JPH07253301A - 座標測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定精度を向上させるとともに、構造を簡素
化し、コスト低減を図る。 【構成】 測定物を載置する定盤２と、Ｘビーム６で支
持部材４，５を連結し、定盤２上をＹ軸方向へ移動可能
な構造体７と、測定子１３を有するＺ軸スピンドル１２
をＺ軸方向移動可能に支持し、Ｘビーム６上をＸ軸方向
へ移動可能なＸキャリッジ８と、Ｚ軸スピンドル１２の
移動ローラ１４からＸキャリッジ８の振り分けローラ１
５，１６を介して振り分けられ、一端側に駆動ローラ１
９を介して吊下げローラ２１とバランスウエイト２２と
を吊り下げてＺ軸スピンドル１２の重量を相殺するワイ
ヤ１７と、ローラ１９を駆動するための駆動モータ２３
とを備え、Ｘキャリッジ８移動時のＺ軸スピンドル１２
及びバランスウエイト２２の揺れを防止し、測定精度を
高く保つ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は座標測定機に関し、特
に門型構造体を有する座標測定機に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１１は従来の座標測定機を示す斜視図
である。

【０００３】この座標測定機１０１は、測定テーブル上
をＹ軸方向に移動可能な門型構造体１０７と、門型構造
体１０７のＸビーム１０６上をＸ軸方向に移動可能なＸ
キャリッジ１０８と、Ｘキャリッジ１０８にＺ軸方向に
移動可能に支持されたＺキャリッジ１１２と、Ｚキャリ
ッジ１１２に固定された測定子１１３とを備え、測定テ
ーブル上の被測定物に対して測定子１１３を三次元移動
させて、被測定物の形状・寸法などに関する座標測定を
行う（特開平5-209702号公報）。

【０００４】図１１に示すように、Ｚキャリッジ１１２
の下端部にはワイヤ１１７の両端が固定されており、こ
のワイヤ１１７はＸキャリッジ１０８に設けられたロー
ラ１３４，１３５から振り分けローラ１１５，１１６を
介してＸビーム１０６の両端部に配置されたローラ１３
６，１３７へ振り分けられる。ローラ１３６側のワイヤ
１１７はＸビーム１０６の反対側端部に設けられた他の
ローラ１３８に巻き掛けられている。ローラ１３７，１
３８間のワイヤ１１７にはローラ１２１を介してバラン
スウエイト１２２が吊り下げられており、ローラ１２１
とバランスウエイト１２２との重量の和でＺキャリッジ
１１２と測定子１１３との重量を相殺している。

【０００５】ローラ１３４，１３５はそれぞれ駆動モー
タにより回転駆動され、ワイヤ１１７を介してＺキャリ
ッジ１１２と測定子１１３とをＺ軸方向に移動させる。
また、Ｚキャリッジ１１２とＸキャリッジ１０８とがＸ
軸方向に移動可能するとき、ワイヤ１１７の張力により
各ローラ１１５，１１６，１２１，１３４，１３５，１
３６，１３７，１３８が回転し、ワイヤ１１７はこれら
のローラの上を循環移動する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、ワイヤ１１
７がＺキャリッジ１１２に固定されているから、Ｘキャ
リッジ１０８が移動するとき、前記各ローラの回転抵抗
がワイヤ１１７を介してＺキャリッジ１１２の下端部に
生じ、Ｚキャリッジ１１２にＸキャリッジ１０８側の支
持部を中心とする曲げモーメントが生じる。これにより
支持部にこじりや異常摩耗が生じ、座標測定機１０１の
精度と寿命とを大幅に低下させる。また、ワイヤ１１７
の循環移動によりバランスウエイト１２２が揺動し、こ
の揺動がワイヤ１１７及びＸキャリッジ１０８を介して
測定子１１３に振動を与え、測定精度を損わせる。

【０００７】また、ローラが８個も用いられている上に
ワイヤ１１７が長いから、構造が複雑で組立て作業が面
倒であり、それだけ製造コストが高くなる。更に、８個
のローラとワイヤ１１７及び駆動モータの重量が門型構
造体１０７に加わるので、Ｘビーム１０６の撓みが増え
る上にＹ軸方向移動のために大きな駆動力が必要にな
る。

