JPH0310696B2 - - Google Patents
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- JPH0310696B2 JPH0310696B2 JP1271582A JP1271582A JPH0310696B2 JP H0310696 B2 JPH0310696 B2 JP H0310696B2 JP 1271582 A JP1271582 A JP 1271582A JP 1271582 A JP1271582 A JP 1271582A JP H0310696 B2 JPH0310696 B2 JP H0310696B2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- Conductive Materials (AREA)
Description
本発明は半導体を要素とする機器のリード材と
して、価格が安く、高導電(伝熱)性で、優れた
強度と耐熱性を示す銅合金に関するものである。 一般にIC、LSI等の半導体を要素とする機器は
何れも半導体ペレツト、アイランドリード及びボ
ンデイングワイヤーによつて構成したものをハー
メチツクシール、セラミツクシール又はプラスチ
ツクシールにより封止したもので、種々の型式の
ものが用いられており、これ等機器のリード(リ
ードフレーム)材には次のような特性が要求され
ている。 (1) 熱及び電気の伝導性が良いこと。 (2) 耐熱性が良いこと。 (3) 強度が高いこと。 (4) 曲げ加工性が良いこと。 従来半導体機器のリード(リードフレーム)材に
はCu−29wt%Ni−18wtCo合金(コバール)、Fe
−42wt%Ni合金、Cu−5wt%Sn−0.2wt%P合金
(燐青銅)、Cu−2.4wt%Fe−0.13wt%Zn−0.04wt
%P合金、Cu−0.15wt%Sn−0.01wt%P合金等
が用いられているが、何れも一長一短があり、満
足できるものではなかつた。即ちコバール、Fe
−Ni合金及び燐青銅は何れも熱及び電気の伝導
性が悪く、特にコバール及びFe−Ni合金は曲げ
加工性も劣り、価格も高い欠点があつた。また
Cu−Fe−Zn−P合金はある程度の導電性(熱伝
導性)と耐熱性を有するも、曲げ加工性が劣る欠
点があり、Cu−0.15wt%Sn−0.01wt%P合金は
優れた導電性(熱伝導性)を有するも強度及び耐
熱性が劣る欠点があつた。 本発明はこれに鑑み種々研究を重ねた結果、価
格が安く、曲げ加工性が良好で、従来のCu−
0.15wt%Sn−0.01wt%P合金と同等の導電(伝
熱)性とすればより優れた強度及び耐熱性を有
し、従来のCu−Fe−Zn−P合金と同等の強度及
び耐熱性とすれば、はるかに優れた導電(伝熱)
性を示すリード材用銅合金を開発したもので、
Fe0.05〜0.5wt%(以下wt%を単に%と略記)、
Sn0.05〜0.5%、Zn0.05〜1.5%、P0.002〜0.05%、
残部Cuと不可避的不純物からなることを特徴と
するものである。 即ち、本発明は通常のCu地金にFe、Sn及びZn
を添加することにより強度及び耐熱性の向上を計
り、これにPを添加することにより合金の鋳塊品
質の向上を計つて、リード材として要求される諸
特性を満足する合金を得たもので、Fe、Sn、Zn
及びPの含有量を上記の如く限定したのは次の理
由によるものである。 Fe含有量を0.05〜0.5%、Sn含有量を0.05〜0.5
%に限定したのは、これ等両元素の添加により
Cu特有の導電性(熱伝導性)を著しく低下せる
ことなく強度及び耐熱性を向上し得るも、両元素
の含有量が下限未満では所望の強度及び耐熱性が
得られず、両元素の含有量が上限を越えると強度
及び耐熱性は向上するも導電率が低下し、必要な
導電性(熱伝導性)が得られないためである。 またZn含有量を0.05〜1.5%に限定したのはZn
の添加により強度及び耐熱性を更に向上し得る
も、その含有量が0.05%未満では、その効果が大
きくなく、1.5%を越えると導電率の低下が著し
くなるためである。またP含有量を0.002〜0.05
%に限定したのはPの添加により鋳塊品質が向上
し、その後の加工性を改善するも、その含有量が
0.002%未満では有効な働きが認められず、0.05
