JPS62294984A - 半導体検査装置 - Google Patents
半導体検査装置Info
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- JPS62294984A JPS62294984A JP61138819A JP13881986A JPS62294984A JP S62294984 A JPS62294984 A JP S62294984A JP 61138819 A JP61138819 A JP 61138819A JP 13881986 A JP13881986 A JP 13881986A JP S62294984 A JPS62294984 A JP S62294984A
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- impulse response
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- Pending
Links
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明に半導体検査装置に関し、特にディジタルフィル
タの量産上の不良を検出すべく行なう良品判定処理の効
率改善を図った半導体検査装置に関する。
タの量産上の不良を検出すべく行なう良品判定処理の効
率改善を図った半導体検査装置に関する。
近年、民生用と産業用とを問わず各種情報の処理形態が
従来のアナログ処理からディジタル処理に移行し、これ
に伴ない従来アナログ処理で行なわれていた各種フィル
タリング処理がディジタルフィルタによる処理に変更さ
れるようになってきている。このため、ディジタルフィ
ルタの応用分野が急増しその規模も多彩なものとなって
いる。
従来のアナログ処理からディジタル処理に移行し、これ
に伴ない従来アナログ処理で行なわれていた各種フィル
タリング処理がディジタルフィルタによる処理に変更さ
れるようになってきている。このため、ディジタルフィ
ルタの応用分野が急増しその規模も多彩なものとなって
いる。
−万、ディジタルフィルタは、データを演箪処理してし
まうためその出力データからではエラーを検出しにくく
、また、エラー発生部位を特定することが困難であり、
このため従来から行なわれている方法では十分な検査を
なし得ないか、あるいはコスト的に不利であるという間
質がある。
まうためその出力データからではエラーを検出しにくく
、また、エラー発生部位を特定することが困難であり、
このため従来から行なわれている方法では十分な検査を
なし得ないか、あるいはコスト的に不利であるという間
質がある。
従来の半導体検査装置において利用されている検査方法
としては、スペクトルアナライザを利用する方法、ロジ
ツアナライザを利用する方法、もしくｈＬｓＩテスタに
よる方法等がある。
としては、スペクトルアナライザを利用する方法、ロジ
ツアナライザを利用する方法、もしくｈＬｓＩテスタに
よる方法等がある。
スペクトルアナライザによる方法は、正弦波をＡ（Ａｎ
ａｌｏｇ）／Ｄ（Ｄｉｇｉｔａｌ）Ｉｃよってディジタ
ル量に変換したのちディジタルフィルタに入力し、その
出力をＤ／Ａコンバータによって変換した結果をスペク
トルアナライザで観測し、その周波数特性にもとづいて
良品判定を行なうものである。
ａｌｏｇ）／Ｄ（Ｄｉｇｉｔａｌ）Ｉｃよってディジタ
ル量に変換したのちディジタルフィルタに入力し、その
出力をＤ／Ａコンバータによって変換した結果をスペク
トルアナライザで観測し、その周波数特性にもとづいて
良品判定を行なうものである。
また、ロジックアナライザによる方法およびＬＳＩテス
タによる方法は、インパルス信号に相当するディジタル
信号を入力しその出力応答を期待値と比較して良品判定
を行なうものである。
タによる方法は、インパルス信号に相当するディジタル
信号を入力しその出力応答を期待値と比較して良品判定
を行なうものである。
上述した従来の半導体検査装置のうち、良品判定手段と
してスペクトルアナライザを利用するものにあっては、
入力あるいは出力の変換を行なう際にＡ／Ｄコンバータ
およびＤ／Ａコンバータの非＠線性やノイズによる誤差
が生じ正確な判定を為し得ない場合があり、ざらに不良
箇所の特定が困難であるという問題がある。
してスペクトルアナライザを利用するものにあっては、
入力あるいは出力の変換を行なう際にＡ／Ｄコンバータ
およびＤ／Ａコンバータの非＠線性やノイズによる誤差
が生じ正確な判定を為し得ない場合があり、ざらに不良
箇所の特定が困難であるという問題がある。
また、ロジックアナライザおよびＬＳＩテスタを利用す
る半導体検査装置ｉｔは、通常、正確な判定が行える反
面設備費用が高く、かつ設備規格も犬きくなるため配線
等の影響による籾温障害を受は易く、高速動作するディ
ジタルフィルタの判定には不向きであるという問題があ
る。
る半導体検査装置ｉｔは、通常、正確な判定が行える反
面設備費用が高く、かつ設備規格も犬きくなるため配線
等の影響による籾温障害を受は易く、高速動作するディ
ジタルフィルタの判定には不向きであるという問題があ
る。
本発明の目的は上述した欠点を除去し、ディジタルフィ
ルタの良品判定を行なう半導体検査装置において、被検
査ディンタルフィルタのインパルス応答と、原器とする
基準ディジタルフィルタのインパルス応答との比較を介
して良品判定を行なうという手段を用意することにより
、低コストで正確な良品判定を可能ならしめるとともに
、高速動作するディジタルフィルタの良品判定も可能な
極めて簡単な構成の半導体検査装置を提供することにあ
る。
ルタの良品判定を行なう半導体検査装置において、被検
査ディンタルフィルタのインパルス応答と、原器とする
基準ディジタルフィルタのインパルス応答との比較を介
して良品判定を行なうという手段を用意することにより
、低コストで正確な良品判定を可能ならしめるとともに
、高速動作するディジタルフィルタの良品判定も可能な
極めて簡単な構成の半導体検査装置を提供することにあ
る。
本発明の装置は、ディジタルフィルタの良品判定を行な
う半導体検査装置において％Ｍ検査ディジタルフィルタ
のインパルス応答と、原器とする基準ディジタルフィル
タのインパルス応答との比較を介して被検査ディジタル
フィルタの良品判定を行なう手段を備えて構成される。
う半導体検査装置において％Ｍ検査ディジタルフィルタ
のインパルス応答と、原器とする基準ディジタルフィル
タのインパルス応答との比較を介して被検査ディジタル
