JPH024488B2 - - Google Patents
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- JPH024488B2 JPH024488B2 JP57149866A JP14986682A JPH024488B2 JP H024488 B2 JPH024488 B2 JP H024488B2 JP 57149866 A JP57149866 A JP 57149866A JP 14986682 A JP14986682 A JP 14986682A JP H024488 B2 JPH024488 B2 JP H024488B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- hanger
- support
- rail
- lifter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/02—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid
- B65G49/04—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction
- B65G49/0409—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length
- B65G49/0436—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath
- B65G49/0472—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a non continuous circuit
- B65G49/0477—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a non continuous circuit with lifting means for circuit parts
- B65G49/0481—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a non continuous circuit with lifting means for circuit parts with lifting means locating at the bath area
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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- B65G49/04—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction
- B65G49/0409—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length
- B65G49/0436—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath
- B65G49/044—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit
- B65G49/045—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed
- B65G49/0454—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for conveying workpieces through baths of liquid the workpieces being immersed and withdrawn by movement in a vertical direction specially adapted for workpieces of definite length arrangements for conveyance from bath to bath along a continuous circuit the circuit being fixed by means of containers -or workpieces- carriers
Landscapes
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は物品をハンガーに支持して移送するキ
ヤリヤとハンガーとの係脱装置に関する。
ヤリヤとハンガーとの係脱装置に関する。
例えば、キヤリヤのハンガーに支持した物品を
移送ライン上で表面処理や加工をする場合、従来
