JP2002022595A - 振動台装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】静圧継手を用いた振動台において、振動テーブ
ル及び静圧継手の構造を工夫することによって、省スペ
ース化、軽量化をはかり、かつ、長ストロークに適した
振動台装置を提供する。 【解決手段】上記課題を解決するため、静圧継手を振動
テーブル１０に開口した凹部５０に収納する。また、加
振機２０〜２２と振動テーブル１０を接続する静圧継手
を、加振方向と直交する一方向に摺動する一段目の静圧
継手（３０、３１）とそれらと直交する方向に摺動する
二段目の静圧継手（３１、５０）との二段構造にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は供試体を搭載して加
振試験を行う振動台装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的に構造物の耐震試験では地震動を
再現するために、供試体を振動テーブル上に固定して水
平方向ならびに上下方向に加振機によって振動テーブル
全体を加振する振動台実験が行われている。振動台は１
つの振動テーブルに対して複数の加振機が継手やリンク
などの機構を用いて水平方向及び上下方向に接続され、
多方向への動きを同時に再現することが可能である。こ
れら水平及び上下加振機の動きを相互干渉することなく
振動テーブルに伝えることが可能な振動台として、静圧
継手を用いた振動台がある。静圧継手を用いた振動台
は、例えば特開昭51-151157号公報に記載のように、振
動テーブル側と加振機側の２つの部材の間に高圧の油を
吐出する静圧軸受けを配置し、軸受けと軸受け面との間
に油膜による滑り面を形成して、加振方向には高い剛性
を持ち、加振方向と直交する方向には滑らかに摺動させ
るようにしたものである。また、特開昭64-20425号公
報、特開平1-129129号公報、及び、特開平2-311731号公
報には、静圧継手を用いた振動台として振動テーブルの
下方に加振機並びに静圧軸受けを配置した構造が開示さ
れている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の静圧継手では、
特に直交三方向に加振する三次元振動台において、加振
機の加振方向と直交する二方向に対して静圧軸受けによ
って摺動させることが必要である。すなわち、静圧継手
の摺動面が直交する二方向に対して同時に機能するよう
にしなければならないため、加振機のストロークが長く
なると静圧継手の寸法が縦横に長くなる。従って、静圧
継手の剛性を確保するためには静圧継手を大型にしなけ
ればならず、加振機の負荷となる可動部の重量も増加す
るといった問題がある。

【０００４】また、振動テーブルの周囲に静圧継手が張
り出すような状態で取り付けられるため、加振機から振
動テーブルに至るまでの距離が長くなり、設置面積が増
大し、振動台を設置するピットの容積も大きくする必要
がある。さらにピット全体を空気ばねによって支えた浮
き基礎としてある場合には浮き基礎全体の規模に影響を
与えるといった課題がある。

【０００５】設置面積の増大に対して加振機並びに静圧
軸受けを振動テーブルの下方に配置した場合、振動テー
ブルの形状をＴ字状にして下方を細くし、そこに水平加
振機を対抗させて配置する必要があるため、ストローク
を長くすることは困難である。

【０００６】本発明では、上記従来技術における課題を
解決するために、振動試験に用いる振動台装置において
静圧継手及び振動テーブルの構造を工夫することによっ
て、省スペース化、軽量化をはかり、かつ長い加振スト
ロークに適した振動台装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題の少なくとも一
つは次の手段によって解決される。すなわち、振動台装
置において、振動テーブルの受振部に静圧継手を収納で
きる程度の凹部を形成して静圧継手の全部あるいは一部
を収納する。また、静圧継手は、加振機先端に設置さ
れ、加振方向と、加振方向と直交する第二の方向に、そ
れぞれ静圧軸受けを有する第一の部材と、加振方向と第
二の方向とに直交する第三の方向に第一の部材を案内す
る第二の部材と、第二の部材と振動テーブルの受振部と
の間に第二の部材を第二の方向に案内する静圧軸受けと
から構成してもよい。また、第一の部材に第二の方向に
貫通穴を設け、その内周面に静圧軸受けを取り付け、第
二の部材をその貫通穴を通して一段目の静圧継手とし、
第二の部材の両端に静圧軸受けを取り付けて振動テーブ
ルの受振部に設置して二段目の静圧継手としてもよい。
また、第一の部材と第二の部材に静圧軸受けを取り付け
て、第一の部材は第二の部材と振動テーブルの受振部と
の間で摺動可能とし、第二の部材は受振部に対して摺動
可能とすることで、押側の加振力は第一の部材から、直
接、振動テーブルの受振部に伝達し、引側の加振力は第
二の部材を介して、振動テーブルに伝達するようにして
もよい。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。

