JP2794828B2 - 搬送装置 - Google Patents
搬送装置Info
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- JP2794828B2 JP2794828B2 JP1249641A JP24964189A JP2794828B2 JP 2794828 B2 JP2794828 B2 JP 2794828B2 JP 1249641 A JP1249641 A JP 1249641A JP 24964189 A JP24964189 A JP 24964189A JP 2794828 B2 JP2794828 B2 JP 2794828B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 半導体ウエーハ等の被搬送物を高速で長距離を搬送す
る搬送装置に関し、 半導体ウエーハを搬送台車に積み降ろしする機構を簡
潔な構成にしてコストを低下させて搬送台車に内蔵せし
めることにより、スペース効率を高めることが可能な搬
送装置の提供のを目的とし、 〔１〕被搬送物を所定の位置で積み降ろしする積み降ろ
し機構を有して走行する搬送装置において、前記積み降
ろし機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けら
れ前記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、
前記真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬
送装置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源
に接続されることなく前記被搬送物を吸着するように構
成する。
る搬送装置に関し、 半導体ウエーハを搬送台車に積み降ろしする機構を簡
潔な構成にしてコストを低下させて搬送台車に内蔵せし
めることにより、スペース効率を高めることが可能な搬
送装置の提供のを目的とし、 〔１〕被搬送物を所定の位置で積み降ろしする積み降ろ
し機構を有して走行する搬送装置において、前記積み降
ろし機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けら
れ前記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、
前記真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬
送装置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源
に接続されることなく前記被搬送物を吸着するように構
成する。
〔２〕前記真空チャックは、電磁石と前記電磁石への通
電の有無により移動するピストンとを備え、前記電磁石
への通電の無い時に、前記ピストンが減圧状態を保持す
る位置に移動し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所
定の位置で、前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開
放するように構成する。
電の有無により移動するピストンとを備え、前記電磁石
への通電の無い時に、前記ピストンが減圧状態を保持す
る位置に移動し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所
定の位置で、前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開
放するように構成する。
〔３〕前記アームは、前記搬送装置が所定の位置で前記
被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動力
源に接続されて動作するように構成する。
被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動力
源に接続されて動作するように構成する。
〔４〕前記搬送装置は、前記搬送装置の外部に設置され
た動力源から切り離されて、慣性によって走行を行うよ
うに構成する。
た動力源から切り離されて、慣性によって走行を行うよ
うに構成する。
本発明は、特に半導体ウエーハ等の被搬送物を搬送す
る搬送装置に関するものである。
る搬送装置に関するものである。
近年における半導体集積回路装置の製造工程において
は、用途別仕様の集積回路装置（以下、ASICと略称す
る）が急増したため、少量多品種生産に対応することが
可能な半導体ウエーハの枚葉処理工程の生産ラインの必
要性が生じており、高速搬送装置が用いられるようにな
っている。
は、用途別仕様の集積回路装置（以下、ASICと略称す
る）が急増したため、少量多品種生産に対応することが
可能な半導体ウエーハの枚葉処理工程の生産ラインの必
要性が生じており、高速搬送装置が用いられるようにな
っている。
以上のような状況から、少量多品種生産の半導体集積
回路装置の生産に対応することができる生産ラインにお
いて用いることが可能な搬送装置が要望されている。
回路装置の生産に対応することができる生産ラインにお
いて用いることが可能な搬送装置が要望されている。
プロセス装置間の半導体ウエーハの搬送に用いている
