JPH0294014A - 記録再生複合ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
記録再生複合ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH0294014A JPH0294014A JP63244445A JP24444588A JPH0294014A JP H0294014 A JPH0294014 A JP H0294014A JP 63244445 A JP63244445 A JP 63244445A JP 24444588 A JP24444588 A JP 24444588A JP H0294014 A JPH0294014 A JP H0294014A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/39—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects
- G11B5/3903—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using magneto-resistive devices or effects using magnetic thin film layers or their effects, the films being part of integrated structures
- G11B5/3967—Composite structural arrangements of transducers, e.g. inductive write and magnetoresistive read
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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- G11B5/332—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using thin films
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、記録ヘッドと磁気抵抗効果素子を利用した再
生ヘッドとを複合させた記録再生複合ヘッドと、その製
造方法に係り、特に複数枚の磁気ディスクを用いた磁気
ディスク装置に利用するのに好適な所謂三脚型の複合ヘ
ッドに関する。
生ヘッドとを複合させた記録再生複合ヘッドと、その製
造方法に係り、特に複数枚の磁気ディスクを用いた磁気
ディスク装置に利用するのに好適な所謂三脚型の複合ヘ
ッドに関する。
従来、記録ヘッドと磁気抵抗効果素子を用いた再生ヘッ
ドとを複合させた記録再生複合ヘッドとしては、米国特
許３，９２Ｌ２１７号明細書、同３．９０８１９４号明
細書、同３，９７５，７７２号明細書、特開昭５８−５
０６２２号公報、同特開昭５９−３０２２３号公報等に
記載されている。
ドとを複合させた記録再生複合ヘッドとしては、米国特
許３，９２Ｌ２１７号明細書、同３．９０８１９４号明
細書、同３，９７５，７７２号明細書、特開昭５８−５
０６２２号公報、同特開昭５９−３０２２３号公報等に
記載されている。
ところで、第６図に示すように、記録再生複合ヘッド（
以下、複合ヘッドと略称す）を複数用い、これらの複合
ヘッド１０１〜１０４を一個の移動手段１１０によって
複数枚の磁気ディスク１２１〜１２３の所定位置に位置
決めする磁気ディスク装置において、第７図に示すよう
に、各複合ヘッド１０１〜１０４の記録ヘッドが移動手
段１１０の１つの動作によって磁気ディスクの各面Ｗ−
Ｚの１トラツク１３１〜１３４にデータを記録した場合
、これらの各記録トラック１３１〜１３４に記録された
データを再生するには、有効再生領域（再生ギャップ）
１６１〜１６４を各記録トラック１３１〜１３４に一致
せしめる必要がある。
以下、複合ヘッドと略称す）を複数用い、これらの複合
ヘッド１０１〜１０４を一個の移動手段１１０によって
複数枚の磁気ディスク１２１〜１２３の所定位置に位置
決めする磁気ディスク装置において、第７図に示すよう
に、各複合ヘッド１０１〜１０４の記録ヘッドが移動手
段１１０の１つの動作によって磁気ディスクの各面Ｗ−
Ｚの１トラツク１３１〜１３４にデータを記録した場合
、これらの各記録トラック１３１〜１３４に記録された
データを再生するには、有効再生領域（再生ギャップ）
１６１〜１６４を各記録トラック１３１〜１３４に一致
せしめる必要がある。
しかし乍ら、各複合ヘッド１０１〜１０４毎に記録ギャ
ップと再生ギャップ１６１〜１６４とが第７図に示ず如
くずれδ、〜δ４を夫々持っていた場合、各トラック１
３１〜１３４の一連のデータを正確に読取るためには夫
々のずれδ、〜δ４に応じ再生ヘッド１６１〜１６４を
順次正確に移動させなければならず、そのため、時間が
かかる問題がある。しかも、近年の磁気ディスク装置に
おけるトラック幅が高記録密度化の傾向にあるため、６
〜２０μｍ程度と極めて狭く、それぞれの有効幅の５〜
１０％以内のずれに収める範囲で一致させなければなら
