JPS63182584A - Ｉｃ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ この発明は、ＩＣのファンクションテストなどを行うＩ
Ｃ＄！査装置に関する。

［従来の技術］ この種のＩＣ検査装置によるＩＣのファンクションテス
トでは、ユーザ側で作成さたテストプログラムに従って
被検査ＩＣのピンにパルス状の信号を印加し、被検査Ｉ
Ｃのピン出力信号をチェックすることにより、被検査Ｉ
Ｃが良品であるか否かを判定する。

［解決しようとする問題点］ さて、被検査ＩＣの駆動信号の波形はテストプログラム
で規定されるが、その駆動信号波形が予期したものであ
るかの確認を行う場合、換言すれば、テストプログラム
のデバッグを行う場合、従来はオシロスコープなどの波
形測定装置を用いて、被検査ＩＣのピンまたはその近傍
の信号波形を観測する必要があった。

しかし、このようにオシロスコープなどを用いて波形観
測を行う方法は、面倒であるだけでなく、オシロスコー
プなどの接続による影響で信号波形が歪み、特に高周波
測定時においては観測波形の誤差が大きいという問題が
あった。

この発明は、そのような問題点を解決したＩＣ検査装置
を提供することを目的としてなされたものである。

［問題点を解決するための手段］ この目的を達成するために、この発明は、ＩＣのファン
クションテストなどを行うＩＣ検査装置において、被検
査ＩＣのピンを駆動するためのピン１！ライバの出力信
号を入力としてその波形のデータを採取する手段と、こ
の手段により採取された波形のデータを記憶する手段と
、この手段に記憶されたデータから前記ピンドライバの
出力信号の波形を再生し出力する手段とを備えることを
特徴とするものである。

［作用］ この発明によるＩＣ検査装置は、」−述の構成であり、
ピンドライバの出力信号の波形データを採取して記憶し
、この記憶データから信号波形を再生して出力できるか
ら、その出力波形よりファンクションテストなどにおけ
るピン駆動信号波形の確認を行うことができる。

このように、オンロスコープなどを接続することなく、
ＩＣ検査装置により直接的にピン駆動信号の波形を確認
することができるから、その作業が簡単でテストプログ
ラムのデバッグ作業の能率が向」ニするともに、オシロ
スコープなどの接続ニよる信号波形への影響を抽除でき
る。

［実施例コ 以ド、図面を参照し、この発明の一実施例について説明
する。

第１図は、この発明によるＩＣ検査装置の一実施例の要
部構成を説明するための概略ブロック図である。この図
において、１０はＩＣ検査装置の処理制御部であり、テ
ストプログラムによって被検査ＩＣＩＩのファンクショ
ンテストなどを実行するための各種制御や解析処理など
を行う。

１２はピンエレクトロニクス部であり、ここには従来と
同様に多数のピンドライバ１４（ここでは１ピン分だけ
示されている）が設けられている。

１６は各ピンドライバ１４の出力信号の波形のデータを
採取するためのコンパレータである。このコンパレータ
１６は新たに設けてもよいが、ピンエレクトロニクス部
Ｉ２には、クロックパルスのスキュー補正のためのコン
パレータや、被検査ＩＣＩ　１のピン出力電圧の測定用
のコンパレータが多数設けられているので（図示されて
いない）、この実施例では、それらのコンパレータを図
示しないリレーなどによって図示のように接続し、コン
パレータ１６として利用するようになっている。

１８はピンドライバ１４の出力信号の波形データを記憶
するためのメモリである。このメモリ１８も新たに設け
てもよいが、ファンクションテストにおけるパス（ｐａ
ｓｓ）／フェイル（ｆａｉ］）のビットマツプを記録す
るためのメモリが設けられているので、この実施例では
、そのメモリがメモリ１８として利用される。

２０は処理制御部１０の制御下で動作する波形観測制御
部である。この波形観測制御部２０は、処理制御部１０
によるピンドライバ１４の駆動と同期を取って、コンパ
レータ１６に対しストローブ信号２１および比較値２２
を送出する。また、この波形観測部２０は、ストローブ
信号２１の各送出タイミング毎に、コンパレータ１６の
出力信、号の状態をチェックしており、その状態反転時
の比較値２２と、そのタイミングとを対応させたビ゛ッ
トマップ（波形データ〕をメモリ１８に書き込む。