従来の搬送装置について第６図〜第７図により詳細に説
明する。
従来の搬送装置について第６図〜第７図により詳細に説
明する。
従来の搬送装置は、その全体配置を第６図に示すよう
に、レール12上を慣性にて走行する搬送台車11をリニア
モータ17a或は17bによって駆動或いは停止させ、プロセ
ス装置15aからプロセス装置15bに半導体ウエーハ10をこ
の搬送台車11に搭載して搬送する搬送装置である。
に、レール12上を慣性にて走行する搬送台車11をリニア
モータ17a或は17bによって駆動或いは停止させ、プロセ
ス装置15aからプロセス装置15bに半導体ウエーハ10をこ
の搬送台車11に搭載して搬送する搬送装置である。
この半導体ウエーハ10をこの搬送台車11に積み降ろし
するのに用いる機構は、図に示すように積み降ろし機構
13とエレベータ16からなり、図示のようにこの搬送台車
11とは別の半導体ウエーハ10を積み降ろしするすべての
場所に設けられている。
するのに用いる機構は、図に示すように積み降ろし機構
13とエレベータ16からなり、図示のようにこの搬送台車
11とは別の半導体ウエーハ10を積み降ろしするすべての
場所に設けられている。
この搬送装置においては第７図に示すように、レール
12に沿ってリニアモータ17a或いは17bにより搬送される
搬送台車11に半導体ウエーハ10を積み降ろしする積み降
ろし機構13は、制御装置18,モータ19からなる駆動部
と、アーム20からなり、半導体ウエーハ10を積み降ろし
をするそれぞれの場所に設けられている。
12に沿ってリニアモータ17a或いは17bにより搬送される
搬送台車11に半導体ウエーハ10を積み降ろしする積み降
ろし機構13は、制御装置18,モータ19からなる駆動部
と、アーム20からなり、半導体ウエーハ10を積み降ろし
をするそれぞれの場所に設けられている。
従ってこの積み降ろしする積み降ろし機構13はこの半
導体ウエーハ10を積み降ろしするすべての場所に設けて
おくことが必要であり、このために積み降ろし機構13を
設置するスペースが必要になっている。
導体ウエーハ10を積み降ろしするすべての場所に設けて
おくことが必要であり、このために積み降ろし機構13を
設置するスペースが必要になっている。
以上説明した従来の搬送装置においては、リニアモー
タなどによってレール上を慣性にて走行する搬送台車に
より半導体ウエーハを搬送するが、この搬送台車に半導
体ウエーハを積み降ろしする機構はこの搬送台車外に設
けられているため、この積み降ろしする機構はこの半導
体ウエーハを積み降ろしするすべての場所に設けておく
ことが必要であり、このために多数の高価な機構及びこ
れらを設置するスペースが必要になるという問題点があ
った。
タなどによってレール上を慣性にて走行する搬送台車に
より半導体ウエーハを搬送するが、この搬送台車に半導
体ウエーハを積み降ろしする機構はこの搬送台車外に設
けられているため、この積み降ろしする機構はこの半導
体ウエーハを積み降ろしするすべての場所に設けておく
ことが必要であり、このために多数の高価な機構及びこ
れらを設置するスペースが必要になるという問題点があ
った。
本発明は以上のような状況から、半導体ウエーハを搬
送台車に積み降ろしする機構を簡潔な構成にしてコスト
を低下させて搬送台車に内蔵せしめることにより、スペ
ース効率を高めることが可能な搬送装置の提供を目的と
したものである。
送台車に積み降ろしする機構を簡潔な構成にしてコスト
を低下させて搬送台車に内蔵せしめることにより、スペ
ース効率を高めることが可能な搬送装置の提供を目的と
したものである。
本発明の搬送装置は、 〔１〕被搬送物を所定の位置で積み降ろしする積み降ろ
し機構を有して走行する搬送装置において、前記積み降
ろし機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けら
れ前記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、
前記真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬
送装置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源
に接続されることなく前記被搬送物を吸着するように構
成する。
し機構を有して走行する搬送装置において、前記積み降
ろし機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けら
れ前記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、
前記真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬
送装置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源
に接続されることなく前記被搬送物を吸着するように構
成する。
〔２〕前記真空チャックは、電磁石と前記電磁石への通
電の有無により移動するピストンとを備え、前記電磁石
への通電の無い時に、前記ピストンが減圧状態を保持す
る位置に移動し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所