ないので、高精度の位置決めが要求される。
ップと再生ギャップ１６１〜１６４とが第７図に示ず如
くずれδ、〜δ４を夫々持っていた場合、各トラック１
３１〜１３４の一連のデータを正確に読取るためには夫
々のずれδ、〜δ４に応じ再生ヘッド１６１〜１６４を
順次正確に移動させなければならず、そのため、時間が
かかる問題がある。しかも、近年の磁気ディスク装置に
おけるトラック幅が高記録密度化の傾向にあるため、６
〜２０μｍ程度と極めて狭く、それぞれの有効幅の５〜
１０％以内のずれに収める範囲で一致させなければなら
ないので、高精度の位置決めが要求される。
上記に示す従来技術では、何れも各々の複合ヘッドの記
録ヘッドと再生ヘッドとの相対的な位置ｌｓ［％につい
て開示されていない。
録ヘッドと再生ヘッドとの相対的な位置ｌｓ［％につい
て開示されていない。
本発明の目的は、前記従来技術の問題点に鑑み、複数枚
の磁気ディスクを用いた磁気ディスク装置に使用したと
き、一連のデータを短時間で再生することができる記録
再生複合ヘッド及びその製造方法を提供することにある
。
の磁気ディスクを用いた磁気ディスク装置に使用したと
き、一連のデータを短時間で再生することができる記録
再生複合ヘッド及びその製造方法を提供することにある
。
本発明の記録再生複合ヘッドにおいては、互に対向して
記録ギャップを形成する第１．第２の磁気コアと、該第
１．第２の磁気コア間に設けた再主磁極用の磁性膜と、
該磁性膜及び第１．第２の磁気コア間に夫々設け、夫々
が第１．第２の再生ギャップを形成する第１．第２の非
磁性膜とを有し、第１．第２の磁気コア間の記録ギャッ
プと、磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２
の再生ギャップとを互に略同一幅寸法に形成するととも
に、同一中心上に配置している。
記録ギャップを形成する第１．第２の磁気コアと、該第
１．第２の磁気コア間に設けた再主磁極用の磁性膜と、
該磁性膜及び第１．第２の磁気コア間に夫々設け、夫々
が第１．第２の再生ギャップを形成する第１．第２の非
磁性膜とを有し、第１．第２の磁気コア間の記録ギャッ
プと、磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２
の再生ギャップとを互に略同一幅寸法に形成するととも
に、同一中心上に配置している。
また、本発明の記録再生複合へ、ドの製造方法において
は、第１の磁気コア上に、第１の非磁性膜、再生磁極用
の磁性膜、第２の非磁性膜、第２の磁気コアを順次積層
した後、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの何れか一
方の記録媒体側をエツチング処理して、前記一方の磁気
コアから磁性膜までの不要部を一括的に除去し、前記一
方の磁気コアと磁性膜とを略同一幅寸法に形成するとと
もに、同一中心上に配置するようにしている。
は、第１の磁気コア上に、第１の非磁性膜、再生磁極用
の磁性膜、第２の非磁性膜、第２の磁気コアを順次積層
した後、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの何れか一
方の記録媒体側をエツチング処理して、前記一方の磁気
コアから磁性膜までの不要部を一括的に除去し、前記一
方の磁気コアと磁性膜とを略同一幅寸法に形成するとと
もに、同一中心上に配置するようにしている。
複合ヘッドを複数用い、これらを−個の移動手段によっ
て複数枚の磁気ディスクの所定位置に位置決めする磁気
ディスク装置に用いた場合、前述の如く、複合ヘッドの
記録ギャップと第１の再生ギャップと第２の再生ギャッ
プとが互に同一幅寸法に形成されるとともに同一中心」
二に位置しているので、磁気ディスクに記録された一連
のデータを再生するには、何れか一方の複合ヘッドを移
動手段によって一度位置決めするだけで、磁気ディスク
の夫々の面の記録トラックに各複合ヘッドの第１．第２
の再生ギヤツブを一括的に一致させることができる。
て複数枚の磁気ディスクの所定位置に位置決めする磁気
ディスク装置に用いた場合、前述の如く、複合ヘッドの
記録ギャップと第１の再生ギャップと第２の再生ギャッ
プとが互に同一幅寸法に形成されるとともに同一中心」
二に位置しているので、磁気ディスクに記録された一連
のデータを再生するには、何れか一方の複合ヘッドを移
動手段によって一度位置決めするだけで、磁気ディスク
の夫々の面の記録トラックに各複合ヘッドの第１．第２
の再生ギヤツブを一括的に一致させることができる。
その結果、従来のように各複合ヘッドを順次位置決めさ
せることが不要になるので、再生時間を大ｒｉに短縮さ
せることができる。
せることが不要になるので、再生時間を大ｒｉに短縮さ
せることができる。
また、第１の磁気コア上に、第１の非磁性膜。
磁性膜、第２の非磁性膜、第２の磁気コアを順次積層し
、その後、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの何れか
一方をエツチング処理して一方の磁気コアから磁性膜ま
での不要部分を一括的に除去し、前記一方の磁気コアと
磁性膜とを略同一幅寸法に形成するとともに、同一中心