【０００８】更に、門型構造体１０７に較べて質量の小
さいＸキャリッジ１０８に４個のローラ１１５，１１
６，１３４，１３５と駆動モータとの質量がかかり、Ｘ
ビーム１０６に設けられたＸキャリッジ１０８の案内面
１０９，１１０，１１１の負担が増す上に、駆動モータ
のリード線の引きずり抵抗がＸキャリッジ１０８にかか
り円滑な動作を妨げる。

【０００９】ワイヤ１１７はＺキャリッジ１１２の側面
に固定されており、ワイヤ１１７の支持力はＺキャリッ
ジ１１２の重心位置を通らないから、ワイヤ１１７の固
定個所にかかるＺキャリッジ１１２の自重によってモー
メントが生じ、Ｚキャリッジ１１２の円滑な動きを阻害
する。

【００１０】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は測定子の移動精度を高く維持する
とともに、構造簡単で低コストの座標測定機を提供する
ことである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の座標測定機は、測定物を載置す
る定盤と、前記定盤上に配置された一対の支持部材と、
前記支持部材間に架け渡されたＸビームとで構成され、
Ｙ軸方向へ移動可能な構造体と、測定子を有するＺ軸ス
ピンドルと、前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向へ移動可能
に支持するとともに、前記Ｘビームに案内されてＸ軸方
向へ移動可能なＸキャリッジと、前記Ｚ軸スピンドルの
自重を相殺するためのバランスウエイトとを備えた座標
測定機において、前記Ｚ軸スピンドルの下端部に回動可
能に設けられた第１のローラと、前記Ｘキャリッジに回
転可能に設けられた一対の第２のローラと、前記第１の
ローラに掛けられるとともに、前記第２のローラにより
前記Ｘビームに沿って振り分けられ、一端部が前記Ｘビ
ームの一方の側の端部に固定されたワイヤと、前記第２
のローラで振り分けられた前記ワイヤの他端部を鉛直方
向に降下させる第３のローラとを備え、前記バランスウ
エイトは、前記第３のローラで降下した前記ワイヤに取
り付けられる。

【００１２】また、請求項２記載の発明の座標測定機
は、前記バランスウエイトは、前記ワイヤの他端部に取
り付けられる。

【００１３】更に、請求項３記載の発明の座標測定機
は、前記ワイヤの他端部は、前記第３のローラから鉛直
に降下した後、ループを描いて上昇して前記Ｘビームの
他方の端部に固定され、前記バランスウエイトは、前記
ループに吊下げローラを介して吊り下げられる。

【００１４】また、請求項４記載の発明の座標測定機
は、前記第３のローラに駆動モータを設けた。

【００１５】更に、請求項５記載の発明の座標測定機
は、前記Ｚ軸スピンドルの下端部は、前記Ｘ軸方向に開
いた開口部が形成され、前記第１のローラは、前記開口
部内に配置され、前記第１のローラ及び前記第２のロー
ラは、前記Ｚ軸スピンドルの重心位置を通る前記Ｘ軸方
向に略平行で、且つ前記Ｚ軸方向に延在する面内でＹ軸
回りに回転する。

【００１６】

【作用】ＸキャリッジがＸビーム上を移動するとき、第
１のローラと第２のローラが回転し、ワイヤは移動しな
いので、各ローラの回転抵抗によりＺ軸スピンドルに生
じる曲げモーメントは極めて小さく、また、バランスウ
エイトが揺動しない。その結果ＸキャリッジがＸ軸方向
に移動するとき、測定子はほとんど振動しない。

【００１７】また、バランスウエイトをワイヤの他端部
に取り付けるようにすれば、バランスウエイトの重量を
Ｚ軸スピンドルの重量のほぼ１／２に軽減できる。

【００１８】更に、第３のローラに駆動モータを設ける
ようにすれば、駆動モータをＸキャリッジに設けた場合
に較べ、Ｘキャリッジの重量が軽くなる分、小さい駆動
力でＸキャリッジを駆動することが可能になるととも
に、リード線の引きずり抵抗が生ぜず、Ｘキャリッジの
動作は円滑且つ安定する。