定の位置で、前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開
放するように構成する。
電の有無により移動するピストンとを備え、前記電磁石
への通電の無い時に、前記ピストンが減圧状態を保持す
る位置に移動し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所
定の位置で、前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開
放するように構成する。
〔３〕前記アームは、前記搬送装置が所定の位置で前記
被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動力
源に接続されて動作するように構成する。
被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動力
源に接続されて動作するように構成する。
〔４〕前記搬送装置は、前記搬送装置の外部に設置され
た動力源から切り離されて、慣性によって走行を行うよ
うに構成する。
た動力源から切り離されて、慣性によって走行を行うよ
うに構成する。
即ち本発明においては、 被搬送物を所定の位置で積み降ろしする積み降ろし機
構を有して走行する搬送装置において、前記積み降ろし
機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けられ前
記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、前記
真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬送装
置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源に接
続されることなく前記被搬送物を吸着するように構成し
たので、 半導体ウエーハ等の被搬送物を積み降ろしするすべて
の場所に積み降ろしする機構を設ける必要がなくなり、
積み降ろしする機構の設備費を低減し、設備スペースを
縮小することが可能となる。
構を有して走行する搬送装置において、前記積み降ろし
機構は、伸縮自在のアームと、前記アームに設けられ前
記被搬送物を吸着保持する真空チャックとを有し、前記
真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬送装
置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源に接
続されることなく前記被搬送物を吸着するように構成し
たので、 半導体ウエーハ等の被搬送物を積み降ろしするすべて
の場所に積み降ろしする機構を設ける必要がなくなり、
積み降ろしする機構の設備費を低減し、設備スペースを
縮小することが可能となる。
また、前記真空チャックは、電磁石への通電の有無に
より移動するピストンを備え、前記電磁石への通電の無
い時に、前記ピストンが減圧状態を保持する位置に移動
し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所定の位置で、
前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開放するように
構成したので、この真空チャック自体で、この被搬送物
を損傷することなく保持でき、かつ電磁石への通電の無
い時にもこの被搬送物を保持でき、搬送台車に内蔵が可
能となる。
より移動するピストンを備え、前記電磁石への通電の無
い時に、前記ピストンが減圧状態を保持する位置に移動
し、前記被搬送物を積み降ろしする前記所定の位置で、
前記電磁石への通電を受けて真空吸着を開放するように
構成したので、この真空チャック自体で、この被搬送物
を損傷することなく保持でき、かつ電磁石への通電の無
い時にもこの被搬送物を保持でき、搬送台車に内蔵が可
能となる。
また、前記アームは、前記搬送装置が所定の位置で前
記被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動
力源に接続されて動作するように構成したので、アーム
を動作させるべき動力源を搬送装置の走行する台車に設
ける必要がなくなり、台車の小型化が可能となる。
記被搬送物を積み降ろしする時に、外部に設置された動
力源に接続されて動作するように構成したので、アーム
を動作させるべき動力源を搬送装置の走行する台車に設
ける必要がなくなり、台車の小型化が可能となる。
また、前記搬送装置は、リニアモータなどにより駆動
され、前記搬送装置の外部に設置された動力源に接続さ
れることなく、切り離されて慣性によって走行を行うよ
うに構成したので、動力源を搬送装置の走行する台車に
設ける必要がなくなり、台車の小型化が可能となる 〔実施例〕 以下第１図〜第５図により積み降ろし機構及び制御装
置を内蔵する本発明による一実施例を詳細に説明する。
され、前記搬送装置の外部に設置された動力源に接続さ
れることなく、切り離されて慣性によって走行を行うよ
うに構成したので、動力源を搬送装置の走行する台車に
設ける必要がなくなり、台車の小型化が可能となる 〔実施例〕 以下第１図〜第５図により積み降ろし機構及び制御装
置を内蔵する本発明による一実施例を詳細に説明する。