上に配置するように構成したので、前記各ギャップ部分
を一口のエチング処理で形成でき、各それだけ製造工程
を短縮できるとともに、上記記録再生複合ヘッドを確実
に製造し得る。
、その後、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの何れか
一方をエツチング処理して一方の磁気コアから磁性膜ま
での不要部分を一括的に除去し、前記一方の磁気コアと
磁性膜とを略同一幅寸法に形成するとともに、同一中心
上に配置するように構成したので、前記各ギャップ部分
を一口のエチング処理で形成でき、各それだけ製造工程
を短縮できるとともに、上記記録再生複合ヘッドを確実
に製造し得る。
以下、本発明の実施例を第１図乃至第５図により説明す
る。第１図は本発明の第１の実施例を示す記録再生複合
ヘッドの破断斜視図、第２図（ａ）。
る。第１図は本発明の第１の実施例を示す記録再生複合
ヘッドの破断斜視図、第２図（ａ）。
（ｂｌは記録再生複合ヘッドのギャップ部分のエツチン
グ処理を示す説明図、第３図は磁気ディスク記録トラッ
クと再生ギャップとの位置関係を示す説明図である。
グ処理を示す説明図、第３図は磁気ディスク記録トラッ
クと再生ギャップとの位置関係を示す説明図である。
実施例の記録再生複合ヘッド（以下、単に複合ヘッドと
略称ず）は、大別すると、第１回に示すように、第１．
第２の磁気コア１１．１２と、再生磁極用の磁性膜と、
第１．第２の非磁性１１１１４．１５とを有して構成さ
れている。
略称ず）は、大別すると、第１回に示すように、第１．
第２の磁気コア１１．１２と、再生磁極用の磁性膜と、
第１．第２の非磁性１１１１４．１５とを有して構成さ
れている。
前記第１．第２の磁気コアＩＬ １２は互に対向してお
り、その磁気ディスク（図示せず）との対向面１１’、
１２’のうち、第２の磁気コア１１の対向面１１′の幅
を狭めて両者間で記録ギャップを形成している。これら
第１．第２の磁気コア１１．１２は磁気ディスク面上に
位置したとき、電二巻線１６に電流を印加すると、これ
によって生じた起磁力を互に導びき、両者１１．１２間
の磁気ギャップで記録磁界を発生させ、その際、流れる
電流の向きに応じた残留磁気の向きの形として磁気ディ
スク面の所望位置にデータを記録し得るようにしている
。その際、第１．第２の磁気コア１１．１２は記録時の
磁気的飽和が生じないような厚みにすることが望ましく
、通常では１〜４μｍ程度である。
り、その磁気ディスク（図示せず）との対向面１１’、
１２’のうち、第２の磁気コア１１の対向面１１′の幅
を狭めて両者間で記録ギャップを形成している。これら
第１．第２の磁気コア１１．１２は磁気ディスク面上に
位置したとき、電二巻線１６に電流を印加すると、これ
によって生じた起磁力を互に導びき、両者１１．１２間
の磁気ギャップで記録磁界を発生させ、その際、流れる
電流の向きに応じた残留磁気の向きの形として磁気ディ
スク面の所望位置にデータを記録し得るようにしている
。その際、第１．第２の磁気コア１１．１２は記録時の
磁気的飽和が生じないような厚みにすることが望ましく
、通常では１〜４μｍ程度である。
前記磁性膜は第１．第２の磁気コア１１．１２間に設け
られている。さらに詳しく述べると、この磁性膜は第１
．第２の磁気コアＬＬ １２間の同一平面上に夫々積層
された２個のフラックスガイド１３ａ１３ｂのうち、一
方のフラックスガイド１３ａによって構成されている。
られている。さらに詳しく述べると、この磁性膜は第１
．第２の磁気コアＬＬ １２間の同一平面上に夫々積層
された２個のフラックスガイド１３ａ１３ｂのうち、一
方のフラックスガイド１３ａによって構成されている。
夫々のフラックスガイド１３ａは磁気抵抗効果素子１７
の両側方位置に配置されている。磁気抵抗効果素子１７
は磁気量の大きさに応じて抵抗値が変化するものであっ
て、電極２０と接続されている。
の両側方位置に配置されている。磁気抵抗効果素子１７
は磁気量の大きさに応じて抵抗値が変化するものであっ
て、電極２０と接続されている。
前記第１．第２の非磁性膜１４．１５はフラックスガイ
ド１３ａ及び第１．第２の磁気コア１１．１２間に夫々
設けられ、夫々が第１の再生ギャップ１８、第２の再生
ギャップ１９を形成している。即ち、フラックスガイド
１３ａと第１の磁気コア１１との磁気ディスクとの対向
面間で第１の再生ギャップ１８を形成し、またフラック
スガイド１３ａと第２の磁気コア１２との磁気ディスク
との対向面間で第２の再生ギャップ１９を形成している
。
ド１３ａ及び第１．第２の磁気コア１１．１２間に夫々
設けられ、夫々が第１の再生ギャップ１８、第２の再生
ギャップ１９を形成している。即ち、フラックスガイド
１３ａと第１の磁気コア１１との磁気ディスクとの対向
面間で第１の再生ギャップ１８を形成し、またフラック
スガイド１３ａと第２の磁気コア１２との磁気ディスク
との対向面間で第２の再生ギャップ１９を形成している
。
そして、磁気ディスク上に位置したとき、該磁気ディス
クに記録された残留磁気の向きが反転した領域において
は残留磁気の量と向きとに応じて磁界が洩れ出るが、そ
の洩れ磁界に前記フラックスガイド１３ａが位置したと
