JP3040233B2 - 半導体装置の検査方法 - Google Patents
半導体装置の検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の検査方法
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、半導体装置の利用が高まりその機
能も複雑になり、半導体装置の製造時の検査時間が長く
なりコストアップの大きな要因となっている。ここで
は、従来の半導体装置の検査方法について説明する。
能も複雑になり、半導体装置の製造時の検査時間が長く
なりコストアップの大きな要因となっている。ここで
は、従来の半導体装置の検査方法について説明する。
【０００３】まず、従来の半導体装置の検査方法の第１
の従来例について、図６の検査方法のフロー図を参照し
ながら説明する。これは、複数個の検査項目からなり１
個のサンプルを検査するもので、検査開始から直流検査
（以下、ＤＣテストという）、半導体装置の機能を検査
する１番目の試験（以下、ファンクションテストＩとい
う）、機能を検査する２番目の試験（以下、ファンクシ
ョンテストIIという）、機能を検査する３番目の試験
（以下、ファンクションテストIIIという）、機能を検
査する４番目の試験（以下、ファンクションテストIVと
いう）を行い検査終了とするものである。このとき、全
ての検査項目を合格（以下、ＰＡＳＳという）したサン
プルを良品として検査を終了し、各検査項目で不合格
（以下、ＦＡＩＬという）になるとそこで不良品として
検査を終了するものである。
の従来例について、図６の検査方法のフロー図を参照し
ながら説明する。これは、複数個の検査項目からなり１
個のサンプルを検査するもので、検査開始から直流検査
（以下、ＤＣテストという）、半導体装置の機能を検査
する１番目の試験（以下、ファンクションテストＩとい
う）、機能を検査する２番目の試験（以下、ファンクシ
ョンテストIIという）、機能を検査する３番目の試験
（以下、ファンクションテストIIIという）、機能を検
査する４番目の試験（以下、ファンクションテストIVと
いう）を行い検査終了とするものである。このとき、全
ての検査項目を合格（以下、ＰＡＳＳという）したサン
プルを良品として検査を終了し、各検査項目で不合格
（以下、ＦＡＩＬという）になるとそこで不良品として
検査を終了するものである。
【０００４】次に、従来の半導体装置の検査方法の第２
の従来例について、図７の検査方法のフロー図を参照し
ながら説明する。これは、複数個の検査項目からなり複
数個のサンプルを同時測定する検査するもので、ここで
は、ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを
同時に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクショ
ンテストＩ、ファンクションテストII、ファンクション
テストIII、ファンクションテストIVを行い検査終了と
するものである。ＦＣＴ．はファンクションテストであ
る。フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡ
ＩＬ数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．I
I、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検
査では、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると検
査の対象からはずすが、全てのサンプルがＦＡＩＬしな
い限り検査を終了せず、このとき、全ての検査項目をＰ
ＡＳＳしたサンプルを良品とし、各検査項目でＦＡＩＬ
したサンプルを不良品として検査を終了するものであ
る。
の従来例について、図７の検査方法のフロー図を参照し
ながら説明する。これは、複数個の検査項目からなり複
数個のサンプルを同時測定する検査するもので、ここで
は、ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを
同時に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクショ
ンテストＩ、ファンクションテストII、ファンクション
テストIII、ファンクションテストIVを行い検査終了と
するものである。ＦＣＴ．はファンクションテストであ
る。フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡ
ＩＬ数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．I
I、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検
査では、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると検
査の対象からはずすが、全てのサンプルがＦＡＩＬしな
