JPH0249421A - 拡散炉用炉心管の構造 - Google Patents
拡散炉用炉心管の構造Info
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- JPH0249421A JPH0249421A JP11185889A JP11185889A JPH0249421A JP H0249421 A JPH0249421 A JP H0249421A JP 11185889 A JP11185889 A JP 11185889A JP 11185889 A JP11185889 A JP 11185889A JP H0249421 A JPH0249421 A JP H0249421A
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Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体製造用拡散炉の炉芯管の構造に関するも
のである。
のである。
拡散炉はシリコンウェハー等を炉芯管内に挿入してＢ等
の不純物を拡散させたり、酸化処理を施したりするもの
であるが、これら不純物が炉芯管内に付着し、また、不
要な不純物も次第に堆積するようになるため、時々炉を
休止して炉芯管を洗浄しなければならない。
の不純物を拡散させたり、酸化処理を施したりするもの
であるが、これら不純物が炉芯管内に付着し、また、不
要な不純物も次第に堆積するようになるため、時々炉を
休止して炉芯管を洗浄しなければならない。
従来の炉芯管はその解放端が直胴状になっており、その
洗浄方法は炉芯管を抜き取り、これを塩酸等の浴槽の中
で行うものであるため洗浄方法が繁雑でまた炉体を損傷
させる等の欠点があった。
洗浄方法は炉芯管を抜き取り、これを塩酸等の浴槽の中
で行うものであるため洗浄方法が繁雑でまた炉体を損傷
させる等の欠点があった。
本発明はかかる洗浄を高温ガス処理によって行い得る炉
芯管の構造を提供するもので、洗浄ガス排出側端部外周
面が１１５〜１／１０のテーパー、を有する炭化珪素質
炉芯管と、このテーパー部に嵌合し得る一端部内周面が
略同一テーパーで他端部にガス排出孔を有する石英ガラ
スまたは炭化珪素質蓋体とから成るものである。
芯管の構造を提供するもので、洗浄ガス排出側端部外周
面が１１５〜１／１０のテーパー、を有する炭化珪素質
炉芯管と、このテーパー部に嵌合し得る一端部内周面が
略同一テーパーで他端部にガス排出孔を有する石英ガラ
スまたは炭化珪素質蓋体とから成るものである。
本発明においてガス処理を行うに際し、炉芯管の排出側
端部にガス排出孔を有する蓋体をテーパー部にて嵌合さ
せて炉芯管を密封し、この蓋体のガス排出孔から洗浄ガ
スを排出させるようにして炉芯管の他端から洗浄ガスを
導入させるものである。以下に本発明の実施例を図面と
共に説明する。
端部にガス排出孔を有する蓋体をテーパー部にて嵌合さ
せて炉芯管を密封し、この蓋体のガス排出孔から洗浄ガ
スを排出させるようにして炉芯管の他端から洗浄ガスを
導入させるものである。以下に本発明の実施例を図面と
共に説明する。
図において１は炭化珪素質焼結体から成る炉芯管で、表
面に緻密な炭化珪素膜が被覆きれている。
面に緻密な炭化珪素膜が被覆きれている。
この炉芯管１の一端はその内径が窄められており石英ガ
ラス製ガス導入管２と球面接触３している。
ラス製ガス導入管２と球面接触３している。
他端部は炉芯管と同材質の蓋体４によって密封されてい
る。密封状態は炉芯管端部外周面５に１／１０のテーパ
ーをつけて、これに端部内周面６が１／１０のテーパー
部を有する蓋体４を密着させることによって得られる。
る。密封状態は炉芯管端部外周面５に１／１０のテーパ
ーをつけて、これに端部内周面６が１／１０のテーパー
部を有する蓋体４を密着させることによって得られる。
１１体４にはガス排出孔７が設けられている。この場合
、益体４は石英ガラス製でも同様にテーパー面を設ける
ことによって密封することが出来る。
、益体４は石英ガラス製でも同様にテーパー面を設ける
ことによって密封することが出来る。
かかる構造の炉芯管を使用し、拡散炉処理等によって内
壁面が汚染されたものは、ガス導入孔から塩酸または塩
素等のハロゲンガスを導入し、炉内を１１００’Ｃ以上
例えば１３００℃に加熱することによって、汚染物質は
極めて容易にガス排出孔から排除することができる。炉
体を１１００℃以上に加熱するのは低温では洗浄効果が
低く、洗浄に長い時間を要するためである。
壁面が汚染されたものは、ガス導入孔から塩酸または塩
素等のハロゲンガスを導入し、炉内を１１００’Ｃ以上
例えば１３００℃に加熱することによって、汚染物質は
極めて容易にガス排出孔から排除することができる。炉
体を１１００℃以上に加熱するのは低温では洗浄効果が
低く、洗浄に長い時間を要するためである。
また蓋体は高温ガスと接触するため熱膨張等を考慮し高
温においても腐蝕性ガスの密封状態を維持するためにテ
ーパー状となし、かつその角度を１１５〜１／１０とす
ることが必要である。この用にテーパー接触することに
よって熱膨張の小さい石英ガラスでも密封が可能となり
、また炉芯管と同材質の場合であれば密封はより容易と
なる。
温においても腐蝕性ガスの密封状態を維持するためにテ
ーパー状となし、かつその角度を１１５〜１／１０とす
ることが必要である。この用にテーパー接触することに
よって熱膨張の小さい石英ガラスでも密封が可能となり
、また炉芯管と同材質の場合であれば密封はより容易と
なる。
ガス導入側は比較的低温であるため相対的には熱膨張を
考慮することがないから、従来の球面接触でも、またそ
の他の方法でも可能である。
