JPH07270488A - 半導体集積回路試験装置 - Google Patents
半導体集積回路試験装置Info
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- JPH07270488A JPH07270488A JP6060478A JP6047894A JPH07270488A JP H07270488 A JPH07270488 A JP H07270488A JP 6060478 A JP6060478 A JP 6060478A JP 6047894 A JP6047894 A JP 6047894A JP H07270488 A JPH07270488 A JP H07270488A
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- Japan
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- measured
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Abstract
(57)【要約】
【目的】測定用ボードの被測定部とＩＣハンドラーの測
定部とが、人的ミスにより誤接続され誤分類の防止。 【構成】測定用ボード１４上に被測定部Ｉ６と被測定部
ＩＩ７が設けてあり、それらは測定用ケーブルＩ８と測
定用ケーブルＩＩ９とさらに被測定部検出ケーブルＩ１
２，被測定部検出ケーブルＩ１３とで、ＩＣハンドラー
３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１に接続されている。
定部とが、人的ミスにより誤接続され誤分類の防止。 【構成】測定用ボード１４上に被測定部Ｉ６と被測定部
ＩＩ７が設けてあり、それらは測定用ケーブルＩ８と測
定用ケーブルＩＩ９とさらに被測定部検出ケーブルＩ１
２，被測定部検出ケーブルＩ１３とで、ＩＣハンドラー
３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１に接続されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体集積回路（以下
ＩＣと称す）試験装置に間し、特に複数個のＩＣを並列
測定する半導体集積回路試験装置に関する。
ＩＣと称す）試験装置に間し、特に複数個のＩＣを並列
測定する半導体集積回路試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＩＣを並列測定する半導体集積回
路試験装置は、図３に示すように、ＩＣ検査装置１と測
定ステーション２は、測定信号ケーブル４で接続されて
いる。測定用ボード１４上には、測定すべきＩＣとして
の被測定部Ｉ６と、被測定部Ｉ１７が設けてあり、それ
らは、測定用ケーブルＩ８と測定用ケーブルＩＩ９とで
ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１にそ
れぞれ接続されている。
路試験装置は、図３に示すように、ＩＣ検査装置１と測
定ステーション２は、測定信号ケーブル４で接続されて
いる。測定用ボード１４上には、測定すべきＩＣとして
の被測定部Ｉ６と、被測定部Ｉ１７が設けてあり、それ
らは、測定用ケーブルＩ８と測定用ケーブルＩＩ９とで
ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１にそ
れぞれ接続されている。
【０００３】ＩＣハンドラー３は、ＩＣの分類を行うた
めに分類信号ケーブル５でＩＣ検査装置１に接続されて
いる。ＩＣ検査装置１は、ＩＣの良否を判定するための
試験プログラムに従って、試験条件を設定し、かかる試
験条件の電気的信号を測定信号ケーブル４へ出力し、測
定信号ケーブル４は、試験条件を測定ステーション２へ
伝える。測定ステーション２と測定用ボード１４とは、
電気的にプローブピン等によって接続されていて、かか
る電気信号は、測定用ボード１４へ伝わる。測定用ボー
ド１４には、被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とが設けら
れていて、ＩＣを並列測定出来るようになっており、被
測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とは、リード配線により測
定用ボード１４に電気的に接続されていて、かかる電気
信号は、測定用ケーブルＩ８，測定用ケーブルＩＩ９と
でＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１に
