JPS61286634A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPS61286634A JPS61286634A JP12943885A JP12943885A JPS61286634A JP S61286634 A JPS61286634 A JP S61286634A JP 12943885 A JP12943885 A JP 12943885A JP 12943885 A JP12943885 A JP 12943885A JP S61286634 A JPS61286634 A JP S61286634A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric element
- vibration
- plate
- substrate
- element plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/005—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion using electro- or magnetostrictive actuation means
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
挟漿分国
本発明は、精密機器を搭載し、外部からの振動が該精密
機器へ伝達されないようにした除振装置に関する。
機器へ伝達されないようにした除振装置に関する。
従来扱揉
第５図及び第６図は、従来の空気ばね式除振装置の一例
を説明するための構成図で、第５図は、空気ばね支持装
置の拡大断面図、第６図は、該空気ばね支持装置の一使
用例を示す側面図で、第６図において、１は精密機器或
いは精密加工機等が搭載される搭載板、１ｏは該搭載板
１を空気圧にて弾性支持している空気ばね支持装置であ
る。第５図は、上記空気ばね支持装置の拡大断面図で、
図中、１１は前記搭載板１を受ける受は部材、１２は圧
縮空気が封入されている空気ばね室、１３は補助空気室
、１４は空気ばね室１２と補助空気室１３とを連通する
細径の連通孔、１５は空気供給バルブ、１６はダイアフ
ラムで、周知のように、受は部材１１の上に搭載板１を
載置し、該搭載板１の上に精密機器或いは精密加工機を
搭載して使用するものであるが、その際、精密機器に外
部からの振動が伝達されないように、或いは、精密加工
機からの振動が外部へ伝達されないように搭載板１を空
気ばね１０にて弾性支持している。
を説明するための構成図で、第５図は、空気ばね支持装
置の拡大断面図、第６図は、該空気ばね支持装置の一使
用例を示す側面図で、第６図において、１は精密機器或
いは精密加工機等が搭載される搭載板、１ｏは該搭載板
１を空気圧にて弾性支持している空気ばね支持装置であ
る。第５図は、上記空気ばね支持装置の拡大断面図で、
図中、１１は前記搭載板１を受ける受は部材、１２は圧
縮空気が封入されている空気ばね室、１３は補助空気室
、１４は空気ばね室１２と補助空気室１３とを連通する
細径の連通孔、１５は空気供給バルブ、１６はダイアフ
ラムで、周知のように、受は部材１１の上に搭載板１を
載置し、該搭載板１の上に精密機器或いは精密加工機を
搭載して使用するものであるが、その際、精密機器に外
部からの振動が伝達されないように、或いは、精密加工
機からの振動が外部へ伝達されないように搭載板１を空
気ばね１０にて弾性支持している。
而して、上記除振装置は、空気の圧縮性を利用するもの
であるため、小型化が難かしく、また、空気ばね装置は
ばれ系であるため、固有振動周波数を有し、外来振動が
この固有振動周波数に等しい場合には除振することがで
きなかった。更には、長期間使用中、圧縮空気が漏洩す
る等して保守管理が大変であった。
であるため、小型化が難かしく、また、空気ばね装置は
ばれ系であるため、固有振動周波数を有し、外来振動が
この固有振動周波数に等しい場合には除振することがで
きなかった。更には、長期間使用中、圧縮空気が漏洩す
る等して保守管理が大変であった。
且−一部
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、小型で、応答性が良く、固有振動を持たず、し、
かも、保守管理の容易な除振装置を提供することを目的
としてなされたものである。
特に、小型で、応答性が良く、固有振動を持たず、し、
かも、保守管理の容易な除振装置を提供することを目的
としてなされたものである。
皇−一部
第１図は、本発明による除振装置の一実施例を説明する
ための構成図で、図中、２０は基板、２１〜２４は該基
板２ｏ上に積層配設された圧電素子板（ただし、圧電素
子板２２と２４はそれぞれ圧電素子板２１と２３の陰で
見えない）、２５は前記圧電素子板２１〜２４上に配設
された搭載板、２６は基板２０上又は基板２０の近傍に
配置された振動検出器で、本発明は、該振動検出器２６
によって外来振動を検出し、その検出信号を例えばロー
カットフィルタ２７、積分器２８、プリアンプ２９１位
相反転器３０、ゲイン調整器３１１〜３１４、及び、パ
ワーアンプ３２．〜３２４を通して各圧電素子板２１〜
２４へ印加するようにしたものである。要約すると、振
動検出器２６によって検出した外来振動信号を反転して
各圧電素子板に印加し、各圧電振動板２１〜２４を外来
振動の振動方向と逆方向に振動させ、搭載板２５に外来
振動が伝達されないようにしたものである。
ための構成図で、図中、２０は基板、２１〜２４は該基
板２ｏ上に積層配設された圧電素子板（ただし、圧電素
子板２２と２４はそれぞれ圧電素子板２１と２３の陰で
見えない）、２５は前記圧電素子板２１〜２４上に配設
された搭載板、２６は基板２０上又は基板２０の近傍に
配置された振動検出器で、本発明は、該振動検出器２６
によって外来振動を検出し、その検出信号を例えばロー
カットフィルタ２７、積分器２８、プリアンプ２９１位
相反転器３０、ゲイン調整器３１１〜３１４、及び、パ
ワーアンプ３２．〜３２４を通して各圧電素子板２１〜
２４へ印加するようにしたものである。要約すると、振
動検出器２６によって検出した外来振動信号を反転して
各圧電素子板に印加し、各圧電振動板２１〜２４を外来
振動の振動方向と逆方向に振動させ、搭載板２５に外来
振動が伝達されないようにしたものである。
なお、図示例の場合、ゲイン調整器及びパワーアンプを