【０００９】図１に本発明の一実施例を示す。これは振
動テーブル10面において直交するＸ軸とＹ軸、及び振動
テーブル10面に垂直なＺ軸の三つの直交する加振方向を
持った三次元振動台をあらわしており、振動テーブル10
の周囲にそれぞれの方向に複数の加振機20〜22が設置さ
れている。

【００１０】Ｘ軸方向の加振機20の先端にＺ軸方向に貫
通した穴を有する第一の部材30を取り付けてあり、その
貫通穴の内周面には静圧軸受け（図示せず）が加振方向
であるＸ軸方向とそれと直交するＹ軸方向に対面するよ
うに設置されている。そして、静圧軸受けで囲まれた箇
所にこれらの静圧軸受けに対応した静圧軸受け面を有す
る柱状の第二の部材31を通してあり、第一の部材30と第
二の部材31とで一段目の静圧継手を形成している。これ
により、Ｘ軸方向には剛であって加振機20の加振力を伝
達し、Ｚ軸方向には第一の部材30と第二の部材31とを直
線的に滑らかに摺動させることができる。ここで、一段
目の静圧継手ではＹ軸方向の相対的な動きはＹ軸方向に
対面した静圧軸受けによって拘束されている。さらに、
振動テーブル10のＸ軸加振機20に対面した側面には、静
圧継手を収納できる程度の大きさの凹部50を設けてあ
り、そこに第一の部材30及び第二の部材31を配置してい
る。第二の部材31のＺ軸方向の両端には静圧軸受け（図
示せず）がＸ軸方向並びにＺ軸方向に設置され、これら
の静圧軸受けに対応した静圧軸受け面が振動テーブル10
に設けた凹部50に形成されている。従って、第二の部材
31は凹部50においてＹ軸方向に摺動可能で、かつ、Ｘ軸
方向には剛になっており、第二の部材31と振動テーブル
10の凹部50とによって二段目の静圧継手を構成してい
る。二段目の静圧継手ではＺ軸方向の動きはＺ軸方向を
向いた静圧軸受けによって拘束される。

【００１１】以上のことから、Ｘ軸加振機20と振動テー
ブル10の関係において、Ｚ軸方向の加振機22による振動
テーブル10のＺ軸方向の動きは一段目の静圧継手によっ
て許容され、Ｙ軸方向の加振機21による振動テーブル10
のＹ軸方向の動きは二段目の静圧継手によって許容さ
れ、Ｘ軸加振機20の加振力がＹ軸方向及びＺ軸方向の動
きによる干渉を受けることなく振動テーブル10に伝達さ
れることになる。以上はＸ軸方向を例に述べたが、Ｙ軸
方向並びにＺ軸方向についても同様である。

【００１２】以上のような構成をとることによって、静
圧継手の全部あるいはその一部をテーブルに収納するこ
とが可能になり、加振機20〜22から振動テーブル10まで
の距離が短くなって省スペース化がはかれる。従って、
振動台装置を設置するピット、さらにはピットを内蔵す
る浮基礎についても小さくすることができ、占有面積及
び建屋を小さくすることが可能となる。あるいは、振動
台装置を更新する場合においても同一の設置面積で振動
テーブル10の面積を大きくとることができるといった利
点につながる。また、加振機のストロークが長い場合、
従来の静圧継手の方法では加振機側の部材と振動テーブ
ル側の部材の両方とも規模を大きくする必要があるが、
本実施例では第一の部材30は基本的には大きさに変化な
く、第二の部材31をストロークに応じて長くして、振動
テーブル10の凹部50の面積を広くとることで対応が可能
である。すなわち、静圧継手を二段にして直交する一方
向ずつの摺動の機能をそれぞれに持たせることで、加振
機のストロークが長い場合でも剛性が確保しやすくな
り、従来の静圧継手に比べて規模が大きくならずに済
み、長い加振ストロークに適した構造となっている。さ
らに、振動テーブル10に凹部50を設けることで振動テー
ブルの肉抜きによる軽量化がはかられ、加振機の負荷と
なる可動部の重量を抑制できるため、加振性能の向上に
もつながる。