%を越えると加工性が劣化するためである。 以下、本発明合金を実施例について詳細に説明
する。 黒鉛ルツボを用いてCuを溶解し、その湯面を
木炭粉末で被覆した後Feを添加し、続いてZnと
Snを添加し、最終にP母合金を添加し、これを
金型に鋳造して第1表に示す合金組成の巾150mm、
厚さ25mm、長さ200mmの鋳塊を得た。この鋳塊表
面を一面当り2.5面削した後、カラーチエツク法
に表面状況を調べてから再加熱して熱間圧延によ
り厚さ8mm、巾150mmの板とした。この板を酸洗
した後、冷間圧延と、焼鈍を繰返し、最終加工率
40%、厚さ0.3mmの板に仕上げた。 これ等の板について、導電率(熱伝導性は導電
性と相関の関係にあるため測定しなかつた。)引
張強さ、耐熱性及び曲げ加工性を調べた。これ等
の結果と前記カラーチエツクの結果を第1表に示
す。 導電率及び引張強さはJIS−H0505及びJIS−
Z2241に基づいて測定した。また耐熱性は前記厚
さ0.3mmの板よりJIS−Z2201に示された引張試験
片を切出し、これをアルゴン雰囲気中で種々の温
度に1時間加熱処理して引張試験を行ない、その
引張強さが加熱処理前の引張強さと、完全に焼鈍
軟化させたときの引張強さとの和の1/2となる加
熱温度(通常半軟化温度)を求めて耐熱性の判断
基準とした。また曲げ加工性は前記厚さ0.3mmの
板より巾10mm、長さ50mmの短冊状試験片を切り出
し、その中央部で180℃の密着曲げを行なつて曲
げ部の観察を行ない、割れやしわのない平滑なも
のを曲げ性が良好ということで○印、割れ等の欠
陥が認められたものを曲げ性が不良ということで
×印、その中間のものを△印で表わした。更に鋳
塊品質については上記カラーチエツクにおいて、
表面欠陥のないものを○印、それ以外のものを×
印で表わした。
して、価格が安く、高導電(伝熱)性で、優れた
強度と耐熱性を示す銅合金に関するものである。 一般にIC、LSI等の半導体を要素とする機器は
何れも半導体ペレツト、アイランドリード及びボ
ンデイングワイヤーによつて構成したものをハー
メチツクシール、セラミツクシール又はプラスチ
ツクシールにより封止したもので、種々の型式の
ものが用いられており、これ等機器のリード(リ
ードフレーム)材には次のような特性が要求され
ている。 (1) 熱及び電気の伝導性が良いこと。 (2) 耐熱性が良いこと。 (3) 強度が高いこと。 (4) 曲げ加工性が良いこと。 従来半導体機器のリード(リードフレーム)材に
はCu−29wt%Ni−18wtCo合金(コバール)、Fe
−42wt%Ni合金、Cu−5wt%Sn−0.2wt%P合金
(燐青銅)、Cu−2.4wt%Fe−0.13wt%Zn−0.04wt
%P合金、Cu−0.15wt%Sn−0.01wt%P合金等
が用いられているが、何れも一長一短があり、満
足できるものではなかつた。即ちコバール、Fe
−Ni合金及び燐青銅は何れも熱及び電気の伝導
性が悪く、特にコバール及びFe−Ni合金は曲げ
加工性も劣り、価格も高い欠点があつた。また
Cu−Fe−Zn−P合金はある程度の導電性(熱伝
導性)と耐熱性を有するも、曲げ加工性が劣る欠
点があり、Cu−0.15wt%Sn−0.01wt%P合金は
優れた導電性(熱伝導性)を有するも強度及び耐
熱性が劣る欠点があつた。 本発明はこれに鑑み種々研究を重ねた結果、価
格が安く、曲げ加工性が良好で、従来のCu−
0.15wt%Sn−0.01wt%P合金と同等の導電(伝
熱)性とすればより優れた強度及び耐熱性を有
し、従来のCu−Fe−Zn−P合金と同等の強度及
び耐熱性とすれば、はるかに優れた導電(伝熱)
性を示すリード材用銅合金を開発したもので、
Fe0.05〜0.5wt%(以下wt%を単に%と略記)、
Sn0.05〜0.5%、Zn0.05〜1.5%、P0.002〜0.05%、
残部Cuと不可避的不純物からなることを特徴と
するものである。 即ち、本発明は通常のCu地金にFe、Sn及びZn
を添加することにより強度及び耐熱性の向上を計
り、これにPを添加することにより合金の鋳塊品
質の向上を計つて、リード材として要求される諸
特性を満足する合金を得たもので、Fe、Sn、Zn
及びPの含有量を上記の如く限定したのは次の理