本実施例の搬送装置は、その全体配置を第１図（ａ）
に示すように、レール２上を慣性にて走行する搬送台車
１をリニアモータ7a或いは7bによって駆動或いは停止さ
せ、プロセス装置5aからプロセス装置5bに半導体ウエー
ハ10をこの搬送台車１に搭載して搬送する搬送装置であ
る。
に示すように、レール２上を慣性にて走行する搬送台車
１をリニアモータ7a或いは7bによって駆動或いは停止さ
せ、プロセス装置5aからプロセス装置5bに半導体ウエー
ハ10をこの搬送台車１に搭載して搬送する搬送装置であ
る。
第１図（ｂ）に示すようにこの半導体ウエーハ10を積
み降ろしする場所には、搬送台車１に電力を供給する動
力源９と、半導体ウエーハ10をこの搬送台車１に積み降
ろしする機構としてエレベータ６が設けられている。
み降ろしする場所には、搬送台車１に電力を供給する動
力源９と、半導体ウエーハ10をこの搬送台車１に積み降
ろしする機構としてエレベータ６が設けられている。
この搬送装置においては第２図に示すように、レール
２に沿ってリニアモータ7a或いは7bにより搬送される搬
送台車に半導体ウエーハ10を積み降ろしする積み降ろし
機構は、この搬送台車に内蔵されており、半導体ウエー
ハ10を積み降ろしする位置においては、第５図に示すシ
ーケンスによって半導体ウエーハ10の積み降ろしを行っ
ている。
２に沿ってリニアモータ7a或いは7bにより搬送される搬
送台車に半導体ウエーハ10を積み降ろしする積み降ろし
機構は、この搬送台車に内蔵されており、半導体ウエー
ハ10を積み降ろしする位置においては、第５図に示すシ
ーケンスによって半導体ウエーハ10の積み降ろしを行っ
ている。
本実施例の搬送台車及び半導体ウエーハ積み降ろし機
構について第２図〜第３図により詳細に説明する。
構について第２図〜第３図により詳細に説明する。
搬送台車１には第２図に示すように、リニアモータ7a
或いは7bにより駆動される二次導体101が基板102の下面
に設けられており、横方向の位置を規制するローラ103
と上下方向の位置を規制するローラ104とレール２とに
よりガイドされて紙面に対して垂直方向に移動可能にな
っている。
或いは7bにより駆動される二次導体101が基板102の下面
に設けられており、横方向の位置を規制するローラ103
と上下方向の位置を規制するローラ104とレール２とに
よりガイドされて紙面に対して垂直方向に移動可能にな
っている。
基板102の上面にはガイド105が設けられており、この
ガイド105と嵌合するガイドバー108を下部に備えた積み
降ろし機構がスプリング106を介して設けられており、
この積み降ろし機構は電磁石107に通電した場合には下
方向に降下するようになっている。
ガイド105と嵌合するガイドバー108を下部に備えた積み
降ろし機構がスプリング106を介して設けられており、
この積み降ろし機構は電磁石107に通電した場合には下
方向に降下するようになっている。
搬送台車１がリニアモータ7aにより駆動され、リニア
モータ7bにより定位置に停止されると、レール２に設け
た、電力を供給する電力源９であるアクチュエータ４の
電極4aと制御装置８の電力取り込み用の端子8aとが接触
して電力が積み降ろし機構に供給される。
モータ7bにより定位置に停止されると、レール２に設け
た、電力を供給する電力源９であるアクチュエータ４の
電極4aと制御装置８の電力取り込み用の端子8aとが接触
して電力が積み降ろし機構に供給される。
この電力により積み降ろし機構３のモータ311が作動
すると、モータ軸に設けたプーリ312が回転し、プーリ3
12に書けられているベルト313により逐次プーリとベル
トが作動し、第３図に示すように、折重なっていたアー
ム314が図示のように伸びて長くなる。
すると、モータ軸に設けたプーリ312が回転し、プーリ3
12に書けられているベルト313により逐次プーリとベル
トが作動し、第３図に示すように、折重なっていたアー
ム314が図示のように伸びて長くなる。
このアーム314の先端には半導体ウエーハ10を吸着す
る第４図に示すような構造の真空チャックが設けられて
いる。
る第４図に示すような構造の真空チャックが設けられて
いる。
第４図に示すように、真空チャックの下部には電磁石
308が設けられており、その上には円形の断面を有し、
上面に通気孔302を備え、内部にはＯリング305を設けた
ピストン306が摺動可能に滑合されているボディ304があ
り、このボディ304とピストン306の間にはスプリング30
3が設けられている。
308が設けられており、その上には円形の断面を有し、
上面に通気孔302を備え、内部にはＯリング305を設けた
ピストン306が摺動可能に滑合されているボディ304があ
り、このボディ304とピストン306の間にはスプリング30
3が設けられている。
ピストン306の下部には永久磁石307が埋め込まれてお
り、ボディ304の上方には軟質材料、例えばゴムからな
る吸盤上の吸着パッド301が設けられている。
り、ボディ304の上方には軟質材料、例えばゴムからな
る吸盤上の吸着パッド301が設けられている。
被搬送物、例えば半導体ウエーハ10を吸着する場合に
は、第４図（ａ）に示すようにまず電磁石308に通電し
て図示のような状態に磁場を形成すると、ピストン306
