搬送台車外に具備するよう構成する。
〔２〕請求項１記載の搬送装置において、前記被搬送物
を積み降ろしする機構を前記搬送台車に内蔵し、前記機
構を制御する制御装置及び前記動力源を前記搬送台車外
に具備するよう構成する。
を積み降ろしする機構を前記搬送台車に内蔵し、前記機
構を制御する制御装置及び前記動力源を前記搬送台車外
に具備するよう構成する。
本発明は、搬送装置に係り、特に半導体ウェーハ等の被
搬送物を高速で長距離を搬送する搬送装置に関するもの
である。
搬送物を高速で長距離を搬送する搬送装置に関するもの
である。
近年における半導体集積回路装置の製造工程においては
、用途別仕様の集積回路装置（以下、ＡＳＩＣと略称す
る）が急増したため、少量多品種生産に対応することが
可能な半導体ウェーハの枚葉処理工程の生産ラインの必
要性が生じており、高速搬送装置が用いられるようにな
っている。
、用途別仕様の集積回路装置（以下、ＡＳＩＣと略称す
る）が急増したため、少量多品種生産に対応することが
可能な半導体ウェーハの枚葉処理工程の生産ラインの必
要性が生じており、高速搬送装置が用いられるようにな
っている。
以上のような状況から、少量多品種生産の半導体集積回
路装置の生産に対応することができる生産ラインにおい
て用いることが可能な搬送装置が要望されている。
路装置の生産に対応することができる生産ラインにおい
て用いることが可能な搬送装置が要望されている。
プロセス装置間の半導体ウェーハの搬送に用いている従
来の搬送装置について第６図〜第７図により詳細に説明
する。
来の搬送装置について第６図〜第７図により詳細に説明
する。
従来の搬送装置は、その全体配置を第６図に示すように
、レール１２上を慣性にて走行する搬送台車１１をリニ
アモータ１７ａ或いは１７ｂによって駆動或いは停止さ
せ、プロセス装置１５ａからプロセス装置１５ｂに半導
体ウェーハ１０をこの搬送台車１１に搭載して搬送する
搬送装置である。
、レール１２上を慣性にて走行する搬送台車１１をリニ
アモータ１７ａ或いは１７ｂによって駆動或いは停止さ
せ、プロセス装置１５ａからプロセス装置１５ｂに半導
体ウェーハ１０をこの搬送台車１１に搭載して搬送する
搬送装置である。
この半導体ウェーハｌＯをこの搬送台車１１に積み降ろ
しするのに用いる機構は、図に示すように積み降ろし機
構１３とエレベータ１６からなり、図示のようにこの搬
送台車１１とは別に半導体ウェーハ１０を積み降ろしす
るすべての場所に設けられている。
しするのに用いる機構は、図に示すように積み降ろし機
構１３とエレベータ１６からなり、図示のようにこの搬
送台車１１とは別に半導体ウェーハ１０を積み降ろしす
るすべての場所に設けられている。
この搬送装置においては第７図に示すように、レール１
２に沿ってリニアモータ１７ａ或いは１７ｂにより搬送
される搬送台車１１に半導体ウェーハ１０を積み降ろし
する積み降ろし機構１３は、制御装置１８モータ１９か
らなる駆動部と、アーム２０からなり、半導体ウェーハ
１０を積み降ろしをするそれぞれの場所に設けられてい
る。
２に沿ってリニアモータ１７ａ或いは１７ｂにより搬送
される搬送台車１１に半導体ウェーハ１０を積み降ろし
する積み降ろし機構１３は、制御装置１８モータ１９か
らなる駆動部と、アーム２０からなり、半導体ウェーハ
１０を積み降ろしをするそれぞれの場所に設けられてい
る。
従ってこの積み降ろしする積み降ろし機構１３はこの半
導体ウェーハ１０を積み降ろしするすべての、場所に設
けておくことが必要であり、このために積み降ろし機構
１３を設置するスペースが必要になっている。
導体ウェーハ１０を積み降ろしするすべての、場所に設
けておくことが必要であり、このために積み降ろし機構
１３を設置するスペースが必要になっている。
以上説明した従来の搬送装置においては、リニアモータ
などによってレール上を慣性にて走行する搬送台車によ
り半導体ウェーハを搬送するが、この搬送台車に半導体