は、ループ式天井レール上を自走するキヤリヤに
ホイストを設け、所定の処理位置で物品をホイス
トにより下降してこれに処理をしたのち、再び物
品を上昇して次の処理位置に移送するという移送
方式が用いられてきた。この場合、キヤリヤ及び
ホイスト全体をコンピユータ等により自動操作し
ても、物品ないしハンガーはキヤリヤから分離さ
れずに加工処理が行われるので、処理の種類や時
間が異る物品が移送ライン上に混在する場合は、
処理時間最長の物品を有するキヤリヤの動作時間
を基準として移送装置全体の操作を行うことにな
るから、処理能率は低下し、またキヤリヤの使用
数も多くなり、キヤリヤを循環させるための戻り
レールも必要となるという問題がある。
移送ライン上で表面処理や加工をする場合、従来
は、ループ式天井レール上を自走するキヤリヤに
ホイストを設け、所定の処理位置で物品をホイス
トにより下降してこれに処理をしたのち、再び物
品を上昇して次の処理位置に移送するという移送
方式が用いられてきた。この場合、キヤリヤ及び
ホイスト全体をコンピユータ等により自動操作し
ても、物品ないしハンガーはキヤリヤから分離さ
れずに加工処理が行われるので、処理の種類や時
間が異る物品が移送ライン上に混在する場合は、
処理時間最長の物品を有するキヤリヤの動作時間
を基準として移送装置全体の操作を行うことにな
るから、処理能率は低下し、またキヤリヤの使用
数も多くなり、キヤリヤを循環させるための戻り
レールも必要となるという問題がある。
本発明の目的は、移送ラインの所望位置にハン
ガー昇降用リフタを設け、ハンガー昇降動作とキ
ヤリヤ前後動とによりハンガーをキヤリヤに係脱
せしめることによつて従来の上記問題を解決し
た、移送用キヤリヤへのハンガー係脱装置を提供
するにある。
ガー昇降用リフタを設け、ハンガー昇降動作とキ
ヤリヤ前後動とによりハンガーをキヤリヤに係脱
せしめることによつて従来の上記問題を解決し
た、移送用キヤリヤへのハンガー係脱装置を提供
するにある。
以下本発明の実施例を図面に参照して説明す
る。
る。
第１図は移送ライン上で物品の洗浄、酸洗、水
洗等の表面処理を行う処理装置のレイアウトを示
し、載荷点Ａ，Ｂからハンガーに載荷した物品Ｍ
をキヤリヤにより所望の液槽Ｄ上に移送してそこ
で所定の表面処理をなし、かかる動作を他の液槽
に対しても繰返えしたのち、脱荷点Ｃにおいて物
品をハンガーから外すのである。そのため第２図
に示すように、移送ラインに沿う２条の天井走行
レール１に４台の自走キヤリヤ２を設け、各液槽
Ｄ、載荷点Ａ，Ｂ、脱荷点Ｃにそれぞれリフタ３
を設ける。リフタ３により物品がハンガーごとキ
ヤリヤ２から分離して所定の液槽Ｄ中に下降され
ると、空きキヤリヤ２は他に移動し、リフタによ
り上昇された別の物品を支持するハンガーと係合
してこれを移送することができる。即ち、各キヤ
リヤ２は液槽中の処理時間を利用して他の物品を
移送し得るので、適当な複数の液槽を含む受持区
間Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４について各１台のキヤ
リヤ２を設ければ足り、しかも受持区間におい
て、既に液槽Ｄ中に下降した物品を飛び越えて他
の物品を移送することもできる。
洗等の表面処理を行う処理装置のレイアウトを示
し、載荷点Ａ，Ｂからハンガーに載荷した物品Ｍ
をキヤリヤにより所望の液槽Ｄ上に移送してそこ
で所定の表面処理をなし、かかる動作を他の液槽
に対しても繰返えしたのち、脱荷点Ｃにおいて物
品をハンガーから外すのである。そのため第２図
に示すように、移送ラインに沿う２条の天井走行
レール１に４台の自走キヤリヤ２を設け、各液槽
Ｄ、載荷点Ａ，Ｂ、脱荷点Ｃにそれぞれリフタ３
を設ける。リフタ３により物品がハンガーごとキ
ヤリヤ２から分離して所定の液槽Ｄ中に下降され
ると、空きキヤリヤ２は他に移動し、リフタによ
り上昇された別の物品を支持するハンガーと係合
してこれを移送することができる。即ち、各キヤ
リヤ２は液槽中の処理時間を利用して他の物品を
移送し得るので、適当な複数の液槽を含む受持区
間Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４について各１台のキヤ
リヤ２を設ければ足り、しかも受持区間におい
て、既に液槽Ｄ中に下降した物品を飛び越えて他
の物品を移送することもできる。
キヤリヤ２、ハンガー等の処理、或は不都合な
移送物品の脱荷のため、レール１の適所に可動レ
ール４を設け、該レール４の上部に設置したトラ
バーサ５により可動レール４を外側方のリペアレ
ール１ａと一致する位置４ａに横動させて、キヤ
リヤ２をリペアレール１ａに移動させる。リペア
レール１ａの一端はリフタ３ａのフレームに固定
され、リフタ３ａによりハンガー及び移送物品を
下降させる。キヤリヤ２のみの取外し、取付けは
別に設けたクレーンにて行う。レール１上のキヤ
リヤ２を増加する場合もリペアレール１ａから補
