JPH03214081A - 半導体集積回路のテスト方法 - Google Patents
半導体集積回路のテスト方法Info
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- JPH03214081A JPH03214081A JP2009387A JP938790A JPH03214081A JP H03214081 A JPH03214081 A JP H03214081A JP 2009387 A JP2009387 A JP 2009387A JP 938790 A JP938790 A JP 938790A JP H03214081 A JPH03214081 A JP H03214081A
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- test
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 62
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 abstract 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体集積回路(以下ICと呼ぶ)をテスト
する工Oテスタ(以下テスタと呼ぶ)に使用されるテス
ト方法に関するものである。
する工Oテスタ(以下テスタと呼ぶ)に使用されるテス
ト方法に関するものである。
第2図は従来のL8工用テスタに使用されるテスト方法
を記述したフローチャートである。図において、ステッ
プ1はテスト11ステツプ2はテスト2、・・・、ステ
ップ3Fiテストnで1つの試験項目の中で実行される
h個のテストの実行状態を示す。また、第3図はテスタ
による被測定IC(以下D(ITと呼ぶ)の試験状態を
示すブロック図で、図において、(1)はテxp、(2
)はD(FT、(3)は計測信号、(4)FiOP O
,(5)はGOカウンタ、(6)はNGカウンタである
。試験結果によるD U T (2)のGo(良品)ま
たはNG(不良品)の数置をGOカウンタ(5)及びN
Gカウンタ(6)でカウントする。
を記述したフローチャートである。図において、ステッ
プ1はテスト11ステツプ2はテスト2、・・・、ステ
ップ3Fiテストnで1つの試験項目の中で実行される
h個のテストの実行状態を示す。また、第3図はテスタ
による被測定IC(以下D(ITと呼ぶ)の試験状態を
示すブロック図で、図において、(1)はテxp、(2
)はD(FT、(3)は計測信号、(4)FiOP O
,(5)はGOカウンタ、(6)はNGカウンタである
。試験結果によるD U T (2)のGo(良品)ま
たはNG(不良品)の数置をGOカウンタ(5)及びN
Gカウンタ(6)でカウントする。
次に動作について説明する。第2図のフローチャートに
おいて、Dσで(2)をテストする為のテストプログラ
ムがスタートシ、そのプログラムの記述に従ってテス)
lから順次実行されていく。通常、実行される各テスト
項目において、最初にNG(不Jl)と判定されると、
テストプログラムの実行はそこで終りストップしてしま
う。プログラムに記述された全テスト項目(テス)n)
が総て00(良品)の場合は、プログラムが最後まで実
行されて初めてストップに至る。何れにしても、1つの
DIIT(2)K対し通常は1回だけテストプログラム
が実行され、プログラム中に記述され実行される各テス
ト項目毎に良/不良を判定し、且つ、その全テスト項目
中全て良と判定されたD U ? (2)は良品で有り
、どれか1つ以上のテスト項目で不良と判定された′D
σ!(2)は不良となる。
おいて、Dσで(2)をテストする為のテストプログラ
ムがスタートシ、そのプログラムの記述に従ってテス)
lから順次実行されていく。通常、実行される各テスト
項目において、最初にNG(不Jl)と判定されると、
テストプログラムの実行はそこで終りストップしてしま
う。プログラムに記述された全テスト項目(テス)n)
が総て00(良品)の場合は、プログラムが最後まで実
行されて初めてストップに至る。何れにしても、1つの
DIIT(2)K対し通常は1回だけテストプログラム
が実行され、プログラム中に記述され実行される各テス
ト項目毎に良/不良を判定し、且つ、その全テスト項目
中全て良と判定されたD U ? (2)は良品で有り
、どれか1つ以上のテスト項目で不良と判定された′D
σ!(2)は不良となる。
これらの動作を総ての試験項目をDOTのあるロウ)K
対して実行して、それらの全良品数または全不良品数を
カウントし、或いは不良率を演算してそのロウトの品質
情報として得る事が出来る0〔発明が解決しようとする
1tjI!l)従来のXaのテスト方法は以上のように
構成されていたので、あるD(FT又はあるロウトの品
質情報は、テスト実行後の良品/不良品の結果だけを例
えは不良数又は不良率としてしか得られず、個々のテス
ト項目についてDffTの出来映えを評価したりするに
は不向きであるなどの問題点があった。
対して実行して、それらの全良品数または全不良品数を
カウントし、或いは不良率を演算してそのロウトの品質
情報として得る事が出来る0〔発明が解決しようとする
1tjI!l)従来のXaのテスト方法は以上のように
構成されていたので、あるD(FT又はあるロウトの品
質情報は、テスト実行後の良品/不良品の結果だけを例
えは不良数又は不良率としてしか得られず、個々のテス
ト項目についてDffTの出来映えを評価したりするに
は不向きであるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消する丸めになされ
たもので、従来と同じ(DOTのテスト結果の品質情報
を得る事ができるとともに、さらに、実行されている各
テスト項目の任意のテスト項目に対してもDQ丁の出来
映え出来王台としての品質情報を得る様に出来るxOの
テスト方法を得る事を目的とする。
たもので、従来と同じ(DOTのテスト結果の品質情報
を得る事ができるとともに、さらに、実行されている各
テスト項目の任意のテスト項目に対してもDQ丁の出来
映え出来王台としての品質情報を得る様に出来るxOの
テスト方法を得る事を目的とする。
この発明に係る20のテスト方法は、そのテスト方法中
で各テスト項目実行時における処理を単にテスト結果の
判定としての良/不良をカウントするだけでなく、その
テスト実行時に得られるデータ(例えけ測定値などのデ
ータ)を加工処理し、その加工処理されたデータを元に
1)UTの出来映えを評価する事が出来るような品質情
報を得られるようにしたものである〇 〔作用〕 この発明におけるXOのテスト方法は、テスト実行時に
おける結果の処理が予め設定したデータ処理ルーチンに
従って行なわれ、必要とする品質情報が得られる。
で各テスト項目実行時における処理を単にテスト結果の