ウェーハを積み降ろしする機構はこの搬送台車外に設け
られているため、この積み降ろしする機構はこの半導体
ウェーハを積み降ろしするすべての場所に設けておくこ
とが必要であり、このために多数の高価な機構及びこれ
らを設置するスペースが必要になるという問題点があっ
た。
などによってレール上を慣性にて走行する搬送台車によ
り半導体ウェーハを搬送するが、この搬送台車に半導体
ウェーハを積み降ろしする機構はこの搬送台車外に設け
られているため、この積み降ろしする機構はこの半導体
ウェーハを積み降ろしするすべての場所に設けておくこ
とが必要であり、このために多数の高価な機構及びこれ
らを設置するスペースが必要になるという問題点があっ
た。
本発明は以上のような状況から、半導体ウェーハを搬送
台車に積み降ろしする機構を簡潔な構成にしてコストを
低下させて搬送台車に内蔵せしめることにより、スペー
ス効率を高めることが可能な搬送装置の提供を目的とし
たものである。
台車に積み降ろしする機構を簡潔な構成にしてコストを
低下させて搬送台車に内蔵せしめることにより、スペー
ス効率を高めることが可能な搬送装置の提供を目的とし
たものである。
本発明の搬送装置は、
〔１〕レール上を慣性にて走行する搬送台車を、リニア
モータなどによって駆動或いは停止させ、この搬送台車
に搭載した被搬送物を搬送する搬送装置において、この
搬送台車に搭載する被搬送物をこの搬送台車に積み降ろ
しする機構及びこの機構を制御する制御装置を内蔵し、
動力源を搬送台車外に具備するよう構成する。
モータなどによって駆動或いは停止させ、この搬送台車
に搭載した被搬送物を搬送する搬送装置において、この
搬送台車に搭載する被搬送物をこの搬送台車に積み降ろ
しする機構及びこの機構を制御する制御装置を内蔵し、
動力源を搬送台車外に具備するよう構成する。
〔２〕請求項１記載の搬送装置において、この被搬送物
を積み降ろしする機構をこの搬送台車に内蔵し、この機
構を制御する制御装置及び動力源をこの搬送台車外に具
備するよう構成する。
を積み降ろしする機構をこの搬送台車に内蔵し、この機
構を制御する制御装置及び動力源をこの搬送台車外に具
備するよう構成する。
〔作用〕
即ち本発明においては、搬送台車に被搬送物を積み降ろ
しする機構のみ、或いは積み降ろしする機構及びこの機
構の制御装置を内蔵し、前者の場合にはこの積み降ろし
する機構の制御装置及び必要な動力源を搬送台車外に設
けるので、被搬送物を積み降ろしするすべての場所に積
み降ろしする機構を設ける必要がなくなり、後者の場合
にはこの積み降ろしする機構に必要な動力源のみを搬送
台車外に設けるので、被搬送物を積み降ろしするすべて
の場所に積み降ろしする機構、制御装置を設ける必要が
なくなり、積み降ろしする機構の設備費を低減し、設置
スペースを縮小することが可能となる。
しする機構のみ、或いは積み降ろしする機構及びこの機
構の制御装置を内蔵し、前者の場合にはこの積み降ろし
する機構の制御装置及び必要な動力源を搬送台車外に設
けるので、被搬送物を積み降ろしするすべての場所に積
み降ろしする機構を設ける必要がなくなり、後者の場合
にはこの積み降ろしする機構に必要な動力源のみを搬送
台車外に設けるので、被搬送物を積み降ろしするすべて
の場所に積み降ろしする機構、制御装置を設ける必要が
なくなり、積み降ろしする機構の設備費を低減し、設置
スペースを縮小することが可能となる。
以下第１図〜第５図により積み降ろし機構及び制御装置
を内蔵する本発明による一実施例を詳細に説明する。
を内蔵する本発明による一実施例を詳細に説明する。
本実施例の搬送装置は、その全体配置を第１図（−１）
に示すように、レール２上を慣性にて走行する搬送台車
１をリニアモータ７ａ或いは７ｂによって駆動或いは停
止させ、プロセス装置）！５ａからプロセス装置５ｂに
半導体ウェーハ１０をこの搬送台車１に搭載して搬送す
る搬送装置である。
に示すように、レール２上を慣性にて走行する搬送台車