伝わる事により、測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１にセッ
トされたＩＣを検査する事が出来る様になっている。Ｉ
Ｃ検査装置１は、その検査結果を分類信号ケーブル５に
出力することによってＩＣハンドラー３は、かかる検査
結果に基づきＩＣの良否を分類する。
めに分類信号ケーブル５でＩＣ検査装置１に接続されて
いる。ＩＣ検査装置１は、ＩＣの良否を判定するための
試験プログラムに従って、試験条件を設定し、かかる試
験条件の電気的信号を測定信号ケーブル４へ出力し、測
定信号ケーブル４は、試験条件を測定ステーション２へ
伝える。測定ステーション２と測定用ボード１４とは、
電気的にプローブピン等によって接続されていて、かか
る電気信号は、測定用ボード１４へ伝わる。測定用ボー
ド１４には、被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とが設けら
れていて、ＩＣを並列測定出来るようになっており、被
測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とは、リード配線により測
定用ボード１４に電気的に接続されていて、かかる電気
信号は、測定用ケーブルＩ８，測定用ケーブルＩＩ９と
でＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１に
伝わる事により、測定部Ｉ１０と測定部ＩＩ１１にセッ
トされたＩＣを検査する事が出来る様になっている。Ｉ
Ｃ検査装置１は、その検査結果を分類信号ケーブル５に
出力することによってＩＣハンドラー３は、かかる検査
結果に基づきＩＣの良否を分類する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、ＩＣのテ
スタは、ＩＣハンドラの測定部にセットされたＩＣを測
定し、良否の判定し、分類しており測定ステーションに
検査するＩＣ用の測定ボードをセットし、測定用ボード
上に設けられた被測定部とＩＣハンドラーの測定部とを
測定用ケーブルで接続している。
スタは、ＩＣハンドラの測定部にセットされたＩＣを測
定し、良否の判定し、分類しており測定ステーションに
検査するＩＣ用の測定ボードをセットし、測定用ボード
上に設けられた被測定部とＩＣハンドラーの測定部とを
測定用ケーブルで接続している。
【０００５】この時、人的ミスで測定用ボードの被測定
部ＩとＩＣハンドラーの測定部ＩＩ、測定用ボードの被
測定部ＩＩとＩＣハンドラーの測定部Ｉとを、誤って接
続してしまうと、誤接続した状態を検出する機能がない
ために誤った状態でＩＣの検査をしていまい、ＩＣハン
ドラーの測定部ＩのＩＣが良品，ＩＣハンドラーの測定
部ＩＩのＩＣが不良とＩＣテスターで判定した時、ＩＣ
ハンドラーは、測定部ＩＩのＩＣを良品へ、測定部Ｉの
ＩＣを不良へと分類してしまう。つまり誤分類となって
しまう。
部ＩとＩＣハンドラーの測定部ＩＩ、測定用ボードの被
測定部ＩＩとＩＣハンドラーの測定部Ｉとを、誤って接
続してしまうと、誤接続した状態を検出する機能がない
ために誤った状態でＩＣの検査をしていまい、ＩＣハン
ドラーの測定部ＩのＩＣが良品，ＩＣハンドラーの測定
部ＩＩのＩＣが不良とＩＣテスターで判定した時、ＩＣ
ハンドラーは、測定部ＩＩのＩＣを良品へ、測定部Ｉの
ＩＣを不良へと分類してしまう。つまり誤分類となって
しまう。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
試験装置は、測定用ボード上に設けられた、不測定部
Ｉ，ＩＩと、ＩＣハンドラーの測定部Ｉ，ＩＩとが、測
定用ケーブルで正しく接続されているかを検出するため
の被測定部検出ケーブルを備え、検出信号に基づき動作
する機能を有している。
試験装置は、測定用ボード上に設けられた、不測定部
Ｉ，ＩＩと、ＩＣハンドラーの測定部Ｉ，ＩＩとが、測
定用ケーブルで正しく接続されているかを検出するため
の被測定部検出ケーブルを備え、検出信号に基づき動作
する機能を有している。
【０００７】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例の半導体集積回路
試験装置を示すブロック図である。ＩＣ検査装置１と測
定ステーション２は、測定信号ケーブル４で接続されて
いる。測定用ボード１４上には、測定すべきＩＣとして
の被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７が設けてあり、それら
は測定用ケーブルＩ８と測定用ケーブルＩＩ９とさらに