い限り検査を終了せず、このとき、全ての検査項目をＰ
ＡＳＳしたサンプルを良品とし、各検査項目でＦＡＩＬ
したサンプルを不良品として検査を終了するものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の半導
体装置の検査方法であると、図６の検査方法のフロー図
のように各テストの順番が決まっているためＦＡＩＬし
やすい検査項目が後のほうの順番であると、検査時間が
長くかかり検査効率が悪いという課題があった。また、
図７の検査方法のフロー図のような同時測定の場合、あ
るサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると検査の対象か
らはずし他のＰＡＳＳしているサンプルの検査が終了す
るまでは検査の対象からはずされたソケットでは何も検
査されず次のサンプルの検査待ちとなり検査効率が悪い
という課題があった。上記問題点に鑑み、本発明は、検
査時間を短縮でき、ソケットの検査待ち状態がない検査
方法を提供することを目的とする。
体装置の検査方法であると、図６の検査方法のフロー図
のように各テストの順番が決まっているためＦＡＩＬし
やすい検査項目が後のほうの順番であると、検査時間が
長くかかり検査効率が悪いという課題があった。また、
図７の検査方法のフロー図のような同時測定の場合、あ
るサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると検査の対象か
らはずし他のＰＡＳＳしているサンプルの検査が終了す
るまでは検査の対象からはずされたソケットでは何も検
査されず次のサンプルの検査待ちとなり検査効率が悪い
という課題があった。上記問題点に鑑み、本発明は、検
査時間を短縮でき、ソケットの検査待ち状態がない検査
方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明の検査方法は、複数個の検査項目から
なる検査において、過去の検査結果から次の検査におけ
る複数個の検査項目の検査順番を随時変更する。
るために、本発明の検査方法は、複数個の検査項目から
なる検査において、過去の検査結果から次の検査におけ
る複数個の検査項目の検査順番を随時変更する。
【０００７】また、複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、前記複数個のサ
ンプルのうち少なくとも１個が前記複数個の検査項目の
うちのある検査項目Ａで不良となるとその不良サンプル
を次のサンプルと置き換え前記検査項目Ａの次の検査項
目から検査を行う。
サンプルを同時測定する検査において、前記複数個のサ
ンプルのうち少なくとも１個が前記複数個の検査項目の
うちのある検査項目Ａで不良となるとその不良サンプル
を次のサンプルと置き換え前記検査項目Ａの次の検査項
目から検査を行う。
【０００８】また、複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、前記検査項目が
直流検査（以下、ＤＣテストという）群と機能検査（以
下、ファンクションテストという）群からなり、前記複
数個のサンプルのうち少なくとも１個が前記複数個の検
査項目のうちのある検査項目Ａで不良となるとその不良
サンプルを次のサンプルと置き換え前記ＤＣテスト群を
行った後に、前記検査項目Ａが前記ファンクションテス
ト群の検査であれば前記検査項目Ａの次の検査項目から
検査を行う。
サンプルを同時測定する検査において、前記検査項目が
直流検査（以下、ＤＣテストという）群と機能検査（以
下、ファンクションテストという）群からなり、前記複
数個のサンプルのうち少なくとも１個が前記複数個の検
査項目のうちのある検査項目Ａで不良となるとその不良
サンプルを次のサンプルと置き換え前記ＤＣテスト群を
行った後に、前記検査項目Ａが前記ファンクションテス
ト群の検査であれば前記検査項目Ａの次の検査項目から
検査を行う。
【０００９】
【作用】本発明の半導体装置の検査方法では、以前の検
査結果から今回の検査における複数個の検査項目の検査
順番を随時変更する検査方法であるため、例えばＦＡＩ
Ｌしやすい検査項目の検査順番を前にすることにより早
く不良品を見つけることができ検査時間を短縮すること
ができる。また、複数個の検査項目からなり複数個のサ
ンプルを同時測定する検査において複数個のサンプルの
うち少なくとも１個が複数個の検査項目のうちのある検
査項目Ａで不良となるとその不良サンプルを次のサンプ
ルと置き換え検査項目Ａの次の検査項目から検査を行う
検査方法であるため、全てのソケットで検査待ち状態が
なくなり全てのソケットが常に検査状態となり検査効率
が上がり検査時間を短縮することができる。
査結果から今回の検査における複数個の検査項目の検査
順番を随時変更する検査方法であるため、例えばＦＡＩ
Ｌしやすい検査項目の検査順番を前にすることにより早
く不良品を見つけることができ検査時間を短縮すること
ができる。また、複数個の検査項目からなり複数個のサ
ンプルを同時測定する検査において複数個のサンプルの
うち少なくとも１個が複数個の検査項目のうちのある検