１をリニアモータ７ａ或いは７ｂによって駆動或いは停
止させ、プロセス装置）！５ａからプロセス装置５ｂに
半導体ウェーハ１０をこの搬送台車１に搭載して搬送す
る搬送装置である。
第１図（ｂ）に示すようにこの半導体ウェーハ１０を積
み降ろしする場所には、搬送台車１に電力を供給する動
力源９と、半導体ウェーハ１０をこの搬送台車ｌに積み
降ろしする機構としてエレベータ６が設けられている。
み降ろしする場所には、搬送台車１に電力を供給する動
力源９と、半導体ウェーハ１０をこの搬送台車ｌに積み
降ろしする機構としてエレベータ６が設けられている。
この搬送装置においては第２図に示すように、レール２
に沿ってリニアモータ７ａ或いは７ｂにより搬送される
搬送台車に半導体ウェーハ１０を積み降ろしする積み降
ろし機構は、この搬送台車に内蔵されており、半導体ウ
ェーハ１０を積み降ろしする位置においては、第５図に
示すシーケンスによって半導体ウェーハ１０の積み降ろ
しを行っている。
に沿ってリニアモータ７ａ或いは７ｂにより搬送される
搬送台車に半導体ウェーハ１０を積み降ろしする積み降
ろし機構は、この搬送台車に内蔵されており、半導体ウ
ェーハ１０を積み降ろしする位置においては、第５図に
示すシーケンスによって半導体ウェーハ１０の積み降ろ
しを行っている。
本実施例の搬送台車及び半導体ウェーハ積み降ろし機構
について第２図〜第３図により詳細に説明する。
について第２図〜第３図により詳細に説明する。
搬送台車１には第２図に示すように、リニアモータ７ａ
或いは７ｂにより駆動される二次導体１０１が基板１０
２の下面に設けられており、横方向の位置を規制するロ
ーラ１０３と上下方向の位置を規制するローラ１０４と
レール２とによりガイドされて紙面に対して垂直方向に
移動可能になっている。
或いは７ｂにより駆動される二次導体１０１が基板１０
２の下面に設けられており、横方向の位置を規制するロ
ーラ１０３と上下方向の位置を規制するローラ１０４と
レール２とによりガイドされて紙面に対して垂直方向に
移動可能になっている。
基板１０２の上面にはガイド１０５が設けられており、
このガイド１０５と嵌合するガイドバー１０８を下部に
備えた積み降ろし機構がスプリング１０６を介して設け
られており、この積み降ろし機構は電磁石１０７に通電
した場合には下方向に降下するようになっている。
このガイド１０５と嵌合するガイドバー１０８を下部に
備えた積み降ろし機構がスプリング１０６を介して設け
られており、この積み降ろし機構は電磁石１０７に通電
した場合には下方向に降下するようになっている。
搬送台車１がリニアモータ７ａにより駆動され、リニア
モータ７ｂにより定位置に停止されると、レール２に設
けた、電力を供給する動力源９であるアクチュエータ４
の電極４ａと制御装置８の電力取り込み用の端子８ａと
が接触して電力が積み降ろし機構に供給される。
モータ７ｂにより定位置に停止されると、レール２に設
けた、電力を供給する動力源９であるアクチュエータ４
の電極４ａと制御装置８の電力取り込み用の端子８ａと
が接触して電力が積み降ろし機構に供給される。
この電力により積み降ろし機構３のモータ３１１が作動
すると、モータ軸に設けたプーリ３１２が回転し、プー
リ３１２に掛けられているベルト３１３により逐次プー
リとベルトが作動し、第３図に示すように、折重なって
いたアーム３１４が図示のように伸びて長くなる。
すると、モータ軸に設けたプーリ３１２が回転し、プー
リ３１２に掛けられているベルト３１３により逐次プー
リとベルトが作動し、第３図に示すように、折重なって
いたアーム３１４が図示のように伸びて長くなる。
このアーム３１４の先端には半導体ウェーハ１０を吸着
する第４図に示すような構造の吸着部が設けられている
。
する第４図に示すような構造の吸着部が設けられている
。
第４図に示すように、吸着部の下部には電磁石３０８が
設けられており、その上には円形の断面を有し、上面に