に永久磁石307が図示のように埋め込まれている場合に
は反発してピストン306が上方向に移動し、スプリング3
03が圧縮される。つぎに電磁石308への通電を遮断する
と、第４図（ｂ）に示すようにピストン306がスプリン
グ303により下方に下がり吸着パッド301内の空気がボデ
ィ304の内部に広がって空気圧が低下するので、大気圧
によって半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着され
固定される。
は、第４図（ａ）に示すようにまず電磁石308に通電し
て図示のような状態に磁場を形成すると、ピストン306
に永久磁石307が図示のように埋め込まれている場合に
は反発してピストン306が上方向に移動し、スプリング3
03が圧縮される。つぎに電磁石308への通電を遮断する
と、第４図（ｂ）に示すようにピストン306がスプリン
グ303により下方に下がり吸着パッド301内の空気がボデ
ィ304の内部に広がって空気圧が低下するので、大気圧
によって半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着され
固定される。
第５図により半導体ウエーハの積み降ろし制御シーケ
ンスを説明する。
ンスを説明する。
半導体ウエーハ10を積み降ろす場合は、第４図（ｂ）
に示すように半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着
されており、電磁石308とピストン306が接触しているの
で、この接触していることを第２図に示すセンサ315に
よって検知して半導体ウエーハ10が吸着パッド301の上
に吸着されていると判断し、第５図の左側に図示するよ
うに、先ず第２図においてモータ311に時計方向に回転
しアーム314が前進し、つぎに第４図の半導体ウエーハ
真空チャックの電磁石308に通電すると半導体ウエーハ1
0が吸着されなくなる。ついで第２図において電磁石107
に通電すると、積み降ろし機構全体が降下し、半導体ウ
エーハ10と吸着パッド301が離れ、エレベータ６の上に
半導体ウエーハ10が搭載される。
に示すように半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着
されており、電磁石308とピストン306が接触しているの
で、この接触していることを第２図に示すセンサ315に
よって検知して半導体ウエーハ10が吸着パッド301の上
に吸着されていると判断し、第５図の左側に図示するよ
うに、先ず第２図においてモータ311に時計方向に回転
しアーム314が前進し、つぎに第４図の半導体ウエーハ
真空チャックの電磁石308に通電すると半導体ウエーハ1
0が吸着されなくなる。ついで第２図において電磁石107
に通電すると、積み降ろし機構全体が降下し、半導体ウ
エーハ10と吸着パッド301が離れ、エレベータ６の上に
半導体ウエーハ10が搭載される。
この半導体ウエーハ10と吸着パッド301とが離れた状
態で、モータ311を反時計方向に回転させるとアーム314
が後退し、最後に真空チャックの電磁石308への通電を
停止して半導体ウエーハ10の吸着パッド301からエレベ
ータ６への積み降ろしが終了する。
態で、モータ311を反時計方向に回転させるとアーム314
が後退し、最後に真空チャックの電磁石308への通電を
停止して半導体ウエーハ10の吸着パッド301からエレベ
ータ６への積み降ろしが終了する。
半導体ウエーハ10をエレベータ６から吸着パッド301
に搭載する場合は、真空チャックの電磁石308に通電す
ると、電磁石308とピストン306が接触しなくなるので、
この接触していないことを第２図に示すセンサ315によ
って検知して半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着
されていないと判断し、第５図の右側に図示するよう
に、先ず電磁石107に通電すると、積み降ろし機構全体
がスプリング106を圧縮して降下する。この状態でモー
タ311を時計方向に回転すると、アーム314が前進する。
アーム314が伸びきってエレベータ６に搭載されている
半導体ウエーハ10の下まで前進すると、電磁石107の通
電を停止し、積み降ろし機構全体を上昇させると、吸着
パッド301の上に半導体ウエーハ10が搭載される。この
状態では半導体ウエーハ10は吸着されていないので、電
磁石308の通電を遮断すると、半導体ウエーハ10が吸着
パッド301に吸着されて固定される。その後モータ311を
反時計方向に回転させると、アーム314が後退し、半導
体ウエーハ10が吸着され固定された状態で搬送台車１に
搭載される。
に搭載する場合は、真空チャックの電磁石308に通電す
ると、電磁石308とピストン306が接触しなくなるので、
この接触していないことを第２図に示すセンサ315によ
って検知して半導体ウエーハ10が吸着パッド301に吸着
されていないと判断し、第５図の右側に図示するよう
に、先ず電磁石107に通電すると、積み降ろし機構全体
がスプリング106を圧縮して降下する。この状態でモー
タ311を時計方向に回転すると、アーム314が前進する。
アーム314が伸びきってエレベータ６に搭載されている
半導体ウエーハ10の下まで前進すると、電磁石107の通
電を停止し、積み降ろし機構全体を上昇させると、吸着