【００１９】また、第１のローラをＺ軸スピンドル下端
部の開口部内に配置し、第１のローラ及び第２のローラ
が、Ｚ軸スピンドルの重心位置を通るＸ軸方向に略平行
で、且つＺ軸方向に延在する面内でＹ軸回りに回転する
ように構成することにより、Ｚ軸スピンドルの重心位置
を通る鉛直面上にワイヤが配置されるから、Ｚ軸スピン
ドルの倒れがなくなり昇降動作が円滑になる。

【００２０】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。

【００２１】図１及び図２はこの発明の第１実施例に係
る座標測定機１を示し、図１は斜視図、図２は平面図で
ある。

【００２２】定盤２の上面にはＹ軸ガイドレール３が敷
設され、支柱４，５（支持部材）の上端をＸビーム６で
連結した門型構造体（構造体）７が載置されている。支
柱４と定盤２との間及び支柱５とＹ軸ガイドレール３と
の間にはエアベアリングが配置されており、門型構造体
７はＹ軸ガイドレール３に案内されてＹ軸方向に移動可
能である。

【００２３】Ｘビーム６上にはＸキャリッジ８がエアベ
アリングを介して配置され、Ｘビーム６の上側と両側の
案内面９，１０，１１によりＸ軸方向に案内される。ま
た、Ｘキャリッジ８にはＺ軸スピンドル１２がＺ軸方向
に移動自在に支持されており、Ｚ軸スピンドル１２の下
端には測定子１３が固定されている。

【００２４】Ｚ軸スピンドル１２の下端側には移動ロー
ラ（第１のローラ）１４が取り付けられ、Ｘキャリッジ
８には一対の振分けローラ（第２のローラ）１５，１６
が取り付けられている。移動ローラ１４にはワイヤ１７
が巻き掛けられてＺ軸スピンドル１２等の重量を支えて
いる。ワイヤ１７は振分けローラ１５，１６によりＸビ
ーム６に沿った２方向に振り分けられ、ワイヤ１７の一
端はＸビーム６の一端側の支持板１８に固定されてい
る。

【００２５】Ｘビーム６の他端側には駆動ローラ（第３
のローラ）１９が取り付けられており、ワイヤ１７の他
端は駆動ローラ１９に巻き掛けられた後Ｘビーム６の他
端側の支持板２０に固定される。駆動ローラ１９と支持
板２０の間のワイヤ１７には吊下げローラ２１を介して
バランスウエイト２２が吊り下げられている。このバラ
ンスウエイト２２と吊下げローラ２１との合計重量は測
定子１３を含めたＺ軸スピンドル１２の重量と等しく、
バランスウエイト２２等はワイヤ１７を介してＺ軸スピ
ンドル１２等の重量を相殺している。

【００２６】駆動ローラ１９には回転方向の切換が可能
な駆動モータ２３が連結され、駆動ローラ１９を回転駆
動する。

【００２７】駆動ローラ１９が図２の矢印２４の方向へ
回転すると、ワイヤ１７に引っ張られてＺ軸スピンドル
１２が上昇し、この上昇分だけ吊下げローラ２１とバラ
ンスウエイト２２とが降下する。また、駆動ローラ１９
が矢印２５の方向へ回転すると、吊下げローラ２１とバ
ランスウエイト２２が上昇し、この上昇分だけＺ軸スピ
ンドル１２が降下する。このようにしてＺ軸スピンドル
１２と測定子１３とがＺ軸方向に移動操作される。

【００２８】上述のようにＺ軸スピンドル１２と測定子
１３との合計重量は吊下げローラ２１とバランスウエイ
ト２２との合計重量と釣合っているから、Ｚ軸スピンド
ル１２の動きは安定するとともに、小さい駆動力でＺ軸
スピンドル１２を移動操作でき、駆動モータ２３は小型
のものでもよい。

【００２９】また、Ｘキャリッジ８がＸビーム６上を移
動するとき、移動ローラ１４と振り分けローラ１５，１
６が回転し、ワイヤ１７は移動しない。ワイヤ１７がＺ
軸スピンドル１２に固定された図６の従来例と異なり、
ローラ１４，１５，１６の回転抵抗によりＺ軸スピンド
ル１２に生じる曲げモーメントは極めて小さい。また、
ワイヤ１７が移動しないからＸキャリッジ８の移動に伴
ってバランスウエイト２２が揺動しない。したがって、
Ｘキャリッジ８がＸ軸方向に移動するとき、測定子１３
は振動せず、測定精度が高く保たれ、装置の耐久性が向
上する。

