JP6359771B2

JP6359771B2 - 静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台

Info

Publication number: JP6359771B2
Application number: JP2017525104A
Authority: JP
Inventors: 聞何; 旭飛張; 叔仕賈; 杰周
Original assignee: Zhejiang University ZJU
Current assignee: Zhejiang University ZJU
Priority date: 2015-01-15
Filing date: 2015-08-18
Publication date: 2018-07-18
Anticipated expiration: 2035-08-18
Also published as: US10422717B2; EP3246686A4; EP3246686A1; WO2016112685A1; US20170350787A1; CN104614137B; EP3246686B1; CN104614137A; JP2018504580A

Description

本発明は静圧型ガスフローティングデカップリング装置（ａｅｒｏｓｔａｔｉｃｇａｓ−ｆｌｏａｔｉｎｇｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇｄｅｖｉｃｅ）に基づく３次元標準振動台に関する。

現在、三次元振動測定センサの校正は、一次元振動校正システムを採用して３つの測定軸に対して順に行うことが多い。しかし、この方法は、時間がかかり、データ処理が複雑であり、且つ三次元センサの各次元間の相互結合を考慮する場合、該方法は、次元間の結合関係を反映する感度マトリクスを得難い。そのため、三次元振動測定センサの三軸方向を同時に励振できる３次元標準振動台を開発することは、振動測定センサの校正技術の発展及びその業界の技術進歩に対し、重要な理論及び実際の意義を有する。

中国特許出願２０１１１０２０７２９７．５には、ロックキャッチ式デカップリング装置に基づく３次元標準振動台を開示しており、ベースと、Ｘ方向電磁振動台と、Ｙ方向電磁振動台と、Ｚ方向電磁振動台と、三次元の振動プラットフォームとを含み、それぞれの電磁振動台は、いずれも、運動デカップリング装置により三次元の振動プラットフォームに接続する。運動デカップリング装置は、第１フレームと第２フレームを含み、第１フレームと第２フレームとは互いに結合し、第１フレームと第２フレームのそれぞれは、外辺、内辺、外辺と内辺との間における第１接続側辺及び第２接続側辺からなり、フレームの外辺と内辺とが対向し、フレームの内辺が他のフレームに挿入する。第１フレームの内辺にはガス流路とガス流路に連通する通気孔とが設けられ、通気孔が外界に連通する。第１フレームの内辺及び第２フレームの内辺と外辺との間のそれぞれには、細かい隙間が設けられ、細かい隙間は、第１フレームの内辺のガスフローティングガイドレールを形成する。第２フレームの内辺と第１フレームの外辺との間には、第２フレームが第１フレームの外辺に接触することを防止する間隔が設けられている。ガス流路と外部圧縮空気源は連通している。第１フレームの外辺と電磁振動台は接続し、第２フレームの外辺と三次元の振動プラットフォームとは接続している。この振動台は、ロックキャッチ式構成及び静圧型ガスフローティング支持を採用して力の伝達を実現し、３次元運動デカップリングの問題を解決している。

該振動台は、以下のような欠点を有する。１、振動台に第１フレームを固定し、三次元の振動プラットフォームに第２フレームを固定し、第１フレームと第２フレームとが互いに結合されてロックキャッチ式構成を成しているため、第１フレームと第２フレームとの取付け精度に対する要求が高い。また、第１フレームと第２フレームとのガス膜の面積が制限され、かつ第２フレームの存在により、三次元の振動プラットフォームの質量を増加させてしまう。

２、振動台が往復して振動するときに、いずれも、ロックキャッチ式構成により三次元の振動プラットフォームを引き込む必要があるため、ロックキャッチ式構成は、変形しやすく、振動台の負荷が大きい。

３、小さい孔による絞りに基づく静圧型ガスフローティング技術を採用する場合、小さい孔による絞り方式は、通常、絞り孔の出口箇所にガスキャビティを設けてその耐荷能力を向上する。しかしながら、ガスキャビティであるため、静圧型ガスフローティングシステムが特定の周波数帯に「空気ハンマー」振動現象を発生することは回避できない。静圧型ガスフローティングシステムの支持安定性及び最大使用頻度を低減する。また、小さい絞り孔のサイズ及び加工精度の制限により、それぞれの絞り孔間の耐荷能力の均一性を保証することができず、それにより、支持される振動台運動部材が傾斜して回転し、３次元振動台運動デカップリングに影響を及ぼす。