パッド301の上に半導体ウエーハ10が搭載される。この
状態では半導体ウエーハ10は吸着されていないので、電
磁石308の通電を遮断すると、半導体ウエーハ10が吸着
パッド301に吸着されて固定される。その後モータ311を
反時計方向に回転させると、アーム314が後退し、半導
体ウエーハ10が吸着され固定された状態で搬送台車１に
搭載される。
これらのシーケンスを制御する制御装置８は第２図に
示すように、半導体ウエーハ10の積み降ろし機構に設け
られており、センサ315,全体上下用の電磁石107,吸着解
除用の電磁石308及びモータ311を制御している。
示すように、半導体ウエーハ10の積み降ろし機構に設け
られており、センサ315,全体上下用の電磁石107,吸着解
除用の電磁石308及びモータ311を制御している。
このように積み降ろし機構及び制御装置８を搬送台車
１に内蔵し、積み降ろし位置には動力源のみを設けるの
で、高価な積み降ろし機構をすべての停止位置に設ける
必要がなく、動力源のみを設ければよいので、設備費を
低減し、スペース効率を高めることが可能となる。
１に内蔵し、積み降ろし位置には動力源のみを設けるの
で、高価な積み降ろし機構をすべての停止位置に設ける
必要がなく、動力源のみを設ければよいので、設備費を
低減し、スペース効率を高めることが可能となる。
なお本実施例は、搬送台車１に積み降ろし機構３及び
制御装置８を内蔵しているが、積み降ろし機構３のみを
内蔵し、制御装置８を動力源９とを停止位置に設けるこ
とも可能である。
制御装置８を内蔵しているが、積み降ろし機構３のみを
内蔵し、制御装置８を動力源９とを停止位置に設けるこ
とも可能である。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、搬送
装置に被搬送物を積み降ろしする機構を内蔵するので、
被搬送物を積み降ろしする場所にはその積み降ろしする
機構の制御装置及び必要な動力源或いは動力源のみを設
けることにより、被搬送物を積み降ろしするすべての場
所に積み降ろしする機構，制御装置及び動力源を設ける
必要がなくなり、積み降ろしする機構の設備費を低減
し、設置スペースを縮小することが可能となる等の利点
があり、著しい経済的な効果が期待できる搬送装置の供
給が可能となる。
装置に被搬送物を積み降ろしする機構を内蔵するので、
被搬送物を積み降ろしする場所にはその積み降ろしする
機構の制御装置及び必要な動力源或いは動力源のみを設
けることにより、被搬送物を積み降ろしするすべての場
所に積み降ろしする機構，制御装置及び動力源を設ける
必要がなくなり、積み降ろしする機構の設備費を低減
し、設置スペースを縮小することが可能となる等の利点
があり、著しい経済的な効果が期待できる搬送装置の供
給が可能となる。
第１図は本発明による一実施例を示す図、 第２図は本発明による一実施例の搬送台車及び半導体ウ
エーハ積み降ろし機構の詳細構造図、 第３図は本発明による一実施例のアームの伸縮状態を示
す図、 第４図は本発明による一実施例の半導体ウエーハ真空チ
ャックの詳細構造図、 第５図は本発明による一実施例の制御シーケンスを示す
図、 第６図は従来の搬送装置の全体配置を示す平面図、 第７図は従来の搬送装置の詳細構造を示す図、 である。 図において、 １は搬送台車、２はレール、 ３は積み降ろし機構、４はアクチュエータ、 ５はプロセス装置、６はエレベータ、 ７はリニアモータ、８は制御装置、 ９は動力源、10は半導体ウエーハ、 を示す。
エーハ積み降ろし機構の詳細構造図、 第３図は本発明による一実施例のアームの伸縮状態を示
す図、 第４図は本発明による一実施例の半導体ウエーハ真空チ
ャックの詳細構造図、 第５図は本発明による一実施例の制御シーケンスを示す
図、 第６図は従来の搬送装置の全体配置を示す平面図、 第７図は従来の搬送装置の詳細構造を示す図、 である。 図において、 １は搬送台車、２はレール、 ３は積み降ろし機構、４はアクチュエータ、 ５はプロセス装置、６はエレベータ、 ７はリニアモータ、８は制御装置、 ９は動力源、10は半導体ウエーハ、 を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ６１Ｄ 47/00 Ｂ６１Ｄ 47/00 Ａ Ｚ (56)参考文献 特開 昭63−275475（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−259389（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−236481（ＪＰ，Ａ) 実開 昭53−155973（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−21582（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−154317（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭49−28696（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 54/02 B61D 47/00 B65G 1/00 - 1/20 B25J 5/02,15/06
Claims (4)