き、該フラックスガイド１３ａが洩れ磁界による磁束を
吸い込むと、その磁束が磁気抵抗効果素子１７を励磁さ
せると共にフラックスガイド１３ｂを通過し、かつ第１
の磁気コア１１を経て磁気ディスクに還流する第１再生
ギヤツプ経路、若しくは第２の磁気コア１２を経て磁気
ディスクに還流する第２再生ギヤツプ経路を形成し、そ
のとき磁気抵抗効果素子１７の抵抗値が変化することに
よって磁気ディスクのデータを再生し得るようにしてい
る。
クに記録された残留磁気の向きが反転した領域において
は残留磁気の量と向きとに応じて磁界が洩れ出るが、そ
の洩れ磁界に前記フラックスガイド１３ａが位置したと
き、該フラックスガイド１３ａが洩れ磁界による磁束を
吸い込むと、その磁束が磁気抵抗効果素子１７を励磁さ
せると共にフラックスガイド１３ｂを通過し、かつ第１
の磁気コア１１を経て磁気ディスクに還流する第１再生
ギヤツプ経路、若しくは第２の磁気コア１２を経て磁気
ディスクに還流する第２再生ギヤツプ経路を形成し、そ
のとき磁気抵抗効果素子１７の抵抗値が変化することに
よって磁気ディスクのデータを再生し得るようにしてい
る。
従って、フラックスガイド１３ａが洩れ磁界による磁束
を吸い込むことよって第１再生ギャップ経路若しくは第
２再生ギヤツプ経路を形成したとき、その何れの経路に
おいて磁気抵抗効果素子１７の抵抗値及び変化が同様と
なるように第１．第２の非磁性膜１４．１５の厚みを同
じにすることが好ましい。
を吸い込むことよって第１再生ギャップ経路若しくは第
２再生ギヤツプ経路を形成したとき、その何れの経路に
おいて磁気抵抗効果素子１７の抵抗値及び変化が同様と
なるように第１．第２の非磁性膜１４．１５の厚みを同
じにすることが好ましい。
本例では１インチ当たり３万回の磁気反転をさせる如き
高密度記録する場合、フラックスガイド１３ａ、第１．
第２の非磁性膜１４．１５の厚みは０．１５〜０．３
μｍ程度で、記録ギャップは０．４５〜０．９μｍ程度
の大きさである。
高密度記録する場合、フラックスガイド１３ａ、第１．
第２の非磁性膜１４．１５の厚みは０．１５〜０．３
μｍ程度で、記録ギャップは０．４５〜０．９μｍ程度
の大きさである。
なお、第１図において、２１は第２の磁気コア１２と第
２の非磁性膜１５間に設けた第３の非磁性膜であって、
前記各ギャップを除く位置に配置される。
２の非磁性膜１５間に設けた第３の非磁性膜であって、
前記各ギャップを除く位置に配置される。
しかして、前記記録ギャップと第１の再生ギャップ１８
と第２の再生ギャップとは互に同一幅寸法に形成されて
かつ同−中心上に配置されている。
と第２の再生ギャップとは互に同一幅寸法に形成されて
かつ同−中心上に配置されている。
即ち、第２図（ａｌに示すように、第１の磁気コア１１
上に第１の非磁性膜１４、フラックスガイド１３ａ、第
２の非磁性膜１５、第２の磁気コア１２を順次積層した
後、第２の磁気コア１２上に記録ギャップを形成するた
めＡｌ５Ｏ１２Ｓ ｉ ０２等からなるパターンマスク
２２を積み重ね、同図価）に示すように、第２の磁気コ
ア１２からフラックスガイド１３ａまで一括的にイオン
ミーリング等でエツチング処理することにより、第１．
第２の磁気コア１１．１２間の記録ギャップと、フラッ
クスガイド１３ａ、第１の磁気コア１１間の第１の再生
ギャップ１８と、フラックスガイド１３ａ、第２の磁気
コア１２間の第２の再生ギャップ１９とを互に略同一幅
寸法にかつ同−中心上に形成するようにしている。その
ため、エンチング処理時には第２の磁気コア１２から磁
性膜１３までの不要部分を一括的に除去し得るように設
定する必要がある。
上に第１の非磁性膜１４、フラックスガイド１３ａ、第
２の非磁性膜１５、第２の磁気コア１２を順次積層した
後、第２の磁気コア１２上に記録ギャップを形成するた
めＡｌ５Ｏ１２Ｓ ｉ ０２等からなるパターンマスク
２２を積み重ね、同図価）に示すように、第２の磁気コ
ア１２からフラックスガイド１３ａまで一括的にイオン
ミーリング等でエツチング処理することにより、第１．
第２の磁気コア１１．１２間の記録ギャップと、フラッ
クスガイド１３ａ、第１の磁気コア１１間の第１の再生
ギャップ１８と、フラックスガイド１３ａ、第２の磁気
コア１２間の第２の再生ギャップ１９とを互に略同一幅
寸法にかつ同−中心上に形成するようにしている。その
ため、エンチング処理時には第２の磁気コア１２から磁
性膜１３までの不要部分を一括的に除去し得るように設
定する必要がある。
なお、第２図（ｂｌにおいては第１の非磁性膜１４が完
全に除去されず、若干の厚みで第１の磁気コア１１上に
残っているが、第１の再生ギャップ１８は磁性膜として
のフラックスガイド１３ａの幅によって決定されるため
、第１の非磁性膜１４が完全に除去されなくとも特性上
問題ない。
全に除去されず、若干の厚みで第１の磁気コア１１上に
残っているが、第１の再生ギャップ１８は磁性膜として
のフラックスガイド１３ａの幅によって決定されるため
、第１の非磁性膜１４が完全に除去されなくとも特性上
問題ない。
次に実施例の複合ヘッドの動作について述べる。
上記の如き構成の複合ヘッドを複数用い、これらを第３
図に示すように一個の移動手段１１０によって複数枚の