各圧電素子板２１〜２４に対して別々に設けて各圧電素
子に印加する電圧を別々に調整し得るようにしているが
、単一のゲイン調整器及びパワーアンプを全圧電素子板
２１〜２４に対して共通に設けてもよい。而して、圧電
素子は伸長する時の押圧力は強く、収縮する時の引張力
は弱いものであり、そのため、第１図に示した実施例に
おいては、搭載板２５を上方に持ち上げる時の力は圧電
素子で得ているが、下降する時の力は搭載板の自由落下
つまり重力に頼っており、応答性の点で必ずしも十分で
なかった。
各圧電素子板２１〜２４に対して別々に設けて各圧電素
子に印加する電圧を別々に調整し得るようにしているが
、単一のゲイン調整器及びパワーアンプを全圧電素子板
２１〜２４に対して共通に設けてもよい。而して、圧電
素子は伸長する時の押圧力は強く、収縮する時の引張力
は弱いものであり、そのため、第１図に示した実施例に
おいては、搭載板２５を上方に持ち上げる時の力は圧電
素子で得ているが、下降する時の力は搭載板の自由落下
つまり重力に頼っており、応答性の点で必ずしも十分で
なかった。
第２図は、前記第１図に示した除振装置の欠点を改良し
た除振装置の一実施例を示す図で、図中、２１１〜２４
１ （２２１，２４ｔはそれぞれ２１．。
た除振装置の一実施例を示す図で、図中、２１１〜２４
１ （２２１，２４ｔはそれぞれ２１．。
２３１の陰で見えない）はそれぞれ前記圧電素子板２１
〜２４に搭載板２５を挟んで対向して配設された圧電素
子板、４０，４０１は直流分調器、４１．４１．はゲイ
ン調整及びパワーアンプで、振動検出器２６で検出した
振動信号のうちの一部は位相反転されて圧電素子板２１
〜２４に印加され、一部は位相反転されることなく圧電
素子板２１、〜２４．に印加される。従って、この実施
例によると、下方向への外来振動に対しては、圧電素子
板２１〜２４が伸張するとともに圧電素子板２１１〜２
４１が収縮して搭載板２５を上方向へ持ち上げるように
作用し、逆に、外来振動が上方向の時は、圧電素子板２
１１〜２４．が伸張するとともに圧電素子板２１〜２４
が収縮して搭載板２５を下方向へ下降させるように作用
し、結果的に、搭載板２５に振動を与えることなく、該
搭載板２５を所定位置に静止させることができる。
〜２４に搭載板２５を挟んで対向して配設された圧電素
子板、４０，４０１は直流分調器、４１．４１．はゲイ
ン調整及びパワーアンプで、振動検出器２６で検出した
振動信号のうちの一部は位相反転されて圧電素子板２１
〜２４に印加され、一部は位相反転されることなく圧電
素子板２１、〜２４．に印加される。従って、この実施
例によると、下方向への外来振動に対しては、圧電素子
板２１〜２４が伸張するとともに圧電素子板２１１〜２
４１が収縮して搭載板２５を上方向へ持ち上げるように
作用し、逆に、外来振動が上方向の時は、圧電素子板２
１１〜２４．が伸張するとともに圧電素子板２１〜２４
が収縮して搭載板２５を下方向へ下降させるように作用
し、結果的に、搭載板２５に振動を与えることなく、該
搭載板２５を所定位置に静止させることができる。
第３図は、第２図に示した除振装置の変形実施例を示す
図で、図示のように、圧電素子板２１〜２４に平行に荷
重受は用の空気ばね４２．４３を設けたものであり、搭
載板２５に搭載する精密機器が重いものである場合に、
その荷重の一部を該空気ばね４２，４３にて分担するよ
うにしたものである。
図で、図示のように、圧電素子板２１〜２４に平行に荷
重受は用の空気ばね４２．４３を設けたものであり、搭
載板２５に搭載する精密機器が重いものである場合に、
その荷重の一部を該空気ばね４２，４３にて分担するよ
うにしたものである。
第４図は、本発明の他の実施例を説明するための要部構
成図で１図中、５０は上面が開口した筒状の外筐であり
、この中に前述のごとき除振装置がボール５１等を介し
て水平方向に自由に振動できるように収納されるととも
に、外筐５０の内側壁面と基板２０の外側壁面との間の
間隙に圧電素子板５２〜５５（５４，５５は図示せず）
を対称に配設する。すなわち、図示のように、圧電素子
板５２．５３を対称の位置に配設するとともに、これら
圧電素子板５２と５３を直ぶ線と直角の方向に図示しな
い圧電素子板５４．５５（図示せず）を設けたものであ
り、この実施例の場合、振動検出器としては、垂直軸方
向及び水平方向の直交する２軸方向の振動を検出する３
軸方向検出可能なものを使用し、垂直方向の振動に対し
ては前記第１図乃至第３図のごとくして除振し、水平方
向の振動に対しては、圧電素子板対５２，５３、及び、
５４．５４（図示せず）によって除振するようにしたも
のである。
成図で１図中、５０は上面が開口した筒状の外筐であり
、この中に前述のごとき除振装置がボール５１等を介し
て水平方向に自由に振動できるように収納されるととも
に、外筐５０の内側壁面と基板２０の外側壁面との間の
間隙に圧電素子板５２〜５５（５４，５５は図示せず）
を対称に配設する。すなわち、図示のように、圧電素子
板５２．５３を対称の位置に配設するとともに、これら
圧電素子板５２と５３を直ぶ線と直角の方向に図示しな
い圧電素子板５４．５５（図示せず）を設けたものであ
り、この実施例の場合、振動検出器としては、垂直軸方
向及び水平方向の直交する２軸方向の振動を検出する３
軸方向検出可能なものを使用し、垂直方向の振動に対し
ては前記第１図乃至第３図のごとくして除振し、水平方
向の振動に対しては、圧電素子板対５２，５３、及び、
５４．５４（図示せず）によって除振するようにしたも
のである。
羞−一員
以上の説明から明らかなように、本発明によると、小型
で簡単かつ安価な構成によって応答性が良く、固有振動
がなく、しかも、保守管理の容易な除振装置を提供する
ことができる。
で簡単かつ安価な構成によって応答性が良く、固有振動
がなく、しかも、保守管理の容易な除振装置を提供する
ことができる。
第１図乃至第４図は、それぞれ本発明の詳細な説明する
ための構成図、第５図は、従来の空気ばね式除振装置の
一例を説明するための断面図、第６図は、除振装置の一
使用形態を示す側面図である。 ２０・・・基板、２１〜２４，２１．〜２４１゜５３．
５４・・・圧電素子板、２５・・・搭載台、２６・・・
振動検出器、３０・・・外筐。 特許出願人 明立精機株式会社 第 １ 図 １１２図 第３図 第４図 第５図 第６図
ための構成図、第５図は、従来の空気ばね式除振装置の
一例を説明するための断面図、第６図は、除振装置の一