由によるものである。 Fe含有量を0.05〜0.5%、Sn含有量を0.05〜0.5
%に限定したのは、これ等両元素の添加により
Cu特有の導電性(熱伝導性)を著しく低下せる
ことなく強度及び耐熱性を向上し得るも、両元素
の含有量が下限未満では所望の強度及び耐熱性が
得られず、両元素の含有量が上限を越えると強度
及び耐熱性は向上するも導電率が低下し、必要な
導電性(熱伝導性)が得られないためである。 またZn含有量を0.05〜1.5%に限定したのはZn
の添加により強度及び耐熱性を更に向上し得る
も、その含有量が0.05%未満では、その効果が大
きくなく、1.5%を越えると導電率の低下が著し
くなるためである。またP含有量を0.002〜0.05
%に限定したのはPの添加により鋳塊品質が向上
し、その後の加工性を改善するも、その含有量が
0.002%未満では有効な働きが認められず、0.05
%を越えると加工性が劣化するためである。 以下、本発明合金を実施例について詳細に説明
する。 黒鉛ルツボを用いてCuを溶解し、その湯面を
木炭粉末で被覆した後Feを添加し、続いてZnと
Snを添加し、最終にP母合金を添加し、これを
金型に鋳造して第1表に示す合金組成の巾150mm、
厚さ25mm、長さ200mmの鋳塊を得た。この鋳塊表
面を一面当り2.5面削した後、カラーチエツク法
に表面状況を調べてから再加熱して熱間圧延によ
り厚さ8mm、巾150mmの板とした。この板を酸洗
した後、冷間圧延と、焼鈍を繰返し、最終加工率
40%、厚さ0.3mmの板に仕上げた。 これ等の板について、導電率(熱伝導性は導電
性と相関の関係にあるため測定しなかつた。)引
張強さ、耐熱性及び曲げ加工性を調べた。これ等
の結果と前記カラーチエツクの結果を第1表に示
す。 導電率及び引張強さはJIS−H0505及びJIS−
Z2241に基づいて測定した。また耐熱性は前記厚
さ0.3mmの板よりJIS−Z2201に示された引張試験
片を切出し、これをアルゴン雰囲気中で種々の温
度に1時間加熱処理して引張試験を行ない、その
引張強さが加熱処理前の引張強さと、完全に焼鈍
軟化させたときの引張強さとの和の1/2となる加
熱温度(通常半軟化温度)を求めて耐熱性の判断
基準とした。また曲げ加工性は前記厚さ0.3mmの
板より巾10mm、長さ50mmの短冊状試験片を切り出
し、その中央部で180℃の密着曲げを行なつて曲
げ部の観察を行ない、割れやしわのない平滑なも
のを曲げ性が良好ということで○印、割れ等の欠
陥が認められたものを曲げ性が不良ということで
×印、その中間のものを△印で表わした。更に鋳
塊品質については上記カラーチエツクにおいて、
表面欠陥のないものを○印、それ以外のものを×
印で表わした。
【表】
【表】
第1表から明らかなように本発明合金は、引張
強さ40〜58Kg/mm2、耐熱性380〜480℃、導電率64
〜90%IACSの特性を有し、鋳塊品質が良好で曲
げ加工性も良く、特にSn含有量の少ないもので
は導電率80〜90%、引張強さ40〜45Kg/mm2、耐熱
性380〜420℃の特性を示し、従来合金No.17と比較
してほぼ同等の導電性とより優れた強度及び耐熱
性を有し、Sn含有量の多いものでは導電率64〜
70%IACS、引張強さ50〜58Kg/mm2、耐熱性450〜
480℃の特性を示し、従来合金No.16と比較して導
電性、強度及び耐熱性の点ですべて優れているこ
とが判る。 これに対し、Fe、Sn、ZnはPの含有量が本発
明合金の組成範囲を越える比較合金No.9〜12では
何れも導電性の低下が著しく、特にP含有量の多
い比較合金No.12では曲げ加工性が低下しているこ
とが判る。また本発明合金の組成範囲より少ない
比較合金No.13、No.14では何れも強度及び耐熱性の
改善が認められず、特にP含有量の少ない比較合
金No.13では鋳塊品質が低下し、曲げ加工性が悪い
ことが判る。 また本発明合金のうちSn含有量の多いもので
は従来合金である燐青銅No.15と比較しても、同等
以上の強度及び耐熱性と、はるかに優れた導電性
を有することが判る。 このように本発明合金は、従来のリード材用銅
合金と比較し、リード材に要求される諸特性にお
いて、はるかに優れたもので、リード材又はリー
ドフレームに使用し、顕著な効果を奏するもので
ある。