被測定部検出ケーブルＩＩ２，被測定部検出ケーブルＩ
Ｉ１３とで、ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部
ＩＩ１１にそれぞれ接続されている。ＩＣハンドラー３
は、ＩＣの分類を行なうために分類信号ケーブル５でＩ
Ｃ検査装置１に接続されている。
試験装置を示すブロック図である。ＩＣ検査装置１と測
定ステーション２は、測定信号ケーブル４で接続されて
いる。測定用ボード１４上には、測定すべきＩＣとして
の被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７が設けてあり、それら
は測定用ケーブルＩ８と測定用ケーブルＩＩ９とさらに
被測定部検出ケーブルＩＩ２，被測定部検出ケーブルＩ
Ｉ１３とで、ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０と測定部
ＩＩ１１にそれぞれ接続されている。ＩＣハンドラー３
は、ＩＣの分類を行なうために分類信号ケーブル５でＩ
Ｃ検査装置１に接続されている。
【０００９】ＩＣ検査装置１はＩＣの良否を判定するた
めの試験プログラムに従って試験条件を設定し、かかる
試験条件の電気信号を測定信号ケーブル４へ出力し、測
定信号ケーブル４は、試験条件を測定ステーション２へ
伝える。測定ステーション２と測定用ボード１４とは電
気的にプローブピン等によって接続されていて、かかる
電気信号は、測定用ボード１４へ伝わる。測定用ボード
１４には、被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とが設けられ
ていて、ＩＣを並列測定出来るようになっており、被測
定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とは、リード配線により測定
用ボード１４に電気的に接続されている。また測定用ボ
ード１４から、いずれかの被測定部検出用の電気的信号
が伝えられる様にリード配線により測定用ボード１４上
に設けられた被測定部Ｉ６，被測定部ＩＩ７へそれぞれ
接続されている。かかる電気信号は、測定用ケーブルＩ
８，測定用ケーブルＩＩ９とでＩＣハンドラー３の測定
部Ｉ１０と測定部Ｉ１１に伝わる。
めの試験プログラムに従って試験条件を設定し、かかる
試験条件の電気信号を測定信号ケーブル４へ出力し、測
定信号ケーブル４は、試験条件を測定ステーション２へ
伝える。測定ステーション２と測定用ボード１４とは電
気的にプローブピン等によって接続されていて、かかる
電気信号は、測定用ボード１４へ伝わる。測定用ボード
１４には、被測定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とが設けられ
ていて、ＩＣを並列測定出来るようになっており、被測
定部Ｉ６と被測定部ＩＩ７とは、リード配線により測定
用ボード１４に電気的に接続されている。また測定用ボ
ード１４から、いずれかの被測定部検出用の電気的信号
が伝えられる様にリード配線により測定用ボード１４上
に設けられた被測定部Ｉ６，被測定部ＩＩ７へそれぞれ
接続されている。かかる電気信号は、測定用ケーブルＩ
８，測定用ケーブルＩＩ９とでＩＣハンドラー３の測定
部Ｉ１０と測定部Ｉ１１に伝わる。
【００１０】さらに、測定部Ｉ１０と、被測定部Ｉ６，
測定部ＩＩ１１と被測定部ＩＩ７とが正しく接続されて
いるかを検出する被測定部検出ケーブルＩ１２と、被測
定部検出ケーブルＩＩ１３が、ＩＣハンドラー３の測定
部Ｉ１０，測定部ＩＩ１１へ接続されている。かかる接
続状態が図２に示されている。被測定部検出ケーブルＩ
１２にはＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０を意味する電
気信号を測定部Ｉ１０に設けており例えば“０１”また
は“１０”といった組合わせができるディジタル信号を
設けられかかる信号は、測定用ボード１４を経て、測定
ステーション２，測定信号ケーブル４と伝わり、ＩＣ検
査装置１へ入力される。ＩＣ検査装置１では、ＩＣを検
査する以外に前記信号を読み取り、正しく試験出来るか
を判断し、測定用ケーブルＩ８，測定用ケーブルＩＩ９
が誤接続されていると判断した場合は、試験を中断す
る。誤接続がない場合は、ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ
１０と測定部ＩＩ１１にセットされたＩＣに測定条件が
正しく伝わりＩＣを検査することが出来る様になってい
る。
測定部ＩＩ１１と被測定部ＩＩ７とが正しく接続されて
いるかを検出する被測定部検出ケーブルＩ１２と、被測