査項目Ａで不良となるとその不良サンプルを次のサンプ
ルと置き換え検査項目Ａの次の検査項目から検査を行う
検査方法であるため、全てのソケットで検査待ち状態が
なくなり全てのソケットが常に検査状態となり検査効率
が上がり検査時間を短縮することができる。
【００１０】
【実施例】まず、本発明の半導体装置の検査方法の第１
の実施例の検査フローを図１を参照しながら説明する。
の実施例の検査フローを図１を参照しながら説明する。
【００１１】これは、複数個の検査項目からなり１個の
サンプルを検査するもので、検査開始からＤＣテスト、
ファンクションテストＩ、ファンクションテストII、フ
ァンクションテストIII、ファンクションテストIVを行
い検査終了とするものである。このとき、全ての検査項
目をＰＡＳＳしたサンプルを良品として検査を終了し、
各検査項目でＦＡＩＬするとそこで不良品として検査を
終了するものである。ただし、ファンクションテストＩ
〜IVの内容についてはＦＡＩＬファンクションテストカ
ウント部の情報を基にファンクションテスト検査順番決
定部でファンクションテストＡ〜Ｄをファンクションテ
ストＩ〜IVに割り付け（ＦＣＴ．ロード：ファンクショ
ンテストロード）検査を行うものである。
サンプルを検査するもので、検査開始からＤＣテスト、
ファンクションテストＩ、ファンクションテストII、フ
ァンクションテストIII、ファンクションテストIVを行
い検査終了とするものである。このとき、全ての検査項
目をＰＡＳＳしたサンプルを良品として検査を終了し、
各検査項目でＦＡＩＬするとそこで不良品として検査を
終了するものである。ただし、ファンクションテストＩ
〜IVの内容についてはＦＡＩＬファンクションテストカ
ウント部の情報を基にファンクションテスト検査順番決
定部でファンクションテストＡ〜Ｄをファンクションテ
ストＩ〜IVに割り付け（ＦＣＴ．ロード：ファンクショ
ンテストロード）検査を行うものである。
【００１２】ここでファンクションテスト検査順番決定
部で、過去の検査結果を基に例えば最も不良発生率の高
い検査項目を１番目にすると、早く不良品を見つけるこ
とができ検査時間を短縮することができるという効果が
ある。
部で、過去の検査結果を基に例えば最も不良発生率の高
い検査項目を１番目にすると、早く不良品を見つけるこ
とができ検査時間を短縮することができるという効果が
ある。
【００１３】また、同様にファンクションテスト検査順
番決定部で、過去の検査結果を基に例えば不良発生率の
高い検査項目から順番に検査すると、早く不良品を見つ
けることができ検査時間を短縮することができるという
効果がある。
番決定部で、過去の検査結果を基に例えば不良発生率の
高い検査項目から順番に検査すると、早く不良品を見つ
けることができ検査時間を短縮することができるという
効果がある。
【００１４】次に、本発明の半導体装置の検査方法の第
２の実施例の検査フローを図２を参照しながら説明す
る。
２の実施例の検査フローを図２を参照しながら説明す
る。
【００１５】これは、複数個の検査項目からなり複数個
のサンプルを同時に測定し検査するもので、ここでは、
ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを同時
に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクションテ
ストＩ、ファンクションテストII、ファンクションテス
トIII、ファンクションテストIVを行い検査終了とする
ものである。ＦＣＴ．はファンクションテストである。
フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ
数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、Ｆ
ＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検査で
は、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると不良品
とし、すぐに次のサンプルに換えて次の検査項目から検
査を続け、全ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣ
Ｔ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IVの５検査項目）をＰ
ＡＳＳしたサンプルを良品とし検査を行うものである。
それぞれのサンプルについては、どの検査項目から検査
が開始されるかは不定である。
のサンプルを同時に測定し検査するもので、ここでは、
ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを同時
に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクションテ
ストＩ、ファンクションテストII、ファンクションテス
トIII、ファンクションテストIVを行い検査終了とする
ものである。ＦＣＴ．はファンクションテストである。
フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ
数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、Ｆ
ＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検査で
は、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると不良品
とし、すぐに次のサンプルに換えて次の検査項目から検
査を続け、全ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣ
Ｔ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IVの５検査項目）をＰ
ＡＳＳしたサンプルを良品とし検査を行うものである。
それぞれのサンプルについては、どの検査項目から検査
が開始されるかは不定である。
【００１６】この検査方法によると、全てのソケットで
検査待ち状態がなくなり全てのソケットが常に検査状態
となり検査効率が上がり検査時間を短縮することができ
るという効果がある。
検査待ち状態がなくなり全てのソケットが常に検査状態
となり検査効率が上がり検査時間を短縮することができ
るという効果がある。
【００１７】次に、本発明の半導体装置の検査方法の第
３の実施例の検査フローを図３を参照しながら説明す
る。
３の実施例の検査フローを図３を参照しながら説明す
る。
【００１８】これは、複数個の検査項目からなり複数個
のサンプルを同時測定する検査するもので、ここでは、
ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを同時
に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクションテ
ストＩ、ファンクションテストII、ファンクションテス
トIII、ファンクションテストIVを行い検査終了とする
ものである。ＦＣＴ．はファンクションテストである。
フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ
数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、Ｆ
ＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検査で
は、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると不良品
とし、すぐに次のサンプルに換えてＤＣテストを行った
後に、ＤＣテスト以外の次のファンクションテスト（Ｆ
ＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）か
ら検査を続け、全ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、Ｆ
ＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IVの５検査項目）を
ＰＡＳＳしたサンプルを良品とし検査を行うものであ
る。それぞれのサンプルについては、検査の開始にあた
り必ずＤＣテストが行われた後に各ファンクションテス
ト（ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．I
V）が行われる。各ファンクションテストのうちどの検
査項目から検査が開始されるかは不定である。
のサンプルを同時測定する検査するもので、ここでは、
ソケット１からソケット４までの４個のサンプルを同時
に測定し、検査開始からＤＣテスト、ファンクションテ
ストＩ、ファンクションテストII、ファンクションテス
トIII、ファンクションテストIVを行い検査終了とする
ものである。ＦＣＴ．はファンクションテストである。
フロー図の右に検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ
数、ＦＡＩＬ内容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、Ｆ
ＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）数を示してある。この検査で
は、あるサンプルが各検査項目でＦＡＩＬすると不良品
とし、すぐに次のサンプルに換えてＤＣテストを行った
後に、ＤＣテスト以外の次のファンクションテスト（Ｆ
ＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）か
ら検査を続け、全ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ｉ、Ｆ
ＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IVの５検査項目）を
ＰＡＳＳしたサンプルを良品とし検査を行うものであ
