JP2984155B2 - ウエハのｉｃチップ検査方法 - Google Patents
ウエハのｉｃチップ検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ウエハ面に形成され
たＩＣチップの検査方法に関し、詳しくは、簡略化され
た全数検査方法に関する。
たＩＣチップの検査方法に関し、詳しくは、簡略化され
た全数検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子機器の基本素子として各方面に多量
に使用されているＩＣチップは、シリコンなどのウエハ
の表面に形成され、この段階でＩＣテスターにより性能
が検査される。図２において、ＩＣチップ11はウエハ１
の表面にマトリックス状に多数が形成されている。ただ
し、円形のウエハ１に対してＩＣチップ11は方形である
ため、ウエハの周辺部には半端なチップ12があり、これ
らは当然、不良または不完全である。図３はＩＣテスタ
ー２の検査系統の要部を示し、ウエハ１を載置して移動
する移動機構21と、プローブ22、マイクロプロセッサ
（ＭＰＵ）23、およびメモリ（ＭＥＭ）24を主要要素と
して構成されている。検査においては、ＭＰＵ23により
移動機構21を制御してウエハ１を移動し、図示のように
ウエハ１の左側の周辺部のチップ12を除外し、Ａを始点
としてプローブＰにより各ＩＣチップ11を逐次に走査
し、その検出信号をＭＰＵ23に入力して各種の測定項目
が測定される。測定結果が良好なＩＣチップ11はマトリ
ックス上のそのアドレスがメモリ24に記録される。検査
が終了したウエハ１はチップごとに切断され、良品のＩ
Ｃチップ11によりＩＣデバイスが製作される。
に使用されているＩＣチップは、シリコンなどのウエハ
の表面に形成され、この段階でＩＣテスターにより性能
が検査される。図２において、ＩＣチップ11はウエハ１
の表面にマトリックス状に多数が形成されている。ただ
し、円形のウエハ１に対してＩＣチップ11は方形である
ため、ウエハの周辺部には半端なチップ12があり、これ
らは当然、不良または不完全である。図３はＩＣテスタ
ー２の検査系統の要部を示し、ウエハ１を載置して移動
する移動機構21と、プローブ22、マイクロプロセッサ
（ＭＰＵ）23、およびメモリ（ＭＥＭ）24を主要要素と
して構成されている。検査においては、ＭＰＵ23により
移動機構21を制御してウエハ１を移動し、図示のように
ウエハ１の左側の周辺部のチップ12を除外し、Ａを始点
としてプローブＰにより各ＩＣチップ11を逐次に走査
し、その検出信号をＭＰＵ23に入力して各種の測定項目
が測定される。測定結果が良好なＩＣチップ11はマトリ
ックス上のそのアドレスがメモリ24に記録される。検査
が終了したウエハ１はチップごとに切断され、良品のＩ
Ｃチップ11によりＩＣデバイスが製作される。
【０００３】ＩＣチップ11は使用する機器などにより各
種のサイズと、さまざまな回路パターンがあり、回路パ
ターンに対応して測定項目も種々に分かれる。例えば腕
時計用のＩＣチップの場合は、サイズが１．９ｍｍ角の
ものがあり、５インチのウエハ１には約７０００個の多
数が形成される。また、その測定項目は１１種類のもの
がある。このような多数のＩＣチップを効率的に検査す
るために、プローブ22に複数組のプローブピンを設け、
複数個のＩＣチップを並列に測定して検査時間を短縮す
る方法があるが、上記のように微小なチップの場合は、
目下のところプローブピンは２組が限度で、これより多
くすることは困難である。２組による上記の約７０００
個のチップの全数検査には、約４時間が必要とれてい
る。
種のサイズと、さまざまな回路パターンがあり、回路パ
ターンに対応して測定項目も種々に分かれる。例えば腕
時計用のＩＣチップの場合は、サイズが１．９ｍｍ角の
ものがあり、５インチのウエハ１には約７０００個の多
数が形成される。また、その測定項目は１１種類のもの
がある。このような多数のＩＣチップを効率的に検査す
るために、プローブ22に複数組のプローブピンを設け、
複数個のＩＣチップを並列に測定して検査時間を短縮す
る方法があるが、上記のように微小なチップの場合は、