通気孔３０２を備え、内部にはＯリング３０５を設けた
ピストン３０６が摺動可能に滑合されているボディ３０
４があり、このボディ３０４とピストン３０６の間には
スプリング３０３が設けられている。
設けられており、その上には円形の断面を有し、上面に
通気孔３０２を備え、内部にはＯリング３０５を設けた
ピストン３０６が摺動可能に滑合されているボディ３０
４があり、このボディ３０４とピストン３０６の間には
スプリング３０３が設けられている。
ピストン３０６の下部には永久磁石３０７が埋め込まれ
ており、ボディ３０４の上方には軟質材料、例えばゴム
からなる吸盤状の吸着パッド３０１が設けられている。
ており、ボディ３０４の上方には軟質材料、例えばゴム
からなる吸盤状の吸着パッド３０１が設けられている。
被搬送物、例えば半導体ウェーハ１０を吸着する場合に
は、第４図（ａ）に示すようにまず電磁石３０８に通電
して図示のような状態に磁場を形成すると、ピストン３
０６に永久磁石３０７が図示のように埋め込まれている
場合には反発してピストン３０６が上方向に移動し、ス
プリング３０３が圧縮される。つぎに電磁石３０８への
通電を遮断すると、第４図（ｂ）に示すようにピストン
３０６がスプリング３０３により下方に下がり吸着パッ
ド３０１内の空気がボディ３０４の内部に広がって空気
圧が低下するので、大気圧によって半導体ウェーハ１０
が吸着バンド３０１に吸着され固定される。
は、第４図（ａ）に示すようにまず電磁石３０８に通電
して図示のような状態に磁場を形成すると、ピストン３
０６に永久磁石３０７が図示のように埋め込まれている
場合には反発してピストン３０６が上方向に移動し、ス
プリング３０３が圧縮される。つぎに電磁石３０８への
通電を遮断すると、第４図（ｂ）に示すようにピストン
３０６がスプリング３０３により下方に下がり吸着パッ
ド３０１内の空気がボディ３０４の内部に広がって空気
圧が低下するので、大気圧によって半導体ウェーハ１０
が吸着バンド３０１に吸着され固定される。
第５図により半導体ウェーハの積み降ろし制御シーケン
スを説明する。
スを説明する。
半導体ウェーハ１０を積み降ろす場合は、第４図（ｂｌ
に示すように半導体ウェーハ１０が吸着パッド３０１に
吸着されており、電磁石３０８とピストン３０６が接触
しているので、この接触していることを第２図に示すセ
ンサ３１５によって検知して半導体ウェーハ１０が吸着
パッド３０１の上に吸着されていると判断し、第５図の
左側に図示するように、先ず第２図においてモータ３１
１が時計方向に回転しアーム３１４が前進し、つぎに第
４図の半導体ウェーハ吸着部の電磁石３０８に通電する
と半導体ウェーＡ１０が吸着されなくなる。ついで第２
図において電磁石１０７に通電すると、積み降ろし機構
全体が降下し、半導体ウェーハ１０と吸着パッド３０１
とが離れ、エレベータ６の上に半導体ウエーノ１１０が
搭載される。
に示すように半導体ウェーハ１０が吸着パッド３０１に
吸着されており、電磁石３０８とピストン３０６が接触
しているので、この接触していることを第２図に示すセ
ンサ３１５によって検知して半導体ウェーハ１０が吸着
パッド３０１の上に吸着されていると判断し、第５図の
左側に図示するように、先ず第２図においてモータ３１
１が時計方向に回転しアーム３１４が前進し、つぎに第
４図の半導体ウェーハ吸着部の電磁石３０８に通電する
と半導体ウェーＡ１０が吸着されなくなる。ついで第２
図において電磁石１０７に通電すると、積み降ろし機構
全体が降下し、半導体ウェーハ１０と吸着パッド３０１
とが離れ、エレベータ６の上に半導体ウエーノ１１０が
搭載される。
この半導体ウェーハ１０と吸着パッド３０１とが離れた
状態で、モータ３１１を反時計方向に回転させるとアー
ム３１４が後退し、最後に吸着部の電磁石３０８への通
電を停止して半導体ウェーハ１０の吸着パッド３０１か
らエレベータ６への積み降ろしが終了する。
状態で、モータ３１１を反時計方向に回転させるとアー