給する。
移送物品の脱荷のため、レール１の適所に可動レ
ール４を設け、該レール４の上部に設置したトラ
バーサ５により可動レール４を外側方のリペアレ
ール１ａと一致する位置４ａに横動させて、キヤ
リヤ２をリペアレール１ａに移動させる。リペア
レール１ａの一端はリフタ３ａのフレームに固定
され、リフタ３ａによりハンガー及び移送物品を
下降させる。キヤリヤ２のみの取外し、取付けは
別に設けたクレーンにて行う。レール１上のキヤ
リヤ２を増加する場合もリペアレール１ａから補
給する。
第３図ないし第５図はリペアレール１ａの方へ
横動されたときのキヤリヤ２及びトラバーサ５の
詳細を示す。リペアレール１ａはレール１と同じ
Ｉ形断面を有し、キヤリヤ２はその前後両側に軸
承した各１対の駆動ローラ６及び従動ローラ７が
レール１ａ又は１上に懸架してモータ８により走
行する。キヤリヤ２の両側間を結合する３個の横
部材９はそれぞれ上部梁１０とその下方に間隔を
もつて外側から内方へ突出する相対する１対のア
ーム１１とを有し、上部梁１０及びアーム１１を
それぞれ互に縦部材１２，１３にて結合し、アー
ム１１と上面がこれと面一な縦部材１３とにより
ハンガー支持部１４を形成する。
横動されたときのキヤリヤ２及びトラバーサ５の
詳細を示す。リペアレール１ａはレール１と同じ
Ｉ形断面を有し、キヤリヤ２はその前後両側に軸
承した各１対の駆動ローラ６及び従動ローラ７が
レール１ａ又は１上に懸架してモータ８により走
行する。キヤリヤ２の両側間を結合する３個の横
部材９はそれぞれ上部梁１０とその下方に間隔を
もつて外側から内方へ突出する相対する１対のア
ーム１１とを有し、上部梁１０及びアーム１１を
それぞれ互に縦部材１２，１３にて結合し、アー
ム１１と上面がこれと面一な縦部材１３とにより
ハンガー支持部１４を形成する。
ハンガー１５は、ハンガー支持部１４上に両端
部が載架する枠状の吊下金具１６と、該金具１６
の中央下部に垂直部材１７を介して固着されキヤ
リヤ両側方に長く突出するフツク支持金具１８
と、その下面に一端を固着したフツク１９とを有
し、フツク１９を物品Ｍであるコイル２０の中心
孔内に挿入してコイルを支持する。
部が載架する枠状の吊下金具１６と、該金具１６
の中央下部に垂直部材１７を介して固着されキヤ
リヤ両側方に長く突出するフツク支持金具１８
と、その下面に一端を固着したフツク１９とを有
し、フツク１９を物品Ｍであるコイル２０の中心
孔内に挿入してコイルを支持する。
トラバーサ５は、レール１ａと直角の方向に延
長する上部を固定した１対の横動レール２１の両
側に対面して、可動レール４の上面に両端を固定
したフレーム２２を有し、フレーム２２の両端に
支持した駆動ローラ２３と従動ローラ２４が横動
レール２１に載架して駆動モータ２５により横動
する。トラバーサ５は可動レール４に進入したキ
ヤリヤ２を走行レール１からリペアレール１ａに
移し、或はリペアレール１ａから走行レール１に
キヤリヤ２を補給するのに用いられる。
長する上部を固定した１対の横動レール２１の両
側に対面して、可動レール４の上面に両端を固定
したフレーム２２を有し、フレーム２２の両端に
支持した駆動ローラ２３と従動ローラ２４が横動
レール２１に載架して駆動モータ２５により横動
する。トラバーサ５は可動レール４に進入したキ
ヤリヤ２を走行レール１からリペアレール１ａに
移し、或はリペアレール１ａから走行レール１に
キヤリヤ２を補給するのに用いられる。
第６図、第７図はリフタ３の詳細を示す。リフ
タフレームは１対の支柱２６とその上端を結合す
る横部材２７とを有し、支柱２６の内側にガイド
ローラ２８，２９にて案内昇降可能に支持された
１対のハンガー支持金具３０を設け、駆動モータ
３１により駆動される２条の無端状チエーン３２
及び天井チエーン３３と歯車３４とを介してチエ
ーン３２と反対方向に駆動される２条の無端状チ
エーン３５とにそれぞれ両側のハンガー支持金具
３０を結着してこれを昇降させる。
タフレームは１対の支柱２６とその上端を結合す
る横部材２７とを有し、支柱２６の内側にガイド
ローラ２８，２９にて案内昇降可能に支持された
１対のハンガー支持金具３０を設け、駆動モータ
３１により駆動される２条の無端状チエーン３２
及び天井チエーン３３と歯車３４とを介してチエ
ーン３２と反対方向に駆動される２条の無端状チ
エーン３５とにそれぞれ両側のハンガー支持金具
３０を結着してこれを昇降させる。
ハンガー支持金具３０は凹所３６内に、支柱２
６間に進入したフツク支持金具１８の両端部を支
持してハンガー１５を昇降させ、吊下金具１６を
支持部１４から僅か浮き上らせた状態でキヤリヤ
２を前後に移動させれば、ハンガー１５はキヤリ
ヤ２から分離されるし、これと反対に操作すれば
ハンガー１５をキヤリヤ２に係合させることがで
きる。
６間に進入したフツク支持金具１８の両端部を支
持してハンガー１５を昇降させ、吊下金具１６を
