JPH029894Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、フオトレジスト液、現像液あるいは
エツチング液等の薬液を貯溜する装置において、
薬液が空気と接触しないように、薬液表面を不活
性ガスでパージ（大気中の活性ガスから遮蔽する
こと）可能とした装置に関し、特に、該装置運転
時、または薬液補充時に、薬液表面上の不活性ガ
スを可及的に一定状態とするものである。

〔従来の技術〕

フオトレジスト液、現像液、あるいはエツチン
グ液等の薬液を貯溜容器から回転式基板処理装置
の薬液ノズルに供給する手段としては、例えば、
特開昭57−113226号公報に開示されているよう
に、加圧された窒素ガスを密閉された薬液貯溜容
器に導入して、そのガス圧により薬液を管路に送
り出すようにした装置が知られている。第４図
に、その従来技術の概要を示す。

すなわち、薬液１を貯溜した密閉容器であるタ
ンク２に薬液を処理部に送り出す薬液供給管３を
挿入し、その薬液供給管３の管路の中間に自動弁
４を、末端にノズル５をそれぞれ設置する。該ノ
ズル５の下方には、回転チヤツク７に被処理基板
６を保持し、所要回転数で回転させる。また、タ
ンク２の上面には気体送入管である加圧ガス圧入
管８を接続し、レギユレータ９を経て、窒素等の
ような不活性ガスを加圧してタンク２に供給す
る。

不活性ガスはレギユレータ９によつて、所要の
圧力に調整されてタンク２内に圧入され、その圧
力により密閉されたタンク２内の薬液１を、薬液
供給管３および自動開閉弁４を経てノズル５から
被処理基板６の面に撒布し、被処理基板６に所要
の表面処理を行つていた。

また、他の例として従来の薬液を貯溜する装置
に関して、第５図に示すような装置が知られてい
る。すなわち、空気と接触しないように、薬液表
面を不活性ガスでパージした薬液１を貯溜するタ
ンク２で、該薬液１を往復動形ポンプＰで所要個
所へ送り出す装置が知られている。なお、第５図
を詳しく説明すれば、薬液１を貯溜した、蓋１２
で密閉した密閉容器であるタンク２に、薬液を処
理部に送り出す薬液供給管３を挿入し、該薬液供
給管３には往復動型ポンプＰを介在させている。
また、タンク２の上部にはガス送入管８を接続
し、窒素等の不活性ガスを適宜加圧してタンク２
に供給する。さらに、タンク２の上部には、薬液
１の蒸気やミストが、タンク２内から該タンク２
の設置されている室内にみだりに放出されないよ
う、室外に排出するための排気フアンＦを介在し
た排気配管１０が接続されている。更に、タンク
２に隣接してオーバフロタンク２０を設置し、該
オーバフロタンク２０とタンク２とをオーバフロ
配管１１で接続し、該オーバフロ配管１１の一端
は、タンク２の上面におけるガス送入管８や排気
配管１０の各開口部より若干低い位置で、開口し
ている。該オーバフロタンク２０には薬液１が該
タンク２０に入り過ぎると更にオーバフロさせる
管１４が接続している。

〔従来の技術の問題点〕

第４図、または、第５図に示す従来技術におい
ては次のような不都合が存在している。第４図示
の従来技術においては、タンク２に薬液１を新た
に供給または補給する際、図示しない蓋を開け
ば、該タンク２が設置されている室内の外気がタ
ンク２内に流入し、薬液１に接する不活性ガスを
希釈するという不都合がある。

また、第５図示の従来技術においては、薬液１
を補給する際には、第４図示のものと同様の不都
合があり、更に、運転時には、不活性ガスを適宜
加圧してタンク２内に供給するとともに、排気フ
アンＦを作動させ、排気配管１０′より強制的に
該不活性ガスと薬液１のミストとの混合ガスを前
記したごとく、室外へ排出させているが、かかる
状態ではタンク２内が負圧となりタンク２上と蓋
１２との隙間より、室内外気がタンク２内に流入
し、不活性ガスを希釈して、パージ作用を減じ、
ひいては、薬液１の蒸気化による薬液１の質的変
化を生じるという不都合も発生し、更には、薬液
１の恒温条件も変化するし、塵埃が薬液内に侵入
するという不都合もある。