る。それぞれのサンプルについては、検査の開始にあた
り必ずＤＣテストが行われた後に各ファンクションテス
ト（ＦＣＴ．Ｉ、ＦＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．I
V）が行われる。各ファンクションテストのうちどの検
査項目から検査が開始されるかは不定である。
【００１９】この検査方法によると、第２の実施例と同
様に全てのソケットで検査待ち状態が少なくなくなり全
てのソケットがＤＣテスト以外は常に検査状態となり検
査効率が上がり検査時間を短縮することができるという
効果がある。ここで、各サンプルの検査開始時に必ずＤ
Ｃテストを行うことの目的としては、ＤＣテスト不良の
サンプルは他のソケットの良品サンプルの検査に悪影響
を与える恐れがあることと、通常ＤＣテスト時間はファ
ンクションテスト時間に比べ非常に短いため短い検査時
間で早く不良品を見つけ取り除こうとするためである。
様に全てのソケットで検査待ち状態が少なくなくなり全
てのソケットがＤＣテスト以外は常に検査状態となり検
査効率が上がり検査時間を短縮することができるという
効果がある。ここで、各サンプルの検査開始時に必ずＤ
Ｃテストを行うことの目的としては、ＤＣテスト不良の
サンプルは他のソケットの良品サンプルの検査に悪影響
を与える恐れがあることと、通常ＤＣテスト時間はファ
ンクションテスト時間に比べ非常に短いため短い検査時
間で早く不良品を見つけ取り除こうとするためである。
【００２０】次に、本発明の半導体装置の検査方法の第
４の実施例の検査フローを図４を参照しながら説明す
る。
４の実施例の検査フローを図４を参照しながら説明す
る。
【００２１】これは、上記本発明の半導体装置の検査方
法の第２の実施例の複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、以前の検査結果
から今回の検査における複数個の検査項目の検査順番を
随時変更する検査方法である。ここでは、ソケット１か
らソケット４までの４個のサンプルを同時に測定し、検
査開始からＤＣテスト、ファンクションテストＡ、ファ
ンクションテストＢ、ファンクションテストＣ、ファン
クションテストＤを行い検査終了とするものである。Ｆ
ＣＴ．はファンクションテストである。フロー図の右に
検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ数、ＦＡＩＬ内
容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣ
Ｔ．Ｄ）数を示してある。この検査では、あるサンプル
が各検査項目でＦＡＩＬすると不良品とし、すぐに次の
サンプルに換えて次の検査項目から検査を続け、全ての
検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．
Ｃ、ＦＣＴ．Ｄの５検査項目）をＰＡＳＳしたサンプル
を良品とし検査を行うものである。それぞれのサンプル
については、どの検査項目から検査が開始されるかは不
定である。ただし、可能なかぎり以前の検査結果から今
回の検査における複数個の検査項目の検査順番を随時変
更する。
法の第２の実施例の複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、以前の検査結果
から今回の検査における複数個の検査項目の検査順番を
随時変更する検査方法である。ここでは、ソケット１か
らソケット４までの４個のサンプルを同時に測定し、検
査開始からＤＣテスト、ファンクションテストＡ、ファ
ンクションテストＢ、ファンクションテストＣ、ファン
クションテストＤを行い検査終了とするものである。Ｆ
ＣＴ．はファンクションテストである。フロー図の右に
検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ数、ＦＡＩＬ内
容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣ
Ｔ．Ｄ）数を示してある。この検査では、あるサンプル
が各検査項目でＦＡＩＬすると不良品とし、すぐに次の
サンプルに換えて次の検査項目から検査を続け、全ての
検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．
Ｃ、ＦＣＴ．Ｄの５検査項目）をＰＡＳＳしたサンプル
を良品とし検査を行うものである。それぞれのサンプル
については、どの検査項目から検査が開始されるかは不
定である。ただし、可能なかぎり以前の検査結果から今
回の検査における複数個の検査項目の検査順番を随時変
更する。
【００２２】この検査方法によると、第２の実施例と同
様に全てのソケットで検査待ち状態がなくなり全てのソ
ケットが常に検査状態となり検査効率が上がり検査時間
を短縮することができるという効果のほかにファンクシ
ョンテスト検査順番を例えば不良発生率の高い検査項目
の検査順番を前にすると、早く不良品を見つけることが
でき検査時間を短縮することができるという効果があ
る。
様に全てのソケットで検査待ち状態がなくなり全てのソ