考慮することがないから、従来の球面接触でも、またそ
の他の方法でも可能である。
本発明の炉芯管はかかる構造のものを使用したからハロ
ゲンガスの洗浄効果が著しく高い高温においても何らガ
スリークすることなく、また炉体を冷却しなり炉芯管を
抜き出したりすることが不要となり、極めて容易に炉芯
管内部を洗浄することができる。
ゲンガスの洗浄効果が著しく高い高温においても何らガ
スリークすることなく、また炉体を冷却しなり炉芯管を
抜き出したりすることが不要となり、極めて容易に炉芯
管内部を洗浄することができる。
なお、炉芯管の材質は炭化珪素に炭化珪素を被覆したも
ののみでなく、炭化珪素に金属シリコンを含浸させたも
の、あるいは窒化珪素を被覆したもの等でも可能であり
、同様に蓋体もこれらの材質が使用可能である。
ののみでなく、炭化珪素に金属シリコンを含浸させたも
の、あるいは窒化珪素を被覆したもの等でも可能であり
、同様に蓋体もこれらの材質が使用可能である。
第１図は本発明の実施例を示す拡散炉用炉芯管の概略断
面図である。
面図である。
Claims (1)
- 洗浄ガス排出側端部外周面が１／５〜１／１０のテー
パーを有する炭化珪素質炉芯管と、このテーパー部に嵌
合し得る一端部内周面が略同一テーパーを有する石英ガ
ラスまたは炭化珪素質蓋体とからなることを特徴とする
高純度拡散炉用炉芯管の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11185889A JPH0249421A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 拡散炉用炉心管の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11185889A JPH0249421A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 拡散炉用炉心管の構造 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10458978A Division JPS5530869A (en) | 1978-08-28 | 1978-08-28 | Furnace core tube for use in diffusion furnace and method of washing same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249421A true JPH0249421A (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0542812B2 JPH0542812B2 (ja) | 1993-06-29 |
Family
ID=14571924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11185889A Granted JPH0249421A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 拡散炉用炉心管の構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0249421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100703169B1 (ko) * | 2004-08-26 | 2007-04-05 | 여환동 | 건축물의 단열, 방수구조 및 공법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185374A (ja) * | 1974-12-06 | 1976-07-26 | Norton Co | |
| JPS5222477A (en) * | 1975-08-13 | 1977-02-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Sic-si type equalizing tube for manufacturing gas impermeable semi conductors |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP11185889A patent/JPH0249421A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5185374A (ja) * | 1974-12-06 | 1976-07-26 | Norton Co | |
| JPS5222477A (en) * | 1975-08-13 | 1977-02-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | Sic-si type equalizing tube for manufacturing gas impermeable semi conductors |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100703169B1 (ko) * | 2004-08-26 | 2007-04-05 | 여환동 | 건축물의 단열, 방수구조 및 공법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0542812B2 (ja) | 1993-06-29 |
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