支持部１４から僅か浮き上らせた状態でキヤリヤ
２を前後に移動させれば、ハンガー１５はキヤリ
ヤ２から分離されるし、これと反対に操作すれば
ハンガー１５をキヤリヤ２に係合させることがで
きる。
分離されたハンガー１５はリフタ３の下降によ
りコイル２０を液槽Ｄ中に浸漬し、浸漬中にその
上を他のコイル２０を移送するキヤリヤ２が通過
することができる。またコイル２０を液槽Ｄから
引き上げて中間待機位置１５ａに停止しているハ
ンガー１５は、その上方に到着した空きキヤリヤ
２に係合して移送される。したがつて、コイル２
０を先行コイルを飛び越して前方に移送し、或は
逆方向に飛び越すことも可能であり、その結果、
キヤリヤ２は各コイル２０の浸漬時間に拘束され
ることなく自由に前後進して、コイル全体の処理
を最短時間をもつて合理的に行うことが可能とな
り、また使用キヤリヤ数は処理中のコイル数より
遥かに少なくて足り、しかも各キヤリヤは休止時
間が著しく短縮されて稼働率が向上する。
りコイル２０を液槽Ｄ中に浸漬し、浸漬中にその
上を他のコイル２０を移送するキヤリヤ２が通過
することができる。またコイル２０を液槽Ｄから
引き上げて中間待機位置１５ａに停止しているハ
ンガー１５は、その上方に到着した空きキヤリヤ
２に係合して移送される。したがつて、コイル２
０を先行コイルを飛び越して前方に移送し、或は
逆方向に飛び越すことも可能であり、その結果、
キヤリヤ２は各コイル２０の浸漬時間に拘束され
ることなく自由に前後進して、コイル全体の処理
を最短時間をもつて合理的に行うことが可能とな
り、また使用キヤリヤ数は処理中のコイル数より
遥かに少なくて足り、しかも各キヤリヤは休止時
間が著しく短縮されて稼働率が向上する。
キヤリヤ２とリフタ３とはすべてコンピユータ
によつて統括制御される。即ち、コンピユータに
物品Ｍの種類ごとに所定の処理工程及びその処理
順序、処理時間等のデータを入力しておき、前工
程より送入される物品Ｍのキヤリヤ載荷順序をコ
ンピユータにインプツトすると、コンピユータは
各物品Ｍの工程別処理時間から最も効率的な処理
工程の選択をなし、これに従つてキヤリヤ２の走
行制御、物品Ｍの飛び越し、リフタ３の昇降制御
等を行う。そのために、キヤリヤ２の停止位置、
リフタ３の上昇、下降、中間待機位置等をコンピ
ユータにフイードバツクさせるリミツトスイツチ
の如き検出器３７を適所に設けるが、不要な検出
信号は駆動モータ８，３１等の制御に関与しない
ようコンピユータの制御装置を構成しておく。ト
ラバーサ５の制御はコンピユータからの指令によ
り手動に切換えて行う。
によつて統括制御される。即ち、コンピユータに
物品Ｍの種類ごとに所定の処理工程及びその処理
順序、処理時間等のデータを入力しておき、前工
程より送入される物品Ｍのキヤリヤ載荷順序をコ
ンピユータにインプツトすると、コンピユータは
各物品Ｍの工程別処理時間から最も効率的な処理
工程の選択をなし、これに従つてキヤリヤ２の走
行制御、物品Ｍの飛び越し、リフタ３の昇降制御
等を行う。そのために、キヤリヤ２の停止位置、
リフタ３の上昇、下降、中間待機位置等をコンピ
ユータにフイードバツクさせるリミツトスイツチ
の如き検出器３７を適所に設けるが、不要な検出
信号は駆動モータ８，３１等の制御に関与しない
ようコンピユータの制御装置を構成しておく。ト
ラバーサ５の制御はコンピユータからの指令によ
り手動に切換えて行う。
コンピユータによる上記制御は本発明には直接
関係がないから、詳細な説明は省略する。
関係がないから、詳細な説明は省略する。
本発明は上記構成を有し、ハンガーはリフタの
昇降とキヤリヤの前後動により簡単に係脱するこ
とができ、ハンガー吊持物品のキヤリヤによる移
送とリフタによる昇降とを別個に行い。分離され
たハンガーの吊持物品にリフタ下降により所要の
処理を行うので、キヤリヤに吊持された他の物品
がリフタにより下降されている物品を飛び越えて
移動することが可能であつて、少数のキヤリヤに
より処理時間の異る多数の物品を最短時間をもつ
て合理的に処理し得る効果があり、またキヤリヤ
はハンガーを吊持して下降している他のハンガー
上を飛び越して逆行しうるから、移送ラインには
戻りレールが不要となり、処理工程、処理時間に
最も適合した能率的移送ラインを構成し得る効果
がある。
昇降とキヤリヤの前後動により簡単に係脱するこ
とができ、ハンガー吊持物品のキヤリヤによる移
送とリフタによる昇降とを別個に行い。分離され
たハンガーの吊持物品にリフタ下降により所要の
処理を行うので、キヤリヤに吊持された他の物品
がリフタにより下降されている物品を飛び越えて
移動することが可能であつて、少数のキヤリヤに
より処理時間の異る多数の物品を最短時間をもつ
て合理的に処理し得る効果があり、またキヤリヤ
はハンガーを吊持して下降している他のハンガー
上を飛び越して逆行しうるから、移送ラインには