ケットが常に検査状態となり検査効率が上がり検査時間
を短縮することができるという効果のほかにファンクシ
ョンテスト検査順番を例えば不良発生率の高い検査項目
の検査順番を前にすると、早く不良品を見つけることが
でき検査時間を短縮することができるという効果があ
る。
【００２３】次に、本発明の半導体装置の検査方法の第
５の実施例の検査フローを図５を参照しながら説明す
る。
５の実施例の検査フローを図５を参照しながら説明す
る。
【００２４】これは、上記本発明の半導体装置の検査方
法の第３の実施例の複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、以前の検査結果
から今回の検査における複数個の検査項目の検査順番を
随時変更する検査方法である。ここでは、ソケット１か
らソケット４までの４個のサンプルを同時に測定し、検
査開始からＤＣテスト、ファンクションテストＡ、ファ
ンクションテストＢ、ファンクションテストＣ、ファン
クションテストＤを行い検査終了とするものである。Ｆ
ＣＴ．はファンクションテストである。フロー図の右に
検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ数、ＦＡＩＬ内
容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣ
Ｔ．Ｄ）数を示してある。この検査では、あるサンプル
が各検査項目でＦＡＩＬすると不良品とし、すぐに次の
サンプルに換えてＤＣテストを行った後に、ＤＣテスト
以外の次のファンクションテスト（ＦＣＴ．Ａ、ＦＣ
Ｔ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣＴ．Ｄ）から検査を続け、全
ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣ
Ｔ．Ｃ、ＦＣＴ．Ｄの５検査項目）をＰＡＳＳしたサン
プルを良品とし検査を行うものである。それぞれのサン
プルについては、検査の開始にあたり必ずＤＣテストが
行われた後に各ファンクションテスト（ＦＣＴ．Ｉ、Ｆ
ＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）が行われる。各
ファンクションテストのうちどの検査項目から検査が開
始されるかは不定である。ただし、可能なかぎり以前の
検査結果から今回の検査における複数個の検査項目の検
査順番を随時変更する。
法の第３の実施例の複数個の検査項目からなり複数個の
サンプルを同時測定する検査において、以前の検査結果
から今回の検査における複数個の検査項目の検査順番を
随時変更する検査方法である。ここでは、ソケット１か
らソケット４までの４個のサンプルを同時に測定し、検
査開始からＤＣテスト、ファンクションテストＡ、ファ
ンクションテストＢ、ファンクションテストＣ、ファン
クションテストＤを行い検査終了とするものである。Ｆ
ＣＴ．はファンクションテストである。フロー図の右に
検査サンプル数、ＰＡＳＳ数、ＦＡＩＬ数、ＦＡＩＬ内
容（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣ
Ｔ．Ｄ）数を示してある。この検査では、あるサンプル
が各検査項目でＦＡＩＬすると不良品とし、すぐに次の
サンプルに換えてＤＣテストを行った後に、ＤＣテスト
以外の次のファンクションテスト（ＦＣＴ．Ａ、ＦＣ
Ｔ．Ｂ、ＦＣＴ．Ｃ、ＦＣＴ．Ｄ）から検査を続け、全
ての検査項目（ＤＣ、ＦＣＴ．Ａ、ＦＣＴ．Ｂ、ＦＣ
Ｔ．Ｃ、ＦＣＴ．Ｄの５検査項目）をＰＡＳＳしたサン
プルを良品とし検査を行うものである。それぞれのサン
プルについては、検査の開始にあたり必ずＤＣテストが
行われた後に各ファンクションテスト（ＦＣＴ．Ｉ、Ｆ
ＣＴ．II、ＦＣＴ．III、ＦＣＴ．IV）が行われる。各
ファンクションテストのうちどの検査項目から検査が開
始されるかは不定である。ただし、可能なかぎり以前の
検査結果から今回の検査における複数個の検査項目の検
査順番を随時変更する。
【００２５】この検査方法によると、第３の実施例と同
様に全てのソケットで検査待ち状態が少なくなくなり全
てのソケットがＤＣテスト以外は常に検査状態となり検
査効率が上がり検査時間を短縮することができるという
効果がある。ここで、各サンプルの検査開始時に必ずＤ
Ｃテストを行うことの目的としては、ＤＣテスト不良の
サンプルは他のソケットの良品サンプルの検査に悪影響
を与える恐れがあることと、通常ＤＣテスト時間はファ
ンクションテスト時間に比べ非常に短いため検査時間で
早く不良品を見つけ取り除こうとするためである。ま
た、このほか、ファンクションテスト検査順番を例えば
不良発生率の高い検査項目の検査順番を前にすると、早
く不良品を見つけることができ検査時間を短縮すること
ができるという効果がある。
様に全てのソケットで検査待ち状態が少なくなくなり全
てのソケットがＤＣテスト以外は常に検査状態となり検
査効率が上がり検査時間を短縮することができるという
効果がある。ここで、各サンプルの検査開始時に必ずＤ