磁気ディスク１２１〜１２３の所定位置に位置決めする
磁気ディスク装置に用いると、前述の如く、複合ヘッド
の記録ギャップと第１の再生ギャップ１８と第２の再生
ギャップ１９とが互に略同一幅寸法に形成されるととも
に同−中心上に位置しているので、磁気ディスク１２１
〜１２３に記録された一連のデータを再生するには、何
れか一方の複合ヘッドを移動手段１１０によって一度位
置決めするだけで、磁気ディスク１２１〜１２３の夫々
の面Ｗ−Ｚの記録トラック１３１〜１３４に各複合ヘッ
ドの第１．第２の再生ギャップ１８．１９を一括的に一
致させることができる。
図に示すように一個の移動手段１１０によって複数枚の
磁気ディスク１２１〜１２３の所定位置に位置決めする
磁気ディスク装置に用いると、前述の如く、複合ヘッド
の記録ギャップと第１の再生ギャップ１８と第２の再生
ギャップ１９とが互に略同一幅寸法に形成されるととも
に同−中心上に位置しているので、磁気ディスク１２１
〜１２３に記録された一連のデータを再生するには、何
れか一方の複合ヘッドを移動手段１１０によって一度位
置決めするだけで、磁気ディスク１２１〜１２３の夫々
の面Ｗ−Ｚの記録トラック１３１〜１３４に各複合ヘッ
ドの第１．第２の再生ギャップ１８．１９を一括的に一
致させることができる。
その結果、従来のように各複合ヘッドを順次位置決めさ
せることが不要になるので、再生時間を大巾に短縮させ
ることができる。
せることが不要になるので、再生時間を大巾に短縮させ
ることができる。
また、実施例では、第１の磁気コア１１上に、第１の非
磁性膜１４、フラックスガイド１３ａ、第２の非磁性膜
１５．第２の磁気コア１２を順次積層し、その後、第２
の磁気コア１２をエツチング処理して第２の磁気コア１
２からフラックスガイド１３ａまでの不要部分を一括的
に除去し、フラックスガイド１３ａ、第１の磁気コア１
１間の第１の再生ギヤツブ１８と、フラックスガイド１
３ａ、第２の磁気コア１２間の第２の再生ギャップ１９
と、第１．第２の磁気コア１１．１２間の記録ギャップ
とを略同一幅寸法に形成するとともに同一中心上に配置
するようにしたので、複合ヘッドの前記ギャップ部分を
一回のエツチング処理で形成でき、それだけ製造工程を
短縮できる。
磁性膜１４、フラックスガイド１３ａ、第２の非磁性膜
１５．第２の磁気コア１２を順次積層し、その後、第２
の磁気コア１２をエツチング処理して第２の磁気コア１
２からフラックスガイド１３ａまでの不要部分を一括的
に除去し、フラックスガイド１３ａ、第１の磁気コア１
１間の第１の再生ギヤツブ１８と、フラックスガイド１
３ａ、第２の磁気コア１２間の第２の再生ギャップ１９
と、第１．第２の磁気コア１１．１２間の記録ギャップ
とを略同一幅寸法に形成するとともに同一中心上に配置
するようにしたので、複合ヘッドの前記ギャップ部分を
一回のエツチング処理で形成でき、それだけ製造工程を
短縮できる。
第４図及び第５図は本発明の他の実施例を示している。
この実施例において前記第１の実施例と異なるのは、再
生磁極用の磁性膜として、磁気抵抗効果素子１７′を用
いた点にある。
生磁極用の磁性膜として、磁気抵抗効果素子１７′を用
いた点にある。
即ち、前記磁気抵抗効果素子１７′は、第１．第２の磁
気コア１１．１２間に、第２の磁気コア１２０幅、即ち
記録ギャップの幅より幅広の形状をなして設けられてい
る。また、磁気抵抗効果素子１７′は、第２の磁気コア
１２と対応する部分からはみ出た位置（実施例では両側
位置）に、その位置における磁気抵抗効果機能を阻害し
得る良導体３Ｌ ３２が設けられている。該良導体３１
．３２は、磁気抵抗効果素子１７′において良導体２Ｌ
２２との接触部分を、その良導体との非接触部分に比
べ抵抗率を著しく小さくすることにより、磁気抵抗効果
素子１７′の接触部分が、実際上磁気抵抗効果として機
能しないようにしている。しかも第１．第２の磁気コア
ＩＬ １２と電気的に短絡することがないように極めて
薄い膜となっている。
気コア１１．１２間に、第２の磁気コア１２０幅、即ち
記録ギャップの幅より幅広の形状をなして設けられてい
る。また、磁気抵抗効果素子１７′は、第２の磁気コア
１２と対応する部分からはみ出た位置（実施例では両側
位置）に、その位置における磁気抵抗効果機能を阻害し
得る良導体３Ｌ ３２が設けられている。該良導体３１
．３２は、磁気抵抗効果素子１７′において良導体２Ｌ
２２との接触部分を、その良導体との非接触部分に比
べ抵抗率を著しく小さくすることにより、磁気抵抗効果
素子１７′の接触部分が、実際上磁気抵抗効果として機
能しないようにしている。しかも第１．第２の磁気コア
ＩＬ １２と電気的に短絡することがないように極めて
薄い膜となっている。
前記良導体３１．３２としては、例えば磁気抵抗効果素
子１７′がＮ１−Ｆｅからなる二元系パーマロイにより
約１６μΩ・Ｃｍの電気抵抗率を有する２０〜５゜ｎｍ
程度の厚みの場合、電気抵抗率２μΩ・ｃｍを有する金
を２０ｏ ｎｍの厚みに形成し、磁気抵抗効果素Ｇ 子１７′における接触部分と非接触部分との抵抗値の比
を、少なくとも１；３２以」−にすることが好ましい。
子１７′がＮ１−Ｆｅからなる二元系パーマロイにより