- 【請求項１】被搬送物を所定の位置で積み降ろしする積
み降ろし機構を有して走行する搬送装置において、 前記積み降ろし機構は、伸縮自在のアームと、前記アー
ムに設けられ前記被搬送物を吸着保持する真空チャック
とを有し、 前記真空チャックは、前記搬送装置が走行中に、前記搬
送装置の外部に設置された前記真空チャック用の動力源
に接続されることなく前記被搬送物を吸着するように構
成されていることを特徴とする搬送装置。 - 【請求項２】前記真空チャックは、 電磁石と前記電磁石への通電の有無により移動するピス
トンとを備え、 前記電磁石への通電の無い時に、前記ピストンが減圧状
態を保持する位置に移動し、 前記被搬送物を積み降ろしする前記所定の位置で、前記
電磁石への通電を受けて真空吸着を開放するように構成
されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送装
置。 - 【請求項３】前記アームは、前記搬送装置が所定の位置
で前記被搬送物を積み降ろしする時に、外部に装置され
た動力源に接続されて動作するように構成されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。 - 【請求項４】前記搬送装置は、外部に設置された動力源
から切り離されて、慣性によって走行を行うことを特徴
とする請求項１、請求項２または請求項３に記載の搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249641A JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1249641A JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03111334A JPH03111334A (ja) | 1991-05-13 |
| JP2794828B2 true JP2794828B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=17196044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1249641A Expired - Fee Related JP2794828B2 (ja) | 1989-09-25 | 1989-09-25 | 搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2794828B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105904435B (zh) * | 2015-12-09 | 2019-05-10 | 广东科利亚现代农业装备有限公司 | 一种甘蔗卸车机械手 |
| CN108328359B (zh) * | 2018-01-30 | 2019-01-25 | 江山华隆能源开发有限公司 | 一种生物质燃料装卸设备 |
| CN108313728B (zh) * | 2018-01-30 | 2019-01-22 | 蒙城县华鑫新能源有限公司 | 一种生物质燃料装卸机 |
| EP3653551A1 (de) * | 2018-11-16 | 2020-05-20 | Schneider Electric Industries SAS | Transportsystem |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5043117Y2 (ja) * | 1972-06-12 | 1975-12-09 | ||
| JPS53155973U (ja) * | 1977-05-16 | 1978-12-07 | ||
| JPS60259389A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-21 | 日産自動車株式会社 | オ−トロ−ダ |
| JPS6158801U (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-21 | ||
| JPH056411Y2 (ja) * | 1985-03-18 | 1993-02-18 | ||
| JPS61236481A (ja) * | 1985-04-12 | 1986-10-21 | 三菱電機株式会社 | 産業用走行形ロボツト装置 |
| JPS6321582U (ja) * | 1986-07-28 | 1988-02-12 | ||
| JP2615616B2 (ja) * | 1987-05-07 | 1997-06-04 | 神鋼電機株式会社 | 半導体搬送用無人車 |
-
1989
- 1989-09-25 JP JP1249641A patent/JP2794828B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03111334A (ja) | 1991-05-13 |
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|---|---|---|---|
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