【００３０】更に、駆動モータ２３はＸビーム６側に配
置されており、従来例と異なりＸキャリッジ８上に設け
られていないので、リード線の引きずり抵抗が生ぜず、
Ｘキャリッジ８の動作は円滑で安定し、測定精度は向上
する。

【００３１】また、８個のローラが用いられている図８
の従来例と異なり、ローラは５個であり、ワイヤ１７も
短いので、その分Ｘビーム６の撓みと門型構造体７の重
量が軽くなる。更に、ローラの数の低減により組立が容
易になり、コスト低減に資する。

【００３２】次に、この発明の第２〜５実施例を図３〜
７に基づいてそれぞれ説明する。第１実施例と共通する
部分には同一符号を付して説明を省略する。

【００３３】図３はこの発明の第２実施例に係る座標測
定機２６の要部を示す正面図である。

【００３４】第２実施例の座標測定機２６では、駆動ロ
ーラ１９に巻き掛けられたワイヤ１７の端部にバランス
ウエイト２７が固定され、Ｚ軸スピンドル１２と測定子
１３との合計重量を相殺している。

【００３５】第２実施例によれば、バランスウエイト２
７の重量をＺ軸スピンドル１２と測定子１３との合計重
量の１／２に軽減できるとともに、ローラの個数も第１
実施例の５個から４個に減少させることができるので、
装置全体が軽量化される。

【００３６】図４はこの発明の第３実施例に係る座標測
定機２８を示す斜視図である。

【００３７】第３実施例の座標測定機２８では、Ｘキャ
リッジ８に支持されたＺ軸スピンドル２９の下端部には
Ｘ軸方向に開いた開口部３０が設けられ、この開口部３
０内には移動ローラ１４が配置されている。

【００３８】また、振り分けローラ１５，１６と駆動ロ
ーラ１９の回転軸を第１実施例のものよりも延長して、
各ローラ１５，１６を移動ローラ１４と同一面上に配置
するとともに、ワイヤ１７の支持板１８，２０を第１実
施例のものよりも長くして、Ｚ軸スピンドル２９の重心
位置を通るＺ−Ｘ面（鉛直面）上にワイヤ１７が配置さ
れるようにした。

【００３９】第３実施例によれば、ワイヤ１７の支持力
がＺ軸スピンドル２９の重心を通るから、従来例と異な
ってＺ軸スピンドル２９には自重によるモーメントが発
生せず、Ｘキャリッジ８のエアベアリング部に無理な力
がかからず、Ｚ軸スピンドル２９の昇降動作が安定す
る。

【００４０】図５はこの発明の第４実施例に係る座標測
定機３１の要部を示す正面図である。

【００４１】第４実施例の座標測定機３１では、Ｚ軸ス
ピンドル１２の下端部に２個の小径の移動ローラ３２，
３３が取付けられ、ワイヤ１７が巻き掛けられている。

【００４２】２点鎖線で描いた大径の移動ローラ３４を
使用すると、測定子１３のソケット部と移動ローラ３４
とが干渉するのでＺ軸スピンドル１２を長くしなければ
ならず、それだけ測定子１３が振れ易くなるが、第４実
施例によれば、小径の移動ローラ３２，３３を用いるこ
とにより、大径の移動ローラ３４を使用する場合に較
べ、Ｚ軸スピンドル１２を長くする必要がないので測定
子１３との干渉が避けられ、測定精度の低下を防止でき
る。

【００４３】図６はこの発明の第５実施例に係る座標測
定機４１の要部を示す斜視図、図７は図６のＡ−Ａ線に
沿う断面図である。

【００４４】第５実施例の座標測定機４１の場合、門型
構造体４７のＸビーム４６には、Ｘ軸方向へ延び、且つ
Ｚ軸方向へ貫通する空間４６ａが設けられている。Ｘキ
ャリッジ４８に支持されたＺ軸スピンドル２９は空間４
６ａを通っている。