判定としての良/不良をカウントするだけでなく、その
テスト実行時に得られるデータ(例えけ測定値などのデ
ータ)を加工処理し、その加工処理されたデータを元に
1)UTの出来映えを評価する事が出来るような品質情
報を得られるようにしたものである〇 〔作用〕 この発明におけるXOのテスト方法は、テスト実行時に
おける結果の処理が予め設定したデータ処理ルーチンに
従って行なわれ、必要とする品質情報が得られる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する0第1
図において、ステップlはテスト11ステツプ3はテス
ト2・・・、ステップ6はテストnの各テスト項目の実
行部分で、データ処理(ステップ2、ステップ4、ステ
ップ6)はそれぞれのテスト実行後のデータ処理ルーチ
ンを表わす0次に動作について説明する0 テストプログラムがスタートした後、テスト11テスト
2、・・・、の順に従ってテストが実行される0この時
、各テストが良品であれは、III後のテストn迄実行
されて行くoこれらの各テスト実行後に、実行結果とし
ての良/不良や測定値などの各データを、各々に応じた
データ処理ルーチンの中で加工処理をして行くo例えは
、このデータ処理ルーチンの中で、NGとなったテスト
項目の測定値を必要な統計的処理を行なう事で、NGと
判定された複数のDOTについてのデータが収集出来て
、ロウト全体としての出来映えが品質情報として得る事
が出来る〇 なお、上記実施例では各テスト項目対応のデータ処理の
場合について示したが、いくつかのテスト項目にま九が
るデータ処理を設けてもよい。また、この実施例では各
テストの結果がNGの時のみの場合データ処理ルーチン
へ行く場合を示したが、各テストの結果がGOの時でも
よい。
図において、ステップlはテスト11ステツプ3はテス
ト2・・・、ステップ6はテストnの各テスト項目の実
行部分で、データ処理(ステップ2、ステップ4、ステ
ップ6)はそれぞれのテスト実行後のデータ処理ルーチ
ンを表わす0次に動作について説明する0 テストプログラムがスタートした後、テスト11テスト
2、・・・、の順に従ってテストが実行される0この時
、各テストが良品であれは、III後のテストn迄実行
されて行くoこれらの各テスト実行後に、実行結果とし
ての良/不良や測定値などの各データを、各々に応じた
データ処理ルーチンの中で加工処理をして行くo例えは
、このデータ処理ルーチンの中で、NGとなったテスト
項目の測定値を必要な統計的処理を行なう事で、NGと
判定された複数のDOTについてのデータが収集出来て
、ロウト全体としての出来映えが品質情報として得る事
が出来る〇 なお、上記実施例では各テスト項目対応のデータ処理の
場合について示したが、いくつかのテスト項目にま九が
るデータ処理を設けてもよい。また、この実施例では各
テストの結果がNGの時のみの場合データ処理ルーチン
へ行く場合を示したが、各テストの結果がGOの時でも
よい。
以上のようにこの発明によれけ、各テスト項目対応の品
質情報のデータ処理がテストプログラムの実行時に同時
に行なうので、1)σ!やロウトの出来映えが直ちに得
る事が出来る効果がある。
質情報のデータ処理がテストプログラムの実行時に同時
に行なうので、1)σ!やロウトの出来映えが直ちに得
る事が出来る効果がある。
第1図はこの発明の一実施例によるIOのテスト方法を
示す70−チャート、第2図は従来のIOのテスト方法
の70−チャート、第3図はテスタによるDU’l’の
テスト状態のブロック図である。 図において、(1)はテスタ、(2)はn OT s
(3)は計測信号、(4)は0Ptl、(6)、(6)
l;i各、*GO3び1e数量のカウンタを示す。 手続補正書(自発) 平成 2年 5月2−
示す70−チャート、第2図は従来のIOのテスト方法
の70−チャート、第3図はテスタによるDU’l’の
テスト状態のブロック図である。 図において、(1)はテスタ、(2)はn OT s
(3)は計測信号、(4)は0Ptl、(6)、(6)
l;i各、*GO3び1e数量のカウンタを示す。 手続補正書(自発) 平成 2年 5月2−
Claims (1)
- 半導体集積回路を試験するICテスタにおいて、そのソ
フトウェアたるテストプログラムの中で被測定ICの複
数のテスト項目の中の任意のテスト項目について、同一
製造プロセスの複数のDUTの出来映えを評価出来る事
を目的として、任意のテスト項目毎に不良率やヒストグ
ラムなどのデータを収集及び加工し、また、所定の管理
基準値を予め設定しておく事によつてロウト内の電気的
特性の異常の有無を早期に発見出来る様にした事を特徴
とする半導体集積回路のテスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009387A JPH03214081A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 半導体集積回路のテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009387A JPH03214081A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 半導体集積回路のテスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03214081A true JPH03214081A (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=11719034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009387A Pending JPH03214081A (ja) | 1990-01-17 | 1990-01-17 | 半導体集積回路のテスト方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03214081A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05143384A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 異常検出装置 |
-
1990
- 1990-01-17 JP JP2009387A patent/JPH03214081A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05143384A (ja) * | 1991-11-18 | 1993-06-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 異常検出装置 |
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