約１６μΩ・Ｃｍの電気抵抗率を有する２０〜５゜ｎｍ
程度の厚みの場合、電気抵抗率２μΩ・ｃｍを有する金
を２０ｏ ｎｍの厚みに形成し、磁気抵抗効果素Ｇ 子１７′における接触部分と非接触部分との抵抗値の比
を、少なくとも１；３２以」−にすることが好ましい。
従って、磁気抵抗効果素子１７′の第２の磁気コア１２
と対応する部分のみが再生磁極として動作するようにし
ている。
と対応する部分のみが再生磁極として動作するようにし
ている。
このような複合ヘッドを製造するには、第５図（ａ）に
示すように、第１の磁気コア１１上に、第１の非磁性膜
１４、磁気抵抗効果素子１７′、第２の非磁性膜１５、
第２の磁気コア１２を順次積層した後、第２の磁気コア
１２をエツチング処理し、次いで同図（ｂ）に示すよう
に、第２の磁気コア１２をパターンマスクとして第２の
非磁性膜１５をエツチング処理し、磁気抵抗効果素子１
７′を露出させる。この場合、磁気抵抗効果素子１７め
表面までエツチングされるおそれがあるが、第２の非磁
性膜１５をＳ ｉ ０゜３ ｉ ０２ 、 Ｓ ｉ：
＋Ｎ４等の硅素系絶縁材によって構成しておけば、例え
ば弗素系プラズマにさらしてエツチング処理することに
より、磁気抵抗効果素子１７′に損傷を与えることなく
第２の非磁性膜１５を確実にエツチング処理できる。
示すように、第１の磁気コア１１上に、第１の非磁性膜
１４、磁気抵抗効果素子１７′、第２の非磁性膜１５、
第２の磁気コア１２を順次積層した後、第２の磁気コア
１２をエツチング処理し、次いで同図（ｂ）に示すよう
に、第２の磁気コア１２をパターンマスクとして第２の
非磁性膜１５をエツチング処理し、磁気抵抗効果素子１
７′を露出させる。この場合、磁気抵抗効果素子１７め
表面までエツチングされるおそれがあるが、第２の非磁
性膜１５をＳ ｉ ０゜３ ｉ ０２ 、 Ｓ ｉ：
＋Ｎ４等の硅素系絶縁材によって構成しておけば、例え
ば弗素系プラズマにさらしてエツチング処理することに
より、磁気抵抗効果素子１７′に損傷を与えることなく
第２の非磁性膜１５を確実にエツチング処理できる。
その後、磁気抵抗効果素子１７′の第２の磁気コア１２
と対応する部分からはみ出た位置に第５図（Ｃ１に示す
ように、良導体３１．３２を電解めっき等によっの場合
、良導体３１．３２を電解めっき等によって積層する代
わり、図示していないが、磁気抵抗効果素子１７′のは
み出た位置にＧｏ、Ａβ等の金属若しくはＳｍ等のよう
な第３元素をイオン打込みし、前記はみ出た位置を著し
く高保持力化させ、該はみ出た位置の磁気的動作を劣化
させることにより、そのはみ出た位置の磁気抵抗効果機
能を阻害することもできる。
と対応する部分からはみ出た位置に第５図（Ｃ１に示す
ように、良導体３１．３２を電解めっき等によっの場合
、良導体３１．３２を電解めっき等によって積層する代
わり、図示していないが、磁気抵抗効果素子１７′のは
み出た位置にＧｏ、Ａβ等の金属若しくはＳｍ等のよう
な第３元素をイオン打込みし、前記はみ出た位置を著し
く高保持力化させ、該はみ出た位置の磁気的動作を劣化
させることにより、そのはみ出た位置の磁気抵抗効果機
能を阻害することもできる。
上記の如き工程により、第１．第２の再生ギヤツブ１８
．１９と記録ギャップとを路間−路寸法に形成できると
ともに同一中心上に位置できる。
．１９と記録ギャップとを路間−路寸法に形成できると
ともに同一中心上に位置できる。
その後、第５図（ｄ）に示すように保護膜３３を積層し
、かくして複合ヘッドを製造する。
、かくして複合ヘッドを製造する。
なお、この実施例では、磁気抵抗効果素子１７′の第２
の磁気コア１２との対応する部分からはみ出た位置に、
図示の如く良導体を積層した例を示したが、−１−述の
如く、第３元素をイオン打込みすることによって前記は
み出た位置の保持力を高め、かつ磁気的動作を劣化させ
るようにすることもでき、何れにしろ要は磁気抵抗効果
素子１７′のはみ出た位置において磁気抵抗効果機能を
阻害すれば良い。
の磁気コア１２との対応する部分からはみ出た位置に、
図示の如く良導体を積層した例を示したが、−１−述の
如く、第３元素をイオン打込みすることによって前記は
み出た位置の保持力を高め、かつ磁気的動作を劣化させ
るようにすることもでき、何れにしろ要は磁気抵抗効果
素子１７′のはみ出た位置において磁気抵抗効果機能を
阻害すれば良い。
以上述べたように、本発明によれば互に対向して記録ギ
ャップを形成する第１．第２の磁気コアと、該第１．第
２の磁気コア間に設けた再生磁極用の磁性膜と、該磁性
膜及び第１．第２の磁気コア間に夫々設け、夫々が第１
．第２の再生ギャップを形成する第１．第２の非磁性膜
とを有し、第１、第２の磁気コア間の記録ギャップと、
磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２の再生
ギャップとを互に略同一幅寸法に形成するとともに、同
一中心上に配置する構成としたので、磁気ディスク装置
に複数用いても、磁気ディスクの夫々の面の記録トラッ
クに各記録再生複合のヘッドの第１．第２の再生ギヤツ
ブを一括的に一致させることができる結果、一連のデー
タを再生するのに各ヘッドを順次位置決めさせることが
不要になり、再生時間を大幅に短縮し得る効果がある。