本発明は、従来の小さい孔による絞り技術が３次元標準振動台運動デカップリング装置に用いられるときに、よい耐荷能力及び比較的高い支持安定性を取得することができないと共に、及び支持均一性が悪いことで振動台運動部材が傾斜し回転するという欠陥を克服するために、耐荷能力が大きく、支持が安定であり、かつ支持均一性がよい静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台を提供することを目的とする。

静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台は、ベースを含み、前記ベースには、Ｘ軸方向の振動台及びＸ軸方向の復帰装置と、Ｙ軸方向の振動台及びＹ軸方向の復帰装置と、Ｚ軸方向の振動台と、三次元の振動プラットフォームとが設けられている。

Ｘ軸方向の振動台は、三次元の振動プラットフォームを挟んでＸ軸方向の復帰装置に対向し、Ｙ軸方向の振動台は、三次元の振動プラットフォームを挟んでＹ軸方向の復帰装置に対向している。

Ｘ軸方向の振動台とＹ軸方向の振動台は、それぞれの振動台側の静圧型ガスフローティング板にそれぞれ固定され、振動台側の静圧型ガスフローティング板と三次元の振動プラットフォームとの間には、ガス膜を形成することができる隙間を有する。

Ｘ軸方向の復帰装置とＹ軸方向の復帰装置は、それぞれの復帰ばねとばね側静圧型ガスフローティング板とがからなり、復帰ばねとばね側静圧型ガスフローティング板とは固定され、Ｚ軸方向の振動台とＺ軸方向のガスフローティングデカップリング装置とは固定され、Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置と三次元の振動プラットフォームとの間にはガス膜を形成することができる隙間を有する。

さらに、ばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板とは、対称して三次元の振動プラットフォーム両側に設けられている。

Ｘ軸方向の振動台とＸ軸方向の復帰装置は、協働して前記三次元の振動プラットフォームのＸ軸方向に沿う振動を実現し、Ｙ軸方向の振動台とＹ軸方向の復帰装置は、協同的作用で前記三次元の振動プラットフォームのＹ軸方向に沿う振動を実現し、Ｚ軸方向の振動台は、前記三次元の振動プラットフォームのＺ軸方向に沿う振動を実現することに用いられる。

Ｘ軸方向の振動台及びＸ軸方向の復帰装置は、三次元の振動プラットフォームのＸ軸方向に沿う振動を推進することを例として説明する。Ｘ軸方向の振動台が三次元の振動プラットフォームに近接して運動するとき、Ｘ軸方向の振動台及びそれと三次元の振動プラットフォームとの間のガス膜は、三次元の振動プラットフォームを推進してＸ軸方向の復帰装置方向へ運動させ、この際、Ｘ軸方向の復帰ばねは圧縮される。Ｘ軸方向の振動台が戻すとき、三次元の振動プラットフォームは、Ｘ軸方向の振動台の推進力を失い、Ｘ軸方向の復帰ばねが戻し、それにより、三次元の振動プラットフォームをＸ軸方向戻させる。Ｙ軸方向の振動台とＹ軸方向の復帰装置とが三次元の振動プラットフォームのＹ軸方向に沿う振動を推進する方向は、Ｘ軸方向と同じである。

Ｘ軸方向の復帰ばねとＹ軸方向の復帰ばねのそれぞれは、空気ばねである。

さらに、ばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板それぞれは、それぞれの基板と基板に固定される多孔質絞り機構（ｐｏｒｏｕｓｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ）とがからなり、基板には多孔質絞り機構と連通するガス流路が設けられている。高圧ガスは、ガス流路と多孔質絞り機構を介して静圧型ガスフローティング板と三次元の振動プラットフォームとの間に均一なガス膜を形成する。

さらに、多孔質絞り機構は、複数あり、多孔質絞り機構は、基板に均一に分布している。

Ｘ軸方向のばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板とは、Ｘ軸方向のガスフローティングデカップリング装置を形成し、Ｙ軸方向のばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板とは、Ｙ軸方向のガスフローティングデカップリング装置を形成する。

