JPH0241920B2 - - Google Patents
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- JPH0241920B2 JPH0241920B2 JP58195067A JP19506783A JPH0241920B2 JP H0241920 B2 JPH0241920 B2 JP H0241920B2 JP 58195067 A JP58195067 A JP 58195067A JP 19506783 A JP19506783 A JP 19506783A JP H0241920 B2 JPH0241920 B2 JP H0241920B2
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- Japan
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- measuring device
- measuring
- semiconductor
- semiconductor device
- semiconductor devices
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 45
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は半導体装置の電気的特性、外形寸法を
検査する半導体装置用ハンドラーに関するもので
ある。
検査する半導体装置用ハンドラーに関するもので
ある。
半導体装置においてはそのリード曲り等により
外形寸法に不具合が生じることがあり、そのため
に必要な場合は別途目視による外観検査が行なわ
れている。
外形寸法に不具合が生じることがあり、そのため
に必要な場合は別途目視による外観検査が行なわ
れている。
従来から広く用いられている半導体装置測定用
ハンドラー（以下、ハンドラーと称す）の一例を
第１図に示す。図中、１は電気的測定前の被測定
半導体装置を入れたマガジンケース、２は被測定
半導体装置の電気的特性を検査する測定器、３は
搬送路、４は測定の終了した半導体装置を納める
収納部である。この種の従来の装置ではマガジン
ケース１に入つた被測定半導体装置は搬送路３を
通つて測定器２で一旦止まり、ここで電気的特性
を検査された後、良品のみが搬送路３を経て収納
部４に納められる。従つて、この場合リード形状
に異常をきたし外形寸法に不具合が生じた半導体
装置を、この過程で取り除くことはできないた
め、別に外観チエツク等の工程が必要となる。
ハンドラー（以下、ハンドラーと称す）の一例を
第１図に示す。図中、１は電気的測定前の被測定
半導体装置を入れたマガジンケース、２は被測定
半導体装置の電気的特性を検査する測定器、３は
搬送路、４は測定の終了した半導体装置を納める
収納部である。この種の従来の装置ではマガジン
ケース１に入つた被測定半導体装置は搬送路３を
通つて測定器２で一旦止まり、ここで電気的特性
を検査された後、良品のみが搬送路３を経て収納
部４に納められる。従つて、この場合リード形状
に異常をきたし外形寸法に不具合が生じた半導体
装置を、この過程で取り除くことはできないた
め、別に外観チエツク等の工程が必要となる。
本発明は半導体装置の外形寸法の検査と電気的
特性の検査とを自動的に実行できる装置を提供す
るものである。
特性の検査とを自動的に実行できる装置を提供す
るものである。
上記目的を達成するため、本発明による半導体
装置測定用ハンドラーにおいては、半導体装置を
移送させる搬送路の途中に、半導体装置の電気的
特性測定器と、半導体装置の外径寸法測定器とを
有し、かつ、各測定器より出力される半導体装置
の不良判定信号に基づいて不良品を搬送路から取
り去るハンドリング機構を備えた半導体装置測定
用ハンドラーであつて、 外形寸法測定器は、半導体の両側に形成された
対をなすリードR1，R2の形状を検査する第１の
測定器５と、両側の列をなす各リードR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状を検査する第２の測定
器６とからなるものであり、 第１の測定器５は、対をなすリードR1，R2が
正規の形状、寸法のときにこれを通過させる側溝
５ｄ，５ｄを有するものであり、 第２の測定器６は、各側の列をなすR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状、寸法が正規のときに