【００４５】Ｘキャリッジ６８に支持されたＺ軸スピン
ドル２９の下端部には、第３実施例と同様に、Ｘ軸方向
に開いた開口部３０が設けられ、この開口部３０内には
移動ローラ１４が配置されている。

【００４６】また、Ｘキャリッジ４８の下端部は空間４
６ａ内に入り込み、その下端部にはＸ軸方向に開いた開
口部４０，４１が設けられ、各開口部４０，４１内には
振り分けローラ１５，１６がそれぞれ配置されている。
更に、駆動ローラ１９がＸビーム４６内に、吊下げロー
ラ２１が支柱４５内にそれぞれ収容されている。各ロー
ラ１５，１６，１９，２１が駆動ローラ１４と同一面上
に配置され、スピンドル２９、Ｘキャリッジ４８及びＸ
ビーム４６の重心位置を通るＺ−Ｘ面（鉛直面）上にワ
イヤ１７が配置されている。

【００４７】第５実施例によれば、ワイヤ１７がＺ軸ス
ピンドル２９、Ｘキャリッジ４８及びＸビーム４６の重
心位置を通るＺ−Ｘ面上に位置するので、Ｚ軸スピンド
ル２９、Ｘキャリッジ４８及びＸビーム４６の動作が一
層安定する。

【００４８】上記第５実施例では、大径の移動ローラ１
４を用いたが、第４実施例と同様に、大径の移動ローラ
１４の代わりに小径の移動ローラ３２，３３を用いるよ
うにしてもよい。

【００４９】なお、この発明でのバランスウエイトとは
Ｚ軸スピンドルの重量を相殺するためのバランス手段の
すべてを含み、上記各実施例のような重錘の他に、例え
ばエア圧を用いるエアシリンダ式やばね力を用いるスプ
リング式などのバランス手段でもよい。

【００５０】図８はこの発明の第６実施例に係る座標測
定機の縦断面図、図９は図８の座標測定機のＸキャリッ
ジ５８とＺ軸スピンドル３９との横断面図である。前述
の第５実施例と共通する部分には同一符号を付して説明
を省略する。この第６実施例では、図８及び図９に示す
ように、Ｚ軸スピンドル３９の外面にＺ軸方向に沿う溝
部３９ａ，３９ｂが設けられ、溝部３９ａ，３９ｂに振
り分けローラ１５，１６の一部が入り込むように配置さ
れ、また移動ローラ５４の径をＺ軸スピンドル３９のＸ
軸方向幅より小さくした。

【００５１】この第６実施例の座標測定機によれば、溝
部３９ａ，３９ｂ内にワイヤ１７が収まるり、Ｚ軸スピ
ンドル３９の正面からワイヤ１７が見えないようにした
ので、ワイヤ１７が測定作業の障害になることがない
し、作業の安全性も向上する。

【００５２】図１０はこの発明の第７実施例に係る座標
測定機の縦断面図である。前述の第５実施例と共通する
部分には同一符号を付して説明を省略する。この第７実
施例では、図１０に示すように、第６実施例と較べ、Ｚ
軸スピンドル４９の溝部４９ａ，４９ｂのＺ軸方向長さ
を短く、振り分けローラ１５，１６間の距離を長くし
た。

【００５３】この第６実施例の座標測定機によれば、移
動ローラ５４から振り分けローラ１５，１６へ向かうワ
イヤ１７が垂直方向に対してやや斜めに傾くので、ワイ
ヤ１７と各ローラ１５，１６，５４間の摩擦抵抗が小さ
くなり、Ｘキャリッジ５８が移動するとき、そのＸキャ
リッジ５８の動きが一層安定する。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように請求項１乃至５に記
載された発明の座標測定機によれば、Ｘキャリッジの移
動時にバランスウエイトが揺動しないので、測定精度と
装置の耐久性とが向上する。また、ローラの個数が減り
ワイヤも短くなるから、軽量化されるとともに、構造が
簡単になる結果組立て作業が容易になり、コストが低減
される。

【００５５】また、請求項２に記載された発明の座標測
定機によれば、バランスウエイトの重量をＺ軸スピンド
ルの重量のほぼ１／２に軽減できるとともに、ローラの
個数も減少させることができるので、装置全体が軽量化
される。