さらに、Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置は、第１接続板、第２接続板、調節パッド、Ｚ軸静圧型ガスフローティング板からなり、調節パッドは、第１接続板と第２接続板との間に位置し、第１接続板、第２接続板および調節パッドは、剛性接続してかつガスフローティングキャビティを形成するように取り囲み、Ｚ軸方向の静圧型ガスフローティング板は、ガスフローティングキャビティに放置される。第２接続板には切り欠が設けられ、三次元の振動プラットフォームは、切り欠を介してＺ軸方向の静圧型ガスフローティング板に固定され、第１接続板と第２接続板それぞれには、それぞれのガス流路及び多孔質絞り機構が設けられ、それぞれの接続板のガス流路と多孔質絞り機構とは連通している。

前記三次元の振動プラットフォームには接続角柱が設けられ、前記第２接続板には直角切り欠が設けられ、協働して前記三次元の振動プラットフォームと第２接続板とを接続し、かつ前記第１接続板との間に間隔を形成すると共に、前記垂直静圧型ガスフローティング板と前記調節パッドとの間も間隔を空いており、前記各間隔なので、三次元の振動プラットフォームは、Ｘ、Ｙ軸方向に沿って自由に振動することができる。

前記Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置は、共同に多孔質静圧型ガスフローティングデカップリング装置を構成し、設計される三軸方向の標準振動台の出力三軸方向の運動デカップリングを実現することに用いられる。

本発明の作動過程は、以下の通りである。ある軸方向の振動台が運動する時に、対応する軸方向の振動台及び空気ばねがガスフローティングデカップリング装置との間にボルトを介して剛性接続するので、振動は、まず、該振動台及び空気ばねに接続するガスフローティングデカップリング装置に伝達し、さらに、対応する軸方向のガスフローティングデカップリング装置が発生した均一な静圧型ガス膜により、振動を三次元の振動プラットフォームに伝達させる。前記均一な静圧型ガス膜の対応する軸方向運動力に対する伝達性が優れ、かつ別の２つの軸方向における運動に対する抵抗力が小さく、運動デカップリングの要件によく満たす。そのため、三次元の振動プラットフォームが出力する運動は、Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸方向の振動台が出力する振動の合成である。

本発明は、以下のメリットを有する。１、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のガス膜は、静圧型ガスフローティング板と三次元の振動プラットフォームとの間に位置し、ガス膜のカバー面積が大きい。

２、三次元の振動プラットフォームのＸ軸方向及びＹ軸方向における振動過程において、振動台と復帰装置とは、交替して三次元の振動プラットフォームを駆動し、振動台の負荷を減少する。Ｘ軸方向及びＹ軸方向における静圧型ガスフローティング板全体と振動台又は復帰ばねとは固定し、変形する問題を発生しない。

３、多孔質静圧型ガスフローティングデカップリング装置は、振動力の伝達をよく実現すると共に、非伝達の運動に対する干渉を避け、３次元振動台が３次元運動を出力するデカップリングをよく完了する。多孔質絞り機構の絞り面積は、従来の小さい孔による絞り方式よりはるかに大きく、より大きい耐荷能力を提供すると共に、安定で、かつ均一の支持性能を有し、従来の小さい孔による絞りが発生する「空気ハンマー」振動及び振動台運動部材の傾斜・回転などの問題を有効的に解決する。

図１は、３次元標準振動台の構成を示す図である。図２は、Ｘ軸方向の振動台の接続を示す図である。図３は、Ｘ軸方向の復帰装置の接続を示す図である。図４は、Ｚ軸方向の振動台の接続を示す図である。図５は、Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置の構成を示す図であり、（ａ）は、ガスフローティングデカップリング装置の正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である。図６は、三次元の振動プラットフォームの取り付けを示す図である。

（実施例一）

静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台は、図１に示されるように、ベース１を含み、ベース１にはＸ軸方向に沿って振動するＸ軸方向の振動台２及びＸ軸方向の復帰装置６と、Ｙ軸方向に沿って振動するＹ軸方向の振動台３及びＹ軸方向の復帰装置７、Ｚ軸方向に沿って振動するＺ軸方向の振動台４と、振動台及び復帰装置に接続する三次元の振動プラットフォーム５が設けられている。Ｘ軸方向の振動台２とＸ軸方向の復帰装置６とは、協働して三次元の振動プラットフォーム５のＸ軸方向に沿う振動を実現する。Ｙ軸方向の振動台３とＹ軸方向の復帰装置７とは、協働して三次元の振動プラットフォーム５のＹ軸方向に沿う振動を実現する。Ｚ軸方向の振動台４は、三次元の振動プラットフォーム５のＺ軸方向に沿う振動を実現することに用いられる。