ャップを形成する第１．第２の磁気コアと、該第１．第
２の磁気コア間に設けた再生磁極用の磁性膜と、該磁性
膜及び第１．第２の磁気コア間に夫々設け、夫々が第１
．第２の再生ギャップを形成する第１．第２の非磁性膜
とを有し、第１、第２の磁気コア間の記録ギャップと、
磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２の再生
ギャップとを互に略同一幅寸法に形成するとともに、同
一中心上に配置する構成としたので、磁気ディスク装置
に複数用いても、磁気ディスクの夫々の面の記録トラッ
クに各記録再生複合のヘッドの第１．第２の再生ギヤツ
ブを一括的に一致させることができる結果、一連のデー
タを再生するのに各ヘッドを順次位置決めさせることが
不要になり、再生時間を大幅に短縮し得る効果がある。
また、本発明方法によれば、第１の磁気コア上に、第１
の非磁性膜、再生磁極用の磁性膜、第２の非磁性膜、第
２の磁気コアを順次積層した後、第１の磁気コアと第２
の磁気コアとの何れか一方の記録媒体側をエツチング処
理して、前記一方の磁気コアから磁性膜までの不要部を
一括的に除去し、前記一方の磁気コアと磁性膜とを略同
一幅寸法に形成するとともに、同一中心上に配置するよ
うにしたので、第１．第２の磁気コア間の記録ギャップ
と、磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２の
再生ギヤツブとを一回のエツチング処理で形成でき、そ
れだけ製造工程を短縮できるとともに、上記記録再生複
合ヘッドを確実に製造し得る。
の非磁性膜、再生磁極用の磁性膜、第２の非磁性膜、第
２の磁気コアを順次積層した後、第１の磁気コアと第２
の磁気コアとの何れか一方の記録媒体側をエツチング処
理して、前記一方の磁気コアから磁性膜までの不要部を
一括的に除去し、前記一方の磁気コアと磁性膜とを略同
一幅寸法に形成するとともに、同一中心上に配置するよ
うにしたので、第１．第２の磁気コア間の記録ギャップ
と、磁性膜及び第１．第２の非磁性膜間の第１．第２の
再生ギヤツブとを一回のエツチング処理で形成でき、そ
れだけ製造工程を短縮できるとともに、上記記録再生複
合ヘッドを確実に製造し得る。
さらに、本発明方法によれば、第１の磁気コア上に、第
１の非磁性膜、記録ギャップの幅寸法より幅広の形状を
なす再生磁極用の磁気抵抗効果素子、第２の非磁性膜、
第２の磁気コアを順次積層した後、第２の磁気コアをエ
ツチング処理し、次いで第２の磁気コアをパターンマス
クとして第２の非磁性膜をエツチング処理して磁気抵抗
効果素子を露出させ、その後、磁気抵抗効果素子の第２
の磁気コアと対応する部分からはみ出た位置に、該位置
において磁気抵抗効果機能を破壊させる処理を行なうよ
うにしたので、記録再生複合を確実に製造できる。
１の非磁性膜、記録ギャップの幅寸法より幅広の形状を
なす再生磁極用の磁気抵抗効果素子、第２の非磁性膜、
第２の磁気コアを順次積層した後、第２の磁気コアをエ
ツチング処理し、次いで第２の磁気コアをパターンマス
クとして第２の非磁性膜をエツチング処理して磁気抵抗
効果素子を露出させ、その後、磁気抵抗効果素子の第２
の磁気コアと対応する部分からはみ出た位置に、該位置
において磁気抵抗効果機能を破壊させる処理を行なうよ
うにしたので、記録再生複合を確実に製造できる。
第１図は本発明の第１の実施例を示す記録再生複合ヘッ
ドの破断斜視図、第２図（ａ＋、 （ｂｌは記録再生複
合ヘッドのギャップ部分のエツチング処理を示す説明図
、第３図は磁気ディスクの記録トランクと記録再生複合
ヘッドの再生ギャップとの位置関係を示す説明図、第４
図は本発明の他の実施例を示す記録再生複合ヘッドの破
断斜視図、第５図（ａ）〜（ｂｌは第４図の記録再生複
合ヘッドを製造工程順に示す説明図、第６図は記録再生
複合ヘッドを磁気ディスク装置に用いた説明図、第７図
は記録再生複合ヘッドの再生ギャップと磁気ディスクの
記録トラックとの位置関係を示す説明図である。 １１・・・第１の磁気コア、１２・・・第２の磁気コア
、１３ａ・・・再生磁極用の磁性膜としてのフラックス
ガイド、１３ｂ・・・フラックスガイド、１４・・・第
１の非磁性ギャップ、３１．３２・・・良導体。
ドの破断斜視図、第２図（ａ＋、 （ｂｌは記録再生複
合ヘッドのギャップ部分のエツチング処理を示す説明図
、第３図は磁気ディスクの記録トランクと記録再生複合
ヘッドの再生ギャップとの位置関係を示す説明図、第４
図は本発明の他の実施例を示す記録再生複合ヘッドの破
断斜視図、第５図（ａ）〜（ｂｌは第４図の記録再生複
合ヘッドを製造工程順に示す説明図、第６図は記録再生
複合ヘッドを磁気ディスク装置に用いた説明図、第７図
は記録再生複合ヘッドの再生ギャップと磁気ディスクの
記録トラックとの位置関係を示す説明図である。 １１・・・第１の磁気コア、１２・・・第２の磁気コア
、１３ａ・・・再生磁極用の磁性膜としてのフラックス
ガイド、１３ｂ・・・フラックスガイド、１４・・・第
１の非磁性ギャップ、３１．３２・・・良導体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、互に対向して記録ギャップを形成する第１、第２の