目下のところプローブピンは２組が限度で、これより多
くすることは困難である。２組による上記の約７０００
個のチップの全数検査には、約４時間が必要とれてい
る。
【０００４】従来においてはＩＣチップは全数検査がな
されているが、いわゆる抜き取り検査により検査時間を
短縮することが考えられる。しかしＩＣチップの性質
上、通常の抜き取り検査は許されない。なぜなら、ウエ
ハ１には、上記した周辺部の不完全チップがすでに混在
し、また不良なＩＣチップが少なくないためなどによ
り、ＩＣチップ当たりの不良率はかなり大きい。一方、
ＩＣチップは個々が完全であることが要求されるので、
抜き取り検査の不良率で製品を管理することができない
からである。上記に引例した腕時計用のＩＣチップの場
合、その１１種類の測定項目には、基本的に重要な、例
えば電流電圧に関する測定項目などと、それ以外の比較
的に重要でないその他項目がある。腕時計用に限らず、
他のＩＣチップでも同様に重要項目とその他項目がある
ことが多い。そこで、まず重要項目を測定し、これが不
良のものは不合格としてその他項目の測定を省略し、重
要項目が良好なものについてのみ、その他項目を測定す
る方法をとれば、検査時間はかなり短縮できる。このよ
うな方法は、ＩＣチップ単位の抜き取り検査ではない
が、強いていえば測定項目に対する、いわば特殊な抜き
取り検査であって、この場合に利用することができる。
されているが、いわゆる抜き取り検査により検査時間を
短縮することが考えられる。しかしＩＣチップの性質
上、通常の抜き取り検査は許されない。なぜなら、ウエ
ハ１には、上記した周辺部の不完全チップがすでに混在
し、また不良なＩＣチップが少なくないためなどによ
り、ＩＣチップ当たりの不良率はかなり大きい。一方、
ＩＣチップは個々が完全であることが要求されるので、
抜き取り検査の不良率で製品を管理することができない
からである。上記に引例した腕時計用のＩＣチップの場
合、その１１種類の測定項目には、基本的に重要な、例
えば電流電圧に関する測定項目などと、それ以外の比較
的に重要でないその他項目がある。腕時計用に限らず、
他のＩＣチップでも同様に重要項目とその他項目がある
ことが多い。そこで、まず重要項目を測定し、これが不
良のものは不合格としてその他項目の測定を省略し、重
要項目が良好なものについてのみ、その他項目を測定す
る方法をとれば、検査時間はかなり短縮できる。このよ
うな方法は、ＩＣチップ単位の抜き取り検査ではない
が、強いていえば測定項目に対する、いわば特殊な抜き
取り検査であって、この場合に利用することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、不良なＩＣチッ
プはウエハ面にランダムに分散していると仮定すること
ができる（ただし周辺部の不完全チップはランダムでな
い）。また上記の重要項目とその他項目の間にはかなり
の相関性があり、重要項目が良好なＩＣチップは、その
他項目も良好なことが非常に多いと考えられる。これに
対して、ウエハを１ロットとして適当な個数のサンプル
について、重要項目が良好でその他項目が不良なものの
不良率を調査すると、この不良率はロットごとに異な
り、これが極めて小さいロットが大部分で、ある程度大
きいロットは少ないことが判明した。そこで、この不良
率が小さいロットについては重要項目の測定のみで良否
を判定する簡略方法をとれば、絶対的ではないが、極め
て高い確率で良品であることを保証することができる。
またこのような簡略方法をとれば、その他項目を省略し
た分、検査時間が短縮される。この発明は、以上の考え
方をもととし、信頼性を低下することなく、ＩＣチップ
を効率的に検査して検査時間を短縮できる、ＩＣチップ
の検査方法を提供することを目的とする。
プはウエハ面にランダムに分散していると仮定すること
ができる（ただし周辺部の不完全チップはランダムでな
い）。また上記の重要項目とその他項目の間にはかなり
の相関性があり、重要項目が良好なＩＣチップは、その
他項目も良好なことが非常に多いと考えられる。これに
対して、ウエハを１ロットとして適当な個数のサンプル
