JPH0287038A - 振動発生機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は振動発生機に関するものである。

（従来の技術及びその問題点） テーブルを直交する３軸方向に振動させる振動発生機の
従来例としては、例えば特開昭６２−１５２５８０号公
報を挙げることができる。この装置は、Ｚ方向加振台上
にテーブル支持軸を、Ｘ−Ｙ平面内で移動可能に支持し
たものであって、テーブル支持軸の内部を中空にし、こ
の中空部に適当数の静圧軸受を配置すると共に、これら
静圧軸受でテーブル支持軸をｘ、ｙ、ｚの各方向に移動
可能に支持し、静圧軸受をｘ、Ｙ各方向の加振台に接続
した構造のものである。

ところで従来の上記構造の振動発生機では、上記のよう
にテーブル支持軸の内側中空部に静圧軸受を配置しであ
ることに起因して次のような欠点が生ずる。まず第１に
は、構造が複雑になってコストアップを招くということ
であり、また第２には、中空部の存在により剛性の低下
を招（ということである。

この発明は上記した従来の欠点を解決するためになされ
たものであって、その目的は、構造の簡素化が可能であ
ると共に、充分な剛性を確保することの可能な振動発生
機を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） そこでこの発明の振動発生機では、Ｚ軸方向の振動台に
静圧軸受を介してテーブル支持軸をＸＹ平面内でのみ移
動自在に支持し、上記テーブル支持軸の外周部には、こ
のテーブル支持軸をＺ軸方向に移動可能に支持するテー
ブル支持軸用静圧軸受を取着する一方、上記テーブル支
持軸用静圧軸受の相対向する一対の側部において、一方
には第１静圧軸受を、他方には第２静圧軸受をそれぞれ
取着すると共に、上記テーブル支持軸用静圧軸受を、上
記第１静圧軸受でＸ−Ｙ平面内でのみ移動可能に、また
第２静圧軸受でＹ軸方向にのみ移動可能に支持すべく構
成し、上記第２静圧軸受をＸ方向加振台に接続する一方
、上記テーブル支持軸用静圧軸受の相対向する他方の一
対の側部において、一方には第１静圧軸受を、他方には
第２静圧軸受をそれぞれ取着すると共に、上記テーブル
支持軸用静圧軸受を、上記第１静圧軸受でＸ−Ｙ平面内
でのみ移動可能に、また第２静圧軸受でＸ方向にのみ移
動可能に支持すべく構成し、上記第２静圧軸受をＸ方向
加振台に接続しである。

（作用） 上記振動発生機では、テーブル支持軸の外周部にテーブ
ル支持軸用静圧軸受を取着し、このテーブル支持軸用静
圧軸受を適数個の静圧軸受でＸ、Ｙの各方向に移動可能
に支持する構造を採用しているので、従来のように中空
部内に静圧軸受を配置する構造に比較して、その構造が
簡素となる。

また中空部の存在に起因する剛性低下という不具合も生
じない。

（実施例） 次にこの発明の振動発生機の具体的な実施例について、
図面を参照しつつ詳細に説明する。

第１図において、１はベースであって、このベース１上
に、Ｚ軸方向（図において上下方向）の振動発生機構２
が配置されている。この振動発生機構２は、基部３と、
この基部３の軸心部の位置において、静圧軸受４を介し
てＸ方向移動自在に支持された加振台５とを有しており
、基部３の周囲に配置した励磁コイル６と、加振台５に
取着した駆動コイル７とによって加振台５をＸ方向に振
動し得るようなされている。

上記加振台５の上部には、静圧軸受８を介してテーブル
支持軸９の下端部が支持されているが、このテーブル支
持軸９は静圧軸受８にてＸ方向にのみ拘束され、Ｘ−Ｙ
平面内で自由に移動し得るようなされている。上記テー
ブル支持軸９の外周部には、このテーブル支持軸９をＸ
方向に移動可能に支持するテーブル支持軸用静圧軸受１
０が取着されている。なおテーブル支持軸９は断面四角
形に形成され、その上端部には、補助テーブル１１が一
体的に形成されている。