ム３１４が後退し、最後に吸着部の電磁石３０８への通
電を停止して半導体ウェーハ１０の吸着パッド３０１か
らエレベータ６への積み降ろしが終了する。
半導体ウェーハ１０をエレベータ６から吸着パッド３０
１に搭載する場合は、吸着部の電磁石３０８に通電する
と、電磁石３０８とピストン３０６が接触しなくなるの
で、この接触していないことを第２図に示すセンサ３１
５によって検知して半導体ウェーハ１０が吸着パッド３
０１に吸着されていないと判断し、第５図の右側に図示
するように、先ず電磁石１０７に通電すると、積み降ろ
し機構全体がスプリング１０６を圧縮して降下する。こ
の状態でモータ３１１を時計方向に回転すると、アーム
３１４が前進する。アーム３１４が伸びきってエレベー
タ６に搭載されている半導体ウェーハ１０の下まで前進
する、と、電磁石１０７の通電を停止し、積み降ろし機
構全体を上昇させると、吸着パッド３０１の上に半導体
ウェーハ１０が搭載される。この状態では半導体ウェー
ハ１０は吸着されていないので、電磁石３０８の通電を
遮断すると、半導体ウェーハ１０が吸着パッド３０１に
吸着されて固定される。その後モータ３１１を反時計方
向に回転させると、アーム３１４が後退し、半導体ウェ
ーハ１０が吸着され固定された状態で搬送台車１に搭載
される。
１に搭載する場合は、吸着部の電磁石３０８に通電する
と、電磁石３０８とピストン３０６が接触しなくなるの
で、この接触していないことを第２図に示すセンサ３１
５によって検知して半導体ウェーハ１０が吸着パッド３
０１に吸着されていないと判断し、第５図の右側に図示
するように、先ず電磁石１０７に通電すると、積み降ろ
し機構全体がスプリング１０６を圧縮して降下する。こ
の状態でモータ３１１を時計方向に回転すると、アーム
３１４が前進する。アーム３１４が伸びきってエレベー
タ６に搭載されている半導体ウェーハ１０の下まで前進
する、と、電磁石１０７の通電を停止し、積み降ろし機
構全体を上昇させると、吸着パッド３０１の上に半導体
ウェーハ１０が搭載される。この状態では半導体ウェー
ハ１０は吸着されていないので、電磁石３０８の通電を
遮断すると、半導体ウェーハ１０が吸着パッド３０１に
吸着されて固定される。その後モータ３１１を反時計方
向に回転させると、アーム３１４が後退し、半導体ウェ
ーハ１０が吸着され固定された状態で搬送台車１に搭載
される。
これらのシーケンスを制御する制御装置８は第２図に示
すように、半導体ウェーハ１０の積み降ろし機構に設け
られており、センサ３１５．全体上下用の電磁石１０７
．吸着解除用の電磁石３０８及びモータ３１１を制御し
ている。
すように、半導体ウェーハ１０の積み降ろし機構に設け
られており、センサ３１５．全体上下用の電磁石１０７
．吸着解除用の電磁石３０８及びモータ３１１を制御し
ている。
このように積み降ろし機構及び制御装置８を搬送台車１
に内蔵し、積み降ろし位置には動力源のみを設けるので
、高価な積み降ろし機構をすべての停止位置に設ける必
要がなく、動力源のみを設ければよいので、設備費を低
減し、スペース効率を高めることが可能となる。
に内蔵し、積み降ろし位置には動力源のみを設けるので
、高価な積み降ろし機構をすべての停止位置に設ける必
要がなく、動力源のみを設ければよいので、設備費を低
減し、スペース効率を高めることが可能となる。
なお本実施例は、搬送台車１に積み降ろし機構３及び制
御装置８を内蔵しているが、積み降ろし機構３のみを内
蔵し、制御装置８を動力源９とを停止位置に設けること
も可能である。
御装置８を内蔵しているが、積み降ろし機構３のみを内
蔵し、制御装置８を動力源９とを停止位置に設けること
も可能である。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、搬送台
車に被搬送物を積み降ろしする機構のみ、或いは積み降
ろしする機構及びこの機構の制御装置を内蔵するので、