これを通過させる櫛歯状の側溝６ｂ，６ｂ，…を
有するものであり、 第１の測定器５と第２の測定器６とは、いずれ
も半導体装置が通過しないときに不良判定信号を
出力するものであり、各々搬送路の途中に直列に
配設されたものである。
装置測定用ハンドラーにおいては、半導体装置を
移送させる搬送路の途中に、半導体装置の電気的
特性測定器と、半導体装置の外径寸法測定器とを
有し、かつ、各測定器より出力される半導体装置
の不良判定信号に基づいて不良品を搬送路から取
り去るハンドリング機構を備えた半導体装置測定
用ハンドラーであつて、 外形寸法測定器は、半導体の両側に形成された
対をなすリードR1，R2の形状を検査する第１の
測定器５と、両側の列をなす各リードR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状を検査する第２の測定
器６とからなるものであり、 第１の測定器５は、対をなすリードR1，R2が
正規の形状、寸法のときにこれを通過させる側溝
５ｄ，５ｄを有するものであり、 第２の測定器６は、各側の列をなすR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状、寸法が正規のときに
これを通過させる櫛歯状の側溝６ｂ，６ｂ，…を
有するものであり、 第１の測定器５と第２の測定器６とは、いずれ
も半導体装置が通過しないときに不良判定信号を
出力するものであり、各々搬送路の途中に直列に
配設されたものである。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第２図は本発明の一実施例を示すものであり、
第３図、第４図は第１図の各測定器を拡大して示
すものである。第２図において、１はマガジンケ
ース、２は電気的特性を検査する測定器、３は搬
送路、５は、被測定半導体装置の両側に形成され
た対をなすリード５ａ，５ｂの外形、寸法（内外
の曲がり）を正面方向から検査する測定器（第１
の測定器）、６は、両側の列をなすリード５ａ，
５ａ，…５ｂ，５ｂ，…の外形、寸法（左右の曲
がり）を側面方向から検査する測定器（第２の測
定器）である。両測定器５，６は、電気特性測定
特性器２の下流側にそれぞれ直列に介装されたも
のである。実施例では測定器６は測定器５の下流
側に介装されている。搬送路内に送りこまれた半
導体装置ICは測定器２を通り、そのままの方向
で測定器５に送り込まれるが、測定器６に送り込
まれるときにはその送り方向は直角方向に転換さ
れる。
第３図、第４図は第１図の各測定器を拡大して示
すものである。第２図において、１はマガジンケ
ース、２は電気的特性を検査する測定器、３は搬
送路、５は、被測定半導体装置の両側に形成され
た対をなすリード５ａ，５ｂの外形、寸法（内外
の曲がり）を正面方向から検査する測定器（第１
の測定器）、６は、両側の列をなすリード５ａ，
５ａ，…５ｂ，５ｂ，…の外形、寸法（左右の曲
がり）を側面方向から検査する測定器（第２の測
定器）である。両測定器５，６は、電気特性測定
特性器２の下流側にそれぞれ直列に介装されたも
のである。実施例では測定器６は測定器５の下流
側に介装されている。搬送路内に送りこまれた半
導体装置ICは測定器２を通り、そのままの方向
で測定器５に送り込まれるが、測定器６に送り込
まれるときにはその送り方向は直角方向に転換さ
れる。
第３図に示すように測定器（第１の測定器）５
は分離面７で上下に組合された上枠５ａと下枠５
ｂとから構成し、下枠５ｂには半導体装置ICを
そのリードR1，R2間で支える台座５ｃを設け、
規格の外形寸法で八字状に開いたリードR1，R2
を受入れる側溝５ｄ，５ｄを該台座５ｃの両側に
設ける。また、上枠５ａの下面には半導体装置
ICを受入れる凹部５ｅを設け、凹部５ｅ及び側
溝５ｄには、例えばフオトトランジスターと受光
素子との組合せからなり上下枠５ａ，５ｂの側溝
及び凹部を半導体装置が通過するかどうかを監視
して良品・不良品を判定する判定素子５ｆを設置
する。一方判定素子５ｆの出力信号に基づいて分
離面７から上枠５ａを上方に押し開き不良品を搬
送路から取り去るハンドリング機構９を測定器５
に併設する。
は分離面７で上下に組合された上枠５ａと下枠５
ｂとから構成し、下枠５ｂには半導体装置ICを
そのリードR1，R2間で支える台座５ｃを設け、
規格の外形寸法で八字状に開いたリードR1，R2
を受入れる側溝５ｄ，５ｄを該台座５ｃの両側に