【００１３】また、図１の一実施例において、一段目の
静圧継手をＹ軸方向に摺動可能にし、二段目の静圧継手
をＺ軸方向に摺動可能になるように構成することも可能
である。この場合、第一の部材30の貫通穴の方向をＹ軸
方向にして、その方向に第二の部材31を設置し、振動テ
ーブル10の凹部50においてＺ軸方向に移動できるように
すればよい。また、振動テーブル10を中空構造とし、加
振機20〜22に面した側に貫通した穴を設けることによっ
て、凹部50とすることも可能である。

【００１４】次に本発明の振動台装置における静圧継手
の一実施例について詳細な構造を図を用いて説明する。
以降、Ｘ軸加振機と振動テーブルとの取り合いを対象に
説明を行うが、Ｙ軸及びＺ軸についても同様である。ま
た、加振機については特に図示せず、振動テーブルもそ
の一部分のみ示すものとする。

【００１５】図２は本発明の一実施例における静圧継手
の構造を示した断面図である。加振機に取り付けられ、
Ｚ軸方向の貫通穴を有した第一の部材30には、図中のＡ
−Ａ断面（ａ）に示すように、Ｘ軸方向に対面した静圧
軸受け40及びＹ軸方向に対面した静圧軸受け41とが取り
付けられており、それら静圧軸受け40、41によって囲ま
れた中を柱状の第二の部材31がＺ軸方向に通っている。
第二の部材には外周面に静圧軸受け面が形成されてお
り、第一の部材30と第二の部材31とで一段目の静圧継手
を構成している。ここで、Ａ−Ａ断面（ｂ）に示すよう
に、静圧軸受け44を円周上に配置して、第一の部材30と
第二の部材31の摺動面を円筒面にすることも可能であ
る。以上のように、一段目の静圧継手ではＺ軸方向に摺
動することが可能であり、Ｘ軸方向の加振力は第二の部
材31に伝達される。次に、第二の部材31はその両端にＸ
軸方向で反対を向いた静圧軸受け42とＺ軸方向の動きを
拘束する静圧軸受け43とが取り付けられている。ここ
で、振動テーブル10の加振機に面した側に設けた開口し
た凹部50に静圧軸受け面を形成して、第二の部材の静圧
軸受け42、43の受側の機能をそこで持たせるようになっ
ており、二段目の静圧継手を構成している。二段目の静
圧継手ではＹ軸方向に摺動することが可能であり、一段
目の静圧継手によって第二の部材31に伝達されたＸ軸方
向の加振力を振動テーブル10に伝達する。ここで静圧軸
受け40、41は振動テーブル10に加えられる回転変位を許
容させるため、球面座60を介して第一の部材30に設置さ
れている。

【００１６】以上、本実施例に基づく静圧継手の機能を
まとめると、Ｘ軸方向の加振力は第一の部材30から一段
目の静圧継手によって第二の部材31に伝わり、そして二
段目の静圧継手を介して振動テーブル10に伝えることが
できる。また、第一の部材30が一段目の静圧継手によっ
て第二の部材31に沿ってＺ軸方向に摺動し、第二の部材
31が二段目の静圧継手によって振動テーブル10の凹部50
に沿ってＹ軸方向に摺動するため、Ｘ軸方向の加振に対
してそれ以外の方向の動きは許容される。このことはＹ
軸方向及びＺ軸方向の加振についても同じであり、加振
軸間の相互干渉を受けることがないという静圧継手の特
徴は活かされている。このような静圧継手を構成するこ
とによって、静圧継手を振動テーブルに設けた凹部に効
率的に収納でき、小型化・軽量化が可能である。さら
に、従来の静圧継手は振動テーブルの外周に設置される
ため、静圧軸受けから流れ出る作動油を回収するために
静圧継手の周囲を囲むような形でふさいで、オイルパン
によって受けるようにしなければならないが、本発明で
は振動テーブル10の凹部50の開口部を蛇腹などを用いて
ふさぐだけでよく、新たにオイルパンなどを設置する必
要がないという効果も有している。すなわち、本発明に
よれば振動テーブル10に静圧軸受け40〜43からの作動油
を回収するための機能を付与させることが可能となる。

【００１７】同様に図３は本発明における別の一実施例
の静圧継手の構造を示した断面図である。これは図２に
示したものと機能的には同一であるが、第二の部材31の
端部に凹部を設け、そこにＸ軸方向で向かい合った静圧
軸受け42とＺ軸方向の静圧軸受け43を取り付けられる構
造にしてある。その凹部を用いて振動テーブル10の開口
部にある凸部を挟み込んでレールのようにして、Ｙ軸方
向に摺動できるようにしたものである。本実施例によれ
ば、振動テーブル10に設ける凹部50を小さくできるとい
う効果がある。