強さ40〜58Kg/mm2、耐熱性380〜480℃、導電率64
〜90%IACSの特性を有し、鋳塊品質が良好で曲
げ加工性も良く、特にSn含有量の少ないもので
は導電率80〜90%、引張強さ40〜45Kg/mm2、耐熱
性380〜420℃の特性を示し、従来合金No.17と比較
してほぼ同等の導電性とより優れた強度及び耐熱
性を有し、Sn含有量の多いものでは導電率64〜
70%IACS、引張強さ50〜58Kg/mm2、耐熱性450〜
480℃の特性を示し、従来合金No.16と比較して導
電性、強度及び耐熱性の点ですべて優れているこ
とが判る。 これに対し、Fe、Sn、ZnはPの含有量が本発
明合金の組成範囲を越える比較合金No.9〜12では
何れも導電性の低下が著しく、特にP含有量の多
い比較合金No.12では曲げ加工性が低下しているこ
とが判る。また本発明合金の組成範囲より少ない
比較合金No.13、No.14では何れも強度及び耐熱性の
改善が認められず、特にP含有量の少ない比較合
金No.13では鋳塊品質が低下し、曲げ加工性が悪い
ことが判る。 また本発明合金のうちSn含有量の多いもので
は従来合金である燐青銅No.15と比較しても、同等
以上の強度及び耐熱性と、はるかに優れた導電性
を有することが判る。 このように本発明合金は、従来のリード材用銅
合金と比較し、リード材に要求される諸特性にお
いて、はるかに優れたもので、リード材又はリー
ドフレームに使用し、顕著な効果を奏するもので
ある。
Claims (1)
- 1 Fe0.05〜0.5wt%、Sn0.05〜0.5wt%、Zn0.05
〜1.5wt%、P0.002〜0.05wt%、残部Cuと不可避
的不純物からなる半導体器のリード材用銅合金。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271582A JPS58130549A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271582A JPS58130549A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58130549A JPS58130549A (ja) | 1983-08-04 |
JPH0310696B2 true JPH0310696B2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=11813120
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1271582A Granted JPS58130549A (ja) | 1982-01-29 | 1982-01-29 | 半導体機器のリ−ド材用銅合金 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58130549A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6299429A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | Kobe Steel Ltd | 剪断加工性に優れるリ−ドフレ−ム材 |
JPH07138678A (ja) * | 1994-05-09 | 1995-05-30 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JPH07138679A (ja) * | 1994-05-09 | 1995-05-30 | Toshiba Corp | ボンディングワイヤー |
JP4781008B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | 異形断面銅合金板及びその製造方法 |
-
1982
- 1982-01-29 JP JP1271582A patent/JPS58130549A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS58130549A (ja) | 1983-08-04 |
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