JPH01116460A - 電子装置の検査方法 - Google Patents
電子装置の検査方法Info
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- JPH01116460A JPH01116460A JP62276093A JP27609387A JPH01116460A JP H01116460 A JPH01116460 A JP H01116460A JP 62276093 A JP62276093 A JP 62276093A JP 27609387 A JP27609387 A JP 27609387A JP H01116460 A JPH01116460 A JP H01116460A
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 16
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Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、電子装置の検査方法に関し、被測定ロット
の不良率に応じて、その後の被測定項目順序を自助的に
選定する事の出来る検査方法に関するものである。
の不良率に応じて、その後の被測定項目順序を自助的に
選定する事の出来る検査方法に関するものである。
第２図は従来の電子装置の検査方法を示す測定プログラ
ムである。図において、（１）は検査項目で６９所定の
順序のプログラムで検査が実施されム（２）はプログラ
ムに従って行ったテスト項目毎のテスト結果を表わす。
ムである。図において、（１）は検査項目で６９所定の
順序のプログラムで検査が実施されム（２）はプログラ
ムに従って行ったテスト項目毎のテスト結果を表わす。
このような従来の検査方法では各検査はプログラムに従
い固定された順序で行っていた。
い固定された順序で行っていた。
次に作用について説明する。従来のテスト方法では、１
００項目の検査を行う場合、順次Ｋｆｌ１ｍ査を始めよ
り行うので、最終検査の１００回目の検査で不良と判定
した素子に対しても、１回目から９９回目の検査を総て
行っていた。
００項目の検査を行う場合、順次Ｋｆｌ１ｍ査を始めよ
り行うので、最終検査の１００回目の検査で不良と判定
した素子に対しても、１回目から９９回目の検査を総て
行っていた。
従来の検査方法は以上に構成されているので、検査項目
の不良率の大小に関係なく一定の順序でテストを行って
いたので、不良素子の発見が遅くなる場合があり、その
ため不良素子に対して検査時間を無駄に使“う問題点が
あった。
の不良率の大小に関係なく一定の順序でテストを行って
いたので、不良素子の発見が遅くなる場合があり、その
ため不良素子に対して検査時間を無駄に使“う問題点が
あった。
この発明は上記のような問題点を解消するためのもので
、不良菓子の早期発見、及び不良素子の検査時間の短縮
化、ロフト当りの！＊査待時間短くする事の出来る電子
装置の検査方法を得ることを目的とする。
、不良菓子の早期発見、及び不良素子の検査時間の短縮
化、ロフト当りの！＊査待時間短くする事の出来る電子
装置の検査方法を得ることを目的とする。
この発明に係る検査方法は、所定数の電子装置の検査結
果により最も不良率の高い検査項目を抽出し、その後の
検査は最も不良率の高い検査項目について最初に検査を
行うようにした。
果により最も不良率の高い検査項目を抽出し、その後の
検査は最も不良率の高い検査項目について最初に検査を
行うようにした。
この発明における電子装置の検査方法は、所定数の電子
装置の検査結果により最も不良率の高い検査項目を抽出
することが出来る。
装置の検査結果により最も不良率の高い検査項目を抽出
することが出来る。
以上、この発明の一実施例を第１図に示す説明図につい
て説明する。第１図において、（ａ）はテストプログラ
ムを表わしたもの、（ｂ）は複数個の測定項目に対する
不良率を表わしたもの、（ｃ）は以上の結果の不良率の
大小によってテストの１−序の変化するテストプログラ
ムを表わし喪ものである。
て説明する。第１図において、（ａ）はテストプログラ
ムを表わしたもの、（ｂ）は複数個の測定項目に対する
不良率を表わしたもの、（ｃ）は以上の結果の不良率の
大小によってテストの１−序の変化するテストプログラ
ムを表わし喪ものである。
以下、この発明の一実施例をＮｌプログラム図により詳
細に説明する。あるロットに対してテストを開始した際
にロットの不良項目に対してテスト項目（１）の不良率
（３）には大小の差が表われる。このテスト結果（２）
よｐ以下に行う製品の検査時にはコンピュータによって
自動的に不良率（３）の多い項目よりテストを行い（テ
スト時間が短縮され、処理能力が向上する。
細に説明する。あるロットに対してテストを開始した際
にロットの不良項目に対してテスト項目（１）の不良率
（３）には大小の差が表われる。このテスト結果（２）
よｐ以下に行う製品の検査時にはコンピュータによって
自動的に不良率（３）の多い項目よりテストを行い（テ
スト時間が短縮され、処理能力が向上する。
上記の一実施例では各検査項目について電子装置の不良
率の大小をみて検査順序の最適化を図る事を目的とした
。この発明は、半導体集積回路のアセンブリのインライ
ンデータなどでも同様のプログラムを使用すると処理能
力の向上が期待できるＯ 〔発明の効果〕 この発明は、所定数の電子装置の検査結果により、最も
不良率の高い検査項目を抽出し、その後の検査は最も不
良率の高い検査項目について最初に検査するようにした
ものであり、検査の処理能力の向上が期待できる。
率の大小をみて検査順序の最適化を図る事を目的とした
。この発明は、半導体集積回路のアセンブリのインライ
ンデータなどでも同様のプログラムを使用すると処理能
力の向上が期待できるＯ 〔発明の効果〕 この発明は、所定数の電子装置の検査結果により、最も
不良率の高い検査項目を抽出し、その後の検査は最も不
良率の高い検査項目について最初に検査するようにした
ものであり、検査の処理能力の向上が期待できる。
第１図は発明の一実施例の説明図で、（ａ）は所定数の
電子装置の検査結果を示したもの、（ｂ）は慣企項目に
対する歩留りを表わしたもの、（Ｃ）は以上の結果によ
って、その後の検査を歩留りの悪い項目を最初にしたプ
ログラムを示した。第２図は従来の方法を示す説明図で
、（１）はテスト項目を表わすもの、（２）はテストで
ある結果を表わすものである。 （１）はテスト項目、（２）はテスト結果、（３）は不
良率である。
電子装置の検査結果を示したもの、（ｂ）は慣企項目に
対する歩留りを表わしたもの、（Ｃ）は以上の結果によ
って、その後の検査を歩留りの悪い項目を最初にしたプ
ログラムを示した。第２図は従来の方法を示す説明図で
、（１）はテスト項目を表わすもの、（２）はテストで
ある結果を表わすものである。 （１）はテスト項目、（２）はテスト結果、（３）は不
良率である。
Claims (1)
- 検査すべき項目が複数ある電子装置において、その複数
の検査項目を順次検査する電子装置の検査方法において
、所定数の電子装置の検出結果により最も不良率の高い
検出項目を抽出し、その後の検査は最も不良率の高い検
査項目について最初に検査するようにしたものである、
以上を特徴とする電子装置の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276093A JPH01116460A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 電子装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62276093A JPH01116460A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 電子装置の検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01116460A true JPH01116460A (ja) | 1989-05-09 |
Family
ID=17564704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62276093A Pending JPH01116460A (ja) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | 電子装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01116460A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006214769A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の試験システム及び試験方法 |
-
1987
- 1987-10-30 JP JP62276093A patent/JPH01116460A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006214769A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の試験システム及び試験方法 |
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