JPH0291958A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は搬送装置に関する。

（従来の技術） 例えば、液晶表示体（以降、ＬＣＤと称する）基板の製
造工程においては、四角形のガラス基板に種々の熱処理
や化学処理、洗滌等が実施されることは周知の通りであ
る。

液晶表示体に各種処理を施す場合、従来は、ＬＣＤ基板
をカセット内に多数収納し、このカセットから各種処理
部の載置部、例えばプラズマエツチングの下部電極面ま
で搬送している。

そして、処理後、例えばエツチング後、カセットに搬送
して戻している。このような搬送装置は、ＬＣＤ基板を
プリアライメント（粗位置決め）位置に移し替え、この
ＬＣＤ基板の方向性をプリアライメントして処理部の載
置台、例えばプラズマエツチングの下部電極等、まで搬
送しているものが一般的に実用されている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記ＬＣＤ基板の搬送装置では、保持体
に載置されたＬＣＤ基板の方向性を一定方向にプリアラ
イメント（粗位置決め）させて所定位置に搬送させてい
る。

このため、搬送路の途中にプリアライメントエリア部を
設け、このプリアライメントエリアにＬＣＤ基板を移し
替え、プリアライメントした後、再び搬送路に戻し、所
定位置に搬送しているので、搬送時間の短縮が困雅であ
・った。

さらに、搬送路の途中にブリアライメントエリアを新た
に設けているので、搬送装置を小型化させることも困難
であった。

本発明の目的とするところは、上記問題点に鑑みなされ
たもので、保持体に板状体を載置することにより、自動
的にプリアライメントされるようにして、板状体の搬送
における搬送時間を改善し、しかも、装置を小型化可能
な搬送装置を提供することにある。

本発明は、板状体を対接する如く保持体に載置し、この
保持体を所定位置に搬送する装置で上記保持面に上記板
状体を載置する際に、上記板上体が位置決めされる如く
上記保持面にプリアライメント機構を設けたことを特徴
としている。

（作用効果） 上記保持面に上記板状体を載置する際に、上記板上体が
位置決めされる如く上記保持面にプリアライメント機構
を設けたので、上記板状体を保持面に対接するように載
置すると、上記板状体のプリアライメント機構１例えば
３側辺が上記保持体の３側辺で拘束されるように当接し
、プリアライメントする。

即ち、上記保持体に上記板状体を載置すると自動的に上
記板状体の方向性がプリアライメントすることになる。

よって、搬送路の途中でプリアライメントに移し替える
ことなく所定位置に搬送させることができる。

従って、板状体を搬送する搬送時間を改善させることが
可能になる。

しかも、搬送装置を小型化させることも可能になる。

（実施例） 以下、本発明装置を液晶表示体（以下、ＬＣＤと略記す
る）基板搬送装置に適用した一実施例について図面を参
照して説明する。

上記ＬＣＤ基板搬送装置は第４図に示すように、板状体
、例えば、ＬＣＤ基板（１）を対接して載置する保持部
■と、上記ＬＣＤ基板■を載置した保持部■を所望位置
、例えばプラズマエツチング装置■の下部電極面（イ）
に移動させる搬送部■とから構成されている。

このようなＬＣＤ基板搬送装置０において、搬送時間の
改善及び装置の小型化の改善が望まれている。

本実施例の特徴的構成は、上記方形状ＬＣＤ基板■の隣
り合う３側辺に位置決めのためのストッパと当接するよ
うに衝止してプリアライメントする機構を上記基板■の
保持体、例えば支持体に設けたことにある。

即ち、第１図に示すように、上記ＬＣＤ基板■の３側辺
を衝止するためのストッパ■を夫々の側辺、例えば略中
間点位置（側辺長の等分位置）＠に設けている。

さらに、上記ストッパ■には、保持体■の支持面（９ａ
、　９ｂ、　９ｃ、　９ｄ）にＬＣＤＣＤ基板化置する
際に。

上記保持体中心（１０）と、ＬＣＤ基板中心（１１）と
を略同心軸的に載置する如く構成している。

そして、上記ストッパ■は、支持面（９ａ　、　９ｂ　
、　９ｃ　。

９ｄ）に上記ＬＣＤ基板（１）の３側辺例えば、上側辺
（１ａ）、左側辺（１ｂ）及び上側辺（ＩＣ）を拘束す
る如く３ケ所設けられている。

この３ケ所のストッパ■はＬＣＤＣＤ基板化持面（９ａ
、　９ｂ、　９ｃ、　９ｄ）に載置した際に、ＬＣＤ基
板（１）の荷重を支持する４ケ所の支持面例えば幅９　
ｍｍ　Ｘ長さ２０ｎｎの支持面（９ａ、　９ｂ、　９ｃ
、　９ｄ）のうち３ケ所例えば、保持体中心（１０）の
上部側の支持面（９ａ）、左部側の支持面（９ｂ）及び
下部側の支持面（９Ｃ）と直交して各々設けられている
。

尚、上記支持面（９ａ、　９ｂ、　９ｃ）と直交したス
トッパ■のストッパの内側面には、ＬＣＤＣＤ基板化を
付けない部材、例えばプラスチック等が平滑に付設され
ている。

また、上記保持体（９）の底面（９ｅ）には、この保持
体０）を所定の位置に移動させる搬送部■が設けられて
いる。

この搬送部■は、上記保持部■の裏面に設けられ、例え
ばＬＣＤＣＤ基板化納されたカセット（第３図中１２）
から取り出して、プラッマエッチング装置（第３図中３
）の下部電極面（第３図中４）に搬送する如く設けられ
ている。即ち、上記搬送部（第３図中５）は、各種公知
であるので、説明を概略的に説明する。

