JPH0245778A - 半導体集積回路の検査装置および検査方法 - Google Patents
半導体集積回路の検査装置および検査方法Info
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- JPH0245778A JPH0245778A JP63197459A JP19745988A JPH0245778A JP H0245778 A JPH0245778 A JP H0245778A JP 63197459 A JP63197459 A JP 63197459A JP 19745988 A JP19745988 A JP 19745988A JP H0245778 A JPH0245778 A JP H0245778A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
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- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 1
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、被測定半導体集積回路の静特性検査における
、各検査項目の検査結果波形の表示をともなう検査方法
および検査装置に関する。
、各検査項目の検査結果波形の表示をともなう検査方法
および検査装置に関する。
従来の技術
従来行なわれてきた半導体集積回路の検査結果波形の表
示をともなう検査方法を第５図に示す。
示をともなう検査方法を第５図に示す。
実線矢印の流れが、静特性検査の手順例であり、検査結
果波形を取り込むためには、点線矢印のような作業が付
加される。検査条件印加の前に、検査条件解読と波形を
読み取るための準備（例えばオシロスコープを使用する
ならプローブの接続切換や時間軸の設定）が必要であり
、検査結果波形発生後に、波形取り込み処理を行なう方
法が行なわれてきた。
果波形を取り込むためには、点線矢印のような作業が付
加される。検査条件印加の前に、検査条件解読と波形を
読み取るための準備（例えばオシロスコープを使用する
ならプローブの接続切換や時間軸の設定）が必要であり
、検査結果波形発生後に、波形取り込み処理を行なう方
法が行なわれてきた。
発明が解決しようとする課題
しかし、このような従来の方法では、第５図の矢印のよ
うな作業が付加されるため、検査項目と次の検査項目と
の間に余分な時間が発生ずるため、被測定半導体集積回
路の発熱状態が異なることに依存して、検査条件によっ
ては検査結果波形が変化する場合があり、実際の静特性
検査と一致した波形が表示できない欠点があった。
うな作業が付加されるため、検査項目と次の検査項目と
の間に余分な時間が発生ずるため、被測定半導体集積回
路の発熱状態が異なることに依存して、検査条件によっ
ては検査結果波形が変化する場合があり、実際の静特性
検査と一致した波形が表示できない欠点があった。
課題を解決するための手段
本発明は、上記の問題点を解決するために、検査条件を
記憶比較する検査条件記憶回路と、検査結果波形を入力
する測定器選択回路と、検査結果波形を記憶する波形メ
モリーと、あらかじめ検査項目番号と項目ごとの検査条
件を読み取り記憶する検査条件読み取り手段と、前記記
憶した検査条件を基に検査結果波形を取り込み記憶する
波形取り込み手段と、前記記憶した検査条件と、前記検
査結果波形を項目ごとに処理し表示する波形表示手段と
を備えた検査結果波形表示装置、ならびに、同装置によ
り、被測定半導体集積回路の静特性検査で、各検査項目
ごとの検査条件により連続して発生する検査結果波形を
取り込むにあたり、はじめに計測準備作業で、測定結果
波形を取り込もうとする静特性検査を行ない、各検査項
目ごとの項目番号と検査条件を読み取り記憶し、次に被
測定半導体集積回路の静特性検査と併行して、入力され
る検査項目番号を項目送りの同期信号として入力された
項目番号と、記憶済の項目番号とを比較し、一致した項
目の検査条件を出力し、この条件を基に、波形取り込み
側の操作設定を行ない、順次発生する検査結果波形を取
り込み記憶し、最後に記憶された検査結果波形を項目ご
とに呼び出し、波形表示のための処理を行なう検査方法
である。
記憶比較する検査条件記憶回路と、検査結果波形を入力
する測定器選択回路と、検査結果波形を記憶する波形メ
モリーと、あらかじめ検査項目番号と項目ごとの検査条
件を読み取り記憶する検査条件読み取り手段と、前記記
憶した検査条件を基に検査結果波形を取り込み記憶する
波形取り込み手段と、前記記憶した検査条件と、前記検
査結果波形を項目ごとに処理し表示する波形表示手段と
を備えた検査結果波形表示装置、ならびに、同装置によ
り、被測定半導体集積回路の静特性検査で、各検査項目
ごとの検査条件により連続して発生する検査結果波形を
取り込むにあたり、はじめに計測準備作業で、測定結果
波形を取り込もうとする静特性検査を行ない、各検査項
目ごとの項目番号と検査条件を読み取り記憶し、次に被
測定半導体集積回路の静特性検査と併行して、入力され
る検査項目番号を項目送りの同期信号として入力された
項目番号と、記憶済の項目番号とを比較し、一致した項
目の検査条件を出力し、この条件を基に、波形取り込み
側の操作設定を行ない、順次発生する検査結果波形を取
り込み記憶し、最後に記憶された検査結果波形を項目ご
とに呼び出し、波形表示のための処理を行なう検査方法
である。
作用