〔問題点を解決するための手段および作用〕

そこで本考案は、これら従来例の不都合を一挙
に解消しようと試みたもので、薬液貯溜槽内の薬
液表面と、不活性ガス送入管の貯溜槽接続口との
間に、連通孔を有する仕切板を介在させることに
より、薬液に接する不活性ガスの変動を防ぎ、パ
ージ効果を損なわないようにするとともに、一端
が貯溜槽に開口する排気用配管を、その上部が開
口した排気チヤンバーを介して強制排気フアンに
接続することにより貯溜槽内を負圧にしないよう
構成したものが、本考案に係る薬液貯溜装置の主
たる構成である。

更に、貯溜槽上部にそれぞれ開口する不活性ガ
ス供給配管と排気用配管との間に、微小な連通通
孔を有する第２の仕切板を介在させることによ
り、貯溜槽に供給された不活性ガスを直接排気す
ることがないよう構成したものである。

以下、本考案の構成を添付図面に示す実施例に
より詳細に説明する。

〔実施例〕

第１図は本考案に係る薬液貯溜装置の第１の実
施例を示すもので、従来例を示す第４図および第
５図示と同一部分は同一符号で示し、その説明を
省略する。第１の実施例は、往復動型ポンプＰに
よりタンク２内の薬液１を所要個所、例えば第４
図示の被処理基板６の表面に送り出す装置である
が、ここでは、タンク２に接続したガス送入管８
の接続開口と薬液１の表面との間に、仕切板１６
を設け、該仕切板１６には連通孔として微小孔
（図示せず）が多数穿設されている。該タンク２
の近くに上部が開口した排気チヤンバー１３を設
置し、該排気チヤンバー１３の底部に、タンク２
の仕切板１６上で一端を接続開口した排気配管１
０の他端を臨設している。該排気チヤンバー１３
の側面上部には、その途中に排気フアンＦを介在
し、かつ、室外に連通した排気配管１０′の一端
を開口臨設している。

本実施例は叙上の構成になつているので、本装
置の常用運転に際しては、ガス送入管８より適宜
加圧された、例えば窒素ガスをタンク２内の仕切
板１６の微小孔を介して薬液１上に供給し、薬液
１の表面をパージするとともに、余剰の窒素ガス
はその圧力でタンク２内で発生した薬液１の蒸気
やミストとともに排気配管より排気チヤンバー１
３内に排出される。該排気チヤンバー１３内に排
出された窒素ガス等は、室内の外気とともに、排
気フアンＦの吸引作用により室外に放出される。
したがつて、排気チヤンバー１３内はそれ程負圧
にはならず、ひいては、タンク２内は負圧を形成
せず、蓋１２の隙間から室内外気がタンク２内に
浸入することはない。したがつて、タンク２の薬
液１の表面と仕切板１６との間に存在する空間の
窒素ガスは、殆ど滞溜状態で、したがつて薬液１
の蒸気がほぼ飽和状態となり、該空間では窒素ガ
スの流動が少ないため、薬液１の溶媒または溶質
の一方が蒸気化し、その液質が変化することもな
い。

次に、薬液１をタンク２内に補充するに際して
は、薬液１は仕切板１６上に流入するので、蓋１
２を開けたとき、室内の外気がタンク２内に浸入
しても、薬液１の表面上は仕切板１６によつて隔
絶されているので、薬液１の表面上の不活性ガス
は変動しない。しかも、薬液２の補充は仕切板１
６を目安にして注入できるので、従来のようにオ
ーバーフロータンクは必要ではない。