定部検出ケーブルＩＩ１３が、ＩＣハンドラー３の測定
部Ｉ１０，測定部ＩＩ１１へ接続されている。かかる接
続状態が図２に示されている。被測定部検出ケーブルＩ
１２にはＩＣハンドラー３の測定部Ｉ１０を意味する電
気信号を測定部Ｉ１０に設けており例えば“０１”また
は“１０”といった組合わせができるディジタル信号を
設けられかかる信号は、測定用ボード１４を経て、測定
ステーション２，測定信号ケーブル４と伝わり、ＩＣ検
査装置１へ入力される。ＩＣ検査装置１では、ＩＣを検
査する以外に前記信号を読み取り、正しく試験出来るか
を判断し、測定用ケーブルＩ８，測定用ケーブルＩＩ９
が誤接続されていると判断した場合は、試験を中断す
る。誤接続がない場合は、ＩＣハンドラー３の測定部Ｉ
１０と測定部ＩＩ１１にセットされたＩＣに測定条件が
正しく伝わりＩＣを検査することが出来る様になってい
る。
【００１１】ＩＣ検査装置１は、その検査結果を分類信
号ケーブル５に出力することによってＩＣハンドラー３
は、かかる検査結果に基づき、ＩＣの良否を正しく分類
する。
号ケーブル５に出力することによってＩＣハンドラー３
は、かかる検査結果に基づき、ＩＣの良否を正しく分類
する。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、測定用ボ
ード上の被測定部と、ＩＣハンドラーの測定部とが測定
ケーブルで正しく接続されているかを検出する、被測定
部検出機能を設けたことにより、人的ミスを防ぐ、さら
に誤分類による不良品の流出防止、再検査によるロスコ
ストの低減等が図れるという結果を有する。
ード上の被測定部と、ＩＣハンドラーの測定部とが測定
ケーブルで正しく接続されているかを検出する、被測定
部検出機能を設けたことにより、人的ミスを防ぐ、さら
に誤分類による不良品の流出防止、再検査によるロスコ
ストの低減等が図れるという結果を有する。
【図１】本発明の一実施例の半導体集積回路試験装置の
ブロック図。
ブロック図。
【図２】図１に示した測定部の構成図。
【図３】従来の半導体集積回路試験装置のブロック図。
１ ＩＣ試験装置 ２ 測定ステーション ３ ＩＣハンドラー ４ 測定信号ケーブル ６，７ 被測定部Ｉ，ＩＩ １０，１１ 測定部Ｉ，ＩＩ １２，１３ 被測定部検出ケーブル １４ 測定用ボード
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の半導体集積回路装置を並列測定す
る装置において、被測定部と測定部が正しく接続されて
いるかを検出する被測定部検出機能を設けた事を特徴と
する半導体集積回路試験装置。 - 【請求項２】 前記被測定部検出機能は、被測定部と測
定部とを結ぶ検出ケーブルを有し、この検出ケーブルを
介して前記測定部から前記被測定部に特定パターンのデ
ータを送り、このデータが前記特定パターンか否かを検
出することで、被測定部と測定部との接続を検出するこ
とを特徴とする半導体集積回路試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06047894A JP3168813B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06047894A JP3168813B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07270488A true JPH07270488A (ja) | 1995-10-20 |
| JP3168813B2 JP3168813B2 (ja) | 2001-05-21 |
Family
ID=13143431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06047894A Expired - Fee Related JP3168813B2 (ja) | 1994-03-30 | 1994-03-30 | 半導体集積回路試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3168813B2 (ja) |
-
1994
- 1994-03-30 JP JP06047894A patent/JP3168813B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3168813B2 (ja) | 2001-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010213 |
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