使用形態を示す側面図である。 ２０・・・基板、２１〜２４，２１．〜２４１゜５３．
５４・・・圧電素子板、２５・・・搭載台、２６・・・
振動検出器、３０・・・外筐。 特許出願人 明立精機株式会社 第 １ 図 １１２図 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (4)
- （１）、基板と、該基板上に積層配設された圧電素子板
と、該圧電素子板上に配設された搭載板と、振動検出器
とを具備し、該振動検出器にて検出した検出振動信号を
反転して前記圧電素子に印加するようにしたことを特徴
とする除振装置。 - （２）、基板と、該基板上に積層配設された第１の圧電
素子板と、該第１の圧電素子板の上に配設された搭載板
と、該搭載板の上に配設された第２の圧電素子板と、振
動検出器とを有し、前記第２の圧電素子板は前記搭載板
と前記基板より上方に延長したアームとによつて挟持さ
れ、前記第１の圧電素子板には前記振動検出器によつて
検出された検出振動信号が反転されて印加され、前記第
２の圧電素子板には反転されることなく印加するように
したことを特徴とする除振装置。 - （３）、前記第１の圧電素子板に並行に荷重受け用空気
ばねを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第（２）
項に記載の除振装置。 - （４）、上面開放の筒状外筐内に水平方向に移動自在に
配置された基板と、該基板上に積層配設された第１の圧
電素子板と、該第１の圧電素子板の上に記載された搭載
板と、前記筒状外筐の内側壁と前記基板の外側壁との間
に間隙において、対称の第１の間隙間に配設された少な
くとも１対の第３の圧電素子板と、前記第２の圧電素子
板が配設された面と直角の第２の間隙内に対称に配設さ
れた少なくとも１対の第４の圧電素子板と、３軸方向の
振動を検出する振動検出器とを具備し、該振動検出器の
垂直方向検出信号を反転して前記第１の圧電素子板に印
加するとともに反転しない検出信号を前記第２の圧電素
子板に印加し、水平方向の一軸方向の検出信号を反転し
て前記第３の圧電素子板対の一方に印加するとともに反
転しない検出信号を他方の圧電素子板に印加し、前記水
平方向の一軸に対して直角の軸方向の検出信号を前記第
４の圧電素子板対の一方に印加するとともに反転しない
検出信号を他方の圧電素子板に印加するようにしたこと
を特徴とする除振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12943885A JPS61286634A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12943885A JPS61286634A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61286634A true JPS61286634A (ja) | 1986-12-17 |
Family
ID=15009469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12943885A Pending JPS61286634A (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61286634A (ja) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01247838A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-10-03 | Tokkyo Kiki Kk | 能動制御精密制振方法とその方法を使用したアクチュエータ並びに制振台 |
| EP0347666A2 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Audi Ag | Schwingungsdämpfende und schwingungskompensierende Lageranordnung |
| JPH02159439A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-19 | Kajima Corp | 振動抑制方法 |
| FR2642492A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| FR2642489A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| FR2642493A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| JPH02246382A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ピエゾアクチュエータ及びアクティブ振動絶縁装置 |
| DE3939822A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Audi Ag | Schwingungsdaempfendes system fuer ein kraftfahrzeug |
| JPH03163500A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-07-15 | Hitachi Ltd | 制振・防音装置 |
| JPH03219141A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-09-26 | Tokkyo Kiki Kk | 能動制振台 |
| JPH03505129A (ja) * | 1989-03-16 | 1991-11-07 | ラウキエン、ギュンター | 潜行中の潜水艦における音響放出を軽減するための方法と装置 |
| US5086564A (en) * | 1989-04-07 | 1992-02-11 | Wild Leitz Gmbh | Device and method for active vibration damping |
| JPH04254025A (ja) * | 1989-07-24 | 1992-09-09 | Tokkyo Kiki Kk | 除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路 |