【００５６】更に、請求項４に記載された発明の座標測
定機によれば、駆動モータをＸキャリッジに設けた場合
に較べ、リード線の引きずり抵抗が生ぜず、Ｘキャリッ
ジの動作は円滑且つ安定する。

【００５７】また、請求項５に記載された発明の座標測
定機によれば、Ｚ軸スピンドルの重心位置を通る鉛直面
上にワイヤが配置されるから、Ｚ軸スピンドルの倒れが
なくなり昇降動作が円滑になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１実施例に係る座標測定機
を示す斜視図である。

【図２】図２は図１要部のＹ方向矢視図である。

【図３】図３はこの発明の第２実施例に係る座標測定機
の要部を示す正面図である。

【図４】図４はこの発明の第３実施例に係る座標測定機
を示す斜視図である。

【図５】図５はこの発明の第４実施例に係る座標測定機
の要部を示す正面図である。

【図６】図６はこの発明の第５実施例に係る座標測定機
の要部を示す斜視図である。

【図７】図７は図６のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図８】図８はこの発明の第６実施例に係る座標測定機
の縦断面図である。

【図９】図９は図８の座標測定機のＸキャリッジとＺ軸
スピンドルとの横断面図である。

【図１０】図１０はこの発明の第７実施例に係る座標測
定機の縦断面図である。

【図１１】図１１は従来の座標測定機を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１，２６，２８，３１ 座標測定機 ２ 定盤 ４，５ 支柱（支持部材） ６ Ｘビーム ７ 門型構造体（構造体） ８，５８ Ｘキャリッジ １２，２９，３９，４９ Ｚ軸スピンドル １３ 測定子 １４，３２，３３，５４ 移動ローラ １５，１６ 振り分けローラ １７ ワイヤ １９ 駆動ローラ ２１ 吊下げローラ ２２，２７ バランスウエイト ２３ 駆動モータ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定物を載置する定盤と、 前記定盤上に配置された一対の支持部材と、前記支持部
   材間に架け渡されたＸビームとで構成され、Ｙ軸方向へ
   移動可能な構造体と、 測定子を有するＺ軸スピンドルと、 前記Ｚ軸スピンドルをＺ軸方向へ移動可能に支持すると
   ともに、前記Ｘビームに案内されてＸ軸方向へ移動可能
   なＸキャリッジと、 前記Ｚ軸スピンドルの自重を相殺するためのバランスウ
   エイトとを備えた座標測定機において、 前記Ｚ軸スピンドルの下端部に回動可能に設けられた第
   １のローラと、 前記Ｘキャリッジに回転可能に設けられた一対の第２の
   ローラと、 前記第１のローラに掛けられるとともに、前記第２のロ
   ーラにより前記Ｘビームに沿って振り分けられ、一端部
   が前記Ｘビームの一方の側の端部に固定されたワイヤ
   と、 前記第２のローラで振り分けられた前記ワイヤの他端部
   を鉛直方向に降下させる第３のローラとを備え、 前記バランスウエイトは、前記第３のローラで降下した
   前記ワイヤに取り付けられることを特徴とする座標測定
   機。
2. 【請求項２】前記バランスウエイトは、前記ワイヤの他
   端部に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載
   の座標測定機。
3. 【請求項３】前記ワイヤの他端部は、前記第３のローラ
   から鉛直に降下した後、ループを描いて上昇して前記Ｘ
   ビームの他方の端部に固定され、 前記バランスウエイトは、前記ループに吊下げローラを
   介して吊り下げられることを特徴とする請求項１に記載
   の座標測定機。
4. 【請求項４】 前記第３のローラに駆動モータを設けた
   ことを特徴とする請求項１に記載の座標測定機。
5. 【請求項５】 前記Ｚ軸スピンドルの下端部は、前記Ｘ
   軸方向に開いた開口部が形成され、 前記第１のローラは、前記開口部内に配置され、 前記第１のローラ及び前記第２のローラは、前記Ｚ軸ス
   ピンドルの重心位置を通る前記Ｘ軸方向に略平行で、且
   つ前記Ｚ軸方向に延在する面内でＹ軸回りに回転するこ
   とを特徴とする請求項１に記載の座標測定機。