本発明によると、あらかじめ準備作業により、波形取り
込みに必要な条件を解読、記憶しているため、既存の検
査条件を変えることな（、波形取り込みができる。しか
たって、これにより、量産ラインでの通常の検査と一致
した条件で、生産（検査）しながら検査結果波形が求め
られる。
込みに必要な条件を解読、記憶しているため、既存の検
査条件を変えることな（、波形取り込みができる。しか
たって、これにより、量産ラインでの通常の検査と一致
した条件で、生産（検査）しながら検査結果波形が求め
られる。
実施例
本発明の実施例について、図を参照して説明する。
第１図に本発明の検査結果波形表示装置の構成図を示す
。
。
９は検査結果波形表示装置、１０は静特性検査器、１１
は被測定半導体集積回路である。はじめに計測準備作業
として、検査結果波形を取り込もうとする品種の静特性
検査を一度だけ行なう。このときに第１図において、測
定器制御回路７から各検査項目の検査条件が信号線１０
１を介して検査条件記憶比較回路１に入力される。
は被測定半導体集積回路である。はじめに計測準備作業
として、検査結果波形を取り込もうとする品種の静特性
検査を一度だけ行なう。このときに第１図において、測
定器制御回路７から各検査項目の検査条件が信号線１０
１を介して検査条件記憶比較回路１に入力される。
各項目ごとの検査条件を取り込み、解読したものを検査
条件記憶回路１に書き込んでおき、次の検査からは、測
定８制御回路７から信号線１０１を介して本装置に入力
される検査項目番号を項目切り換えの同期信号として、
記憶済の項目番号と比較し、一致した場合は、その項目
の測定器番号を出力し、制御回路２を介して切換器３に
よりＡ／Ｄ変換器４に検査結果波形が出力される測定器
を選択して接続し、その選択された測定器からの検査結
果波形をＡ／Ｄ変換器４に入力する。
条件記憶回路１に書き込んでおき、次の検査からは、測
定８制御回路７から信号線１０１を介して本装置に入力
される検査項目番号を項目切り換えの同期信号として、
記憶済の項目番号と比較し、一致した場合は、その項目
の測定器番号を出力し、制御回路２を介して切換器３に
よりＡ／Ｄ変換器４に検査結果波形が出力される測定器
を選択して接続し、その選択された測定器からの検査結
果波形をＡ／Ｄ変換器４に入力する。
デジタル変換された検査結果波形を波形メモリー５に記
憶し、次の検査項目の処理に移る。
憶し、次の検査項目の処理に移る。
第２図は検査結果波形表示手段の説明図であり、最後に
第２図のように、波形メモリーに記憶したデーターａと
、検査条件記憶回路の検査条件すとを呼び出し、デイス
プレィ面に波形表示Ｃを行なう。
第２図のように、波形メモリーに記憶したデーターａと
、検査条件記憶回路の検査条件すとを呼び出し、デイス
プレィ面に波形表示Ｃを行なう。
上記検査結果波形表示装置を用いて波形表示を行なう検
査方法の実施例を第３図、第４図の工程流れ図により説
明する。
査方法の実施例を第３図、第４図の工程流れ図により説
明する。
第３図は検査条件読み取り手段の動作手順を説明する流
れ図であり、第４図は波形取り込み手段の動作手順を説
明する流れ図である。
れ図であり、第４図は波形取り込み手段の動作手順を説
明する流れ図である。
第３図のように、はじめに準備作業として、既存の静特
性検査を一度行なう。
性検査を一度行なう。
このときの各検査項目の項目番号と検査条件を読み取り
、項目ごとに記憶してお（。
、項目ごとに記憶してお（。
次回から第４図のように、検査項目１の検査条件印加中
に入力された検査項目番号を記憶済の項目番号と比較し
、一致した場合、その項目の検査条件を基に波形取り込
み側の設定操作を行ない（例えば、項目ｎの測定器番号
を基に、測定結果波形が出力される測定器を、Ａ／Ｄ変
換器に接続する）、検査結果波形を取り込み、記憶する
。
に入力された検査項目番号を記憶済の項目番号と比較し
、一致した場合、その項目の検査条件を基に波形取り込
み側の設定操作を行ない（例えば、項目ｎの測定器番号
を基に、測定結果波形が出力される測定器を、Ａ／Ｄ変
換器に接続する）、検査結果波形を取り込み、記憶する
。
最後に記憶済の検査条件と検査結果波形を項目ごとに呼
び出し、波形表示を行なう。
び出し、波形表示を行なう。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、検査結果波形の発生
条件を変える事なく、各検査項目ごとに連続して発生す
る検査結果波形を、生産（検査）しながら取り込み、表
示できる。
条件を変える事なく、各検査項目ごとに連続して発生す
る検査結果波形を、生産（検査）しながら取り込み、表
示できる。
第１図は本発明の一実施例装置をあられすブロック図、
第２図は検査結果波形表示手段の説明図、第３図は検査
条件読み取り手段の動作手順を説明する流れ図、第４図
は波形取り込み手段の動作手順を説明する流れ図、第５
図は、静特性検査の流れと、従来の技術を説明するため
の流れ図である。 １・・・・・・検査条件記憶、比較回路、２・・・・・
・制御回路、３・・・・・・切換回路（測定器選択回路
）、４・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、５・・・・・・波形
メモリー、６・・・・・・波形表示、７・・・・・・測
定器制御回路、８・・・・・・測定器１〜ｎ、９・・・
・・・検査結果波形表示装置、１０・・・・・・静特性
検査器、１１・・・・・・被測定半導体集積回路。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名１図 ９−侠盗妬果欠刑 表示彼１ １０−９奢性奏査較 第２図 第 図 第 図