| EP0676558A1 (en) * | 1994-04-04 | 1995-10-11 | Applied Power Inc. | Stiff actuator active vibration isolation system |
| US5695027A (en) * | 1995-11-15 | 1997-12-09 | Applied Power Inc. | Adaptively tuned vibration absorber |
| US5710714A (en) * | 1995-11-15 | 1998-01-20 | Applied Power Inc. | Electronic controller for an adaptively tuned vibration absorber |
| US5920173A (en) * | 1995-11-15 | 1999-07-06 | Applied Power Inc. | Feedback enhanced adaptively tuned vibration absorber |
| WO2005010399A1 (de) * | 2003-07-22 | 2005-02-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Modulare schnittstelle zum dämpfen mechanischer schwingungen |
| WO2006077143A1 (de) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur dynamischen belastungsprüfung einer probe |
| JP2007532839A (ja) * | 2004-04-16 | 2007-11-15 | フラウホファ−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デァ アンゲワンドテン フォルシェウング エー．フォオ． | 機械振動減衰用のせん断力消散インターフェイス器具 |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| WO2011155544A1 (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-15 | 株式会社竹中工務店 | 載置台の振動抑制装置及び載置台の振動抑制方法 |
| CN112413048A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-02-26 | 长安大学 | 一种多维度耗能隔振装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60194536A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Hitachi Ltd | 防振台 |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP12943885A patent/JPS61286634A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60194536A (ja) * | 1984-03-16 | 1985-10-03 | Hitachi Ltd | 防振台 |
Cited By (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01247838A (ja) * | 1988-03-26 | 1989-10-03 | Tokkyo Kiki Kk | 能動制御精密制振方法とその方法を使用したアクチュエータ並びに制振台 |
| EP0347666A2 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-27 | Audi Ag | Schwingungsdämpfende und schwingungskompensierende Lageranordnung |
| DE3821368A1 (de) * | 1988-06-24 | 1989-12-28 | Audi Ag | Schwingungsdaempfende und schwingungskompensierende lageranordnung |
| JPH02159439A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-19 | Kajima Corp | 振動抑制方法 |
| FR2642492A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| FR2642489A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| FR2642493A1 (fr) * | 1989-01-28 | 1990-08-03 | Continental Ag | Support elastique, notamment support pour moteur de vehicule automobile |
| JPH03505129A (ja) * | 1989-03-16 | 1991-11-07 | ラウキエン、ギュンター | 潜行中の潜水艦における音響放出を軽減するための方法と装置 |
| JPH02246382A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-02 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | ピエゾアクチュエータ及びアクティブ振動絶縁装置 |
| US5086564A (en) * | 1989-04-07 | 1992-02-11 | Wild Leitz Gmbh | Device and method for active vibration damping |
| JPH03219141A (ja) * | 1989-07-24 | 1991-09-26 | Tokkyo Kiki Kk | 能動制振台 |