なお、この波形観測制御部２０も、ファンクションテス
ト時の被検査ＩＣの出力信号波形を測定するための機能
部分を利用して実現するようにしてもよい。

次に、テストプログラムに従ってファンクションテスト
が実行されているとして、波形観測動作について説明す
る。

ピンドライバ１４からはテストプログラムによって規定
された波形の信号が出力され、これが被検査ＩＣＩ　１
のピンに印加される。

このピンドライバ１４の信号出力に同期して、波形観測
制御部２０はストローブ信号２０の送出を開始し、タイ
ミングを単位時間ずつ順次ずらしながらストローブ信号
２０を連続的に送出する。

また、一連のストローブ信号の最終タイミングの信号を
送出する度に、期待値２２を単位量ずつ順次増大させる
。

ストローブ信号２０のタイミングで、コンパレ６一 −タ１６によりピンドライバ１４の出力信号の電圧値と
期待値との比較が行われ、ピンドライバ出力信号電圧値
か期待値以下であると比較結果信号は°ｌ　Ｑ　＋１、
期待値を越えると比較結果信号は”１“となる。

波形観Ｗｉ１１制御部２０は、ストローブ信号２０の各
タイミングにおいて、比較結果信号が初めて“１”とな
った時の期待値をメモリ１８七のビ・ソトマップに書き
込む。

第２図は、そのビットマツプの概念図である。

この図において、横軸はストローブ信号のタイミング（
時間）であり、縦軸は期待値である。例えば、あるタイ
ミングｔにおいて、期待値がａの時に比較結果信号が初
めて“０”から“１″となった場合、ピントマツプ上の
座標（ｔ、ａ）のビ・ソトに“１”が書き込まれる。

このようにして、ビットマツプが完成すると、ピンドラ
イバ１４の出力信号の波形観測、つまり波形データの採
取は終了する。

その後、メモリ１８　ｌユのビ・ントマ・ツブ（波形デ
ータ）は、処理制御部１０の制御によりディスプレイ２
４またはプリンタ２６（出力手段）に転送され、波形デ
ータに基づいて再生された波形の画面表示または印刷出
力が行われる。

以」二、この発明の一実施例について説明したが、この
発明はそれだけに限定されるものではない。

例えば、ピンドライバの出力信号と同様に被検査ＩＣの
ピン出力信号の波形データも採取して記憶し、その再生
波形も出力できるようにしてもよい。

また、信号波形のデータの採取は、速度などの条件を満
足できるならば、アナログ／デジタル変換器などを用い
て行うこともできる。

波形データの型式、その記憶形態も変更が許される。

さらに、再生波形をそのまま出力するたけでなく、波形
の部分拡大、時間軸のレンジ切り換えなどを可能として
もよい。

さらに、複数のピンドライバの出力信号波形を並べて、
タイムチャー１・とじて出力させるようにしてもよい。

その他、この発明はその要旨を逸脱しない範囲内で様々
に変形して実施し得るものである。

［発明の効果コ 以１−の説明から明らかなように、この発明は、被検査
ＩＣのピンを駆動するためのピンドライバの出力信号を
入力としてその波形のデータを採取する手段と、この手
段により採取された波形のデータを記憶する手段と、こ
の手段に記憶されたデータから前記ピンドライバの出力
信号の波形を再生し出力する手段とを備える構成である
から、オシロスコープなどを接続することなく、ＩＣ検
査装置により直接的にピン駆動信号の波形を確認するこ
とができるようになり、その作業が簡単でテストプログ
ラムのデバッグ作業の能率が向上するともに、オシロス
コープなとの接続による信号波形への影響を排除できる
、などの効果を達成できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明によるＩＣ検査装置の一実施例の要
部構成を示す概略ブロック図、第２図は採取された波形
データのビットマツプの説明図である。 １４・・・ピンドライバ、１６・・・波形データ採取用
コンパレータ、２０・・・波形観測制御部、１８・・・
メモリ、２４・・・ディスプレイ、２６・・・プリンタ
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣのファンクションテストなどを行うＩＣ検査
   装置において、被検査ＩＣのピンを駆動するためのピン
   ドライバの出力信号を入力としてその波形のデータを採
   取する手段と、この手段により採取された波形のデータ
   を記憶する手段と、この手段に記憶されたデータから前
   記ピンドライバの出力信号の波形を再生し出力する手段
   とを有することを特徴とするＩＣ検査装置。