について、重要項目が良好でその他項目が不良なものの
不良率を調査すると、この不良率はロットごとに異な
り、これが極めて小さいロットが大部分で、ある程度大
きいロットは少ないことが判明した。そこで、この不良
率が小さいロットについては重要項目の測定のみで良否
を判定する簡略方法をとれば、絶対的ではないが、極め
て高い確率で良品であることを保証することができる。
またこのような簡略方法をとれば、その他項目を省略し
た分、検査時間が短縮される。この発明は、以上の考え
方をもととし、信頼性を低下することなく、ＩＣチップ
を効率的に検査して検査時間を短縮できる、ＩＣチップ
の検査方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成するウエハのＩＣチップ検査方法であって、ウエ
ハに形成されたＩＣチップの全個数をＮとし、全個数Ｎ
に対して適当な小数のｎ個を定める。また、複数の測定
項目よりなる全測定項目を基本的な重要項目と、その他
項目に区分する。ウエハ面の周辺部を除き、適当な位置
のＩＣチップを始点として連続して全測定項目の試行測
定を行い、重要項目が良好なＩＣチップが上記ｎ個に達
したとき試行測定を終了する。重要項目が良好なｎ個の
ＩＣチップのうち、その他項目が不良のＩＣチップの個
数が非常に少ないときは、試行測定された以外の残りの
全ＩＣチップに対して、重要項目のみを簡略測定して良
否を判定する。その他項目が不良のＩＣチップの個数が
比較的に多いときは、残りの全ＩＣチップに対して、全
測定項目を測定して良否を判定するものである。
を達成するウエハのＩＣチップ検査方法であって、ウエ
ハに形成されたＩＣチップの全個数をＮとし、全個数Ｎ
に対して適当な小数のｎ個を定める。また、複数の測定
項目よりなる全測定項目を基本的な重要項目と、その他
項目に区分する。ウエハ面の周辺部を除き、適当な位置
のＩＣチップを始点として連続して全測定項目の試行測
定を行い、重要項目が良好なＩＣチップが上記ｎ個に達
したとき試行測定を終了する。重要項目が良好なｎ個の
ＩＣチップのうち、その他項目が不良のＩＣチップの個
数が非常に少ないときは、試行測定された以外の残りの
全ＩＣチップに対して、重要項目のみを簡略測定して良
否を判定する。その他項目が不良のＩＣチップの個数が
比較的に多いときは、残りの全ＩＣチップに対して、全
測定項目を測定して良否を判定するものである。
【０００７】
【作用】上記の検査方法においては、ＩＣチップの全個
数Ｎに対して、小数ｎ個が定められて試行測定がなされ
る。全測定項目は基本的な重要項目と、その他項目に区
分され、試行測定においては、ウエハ面の周辺部には不
完全チップが密集しているから、これを除き、適当な位
置のＩＣチップを始点として連続して全測定項目を測定
し、重要項目が良好なＩＣチップがｎ個に達すると試行
測定を終了する。このｎ個のＩＣチップのうち、その他
項目が不良のＩＣチップの個数が非常に少ないときは、
そのウエハは、重要項目に対するその他項目の不良率が
小さいとみられるので、残りの全ＩＣチップに対して重
要項目のみを測定すればよいとされ、これにより良否が
判定される。ただし、その他項目が不良のＩＣチップの
個数が比較的に多いときは、そのウエハは、たとえ重要
項目が良好でもその他項目の不良率が大きいとみられる
ので、残りの全ＩＣチップに対して全測定項目を測定し
て良否を判定するものである。上記において、重要項目
に対するその他項目の不良率は、前記したようにロット
（ウエハ）により異なるが、これが極めて小さいロット
が比較的に多く、従って簡略測定が適用できるロットが
多いので、その分検査時間が短縮される。
数Ｎに対して、小数ｎ個が定められて試行測定がなされ
る。全測定項目は基本的な重要項目と、その他項目に区
分され、試行測定においては、ウエハ面の周辺部には不
完全チップが密集しているから、これを除き、適当な位
置のＩＣチップを始点として連続して全測定項目を測定
し、重要項目が良好なＩＣチップがｎ個に達すると試行
測定を終了する。このｎ個のＩＣチップのうち、その他
項目が不良のＩＣチップの個数が非常に少ないときは、
そのウエハは、重要項目に対するその他項目の不良率が