被搬送物を積み降ろしする場所にはこの積み降ろしする
機構の制御装置及び必要な動力源或いは動力源のみを設
けることにより、被搬送物を積み降ろしするすべての場
所に積み降ろしする機構、制御装置及び動力源を設ける
必要がな（なり、積み降ろしする機構の設備費を低減し
、設置スペースを縮小することが可能となる等の利点が
あり、著しい経済的な効果が期待できる搬送装置の提供
が可能となる。
車に被搬送物を積み降ろしする機構のみ、或いは積み降
ろしする機構及びこの機構の制御装置を内蔵するので、
被搬送物を積み降ろしする場所にはこの積み降ろしする
機構の制御装置及び必要な動力源或いは動力源のみを設
けることにより、被搬送物を積み降ろしするすべての場
所に積み降ろしする機構、制御装置及び動力源を設ける
必要がな（なり、積み降ろしする機構の設備費を低減し
、設置スペースを縮小することが可能となる等の利点が
あり、著しい経済的な効果が期待できる搬送装置の提供
が可能となる。
第１図は本発明による一実施例を示す図、第２図は本発
明による一実施例の搬送台車及び半導体ウェーハ積み降
ろし機構の詳細構造図、第３図は本発明による一実施例
のアームの伸縮状態を示す図、 第４図は本発明による一実施例の半導体ウェーハ吸着部
の詳細構造図、 第５図は本発明による一実施例の制御シーケンスを示す
図、 第６図は従来の搬送装置の全体配置を示す平面図、 第７図は従来の搬送装置の詳細構造を示す図、である。 図において、 １は搬送台車、 ２はレール、 ３は積み降ろし機構、４はアクチュエータ、５はプロセ
ス装置、 ６はエレベータ、７はリニアモータ、 ８
は制御装置、９は動力源、 １０は半導体ウェー
ハ、を示す。 （ａｌ 平 面 図 （ｂｌ 側 面 図 本発明による一実施例を示す図 第 第 図 （ａｌ 側 面 図 （ト）） 平 面 図 （Ａ＞ アームが折重なった状態を示す図 （Ｂ）アーム間の角度が９０゛の場合を示す平面図（Ｃ
）アーム間の角度が１３５゛の場合を示す平面図（Ｄ）
アーム間の角度が１８０°の場合を示す図本発明による
一実施例のアームの伸縮状態を示す図下 図 ［ａｌ 電磁石通電時（半導体ウェーハを吸着しない時）ｔｂ＋ 電磁石通電遮断時（半導体ウェーハ吸着時）本発明によ
る一実施例の半導体ウェーハ吸着部の詳細構造図↓ 終 了
明による一実施例の搬送台車及び半導体ウェーハ積み降
ろし機構の詳細構造図、第３図は本発明による一実施例
のアームの伸縮状態を示す図、 第４図は本発明による一実施例の半導体ウェーハ吸着部
の詳細構造図、 第５図は本発明による一実施例の制御シーケンスを示す
図、 第６図は従来の搬送装置の全体配置を示す平面図、 第７図は従来の搬送装置の詳細構造を示す図、である。 図において、 １は搬送台車、 ２はレール、 ３は積み降ろし機構、４はアクチュエータ、５はプロセ
ス装置、 ６はエレベータ、７はリニアモータ、 ８
は制御装置、９は動力源、 １０は半導体ウェー
ハ、を示す。 （ａｌ 平 面 図 （ｂｌ 側 面 図 本発明による一実施例を示す図 第 第 図 （ａｌ 側 面 図 （ト）） 平 面 図 （Ａ＞ アームが折重なった状態を示す図 （Ｂ）アーム間の角度が９０゛の場合を示す平面図（Ｃ
）アーム間の角度が１３５゛の場合を示す平面図（Ｄ）
アーム間の角度が１８０°の場合を示す図本発明による
一実施例のアームの伸縮状態を示す図下 図 ［ａｌ 電磁石通電時（半導体ウェーハを吸着しない時）ｔｂ＋ 電磁石通電遮断時（半導体ウェーハ吸着時）本発明によ
る一実施例の半導体ウェーハ吸着部の詳細構造図↓ 終 了
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 〔１〕レール（２）上を慣性にて走行する搬送台車（１
）を、リニアモータ（７）などによって駆動或いは停止
させ、前記搬送台車（１）に搭載した被搬送物（１０）
を搬送する搬送装置において、 前記搬送台車（１）に搭載する前記被搬送物（１０）を