戻りレールが不要となり、処理工程、処理時間に
最も適合した能率的移送ラインを構成し得る効果
がある。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は処理装
置全体のレイアウトを示す図、第２図は移送ライ
ンの概略平面図、第３図はキヤリヤ、ハンガー及
びトラバーサの平面図、第４図は同じく立面図、
第５図は同じく側面図、第６図はリフタの平面
図、第７図は同じく立面図である。 １……天井走行レール、２……キヤリヤ、３…
…リフタ、１４……ハンガー支持部、１５……ハ
ンガー、１６……吊下金具、１８……フツク支持
金具、１９……フツク、３０……ハンガー支持金
具。
置全体のレイアウトを示す図、第２図は移送ライ
ンの概略平面図、第３図はキヤリヤ、ハンガー及
びトラバーサの平面図、第４図は同じく立面図、
第５図は同じく側面図、第６図はリフタの平面
図、第７図は同じく立面図である。 １……天井走行レール、２……キヤリヤ、３…
…リフタ、１４……ハンガー支持部、１５……ハ
ンガー、１６……吊下金具、１８……フツク支持
金具、１９……フツク、３０……ハンガー支持金
具。
Claims (1)
- １ 天井走行レール上を自走し走行方向と直角に
外側から内方へ突出する相対する１対のハンガー
支持部を下部に形成したキヤリヤと、ハンガー支
持部に両端部が載架する上部の吊下金具と吊下金
具の下方において前記走行方向と直角の方向にキ
ヤリヤより外方に延長し下部にフツクを有するフ
ツク支持金具とを固着してなるハンガーと、キヤ
リヤ走行区間内の適所に設けられフツク支持金具
の両端を支持して昇降するハンガー支持金具を具
えキヤリヤがハンガーに物品を支持して通過可能
なリフタとを有し、リフタによる吊下金具の昇降
とキヤリヤの移動とよりハンガーをキヤリヤに係
脱せしめることを特徴とする移送用キヤリヤへの
ハンガー係脱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14986682A JPS5939623A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 移送用キヤリヤへのハンガ−係脱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14986682A JPS5939623A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 移送用キヤリヤへのハンガ−係脱装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939623A JPS5939623A (ja) | 1984-03-05 |
| JPH024488B2 true JPH024488B2 (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=15484360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14986682A Granted JPS5939623A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 移送用キヤリヤへのハンガ−係脱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939623A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE459084B (sv) * | 1987-10-07 | 1989-06-05 | Sture Lindvall | Doppanordning foer transport av godsbaerare utefter ett flertal i tur och ordning foeljande arbetsstationer |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4820497U (ja) * | 1971-07-15 | 1973-03-08 | ||
| JPS5419662A (en) * | 1977-07-15 | 1979-02-14 | Hitachi Ltd | Forming method of plasma cvd film |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP14986682A patent/JPS5939623A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5939623A (ja) | 1984-03-05 |
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