小さいとみられるので、残りの全ＩＣチップに対して重
要項目のみを測定すればよいとされ、これにより良否が
判定される。ただし、その他項目が不良のＩＣチップの
個数が比較的に多いときは、そのウエハは、たとえ重要
項目が良好でもその他項目の不良率が大きいとみられる
ので、残りの全ＩＣチップに対して全測定項目を測定し
て良否を判定するものである。上記において、重要項目
に対するその他項目の不良率は、前記したようにロット
（ウエハ）により異なるが、これが極めて小さいロット
が比較的に多く、従って簡略測定が適用できるロットが
多いので、その分検査時間が短縮される。
【０００８】
【実施例】上記の一実施例として、この発明の検査方法
を、前記した腕時計用のＩＣチップのウエハに適用した
場合を例として説明する。この場合のＩＣチップの全個
数Ｎは前記したように約７０００個であるが、従来の実
績によれば、周辺部の不完全チップ12と不良なＩＣチッ
プ11が数百個以上あり、良好のものは平均してほぼ６０
００個とみられるので、小数ｎとして良好な６０００個
の１／３０の２００個が妥当とされており、この実施例
ではｎを２００個とする。またこの場合は、残りの全Ｉ
Ｃチップに対して、重要項目のみの簡略測定を行うか、
または全測定項目を測定するかの判定条件として、試行
測定による重要項目が良好な２００個のＩＣチップのう
ちに、その他項目が不良なものが多くとも１個のとき簡
略測定とし、１個を越えたとき全測定とする。従って、
重要項目に対するその他項目の不良率は、多くとも１／
２００であり、０個のときが多いので、平均的には数百
分の１となる。この不良率の場合は、重要項目が良好で
その他項目が不良（結局不良品）の個数はウエハ１枚当
たり最大１０前後と見積もられる。ただし、これ以下の
不良率を期待する場合は、ｎをさらに大きくする。ま
た、全数Ｎが上記と異なるウエハの場合は、実績と上記
の期待値などを勘案して適切な個数ｎを定める。
を、前記した腕時計用のＩＣチップのウエハに適用した
場合を例として説明する。この場合のＩＣチップの全個
数Ｎは前記したように約７０００個であるが、従来の実
績によれば、周辺部の不完全チップ12と不良なＩＣチッ
プ11が数百個以上あり、良好のものは平均してほぼ６０
００個とみられるので、小数ｎとして良好な６０００個
の１／３０の２００個が妥当とされており、この実施例
ではｎを２００個とする。またこの場合は、残りの全Ｉ
Ｃチップに対して、重要項目のみの簡略測定を行うか、
または全測定項目を測定するかの判定条件として、試行
測定による重要項目が良好な２００個のＩＣチップのう
ちに、その他項目が不良なものが多くとも１個のとき簡
略測定とし、１個を越えたとき全測定とする。従って、
重要項目に対するその他項目の不良率は、多くとも１／
２００であり、０個のときが多いので、平均的には数百
分の１となる。この不良率の場合は、重要項目が良好で
その他項目が不良（結局不良品）の個数はウエハ１枚当
たり最大１０前後と見積もられる。ただし、これ以下の
不良率を期待する場合は、ｎをさらに大きくする。ま
た、全数Ｎが上記と異なるウエハの場合は、実績と上記
の期待値などを勘案して適切な個数ｎを定める。
【０００９】次に、この発明による検査時間の短縮効果
について述べると、上記の腕時計用のＩＣチップの場合
は、重要項目は３種類で、その他項目は８種類あり、従
って１１種類の全測定項目に対する検査時間に比較し
て、重要項目のみの簡略測定は３／１１に短縮される。
ただし、簡略測定できないウエハが小数あり、ロットご
とになされる試行測定には一定の時間が必要であるなど
により、実績ではロット当たりのスループットの平均時
間は、全測定項目を測定する場合の４時間の約２分の１
に短縮されている。
について述べると、上記の腕時計用のＩＣチップの場合
は、重要項目は３種類で、その他項目は８種類あり、従
って１１種類の全測定項目に対する検査時間に比較し
て、重要項目のみの簡略測定は３／１１に短縮される。
ただし、簡略測定できないウエハが小数あり、ロットご
とになされる試行測定には一定の時間が必要であるなど
により、実績ではロット当たりのスループットの平均時