上記テーブル支持軸用静圧軸受ｌＯにおいては、四側部
のうち、相対向する一対の側部に第１及び第２支持杆１
２．１３が固着され、第１支持杆１２の先端部には第１
静圧軸受１４が、また第２支持杆１３の先端部には第２
静圧軸受１５がそれぞれ接続されている。上記第１静圧
軸受１４は、その支持側１４ａがベース１に対して固定
されたものであって、上記テーブル支持軸用静圧軸受１
０を、Ｘ方向には拘束するものの、Ｘ−Ｙ平面内で移動
自在に支持している。一方、第２静圧軸受１５は、■型
静圧軸受であって、その支持側１５ａがＸ方向加振台１
６に接続され、上記テーブル支持軸用静圧軸受１０をＸ
、Ｘ方向に対しては拘束するものの、Ｙ方向には移動自
在に支持している。Ｘ方向振動発生機構１７は、上記Ｘ
方向振動発生機構２と同一構造のものであって、基部１
Ｂに静圧軸受１９を介してＸ方向移動自在に支持された
Ｘ方向加振台１６を有し、振動発生用の励磁コイル２０
と駆動コイル２１とを備えたものである。そして前述の
通り、Ｘ方向加振台１６に第２静圧軸受１５の支持側１
５ａが接続されているのである。なおＸ方向に対する振
動発生のメカニズム及び各部支持構造は、第２図に示す
ように、Ｘ方向に対するものと全く同一で、第１及び第
２静圧軸受２４．２５、Ｘ方向加振台２６、Ｘ方向振動
発生機構２７を備えたものであるため、その詳細な説明
は省略する。

上記した振動発生機では、Ｘ方向の振動に関しては、Ｘ
方向側の第２静圧軸受１５が剛体継手として機能し、Ｘ
方向側の第１及び第２静圧軸受２４．２５がガイド軸受
となり、この状態で、テーブル支持軸９はＸ方向両端部
を、第１静圧軸受１４と、Ｘ方向振動発生機構１７の静
圧軸受１９とによって支持されることになり、一体向な
振動構造となる。この結果、剛性が向上し、またＸ方向
への動きがスムーズになる。なお上記は、Ｘ方向に関し
ても全く同様である。

一方、Ｘ方向に関しては、補助テーブル１１とＸ方向加
振台５とを連結する静圧軸受８が剛体継手として機能し
、上部をテーブル支持軸用静圧軸受１０、下部をＸ方向
振動発生機構２の静圧軸受４にてそれぞれ支持された一
体的な振動構造となり、この結果、剛性が向上すると共
に、Ｘ方向への動きもスムーズになる。

以上のように上記振動発生機では、テーブル支持軸９の
外周部にテーブル支持軸用静圧軸受１０を取着し、この
テーブル支持軸用静圧軸受１０を適数個の静圧軸受１４
．１５．２４．２５でＸ、Ｙの各方向に移動可能に支持
する構造を採用しているので、従来のように中空部内に
静圧軸受を配置する構造に比較して、その構造が簡素と
なる。

また中空部の存在に起因する剛性低下という不具合も生
じない。

以上にこの発明の振動発生機の一実施例の説明をしたが
、この発明は上記実施例に限定されるものではなく、例
えば各第２静圧軸受として、■型静圧軸受に代えてＴ型
静圧軸受を使用する等、種々変更して実施することが可
能である。またｘｌＹ、Ｚの各方向も図示した実施例に
限られず、任意の方向に選択可能である。

（発明の効果） この発明の振動発生機は上記のように構成されたもので
あり、そのためこの発明の振動発生機では、従来よりも
その構造を簡素にし、かつ充分な剛性を確保することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の振動発生機の一実施例の概略構成の
縦断面図、第２図はその平面図である。 ５・・・Ｘ方向加振台、９・・・テーブル支持軸、１０
・・・テーブル支持軸用静圧軸受、１４．２４・・・第
１静圧軸受、１５．２５・・・第２静圧軸受、１６・・
・Ｘ方向加振台、２６・・・Ｘ方向加振台。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、直交するＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向にテーブルを振動さ
   せる振動発生機において、Ｚ軸方向の振動台に静圧軸受
   を介してテーブル支持軸をＸ−Ｙ平面内でのみ移動自在
   に支持し、上記テーブル支持軸の外周部には、このテー
   ブル支持軸をＺ軸方向に移動可能に支持するテーブル支
   持軸用静圧軸受を取着する一方、上記テーブル支持軸用
   静圧軸受の相対向する一対の側部において、一方には第
   １静圧軸受を、他方には第２静圧軸受をそれぞれ取着す
   ると共に、上記テーブル支持軸用静圧軸受を、上記第１
   静圧軸受でＸ−Ｙ平面内でのみ移動可能に、また第２静
   圧軸受でＹ軸方向にのみ移動可能に支持すべく構成し、
   上記第２静圧軸受をＸ方向加振台に接続する一方、上記
   テーブル支持軸用静圧軸受の相対向する他方の一対の側
   部において、一方には第１静圧軸受を、他方には第２静
   圧軸受をそれぞれ取着すると共に、上記テーブル支持軸
   用静圧軸受を、上記第１静圧軸受でＸ−Ｙ平面内でのみ
   移動可能に、また第２静圧軸受でＸ方向にのみ移動可能
   に支持すべく構成し、上記第２静圧軸受をＹ方向加振台
   に接続したことを特徴とする振動発生機。