Ｃテストを行うことの目的としては、ＤＣテスト不良の
サンプルは他のソケットの良品サンプルの検査に悪影響
を与える恐れがあることと、通常ＤＣテスト時間はファ
ンクションテスト時間に比べ非常に短いため検査時間で
早く不良品を見つけ取り除こうとするためである。ま
た、このほか、ファンクションテスト検査順番を例えば
不良発生率の高い検査項目の検査順番を前にすると、早
く不良品を見つけることができ検査時間を短縮すること
ができるという効果がある。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置の検査方法によると、検査時間を大幅に短縮すること
ができ、これは大幅な検査コストダウンになり大きな効
果が得られる。
置の検査方法によると、検査時間を大幅に短縮すること
ができ、これは大幅な検査コストダウンになり大きな効
果が得られる。
【図１】本発明の検査方法の第１の実施例の検査フロー
を示す図
を示す図
【図２】本発明の検査方法の第２の実施例の検査フロー
を示す図
を示す図
【図３】本発明の検査方法の第３の実施例の検査フロー
を示す図
を示す図
【図４】本発明の検査方法の第４の実施例の検査フロー
を示す図
を示す図
【図５】本発明の検査方法の第５の実施例の検査フロー
を示す図
を示す図
【図６】従来の検査方法の第１の実施例の検査フローを
示す図
示す図
【図７】従来の検査方法の第２の実施例の検査フローを
示す図
示す図
Claims (3)
- 【請求項１】 複数個の検査項目からなり複数個のサン
プルを同時測定する一連の検査を、サンプルを入れ替え
て繰り返し行う検査方法において、直前の一連の検査に
おける前記複数個の検査項目の各々の不良発生率をもと
に、次の一連の検査における前記複数個の検査項目の検
査順番を、前記不良発生率が高い順番に変更して実施す
ることを特徴とする半導体装置の検査方法。 - 【請求項２】 サンプルの入れ替えに際し、複数個のサ
ンプルのうち少なくとも１個が複数個の検査項目のうち
のある検査項目Ａで不良になると、当該不良サンプルを
次のサンプルと置き換えて前記検査項目Ａの次の検査項
目から検査を開始し、かつ前記複数個のサンプルのうち
良品サンプルについては、各良品サンプル毎に当該良品
サンプルに関する一連の検査が終了しだい次のサンプル
と置き換えて次の一連の検査を開始することを特徴とす
る請求項１に記載の半導体装置の検査方法。 - 【請求項３】 複数個の検査項目が直流検査群と機能検
査群からなり、一連の検査を行う際に、常に直流検査群
の検査を機能検査群の検査に先立って行うことを特徴と
する請求項１または請求項２に記載の半導体装置の検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4015987A JP3040233B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体装置の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4015987A JP3040233B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体装置の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05209928A JPH05209928A (ja) | 1993-08-20 |
| JP3040233B2 true JP3040233B2 (ja) | 2000-05-15 |
Family
ID=11904018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4015987A Expired - Fee Related JP3040233B2 (ja) | 1992-01-31 | 1992-01-31 | 半導体装置の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3040233B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6404220B1 (en) | 1997-11-20 | 2002-06-11 | Advantest Corporation | IC testing method and IC testing device using the same |
| JP2001311766A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Advantest Corp | 半導体デバイス試験装置及び試験方法 |
-
1992
- 1992-01-31 JP JP4015987A patent/JP3040233B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05209928A (ja) | 1993-08-20 |
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