設ける。また、上枠５ａの下面には半導体装置
ICを受入れる凹部５ｅを設け、凹部５ｅ及び側
溝５ｄには、例えばフオトトランジスターと受光
素子との組合せからなり上下枠５ａ，５ｂの側溝
及び凹部を半導体装置が通過するかどうかを監視
して良品・不良品を判定する判定素子５ｆを設置
する。一方判定素子５ｆの出力信号に基づいて分
離面７から上枠５ａを上方に押し開き不良品を搬
送路から取り去るハンドリング機構９を測定器５
に併設する。
第４図に示すように測定器（第２の測定器）６
は本体６ａに、半導体装置ICのリードR1，R2に
対応する櫛歯状の複数本の側溝６ｂ，６ｂ…を設
け、該側溝６ｂには、例えばフオトトランジスタ
と受光素子との組合せからなり側溝を半導体装置
が通過するかどうかを監視して良品・不良品を判
定する判定素子６ｃを設置する。一方判定素子６
ｃの出力信号に基づいて不良な半導体装置ICの
下部に差し込みこれを搬送路から取り去る取外し
治具８を測定器６に併設する。
は本体６ａに、半導体装置ICのリードR1，R2に
対応する櫛歯状の複数本の側溝６ｂ，６ｂ…を設
け、該側溝６ｂには、例えばフオトトランジスタ
と受光素子との組合せからなり側溝を半導体装置
が通過するかどうかを監視して良品・不良品を判
定する判定素子６ｃを設置する。一方判定素子６
ｃの出力信号に基づいて不良な半導体装置ICの
下部に差し込みこれを搬送路から取り去る取外し
治具８を測定器６に併設する。
また測定器２の下流には、該測定器２で出力さ
れる判定信号に基づいて不良品を搬送路３から取
り去るハンドリング機構１０を設置する。
れる判定信号に基づいて不良品を搬送路３から取
り去るハンドリング機構１０を設置する。
この実施例では被測定物の二方向から見た外形
寸法が規格内である場合のみ被測定物が２台の外
形寸法測定器５，６を通り抜けることができ、規
格外であれば通り抜けることができないゲージ方
式の測定器の例を示したが、外形寸法測定器は他
の方式でも同様の効果を得ることができるもので
ある。
寸法が規格内である場合のみ被測定物が２台の外
形寸法測定器５，６を通り抜けることができ、規
格外であれば通り抜けることができないゲージ方
式の測定器の例を示したが、外形寸法測定器は他
の方式でも同様の効果を得ることができるもので
ある。
第２図に示すハンドラーでは、被測定半導体装
置はマガジンケース１から搬送路３を通り、測定
器２で一旦止まり電気的特性を測定され、良品で
あれば外形寸法測定器５に移送され、不良品はハ
ンドリング機構１０により搬送路３から除去され
る。
置はマガジンケース１から搬送路３を通り、測定
器２で一旦止まり電気的特性を測定され、良品で
あれば外形寸法測定器５に移送され、不良品はハ
ンドリング機構１０により搬送路３から除去され
る。
次に良品は搬送路３の途中に設けられた外形寸
法測定器５を通過する際に半導体装置を正面方向
からその外形寸法が規格に合うかどうか測定さ
れ、規格にあつた良品は次の外形寸法測定器６に
送られる。一方不良品は測定器５に併設されたハ
ンドリング機構９により除去される。最後に外形
寸法測定器６を通過する際に半導体装置を、側面
方向から、その外形寸法が規格に合うかどうか測
定され、規格にあつた良品は収納部４に納められ
る。一方不良品は測定器６に併設された取外し治
具８により除去される。従つて、このハンドラー
を通過した半導体装置は電気的測定及び外形寸法
測定があわせて実施され、従来別々に実施されて
いた半導体装置の電気的測定と外形寸法測定が本
発明によるハンドラーでは同時に実施できるもの
である。この場合、外形寸法の不具合があると、
外形寸法測定器５又は６に被測定半導体装置がひ
つかかることになるが、このための時間損失を防
止する例を第５図に示す。第５図において、マガ
ジンケース１に搬送路３ａを接続し、該搬送路３
ａの途中に電気的特性を検査する測定器２を設置
するとともに下流側に、測定器２で出力される判
定信号に基づいて不良品を搬送路３ａから取り去
るハンドリング機構１０を設置する。前記搬送路
３ａを分岐させて分岐路３ｂ，３ｃに第３図に示
す同種の外形寸法測定器５，５′を並列に設置し、
該分岐路３ｂ，３ｃに合流部を設けて再び分岐さ
せ該分岐路３ｄ，３ｅに第４図に示す同種の外形
寸法測定器６，６′を並列に設置する。そして２
本の分岐路３ｄ，３ｅを合流させて収納部４に接
続する。さらに、分岐路３ｂ，３ｃ及び３ｄ，３
ｅの合流部に通路切替器１１，１２をそれぞれ設
置し、上流側の通路切替器１１を測定器５，５′