【００１８】次に、図４に本発明の別の一実施例におけ
る静圧継手の構造を示す。加振機の先端に取り付けら
れ、貫通穴を有した第一の部材30の先端に加振方向の押
側を向いた静圧軸受け44と引側を向いた静圧軸受け45と
が取り付けられている。押側の静圧軸受け44は振動テー
ブル10の凹部50の奥側に静圧軸受け面が形成されたＹ−
Ｚ平面に対面している。一方、引側の静圧軸受け45は第
二の部材31に面しており、また、第二の部材31はＡ−Ａ
断面に示すように、第一の部材30の貫通穴の内周面に設
けられたＹ軸方向に対面した静圧軸受け41によってＹ軸
方向に支えられている。第二の部材31のＺ軸方向の端部
には加振方向で引側を向いた静圧軸受け46とＺ軸方向の
外側を向いた静圧軸受け43とが取り付けられており、凹
部50の内側でそれぞれ振動テーブル10に対面している。
このように、第一の部材30と第二の部材31は加振機（図
示せず）と振動テーブル10との間で、押側の静圧軸受け
44と引側の静圧軸受け45によって互いに挟まれた状態に
なっており、第二の部材31が凹部50に沿ってＹ軸方向に
摺動し、第一の部材30は第二の部材31に対してＺ軸方向
に摺動し、かつ、振動テーブル10に対してＹ−Ｚ平面内
で摺動することになる。従って、Ｘ軸加振に対してＹ軸
方向及びＺ軸方向の動きが無関係となり、その影響を受
けない。ここで静圧軸受け41、44、45は振動テーブル10
に加えられる回転変位を許容させるため、球面座60を介
して第一の部材30に設置されている。本実施例によって
も静圧継手を小型化でき、加振機の負荷となる可動部重
量を低減することが可能である。また、加振力について
考えると、押側の力は第一の部材30から押側の静圧軸受
け44を介して直接、振動テーブル10に加えられ、引側の
力は第一の部材30から引側の静圧軸受け45を介して第二
の部材31に伝わり、そして引側の静圧軸受け46によって
振動テーブル10に伝わる経路をとることになり、押側及
び引側いずれの加振力も伝達することが可能である。本
実施例によれば、加振機の押側の力は第一の部材30を介
することなく、直接、振動テーブル10に伝達することが
できるため、その分、静圧軸受けの数を減らすことがで
きる。また、静圧軸受け41〜46を凹部50に収納できるた
め、そこを利用して静圧軸受け41〜46から流れ出る作動
油を凹部50内に密閉して回収できるという効果も有して
いる。

【００１９】同様に、図５は本発明の別の一実施例にお
ける静圧継手の構造を示した断面図である。この構造の
静圧継手の有する機能は図４に示したものと同等である
が、第二の部材31の端部に図のような段差を設けて加振
方向引側向きの静圧軸受け46とＺ軸方向の静圧軸受け43
を取り付け、振動テーブル10の開口部の角部に沿ってＹ
軸方向に摺動できるようにしたものである。本実施例に
よれば、振動テーブル10に設ける凹部50を小さくするこ
とが可能であり、また、加振機の押側の力を第二の部材
31を介さずに振動テーブル10に伝えるため、第二の部材
31に取り付ける静圧軸受けの数を減らすことができる。

【００２０】ここで、図４乃至図５に示した一実施例に
おいて、振動テーブル10の凹部50の奥側に設けられる平
面は直接、振動テーブル10に形成してもよく、また、別
の部材にして振動テーブル10に固定しても構わない。

【００２１】また、図２〜図５に示した実施例におい
て、第二の部材31の両端に取り付けられるＺ軸方向の静
圧軸受け43は、図６に示すように、摺動方向であるＹ軸
方向において平行に複数個配置してもよい。この場合、
第二の部材31の端部をＹ軸方向に長くしてＺ軸方向の静
圧軸受け43の間隔を広くして設置してもよく、これによ
り、振動テーブル10がＸ軸回りに回転を生じた場合でも
Ｙ軸方向に対して滑らかに動きやすくなる。以上のこと
は第二の部材31の端部に取り付けられるＸ軸方向の静圧
軸受けについても同様であり、その他の箇所についても
必要に応じて静圧軸受けを並列に用いることが可能であ
る。