前記搬送台車（１）に積み降ろしする機構（３、４）及
び該機構（３、４）を制御する制御装置（８）を、前記
搬送台車（１）に内蔵し、動力源（９）を前記搬送台車
（１）外に具備することを特徴とする搬送装置。 〔２〕請求項１記載の搬送装置において、前記被搬送物
（１０）を積み降ろしする機構（３、４）を前記搬送台
車（１）に内蔵し、前記機構（３、４）を制御する制御
装置（８）及び前記動力源（９）を前記搬送台車（１）
外に具備することを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249641A JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249641A JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03111334A true JPH03111334A (ja) | 1991-05-13 |
| JP2794828B2 JP2794828B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=17196044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1249641A Expired - Fee Related JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2794828B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105904435A (zh) * | 2015-12-09 | 2016-08-31 | 广东科利亚现代农业装备有限公司 | 一种甘蔗卸车机械手 |
| CN108313728A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-07-24 | 广州奇达瑞盛环保科技有限公司 | 一种生物质燃料装卸机 |
| CN108328359A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-07-27 | 广州奇达瑞盛环保科技有限公司 | 一种生物质燃料装卸设备 |
| EP3653551A1 (de) * | 2018-11-16 | 2020-05-20 | Schneider Electric Industries SAS | Transportsystem |
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-
1989
- 1989-09-25 JP JP1249641A patent/JP2794828B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN108313728B (zh) * | 2018-01-30 | 2019-01-22 | 蒙城县华鑫新能源有限公司 | 一种生物质燃料装卸机 |
| CN108328359B (zh) * | 2018-01-30 | 2019-01-25 | 江山华隆能源开发有限公司 | 一种生物质燃料装卸设备 |
| EP3653551A1 (de) * | 2018-11-16 | 2020-05-20 | Schneider Electric Industries SAS | Transportsystem |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2794828B2 (ja) | 1998-09-10 |
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|---|---|---|---|
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