上記搬送部■は、上記保持体（９）を直線方向に伸縮自
在に移動する直線駆動機構（１３）と、上記直線駆動機
構（１３）の端部を水平領域向を回転する回転機構（１
４）と、この回転機構（１４）を固着するための基台（
１５）とから構成されている。

そして、上記搬送部■を予め記憶されたプログラムに従
って所定の角度まで回転し、さらに所定の直線方向の位
置まで伸縮する如く、駆動回路（１６）及び制御する制
御部（ｃｐｕ）（１７）が設けられている。

次に、装置の動作について説明する。

第３図に示すように、上記ＬＣＤ基板搬送装置の駆動ス
イッチをＯＮ状態に入れる。この装置の搬送部０の回転
機構（１４）は予め記憶されたプログラムに基づいて、
所定の方向１例えばＬＣＤＣＤ基板力納されたカセット
方向（１２）に上記保持体０を回転させて、保持体０）
をカセット（１２）方向に向ける。

このカセット（１２）方向への回転操作の終了信号を別
の装置、例えばカセット（１２）の取出し口の反対側か
らＬＣＤＣＤ基板力出す装置（１８）に送信する。

この送信と同時に、直線駆動ｍ４１！（１３）を予め記
憶されたプログラムに従って所定の位置、例えば上記カ
セット（１２）の取出入れ口（１２ａ）と隣り合う位置
まで移動する。

すると、上記カセット（１２）側の制御部（ｃｐｕ）　
（１６）に内蔵された記憶装置のプログラムに基づいて
、押出し装置（１８）が稼働して、カセット（１２）か
らしＣＤ基板■を押し出して、隣設している保持体０）
のストッパ■を配置しない側辺より挿入し始める。

この挿入においては、押出し装置で押出されたＬＣＤ基
板のはカセット（１２）内の側面の溝部をガイドとして
用いているので、押出されて保持体■に載置した時は、
一定の角度のバラツキ内に許容しており、これを、保持
体０）の上部側、左部側及び下部側に設けたストッパ■
によって、プリアライメントする。

即ち、上記ＬＣＤ基板■の左側辺（１ｂ）が上記保持体
（９）の左側辺（ｌｂ）に突設したストッパ■と衝止す
ると、上記保持体中心（１０）と上記ＬＣＤ基板中心（
１１）とが略同位置になりＬＣＤＣＤ基板力向が設定方
向にプリアライメントされたことになる。

このプリアライメントされたＬＣＤＣＤ基板力送部■の
駆動によって、回転、例えば９０″回転させて、下部電
極側に向け、さらに保持体■を固着した伸縮自在な直線
駆動機構（１３）を伸長して、所定位置例えばプラズマ
エツチング装置■の下部電極面（イ）より上部に突設し
た３本ピン（１９）の頂面に到達する。そして、この３
本ピン（１９）を介在させて。

上記下部電極面＠）上にＬＣＤＣＤ基板力置する。

そして、エツチング処理し、処理後のＬＣＤＣＤ基板力
上記下部電極面（イ）より同様にして、カセット（１２
）内に戻す。このようにしてＬＣＤＣＤ基板力持体０に
載置すると共に、プリアライメントして所定位置に搬送
する。

このようにカセット内に戻すにしても、プリアライメン
トをすることにより方形体を円滑にローデングできる。

上記実施例では、ＬＣＤＣＤ基板力持体（９）に載置す
る時に、カセット（１２）から押出し装置を用いて押出
すように説明したが、これに限定することはなくロボッ
トハンドにより、ＬＣＤＣＤ基板力側辺を保持可能な方
法で受は渡すようにしても良い。

また、この保持面上に、オペレータが載置しても良い。

上記実施例ではカセット（１２）から、プラズマエンチ
ング装置の下部電極面（へ）にＬＣＤＣＤ基板条送する
ように説明したが、これに限定されるものではなく、Ｃ
ＭＤ装置処理装置、半導体ウェハを測定する検査装置、
ウエハプローバにおいても使用しても良い。

上記実施例では、保持体０の形状を三本指を立てた形状
にしたが、真中の指形状は、例えばプラズマエツチング
装置■の下部電極面０）に突設した３本ピン（１９）に
受は渡した後、上記保持体の）を上記下部電極面（へ）
から退避容易にしたもので、これに限定するものではな
い。

上記実施例の効果、保持体に載置されたＬＣＤ基板の３
側辺を拘束するように係合させてプリアライメントする
ように構成したので、搬送時間を改善させることが可能
になる。

また、従来より小型化させることも可能である。

さらに上記ＬＣＤ基板■の３側辺を用いてプリアライメ
ントしているので前工程によってＬＣＤ基板の隅部が破
損したものであってもプリアライメントすることが可能
である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明装置の一実施例を説明するための保持
部説明図、 第２図は、第１図のＩ−Ｉ線の側断面説明図、第３図は
、第１図の装置をＬＣＤ基板搬送装置に用いた一実施例
を説明するための動作説明図、第４図は第３図のＬＣＤ
基板搬送装置の構成説明図である。 Ｌ　　ＬＣＤ基板　　　　２　保持部 ５　搬送部 ６　　ＬＣＤ基板搬送装置 ７　ストッパ 第１図 中間点位置（側辺長の等分位置） 保持体　　　　　　９ａ　、　９ｂ　、　９ｃ　、　９
ｄ　　支持面保持体中心　　　　１１　　ＬＣＤ基板中
心直線駆動機楕機構　１４　　回転機構 基　台　　　　　　１６　　駆動回路 制御部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 板状体を対接する如く保持体に載置し、この保持体を所
   定位置に搬送する装置で上記保持面上に上記板状体を載
   置した際に、上記板状体が位置決めされる如く、上記保
   持面にプリアライメント機構を設けたことを特徴とする
   搬送装置。