【００２２】図７に本発明におけるさらに別の一実施例
における静圧継手の構造を示す。加振機の先端に取り付
けられた貫通穴を有した第一の部材30にＸ軸方向に対面
した静圧軸受け40及びＹ軸方向に対面した静圧軸受け41
とが取り付けられており、その間を第二の部材31の有す
るＺ軸方向に伸びた柱状の部分が通っている。第二の部
材31に沿って第一の部材30はＺ軸方向に摺動することが
可能であり、一段目の静圧継手を成している。ここで、
静圧軸受け40、41は回転変位を許容させるため、球面座
60を介して第一の部材30に設置されている。さらに、第
二の部材31には、Ｘ軸方向に対面した静圧軸受け42とＺ
軸方向に対面した静圧軸受け43とが取り付けられてお
り、その間を第三の部材32がＹ軸方向に通っている。第
三の部材32に沿って第二の部材はＹ軸方向に摺動可能で
あり、二段目の静圧継手を構成している。第三の部材32
は、図中Ａ−Ａ断面に示されるように、振動テーブル10
に設けられた凹部50の内部でその両端を振動テーブル10
に固定されているが、振動テーブル10の側面に治具を設
けて設置しても構わない。このような構成によっても、
加振機からの加振力は第一の部材30から一段目の静圧継
手によって第二の部材31に伝達され、そして二段目の静
圧継手を介して第三の部材32に伝わり振動テーブル10を
加振することが可能である。本実施例によれば、静圧継
手を二段にした構造を有しながら、第二の部材31を振動
テーブル10の凹部50に収納しなくとも、二段目の静圧継
手を凹部50内に配置できるため、省スペース化をはか
れ、かつ、凹部50を小さくできるという効果が得られ
る。

【００２３】さらに、図８は本発明の別の一実施例にお
ける静圧継手の構造を示した断面図である。加振機の先
端に取り付けられた部材33は、振動テーブル10の加振機
側に開口した凹部50の内部でＹ−Ｚ平面に対して広がり
を持った形状を有し、そこにＸ軸方向で反対側を向いた
静圧軸受け44が少なくとも一組設置されている。静圧軸
受け44は振動テーブル10の凹部50の奥側に設けられたＹ
−Ｚ平面、及び、凹部50の開口部の周囲に設けられたＹ
−Ｚ軸方向への平面部に対面しており、部材33と振動テ
ーブル10の間に静圧継手を構成しており、Ｘ軸方向の加
振力を伝達し、同時にＹ軸方向及びＺ軸方向には摺動す
ることができる。ここで、静圧軸受け44は振動テーブル
10の回転を許容するため、球面座60を介して部材33に設
置されている。本実施例によっても、静圧継手を振動テ
ーブル内部に配置することができ、省スペース化がはか
れる。

【００２４】以上示した実施例において、振動テーブル
の外周に治具を設けてそこに静圧継手を設置することも
可能である。また、静圧軸受けを受ける部分について、
その摺動方向に沿って材質を変更することも可能であ
り、他の部分と別の部材にして取り付けてもよい。ま
た、静圧軸受けの接触面にコーティング等を施してもよ
い。また、設置する静圧軸受けの個数及び大きさは特に
限定せず、種々に組み合わせることも可能である。さら
に、加振機は油圧式加振機や動電式加振機等を用いるこ
とができ、加振機の設置台数等は特に限定しない。ま
た、部材の摺動のために静圧軸受けを用いるかわりに、
ベアリングのようなものを用いることも可能である。以
上のように本発明の構成は上記実施例には限定されず、
本発明の趣旨に逸脱しない範囲で様々な構成があり得
る。

【００２５】

【発明の効果】本発明による振動台装置によれば、静圧
継手を振動テーブルに収納した形となるため、加振機か
ら振動テーブルまでの距離を短くすることができ省スペ
ース化がはかれる。従って、振動台の設置面積が小さく
なり、ピット、浮き基礎、並びに建屋を小規模にでき
る。あるいは、同一の占有面積においても振動テーブル
の搭載面を大きくとることが可能となる。また、振動テ
ーブルに凹部を設けることにより軽量化できるため、加
振機の負荷が軽減され加振性能が向上する。さらに、静
圧継手を一方向への摺動機能を持った二つの静圧継手の
組み合わせにできるため、加振機のストロークが長い場
合でも剛性が確保しやすくなり長ストロークに適してい
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における振動台装置の斜視図
である。