また、この薬液１の補充時には、第１図に２点
鎖線で示すごとく、薬液１にその下端を浸漬した
漏斗１９を蓋１２に対向して仕切板１６に嵌着し
てあれば補充時間が短くなつて好都合である。

第２図は本考案の第２の実施例を示し、ここで
は、前記した第１の実施例に加えて、第２の仕切
板を追加して二重とし、２枚の、微細孔１８を有
する仕切板１６，１７の間に、ガス送入管８の接
続開口を設け、下側の仕切板１６と薬液１の表面
との間に、オーバーフロー配管１１を接続開口
し、該オーバーフロー配管１１の末端を排気チヤ
ンバー１３内の薬液１中に浸漬している。また排
気配管１０の一端は第２の仕切板１７より上部の
タンク２側面に接続開口されており、他端は該排
気チヤンバー１３内の薬液１の上方で開口してい
る。

また、タンク２の底部には、循環ポンプＰ２、
温度制御器T.C.を介在させた循環用配管１５の
両端をそれぞれ接続開口し、薬液１を循環させな
がら所要温度に維持している。なお、本実施例で
も、薬液１を補充する場合には、同図に２点鎖線
で示すごとく、漏斗１９を蓋１２の直下で二重の
仕切板１６，１７を貫通して末端を薬液１中に浸
漬するようにすれば良い。そして、本実施例で
は、第１の実施例に比べ薬液１の表面上の不活性
ガスの変動はさらに少なくなる。

第３図は本考案に係る薬液貯溜装置の第３の実
施例を示し、ここでは第２の実施例における二重
の仕切板１６，１７に、２個の漏斗２０および２
１をそれぞれ付設しているので、第２図に示す実
施例と同様、室内の外気がタンク２内の薬液１の
表面に対し直接接触することはきわめて少ない。

なお、本考案における薬液は現像液に限らずフ
オトレジストまたはエツチング液等でもよく、不
活性ガスも窒素には限らない。

以上要するに本考案は叙上の構成を採択したの
で、以下の効果を奏する。

〔考案の効果〕 薬液貯溜タンク内の薬液表面に対し、空間を
介して仕切板を設け、該仕切板に連通孔を穿設
したので、該タンクに不活性ガスを供給・排出
させても、薬液表面上の不活性ガスは変動がほ
とんどなく、該空間では、薬液の蒸気が飽和状
態となり、薬液の質的変化は生じない。

蓋を開閉して外気がタンク内に流入しても、
仕切板の存在により薬液表面上の不活性ガスは
停滞したままであるので、パージ効果は損なわ
ない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る薬液貯溜装置の第１の実
施例を示す概要図、第２図は同じく第２の実施例
を示す概要図、第３図は同じく第３の実施例を示
す概要図、第４図および第５図は従来例の概要図
を示す。 １……薬液、２……タンク、３……薬液供給
管、８′……ガス供給管、１０……排気配管、１
２……蓋、１３……排気チヤンバー、１６……仕
切板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内部に薬液が貯溜された貯溜槽と、該貯溜槽
   の内側面上部に一端が接続開口した不活性ガス
   供給配管と、該貯溜槽の内側面上部に一端が接
   続開口した排気用配管と、該貯溜槽の内側面
   に、該貯溜槽内の薬液を所要部に供給すべく一
   端が接続開口した薬液供給配管からなる薬液貯
   溜装置において、貯溜槽内の薬液表面と、不活
   性ガス供給配管および排気配管の各開口端との
   間に、連通孔を有する仕切板を付設した薬液貯
   溜装置。 (2) 排気用配管の他端開口を、強制排気手段を有
   する排気チヤンバ内に臨設した、実用新案登録
   請求の範囲第(1)項に記載の薬液貯溜装置。 (3) 貯溜槽内における排気用配管の開口位置を、
   不活性ガス供給配管の開口位置より高くすると
   ともに、再開口位置の間に第２の仕切板を付設
   した、実用新案登録請求の範囲第(1)項に記載の
   薬液貯溜装置。