フィルタの良品判定を行なう手段を備えて構成される。
次に、本発明について図面を参照して詳細に説明する。
Ｋ１図は本発明の一実施例を示すブロック図であり、基
準ディジタルフィルタ１．テスト信号発生回路２．比較
回路３および表示回路４を備えて構成され、なお、被検
査ディジタルフィルタ１００を併記して示す。
準ディジタルフィルタ１．テスト信号発生回路２．比較
回路３および表示回路４を備えて構成され、なお、被検
査ディジタルフィルタ１００を併記して示す。
テスト信号発生回路２は、インパルス信号に相当するデ
ィジタル信号を発生しこｔｌ、全基準ディジタルフィル
タ１と被検査ディジタルフィルタ１００に供給する。
ィジタル信号を発生しこｔｌ、全基準ディジタルフィル
タ１と被検査ディジタルフィルタ１００に供給する。
原器とする基準ディジタルフィルタ１および被試験ディ
ジタルフィルタ１００の出力するインパルス応答はそれ
ぞれ比較回路３に供給されて一致判定が行なわれ、その
結果は表示回路４に表示される。比較回路３および表示
回路４は必要に応じ出力の各ビットごとに一致判定を行
ない不良箇所の特定も可能ならしめている。
ジタルフィルタ１００の出力するインパルス応答はそれ
ぞれ比較回路３に供給されて一致判定が行なわれ、その
結果は表示回路４に表示される。比較回路３および表示
回路４は必要に応じ出力の各ビットごとに一致判定を行
ない不良箇所の特定も可能ならしめている。
こうして、被検査ディジタルフィルタのインパルス応答
全原器とする標準ディジタルフィルタのインパルス応答
と比較することによってフィルタ特性の良否が置所に判
明し効率的な検査処理ができる。
全原器とする標準ディジタルフィルタのインパルス応答
と比較することによってフィルタ特性の良否が置所に判
明し効率的な検査処理ができる。
以上説明した如く本発明によｎば、ディジタルフィルタ
の良品判定を行なう半導体検査装置において、被検査デ
ィジタルフィルタのインパルス応答と原器とする基準デ
ィジタルフィルタのインパルス応答と比較するという手
段を備えることにより、低コストで正確な良品判定を可
能ならしめるとともに、高速動作するディジタルフィル
タの良品判定も可能な極めて簡素な構成の半導体検査装
置が実現できるという効果がある。
の良品判定を行なう半導体検査装置において、被検査デ
ィジタルフィルタのインパルス応答と原器とする基準デ
ィジタルフィルタのインパルス応答と比較するという手
段を備えることにより、低コストで正確な良品判定を可
能ならしめるとともに、高速動作するディジタルフィル
タの良品判定も可能な極めて簡素な構成の半導体検査装
置が実現できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
１・・・・・・基準ディジタルフィルタ、２・・・・・
・テスト信号発生回路、３・・・・・・比較回路、４・
−・・−・表示回路、１００・・・・・・被検査ディジ
タルフィルタ。
・テスト信号発生回路、３・・・・・・比較回路、４・
−・・−・表示回路、１００・・・・・・被検査ディジ
タルフィルタ。
Claims (1)
- ディジタルフィルタの良品判定を行なう半導体検査装
置において、被検査ディジタルフィルタのインパルス応
答と原器とする基準ディジタルフィルタのインパルス応
答との比較を介して被検査ディジタルフィルタの良品判
定を行なう手段を備えて成ることを特徴とする半導体検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61138819A JPS62294984A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 半導体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61138819A JPS62294984A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 半導体検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62294984A true JPS62294984A (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=15230969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61138819A Pending JPS62294984A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 半導体検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62294984A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0782715A1 (en) * | 1994-09-20 | 1997-07-09 | Neopath, Inc. | Cytological system autofocus integrity checking apparatus |
| CN100340865C (zh) * | 2004-02-21 | 2007-10-03 | 华为技术有限公司 | 一种滤波器的自动化测试方法 |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP61138819A patent/JPS62294984A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0782715A1 (en) * | 1994-09-20 | 1997-07-09 | Neopath, Inc. | Cytological system autofocus integrity checking apparatus |
| EP0782715A4 (en) * | 1994-09-20 | 1999-10-20 | Neopath Inc | DEVICE FOR TESTING THE INTEGRITY OF AN AUTOFOCUS SYSTEM A CYTOLOGICAL SYSTEM |
| CN100340865C (zh) * | 2004-02-21 | 2007-10-03 | 华为技术有限公司 | 一种滤波器的自动化测试方法 |
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