図２に示されるように、Ｘ軸方向の振動台２と振動台側静圧型ガスフローティング板２１とは、固定され、図３に示されるように、Ｘ軸方向の復帰装置６は、Ｘ軸方向の空気ばね６１及びばね側静圧型ガスフローティング板６２からなる。Ｘ軸方向の振動台２とＸ軸方向の復帰装置６とは、それぞれ、振動台側静圧型ガスフローティング板２１及びばね側静圧型ガスフローティング板６２を介して三次元の振動プラットフォーム５との間にガス膜を形成し、Ｘ軸方向の振動を伝達することに用いられる。

振動台側静圧型ガスフローティング板２１は、板状構造であり、その上に第１伝達面２１１、第２伝達面２１２を構成する。振動台側静圧型ガスフローティング板２１とＸ軸方向の振動台２の運動部材は、ボルトを介して接続し、Ｘ軸方向の振動台２の出力する振動を振動台側静圧型ガスフローティング板２１に伝達し、第２伝達面２１２と三次元の振動プラットフォーム５との間には細かい隙間があり、かつこの細かい隙間はガス膜を発生し、ガス膜により、さらにＸ軸方向の振動台２の出力する振動を三次元の振動プラットフォーム５に伝達する。

第２伝達面２１２には、複数の絞り器取付孔が設けられ、多孔質絞り機構２１３を、接着方式により振動台側静圧型ガスフローティング板２１に取り付けることに用いられる。振動台側静圧型ガスフローティング板２１の内部には、多孔質絞り機構２１３にガスを供給する気体路構成を設置し、振動台側静圧型ガスフローティング板２１へ外部圧縮空気を供給する時に、多孔質絞り機構２１３の絞り作用で、三次元の振動プラットフォーム５と第２伝達面２１２との間に均一な静圧型ガス膜を実現し、振動伝達を実現する。

ばね側静圧型ガスフローティング板６２と振動台側静圧型ガスフローティング板２１とは、構成が同じであり、その上に第３伝達面６２１、第４伝達面６２２を構成する。ばね側静圧型ガスフローティング板６２とＸ軸方向空気ばね６１とは、ボルトを介して接続し、Ｘ軸方向空気ばね６１が提供する復帰力をばね側静圧型ガスフローティング板６２に伝達することを実現する。第四伝達面６２２と三次元の振動プラットフォーム５との間には細かい隙間が存在し、かつこの隙間はガス膜を発生し、ガス膜により、さらにＸ軸方向の空気ばね６１が提供する復帰力を三次元の振動プラットフォーム５に伝達する。

第４伝達面６２２には、複数の絞り器取付孔が設けられ、多孔質絞り機構２１３を、接着方式により、ばね側静圧型ガスフローティング板６２に取り付けることに用いられ、ばね側静圧型ガスフローティング板６２の内部には、多孔質絞り機構２１３にガスを供給する気体路構成を設置し、ばね側静圧型ガスフローティング板６２へ外部圧縮空気を供給するとき、多孔質絞り機構２１３の絞り作用で、三次元の振動プラットフォーム５と第４伝達面６２２との間に均一な静圧型ガス膜を形成し、振動伝達を実現する。

振動台側静圧型ガスフローティング板２１とばね側静圧型ガスフローティング板６２とは、協働してＸ軸方向のガスフローティングデカップリング装置を構成する。

Ｘ軸方向のガスフローティングデカップリング装置が発生する均一な静圧型ガス膜の伝達作用により、Ｘ軸方向の振動台２とＸ軸方向空気ばね６１とは、協働してＸ軸方向の振動台２の出力する振動を三次元の振動プラットフォーム５に伝達し、三次元の振動プラットフォーム５のＸ軸方向に沿う励振を完了する。

Ｙ軸方向のガスフローティングデカップリング装置とＸ軸方向のガスフローティングデカップリング装置とは、構成が同じであり、Ｙ軸方向の振動台３とＸ軸方向の振動台２とは、構成が同じであり、Ｙ軸方向空気ばねとＸ軸方向空気ばね６１とは、構成が同じであり、同様に、Ｙ軸方向のガスフローティングデカップリング装置が発生する均一な静圧型ガス膜の伝達作用で、Ｙ軸方向の振動台３とＹ軸方向空気ばねとは、協働してＹ軸方向の振動台の出力する振動を三次元の振動プラットフォーム５に伝達し、三次元の振動プラットフォーム５のＹ軸方向に沿う励振を完了する。