で出力される判定信号により駆動し、一方下流側
の通路切替器１２を測定器６，６′で出力される
判定信号で駆動する。第５図では外形寸法測定器
５及び６に並列に同種の外形寸法測定器５′及び
６′を設置することにより、外形寸法測定器５又
は６に被測定半導体装置がひつかかつた場合、通
路切替器１１，１２により搬送路を切替え後続の
被測定半導体装置を並列に設置された外形寸法測
定器５′又は６′へ導き、ハンドラーの時間損失を
防止するものである。
法測定器５を通過する際に半導体装置を正面方向
からその外形寸法が規格に合うかどうか測定さ
れ、規格にあつた良品は次の外形寸法測定器６に
送られる。一方不良品は測定器５に併設されたハ
ンドリング機構９により除去される。最後に外形
寸法測定器６を通過する際に半導体装置を、側面
方向から、その外形寸法が規格に合うかどうか測
定され、規格にあつた良品は収納部４に納められ
る。一方不良品は測定器６に併設された取外し治
具８により除去される。従つて、このハンドラー
を通過した半導体装置は電気的測定及び外形寸法
測定があわせて実施され、従来別々に実施されて
いた半導体装置の電気的測定と外形寸法測定が本
発明によるハンドラーでは同時に実施できるもの
である。この場合、外形寸法の不具合があると、
外形寸法測定器５又は６に被測定半導体装置がひ
つかかることになるが、このための時間損失を防
止する例を第５図に示す。第５図において、マガ
ジンケース１に搬送路３ａを接続し、該搬送路３
ａの途中に電気的特性を検査する測定器２を設置
するとともに下流側に、測定器２で出力される判
定信号に基づいて不良品を搬送路３ａから取り去
るハンドリング機構１０を設置する。前記搬送路
３ａを分岐させて分岐路３ｂ，３ｃに第３図に示
す同種の外形寸法測定器５，５′を並列に設置し、
該分岐路３ｂ，３ｃに合流部を設けて再び分岐さ
せ該分岐路３ｄ，３ｅに第４図に示す同種の外形
寸法測定器６，６′を並列に設置する。そして２
本の分岐路３ｄ，３ｅを合流させて収納部４に接
続する。さらに、分岐路３ｂ，３ｃ及び３ｄ，３
ｅの合流部に通路切替器１１，１２をそれぞれ設
置し、上流側の通路切替器１１を測定器５，５′
で出力される判定信号により駆動し、一方下流側
の通路切替器１２を測定器６，６′で出力される
判定信号で駆動する。第５図では外形寸法測定器
５及び６に並列に同種の外形寸法測定器５′及び
６′を設置することにより、外形寸法測定器５又
は６に被測定半導体装置がひつかかつた場合、通
路切替器１１，１２により搬送路を切替え後続の
被測定半導体装置を並列に設置された外形寸法測
定器５′又は６′へ導き、ハンドラーの時間損失を
防止するものである。
以上の説明では製品外形の測定器５，６を電気
的特性を測定する測定器２の後に設けているが、
その配置関係を逆にして製品外形の測定器５，６
を測定器２の前に設けることによつてさらに有効
となる。すなわち、外形寸法の異常品が流れる
と、測定器２を破損させたり又、本来良品となる
べき軽度な外形寸法の異常品も電気的特性不良と
して廃棄されたりすることを防ぐことができる。
的特性を測定する測定器２の後に設けているが、
その配置関係を逆にして製品外形の測定器５，６
を測定器２の前に設けることによつてさらに有効
となる。すなわち、外形寸法の異常品が流れる
と、測定器２を破損させたり又、本来良品となる
べき軽度な外形寸法の異常品も電気的特性不良と
して廃棄されたりすることを防ぐことができる。
以上の実施例は製品外形寸法測定器としてゲー
ジを使い寸法を機械的に測定する例について述べ
たが、本発明の効果は光学的手法による外形寸法
測定器を用いた場合も同様である。
ジを使い寸法を機械的に測定する例について述べ
たが、本発明の効果は光学的手法による外形寸法
測定器を用いた場合も同様である。
以上説明したように本発明によれば、半導体装
置について、それぞれの電気的特性を測定すると
ともに、その搬送途中において、あわせてリード
形状の異常を半導体装置の２方向からチエツクす
るため、完全に良品のみを工程に供給でき、ひい
ては工程の作業性を向上できる効果を有する。
置について、それぞれの電気的特性を測定すると
ともに、その搬送途中において、あわせてリード
形状の異常を半導体装置の２方向からチエツクす
るため、完全に良品のみを工程に供給でき、ひい
ては工程の作業性を向上できる効果を有する。
第１図は従来のハンドラーの構成図、第２図は
本発明によるハンドラーの実施例を示す構成図、
第３図は第２図における一方の外形寸法測定器を