間は、全測定項目を測定する場合の４時間の約２分の１
に短縮されている。
【００１０】図１は、上記の腕時計用のＩＣチップのウ
エハに対する検査手順のフローチャートを示す。まず、
ＭＰＵ23に対して小数ｎの２００を設定する。つぎ
に、移動機構21によりウエハ１を移動し、図２に示した
ように、ウエハ１の周辺部を除き、適当な位置Ａを始点
として、プローブＰにより各ＩＣチップ11を逐次に走査
して試行測定を行う。試行測定においては、重要項目
が不良のものはその他項目を省略し、良好なもののみそ
の他項目を測定する。これを継続して、重要項目が良好
なＩＣチップの個数をＭＰＵ23によりカウントし、これ
が２００個に達したら試行測定を終了する。この２０
０個のうち、その他項目が不良のものを除いた各ＩＣチ
ップのアドレスをメモリ24に記録する。において、
その他項目が不良のＩＣチップの個数をカウントし、こ
れが０または１個のときは（ＹＥＳ）、残りの全ＩＣチ
ップに対して、それぞれ重要項目のみの簡略測定を行っ
て、良好なＩＣチップ11のアドレスをメモリ24に記録し
て、このロット（ウエハ単位）に対する検査が終了す
る。もし、その他項目が不良のＩＣチップが１個を越
えたときは（ＮＯ）、残りの全ＩＣチップに対して全測
定項目を測定し、これが良好なＩＣチップのアドレスを
メモリ24に記録して、ロットの検査が終了する。
エハに対する検査手順のフローチャートを示す。まず、
ＭＰＵ23に対して小数ｎの２００を設定する。つぎ
に、移動機構21によりウエハ１を移動し、図２に示した
ように、ウエハ１の周辺部を除き、適当な位置Ａを始点
として、プローブＰにより各ＩＣチップ11を逐次に走査
して試行測定を行う。試行測定においては、重要項目
が不良のものはその他項目を省略し、良好なもののみそ
の他項目を測定する。これを継続して、重要項目が良好
なＩＣチップの個数をＭＰＵ23によりカウントし、これ
が２００個に達したら試行測定を終了する。この２０
０個のうち、その他項目が不良のものを除いた各ＩＣチ
ップのアドレスをメモリ24に記録する。において、
その他項目が不良のＩＣチップの個数をカウントし、こ
れが０または１個のときは（ＹＥＳ）、残りの全ＩＣチ
ップに対して、それぞれ重要項目のみの簡略測定を行っ
て、良好なＩＣチップ11のアドレスをメモリ24に記録し
て、このロット（ウエハ単位）に対する検査が終了す
る。もし、その他項目が不良のＩＣチップが１個を越
えたときは（ＮＯ）、残りの全ＩＣチップに対して全測
定項目を測定し、これが良好なＩＣチップのアドレスを
メモリ24に記録して、ロットの検査が終了する。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるＩ
Ｃチップ検査方法においては、ＩＣチップに対する複数
の測定項目には、重要項目とその他項目があり、これら
の間には相関性があることに着目し、ウエハごとに試行
測定を行い、重要項目が良好なｎ個のＩＣチップのうち
の、その他項目が不良なＩＣチップの個数が非常に少な
いウエハに対しては、残りの各ＩＣチップに対してその
他項目の測定を省略し、重要項目のみを測定する簡略測
定により検査時間を短縮するもので、従来の全数検査に
比較して、信頼性を殆ど低下することなくスループット
が著しく向上し、ウエハのＩＣチップ検査に寄与すると
ころには大きいものがある。
Ｃチップ検査方法においては、ＩＣチップに対する複数
の測定項目には、重要項目とその他項目があり、これら
の間には相関性があることに着目し、ウエハごとに試行
測定を行い、重要項目が良好なｎ個のＩＣチップのうち
の、その他項目が不良なＩＣチップの個数が非常に少な
いウエハに対しては、残りの各ＩＣチップに対してその
他項目の測定を省略し、重要項目のみを測定する簡略測
定により検査時間を短縮するもので、従来の全数検査に
比較して、信頼性を殆ど低下することなくスループット
が著しく向上し、ウエハのＩＣチップ検査に寄与すると
ころには大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例における、ＩＣチップの
検査手順のフローチャートを示す。