図４に示されるように、Ｚ軸方向の振動台４とＺ軸方向のガスフローティングデカップリング装置４１とは固定される。Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置４１は、第１接続板４１１、第２接続板４１２、調節パッド４１３、Ｚ軸方向の静圧型ガスフローティング板４１４などからなる。

図５に示されるように、第１接続板４１１には第１接続面４１１１と第２接続面４１１２とが設けられている。第２接続板４１２には第３接続面４１２１と第４接続面４１２２とが設けられている。垂直静圧型ガスフローティング板４１４には第１ガスフローティング面４１４１と第２ガスフローティング面４１４２とが設けられている。第１接続板４１１とＺ軸方向の振動台４とは、ボルトを介して接続し、Ｚ軸方向の振動台４の出力する振動を第１接続板４１１に伝達する。第１接続板４１１、調節パッド４１３及び第２接続板４１２は、ボルトを介して接続し、かつ第２接続面４１１２、第３接続面４１２１及び調節パッド４１３によりガスフローティングキャビティ４１５になるように取り囲む。Ｚ軸静圧型ガスフローティング板４１４は、ガスフローティングキャビティ４１５に設けられ、第１ガスフローティング面４１４１と第２接続面４１１２とが対向し、第２ガスフローティング面４１４２と第三接続面４１２１とは対向し、調節パッド４１３のサイズを調節することにより、第２ガスフローティング面４１４２と第三接続面４１２１との間に細かい隙間を形成することができる。

第２接続面４１１２と第３接続面４１２１には、共に複数の絞り器取付孔が設けられ、多孔質絞り機構２１３を、接着方式により第１接続板４１１及び第２接続板４１２上に取り付けることに用いられる。第１接続板４１１と第２接続板４１２の内部には、共に、多孔質絞り機構２１３にガスを供給する気体路構成を設置し、第１接続板４１１及び第２接続板４１２に外部圧縮空気を供給するとき、第２ガスフローティング面４１４２と第三接続面４１２１との間の細かい隙間なので、及び多孔質絞り機構２１３の絞り作用で、第２接続面４１１２と第１ガスフローティング面４１４１との間及び第三接続面４１２１と第２ガスフローティング面４１４２との間に、共に均一な静圧型ガス膜を形成する。

図６に示されるように、三次元の振動プラットフォーム５には接続角柱５１が設けられ、第２接続板４１２には直角切り欠が設けられ、協働して三次元の振動プラットフォーム５と第２ガスフローティング面４１４２との接続を実現し、かつ第四接続面４１２２との間に間隔を実現する。それと同時に、図５に示されるように、Ｚ軸静圧型ガスフローティング板４１４と調節パッド４１３との間も間隔があり、間隔なので、三次元の振動プラットフォーム５は、Ｘ、Ｙ軸方向に沿って自由に振動することができる。

第２接続面４１１２と第１ガスフローティング面４１４１との間及び第三接続面４１２１と第２ガスフローティング面４１４２との間に形成する均一な静圧型ガス膜の共同作用で、さらに、Ｚ軸方向の振動台４の出力する振動を三次元の振動プラットフォーム５に伝達し、三次元の振動プラットフォーム５のＺ軸方向に沿う励振を完了する。

Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置は、共同に多孔質静圧型ガスフローティングデカップリング装置を構成し、設計される三軸方向標準振動台が三軸方向の運動を出力するデカップリングを実現することに用いられる。

本発明の作動過程は、以下の通りである。ある軸方向の振動台が運動する時に、対応する軸方向の振動台及び空気ばねは、ガスフローティングデカップリング装置との間にボルトを介して剛性接続するので、振動は、まず、該振動台及び空気ばねに接続するガスフローティングデカップリング装置に伝達し、さらに、対応する軸方向のガスフローティングデカップリング装置が発生した均一な静圧型ガス膜により、振動を三次元の振動プラットフォーム５に伝達させる。均一な静圧型ガス膜の対応する軸方向運動力に対する伝達性が優れ、かつ別の２つの軸方向における運動に対する抵抗力が小さく、運動デカップリングの要件によく合わせる。そのため、三次元の振動プラットフォーム５が出力する運動は、Ｘ、Ｙ、Ｚ三軸方向の振動台が出力する振動の合成である。