示す断面図、第４図は第２図における他方の外形
寸法測定器を示す斜視図、第５図は本発明の他の
実施例を示す構成図である。 ２……測定器、３……搬送路、５，５′，６，
６′……測定器、８，９，１０……不良品を搬送
路から取り去る機構。
本発明によるハンドラーの実施例を示す構成図、
第３図は第２図における一方の外形寸法測定器を
示す断面図、第４図は第２図における他方の外形
寸法測定器を示す斜視図、第５図は本発明の他の
実施例を示す構成図である。 ２……測定器、３……搬送路、５，５′，６，
６′……測定器、８，９，１０……不良品を搬送
路から取り去る機構。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 半導体装置を移送させる搬送路の途中に、半
導体装置の電気的特性測定器と、半導体装置の外
径寸法測定器とを有し、かつ、各測定器より出力
される半導体装置の不良判定信号に基づいて不良
品を搬送路から取り去るハンドリング機構を備え
た半導体装置測定用ハンドラーであつて、 外形寸法測定器は、半導体の両側に形成された
対をなすリードR1，R2の形状を検査する第１の
測定器５と、両側の列をなす各リードR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状を検査する第２の測定
器６とからなるものであり、 第１の測定器５は、対をなすリードR1，R2が
正規の形状、寸法のときにこれを通過させる側溝
５ｄ，５ｄを有するものであり、 第２の測定器６は、各側の列をなすR1，R1，
…及びR2，R2，…の形状、寸法が正規のときに
これを通過させる櫛歯状の側溝６ｂ，６ｂ，…を
有するものであり、 第１の測定器５と第２の測定器６とは、いずれ
も半導体装置が通過しないときに不良判定信号を
出力するものであり、各々搬送路の途中に直列に
配設されたものであることを特徴とする半導体装
置測定用ハンドラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58195067A JPS6086900A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 半導体装置測定用ハンドラ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58195067A JPS6086900A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 半導体装置測定用ハンドラ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6086900A JPS6086900A (ja) | 1985-05-16 |
| JPH0241920B2 true JPH0241920B2 (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=16335001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58195067A Granted JPS6086900A (ja) | 1983-10-18 | 1983-10-18 | 半導体装置測定用ハンドラ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6086900A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236208A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-17 | Nec Kyushu Ltd | 半導体製造装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5923423Y2 (ja) * | 1980-05-23 | 1984-07-12 | 株式会社日立国際電気 | リ−ドの曲がつたｉｃの検出排除装置 |
-
1983
- 1983-10-18 JP JP58195067A patent/JPS6086900A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6086900A (ja) | 1985-05-16 |
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