検査手順のフローチャートを示す。
【図２】 ウエハに形成されたＩＣチップと、プローブ
による検査方法の説明図である。
による検査方法の説明図である。
【図３】 ＩＣテスターの検査系統の要部を示す系統図
である。
である。
１…ウエハ、11…ＩＣチップ、12…不完全チップ、２…
ＩＣテスター、21…移動機構、22…プローブ（Ｐ）、23
…マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、24…メモリ（ＭＥ
Ｍ）、Ａ…始点、〜…フローチャートのステップ番
号。
ＩＣテスター、21…移動機構、22…プローブ（Ｐ）、23
…マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、24…メモリ（ＭＥ
Ｍ）、Ａ…始点、〜…フローチャートのステップ番
号。
Claims (1)
- 【請求項１】 ウエハ面にマトリックス状に形成され、
該ウエハの周辺の不完全チップを含む多数のＩＣチップ
を対象とし、該各ＩＣチップに対してプローブを逐次に
走査して複数の測定項目を測定するＩＣチップ検査にお
いて、該ＩＣチップの全個数をＮとし、該全個数Ｎに対
して適当な小数のｎ個を定め、前記複数の測定項目の全
測定項目を基本的な重要項目と、その他項目に区分し、
前記ウエハ面の周辺部を除き、適当な位置のＩＣチップ
を始点として連続した前記ＩＣチップに対して、前記全
測定項目の試行測定を行い、該重要項目が良好なＩＣチ
ップが前記ｎ個に達したとき該試行測定を終了し、該ｎ
個のＩＣチップに対して、前記その他項目が不良のＩＣ
チップの個数が、非常に少ないときは、前記試行測定さ
れた以外の残りの全ＩＣチップに対して、前記重要項目
のみを簡略測定して良否を判定し、前記その他項目が不
良のＩＣチップの個数が比較的に多いときは、前記残り
の全ＩＣチップに対して、前記全測定項目を測定して良
否を判定することを特徴とする、ウエハのＩＣチップ検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4283954A JP2984155B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ウエハのｉｃチップ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4283954A JP2984155B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ウエハのｉｃチップ検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112286A JPH06112286A (ja) | 1994-04-22 |
| JP2984155B2 true JP2984155B2 (ja) | 1999-11-29 |
Family
ID=17672378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4283954A Expired - Fee Related JP2984155B2 (ja) | 1992-09-29 | 1992-09-29 | ウエハのｉｃチップ検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2984155B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5040190B2 (ja) * | 2006-06-27 | 2012-10-03 | 富士通セミコンダクター株式会社 | プローバ装置の制御方法、制御プログラム、およびプローバ装置 |
-
1992
- 1992-09-29 JP JP4283954A patent/JP2984155B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06112286A (ja) | 1994-04-22 |
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