| JPH04254025A (ja) * | 1989-07-24 | 1992-09-09 | Tokkyo Kiki Kk | 除振台の水平位置の維持と水平振動の除振方法並びにその回路 |
| JPH03163500A (ja) * | 1989-08-30 | 1991-07-15 | Hitachi Ltd | 制振・防音装置 |
| DE3939822A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Audi Ag | Schwingungsdaempfendes system fuer ein kraftfahrzeug |
| US5823307A (en) * | 1994-04-04 | 1998-10-20 | Technical Manufacturing Corporation | Stiff actuator active vibration isolation system |
| EP0676558A1 (en) * | 1994-04-04 | 1995-10-11 | Applied Power Inc. | Stiff actuator active vibration isolation system |
| US5660255A (en) * | 1994-04-04 | 1997-08-26 | Applied Power, Inc. | Stiff actuator active vibration isolation system |
| US5695027A (en) * | 1995-11-15 | 1997-12-09 | Applied Power Inc. | Adaptively tuned vibration absorber |
| US5920173A (en) * | 1995-11-15 | 1999-07-06 | Applied Power Inc. | Feedback enhanced adaptively tuned vibration absorber |
| US5710714A (en) * | 1995-11-15 | 1998-01-20 | Applied Power Inc. | Electronic controller for an adaptively tuned vibration absorber |
| US7637359B2 (en) | 2003-07-22 | 2009-12-29 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Modular interface for damping mechanical vibrations |
| WO2005010399A1 (de) * | 2003-07-22 | 2005-02-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Modulare schnittstelle zum dämpfen mechanischer schwingungen |
| EP1785642A3 (de) * | 2003-07-22 | 2007-05-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Modulare Schnittstelle zum Dämpfen mechanischer Schwingungen |
| JP4726893B2 (ja) * | 2004-04-16 | 2011-07-20 | フラウホファ−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デァ アンゲワンドテン フォルシェウング エー．フォオ． | 機械振動減衰用のせん断力消散インターフェイス器具 |
| JP2007532839A (ja) * | 2004-04-16 | 2007-11-15 | フラウホファ−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デァ アンゲワンドテン フォルシェウング エー．フォオ． | 機械振動減衰用のせん断力消散インターフェイス器具 |
| US8186490B2 (en) * | 2004-04-16 | 2012-05-29 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewadten Forschung E.V. | Pushing force deviating interface for damping mechanical vibrations |
| US7770464B2 (en) | 2005-01-21 | 2010-08-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung derangewandten Forschung e.V. | Device for dynamically load testing a sample |
| WO2006077143A1 (de) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur dynamischen belastungsprüfung einer probe |
| JP2010164108A (ja) * | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Takenaka Komuten Co Ltd | 膜型アクチュエータ、複層膜型アクチュエータ、及び空気バネ構造 |
| WO2011155544A1 (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-15 | 株式会社竹中工務店 | 載置台の振動抑制装置及び載置台の振動抑制方法 |
| CN112413048A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-02-26 | 长安大学 | 一种多维度耗能隔振装置 |
| CN112413048B (zh) * | 2020-11-06 | 2022-08-26 | 长安大学 | 一种多维度耗能隔振装置 |
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