２、三次元の振動プラットフォームのＸ軸方向及びＹ軸方向における振動過程において、振動台と復帰装置とは、交替して三次元の振動プラットフォームを駆動し、振動台の負荷を減少する。Ｘ軸方向及びＹ軸方向における静圧型ガスフローティング板全体と振動台又は復帰ばねとは、固定し、変形する問題を発生しない。

（実施例二）

本実施例が実施例一との相違は、以下の通りである。振動台側静圧型ガスフローティング板２１、ばね側静圧型ガスフローティング板６２、第１接続板４１１及び第２接続板４１２には、いずれも、１つの絞り器取付孔が設けられ、接着方式により、全体の多孔質絞り機構２１３を取り付け、絞り作用を実現する。

本明細書の実施例に記載する内容は、本発明の構想の実現形式の例であり、本発明の保護範囲は、実施例に記載する具体な記載に限定されず、本発明の保護範囲は、当業者が本発明の思想に基づいて想到する均等な技術手段に基づくものである。

Claims

ベースを含み、前記ベースには、Ｘ軸方向の振動台及びＸ軸方向の復帰装置と、Ｙ軸方向の振動台及びＹ軸方向の復帰装置と、Ｚ軸方向の振動台と、三次元の振動プラットフォームとが設けられている静圧型ガスフローティングデカップリング装置（ａｅｒｏｓｔａｔｉｃｇａｓ−ｆｌｏａｔｉｎｇｄｅｃｏｕｐｌｉｎｇｄｅｖｉｃｅ）に基づく３次元標準振動台であって、
Ｘ軸方向の振動台は、三次元の振動プラットフォームを挟んでＸ軸方向の復帰装置に対向し、Ｙ軸方向の振動台は、三次元の振動プラットフォームを挟んでＹ軸方向の復帰装置に対向し、
Ｘ軸方向の振動台とＹ軸方向の振動台は、それぞれの振動台側の静圧型ガスフローティング板にそれぞれ固定され、振動台側の静圧型ガスフローティング板と三次元の振動プラットフォームとの間には、ガス膜を形成することができる隙間を有し、
Ｘ軸方向の復帰装置とＹ軸方向の復帰装置のそれぞれは、それぞれの復帰ばねとばね側静圧型ガスフローティング板とからなり、復帰ばねとばね側静圧型ガスフローティング板とは固定され、Ｚ軸方向の振動台とＺ軸方向のガスフローティングデカップリング装置とは固定され、前記Ｚ軸方向のガスフローティングデカップリング装置は、第１接続板、第２接続板、調節パッド、Ｚ軸静圧型ガスフローティング板からなり、調節パッドは、第１接続板と第２接続板との間に位置し、第１接続板、第２接続板および調節パッドは、剛性接続してかつガスフローティングキャビティを形成するように取り囲み、Ｚ軸静圧型ガスフローティング板は、ガスフローティングキャビティに放置され、第２接続板には切り欠が設けられ、三次元の振動プラットフォームは、切り欠を介してＺ軸静圧型ガスフローティング板に固定され、第１接続板と第２接続板それぞれには、それぞれのガス流路及び多孔質絞り機構が設けられ、それぞれの接続板のガス流路と多孔質絞り機構とは連通しており、
第１接続板とＺ軸静圧型ガスフローティング板との間及び第２接続板とＺ軸静圧型ガスフローティング板との間にはガス膜を形成することができる隙間を有することを特徴とする静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台。
ばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板とは、対称して三次元の振動プラットフォーム両側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台。
Ｘ軸方向の復帰ばねとＹ軸方向の復帰ばねとは、共に空気ばねであることを特徴とする請求項２に記載の静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台。
ばね側静圧型ガスフローティング板と振動台側静圧型ガスフローティング板それぞれは、それぞれの基板と基板に固定される多孔質絞り機構（ｐｏｒｏｕｓｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ）とからなり、基板には多孔質絞り機構と連通するガス流路が設けられていることを特徴とする請求項３に記載の静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台。
多孔質絞り機構は、複数があり、多孔質絞り機構は、基板に均一に分布していることを特徴とする請求項４に記載の静圧型ガスフローティングデカップリング装置に基づく３次元標準振動台。