【図２】本発明の一実施例における振動台の静圧継手の
構造を示す断面図である。

【図３】本発明の別の一実施例における振動台の静圧継
手の構造を示す断面図である。

【図４】本発明の別の一実施例における振動台の静圧継
手の構造を示す断面図である。

【図５】本発明の別の一実施例における振動台の静圧継
手の構造を示す断面図である。

【図６】本発明における静圧軸受けの配置方法を説明す
るための断面図である。

【図７】本発明の別の一実施例における振動台の静圧継
手の構造を示す断面図である。

【図８】本発明の別の一実施例における振動台の静圧継
手の構造を示す断面図である。

【符号の説明】

10…振動テーブル、20〜22…加振機、30…第一の部材、
31…第二の部材、32、33…部材、40〜46…静圧軸受け、
50…凹部、60…球面座。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】加振力を発生する加振機と、供試体を搭載
   する搭載部と前記加振機が接続され該加振機からの加振
   力を受ける受振部とを有して前記加振機からの加振力を
   受けて一体的に振動する振動テーブルと、前記加振機と
   前記振動テーブルとの間に静圧軸受けを有して構成され
   る静圧継手とを備えた振動台装置において、前記受振部
   に前記静圧継手を収納できる程度の凹部を形成し、該凹
   部に前記静圧継手の全部あるいは一部を収納し、該凹部
   の外側に前記加振機を配置したことを特徴とする振動台
   装置。
2. 【請求項２】請求項１に記載の振動台装置において、前
   記静圧継手は、前記加振機側に設けられ、該加振機の加
   振方向及び該加振方向と直交する第二の方向に静圧軸受
   けを有する第一の部材と、前記第一の部材の前記静圧軸
   受けと相対した静圧軸受け面が形成され、前記加振方向
   と前記第二の方向とに直交する第三の方向に前記第一の
   部材を案内する第二の部材と、該第二の部材と前記振動
   テーブルの前記受振部との間に前記第二の部材を前記第
   二の方向に案内する静圧軸受けとを備えたことを特徴と
   する振動台装置。
3. 【請求項３】請求項１に記載の振動台装置において、前
   記加振機の先端に、該加振機の加振方向と直交する第二
   の方向に貫通穴を有し、該貫通穴の内周面に、前記加振
   方向において相向かい合う少なくとも一組の静圧軸受け
   と、前記加振方向と前記第二の方向とに直交する第三の
   方向において相向かい合う少なくとも一組の静圧軸受け
   とを備えた第一の部材を備え、第二の部材を前記第一の
   部材の前記貫通穴を通して配置して前記第一の部材の静
   圧軸受けと相対する静圧軸受け面を形成させることによ
   って、前記第一の部材が前記第二の部材に対して前記第
   二の方向に摺動可能である一段目の静圧継手を構成し、
   前記第二の部材の両端の各々に、加振方向で互いに反対
   を向いた少なくとも一組の静圧軸受けと前記第二の方向
   で外向きの少なくとも一つの静圧軸受けとを取り付け、
   前記振動テーブルの前記受振部に前記第二の部材の前記
   静圧軸受けと相対する静圧軸受け面を形成させることに
   よって、前記第二の部材が前記受振部に対して前記第三
   の方向に摺動可能である二段目の静圧継手を構成したこ
   とを特徴とする振動台装置。
4. 【請求項４】請求項１に記載の振動台装置において、前
   記静圧継手は、前記加振機の先端に設けられ、該加振機
   の加振方向において押側向きの一つ以上の静圧軸受けと
   該加振方向において引側向きの一つ以上の静圧軸受けと
   該加振機の加振方向に直交する第二の方向において相向
   かい合った少なくとも一組の静圧軸受けとを備えた第一
   の部材と、前記加振方向の引側向きの一つ以上の静圧軸
   受けと前記加振方向と前記第二の方向とに直交する第三
   の方向で互いに反対を向いた一組以上の静圧軸受けとを
   備えた第二の部材とを備え、前記第一の部材に備えられ
   た前記引側向きの静圧軸受けと前記第二の方向において
   相向かい合った静圧軸受けとに相対する静圧軸受け面を
   第二の部材に形成し、かつ、前記第一の部材の前記押側
   向きの静圧軸受けに相対する静圧軸受け面を前記振動テ
   ーブルの前記受振部の前記凹部の内面に形成し、前記第
   一の部材を前記第二の部材と前記受振部との間で前記第
   三の方向に摺動可能とし、前記第二の部材に備えられた
   前記引側向きの静圧軸受けと前記第三の方向で反対を向
   いた静圧軸受けとに相対する静圧軸受け面を前記受振部
   に形成し、前記第二の部材を前記受振部の前記凹部にお
   いて前記第二の方向に摺動可能としたことを特徴とする
   振動台装置。