磁気コアと、該第１、第２の磁気コア間に設けた再生磁
極用の磁性膜と、該磁性膜及び第１、第２の磁気コア間
に夫々設け、夫々が第１、第２の再生ギャップを形成す
る第１、第２の非磁性膜とを有し、第１、第２の磁気コ
ア間の記録ギャップと、磁性膜及び第１、第２の非磁性
膜間の第１、第２の再生ギャップとを互に略同一幅寸法
に形成するとともに、同一中心上に配置したことを特徴
とする記録再生複合ヘッド。 ２、前記再生磁極用の磁性膜を、第１、第２の磁気コア
間の同一平面上に夫々設けかつ磁気抵抗効果素子の両側
位置に配置した２個のフラックスガイドの一方で構成し
たことを特徴とする請求項１記載の記録再生複合ヘッド
。 ３、前記再生磁極用の磁性膜を、記録ギャップの幅寸法
より幅広の形状をなしかつ記録ギャップと対応する部分
からはみ出た位置のみが磁気抵抗効果機能を阻害されて
いる磁気抵抗効果素子で構成したことを特徴とする請求
項１記載の記録再生複合ヘッド。 ４、前記磁気抵抗効果素子は、記録ギャップと対応する
部分からはみ出た位置に電気抵抗率の小さい良導体を積
層していることを特徴とする請求項３記載の記録再生複
合ヘッド。５、前記磁気抵抗効果素子は、記録ギャップ
と対応する部分からはみ出た位置に第３元素をイオン打
込みし、該はみ出た位置を高保持力化させたことを特徴
とする請求項３記載の記録再生複合ヘッド。 ６、第１の磁気コア上に、第１の非磁性膜、再生磁極用
の磁性膜、第２の非磁性膜、第２の磁気コアを順次積層
した後、第１の磁気コアと第２の磁気コアとの何れか一
方の記録媒体側をエッチング処理して、前記一方の磁気
コアから磁性膜までの不要部を一括的に除去し、前記一
方の磁気コアと磁性膜とを略同一幅寸法に形成するとと
もに、同一中心上に配置することを特徴とする記録再生
複合ヘッドの製造方法。 ７、第１の磁気コア上に、第１の非磁性膜、記録ギャッ
プの幅寸法より幅広の形状をなす再生磁極用の磁気抵抗
効果素子、第２の非磁性膜、第２の磁気コアを順次積層
した後、第２の磁気コアをエッチング処理し、次いで第
２の磁気コアをパターンマスクとして第２の非磁性膜を
エッチング処理して磁気抵抗効果素子を露出させ、その
後、磁気抵抗効果素子の第２の磁気コアと対応する部分
からはみ出た位置に、該位置における磁気抵抗効果機能
を阻害する処理を行なうことを特徴とする記録再生複合
ヘッドの製造方法。 ８、前記磁気抵抗効果機能を阻害する処理は、磁気抵抗
効果素子の第２の磁気コアと対応する部分からはみ出た
位置に、電気抵抗率の小さい良導体を電解めっきによっ
て積層することを特徴とする請求項７記載の記録再生複
合ヘッドの製造方法。 ９、前記磁気抵抗効果機能を阻害する処理は、磁気抵抗
効果素子の第２の磁気コアと対応する部分からはみ出た
位置に第３元素をイオン打込みし、該はみ出た位置を高
保持力化することを特徴とする請求項７記載の記録再生
複合ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63244445A JP2761223B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 記録再生複合ヘッド及びその製造方法 |
| US07/413,329 US5079662A (en) | 1988-09-30 | 1989-09-27 | Compound magnetic head having a recording head and a reproducing magnetoresitive head integrated therein |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63244445A JP2761223B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 記録再生複合ヘッド及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0294014A true JPH0294014A (ja) | 1990-04-04 |
| JP2761223B2 JP2761223B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=17118758
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63244445A Expired - Lifetime JP2761223B2 (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 | 記録再生複合ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5079662A (ja) |
| JP (1) | JP2761223B2 (ja) |
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Also Published As
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