第２図は検査結果波形表示手段の説明図、第３図は検査
条件読み取り手段の動作手順を説明する流れ図、第４図
は波形取り込み手段の動作手順を説明する流れ図、第５
図は、静特性検査の流れと、従来の技術を説明するため
の流れ図である。 １・・・・・・検査条件記憶、比較回路、２・・・・・
・制御回路、３・・・・・・切換回路（測定器選択回路
）、４・・・・・・Ａ／Ｄ変換器、５・・・・・・波形
メモリー、６・・・・・・波形表示、７・・・・・・測
定器制御回路、８・・・・・・測定器１〜ｎ、９・・・
・・・検査結果波形表示装置、１０・・・・・・静特性
検査器、１１・・・・・・被測定半導体集積回路。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名１図 ９−侠盗妬果欠刑 表示彼１ １０−９奢性奏査較 第２図 第 図 第 図
Claims (2)
- （１）検査条件を記憶比較する検査条件記憶回路と、検
査結果波形を入力する測定器選択回路と、検査結果波形
を記憶する波形メモリーと、あらかじめ、検査項目番号
と項目ごとの検査条件を読み取り記憶する検査条件読み
取り手段と、前記記憶した検査条件を基に、検査結果波
形を取り込み記憶する波形取り込み手段と、前記記憶し
た検査条件と、前記検査結果波形を項目ごとに処理し表
示する波形表示手段とを備えたこと特徴とする半導体集
積回路の検査装置。 - （２）被測定半導体集積回路の静特性検査で、各検査項
目ごとの検査条件により連続して発生する検査結果波形
を取り込むにあたり、はじめに、計測準備作業で、測定
結果波形を取り込もうとする静特性検査を行ない、各検
査項目ごとの項目番号と検査条件を読み取り記憶し、次
に、被測定半導体集積回路の静特性検査と併行して、入
力される検査項目番号を項目送りの周期信号として入力
された項目番号と、記憶済の項目番号とを比較し、一致
した項目の検査条件を出力し、この条件を基に波形取り
込み側の操作設定を行ない、順次発生する検査結果波形
を取り込み記憶し、最後に、記憶された検査条件と、検
査結果波形を項目ごとに呼び出し、波形表示のための処
理を行ない表示することを特徴とする半導体集積回路の
検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63197459A JP2650974B2 (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 | 半導体集積回路の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63197459A JP2650974B2 (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 | 半導体集積回路の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245778A true JPH0245778A (ja) | 1990-02-15 |
| JP2650974B2 JP2650974B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=16374855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63197459A Expired - Lifetime JP2650974B2 (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 | 半導体集積回路の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2650974B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110857958A (zh) * | 2018-08-23 | 2020-03-03 | 尼得科艾莱希斯电子（浙江）有限公司 | 电路板检查装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58100760A (ja) * | 1981-12-10 | 1983-06-15 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 直流特性自動測定装置 |
-
1988
- 1988-08-08 JP JP63197459A patent/JP2650974B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58100760A (ja) * | 1981-12-10 | 1983-06-15 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | 直流特性自動測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110857958A (zh) * | 2018-08-23 | 2020-03-03 | 尼得科艾莱希斯电子（浙江）有限公司 | 电路板检查装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2650974B2 (ja) | 1997-09-10 |
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