JPH09167383A - 光記録媒体の検査システムおよび製造方法 - Google Patents
光記録媒体の検査システムおよび製造方法Info
- Publication number
- JPH09167383A JPH09167383A JP27010796A JP27010796A JPH09167383A JP H09167383 A JPH09167383 A JP H09167383A JP 27010796 A JP27010796 A JP 27010796A JP 27010796 A JP27010796 A JP 27010796A JP H09167383 A JPH09167383 A JP H09167383A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- optical recording
- recording medium
- inspection device
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】同一種の検査装置を複数台並列に配置した光記
録媒体の検査システムにおいて、誤判定を防止し、検査
の信頼性を向上する。 【解決手段】同一種の検査装置を複数台並列に配置した
光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査装
置で異常値を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システ
ム、そのシステムを用いた光記録媒体の製造方法。
録媒体の検査システムにおいて、誤判定を防止し、検査
の信頼性を向上する。 【解決手段】同一種の検査装置を複数台並列に配置した
光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査装
置で異常値を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システ
ム、そのシステムを用いた光記録媒体の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体の検査
システムおよび製造方法に関し、とくに、同一種の検査
装置を複数台並列に配置し、大量に流れてくる光記録媒
体を各検査装置で並列的に検査するようにした検査工程
の改良に関する。
システムおよび製造方法に関し、とくに、同一種の検査
装置を複数台並列に配置し、大量に流れてくる光記録媒
体を各検査装置で並列的に検査するようにした検査工程
の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】光記録媒体の製造においては、たとえば
バイトエラーもしくはビットエラーレート検査、ティル
ト検査、サーティファイ検査あるいはバイトエラーもし
くはビットエラーレートおよびサーティファイ検査等を
行う各種の検査工程が設けられている。比較的時間を要
する検査および／または大量の光記録媒体が流れてくる
工程においては、同一種の検査装置を製造ラインに対し
て並列に配置することで、生産タクトの遅れを防止した
り、積極的にタクトタイムを縮めるようにしている。
バイトエラーもしくはビットエラーレート検査、ティル
ト検査、サーティファイ検査あるいはバイトエラーもし
くはビットエラーレートおよびサーティファイ検査等を
行う各種の検査工程が設けられている。比較的時間を要
する検査および／または大量の光記録媒体が流れてくる
工程においては、同一種の検査装置を製造ラインに対し
て並列に配置することで、生産タクトの遅れを防止した
り、積極的にタクトタイムを縮めるようにしている。
【０００３】このような検査工程では、各検査装置によ
る検出値が規格範囲内か否かを測定し、規格外の異常値
や検査装置のその他の異状（フォーカスエラー等）が検
出された場合にはその光記録媒体を不良品であると判定
している。
る検出値が規格範囲内か否かを測定し、規格外の異常値
や検査装置のその他の異状（フォーカスエラー等）が検
出された場合にはその光記録媒体を不良品であると判定
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
に同一種の検査装置を複数台記台する場合には、各検査
装置間の性能に多かれ少なかれ個体差があるので、とく
に規格限界近傍の検査値が得られた場合、その光記録媒
体を良品と判定するか不良品と判定するかにばらつきが
生じ、その分検査の信頼性が低下するという問題があ
る。
に同一種の検査装置を複数台記台する場合には、各検査
装置間の性能に多かれ少なかれ個体差があるので、とく
に規格限界近傍の検査値が得られた場合、その光記録媒
体を良品と判定するか不良品と判定するかにばらつきが
生じ、その分検査の信頼性が低下するという問題があ
る。
【０００５】また、瞬間的な変動要因によってある光記
録媒体が不良品と判定された場合、それが光記録媒体製
造工程中に変動要因が生じてその光記録媒体が真に不良
品となったものか、あるいは、その検査装置に飛び込み
ノイズ等が入り、その光記録媒体は実際には良品である
にもかかわらず装置へのノイズに起因して不良品と判定
されたものなのか、判断する手法がなかった。この点に
関しても検査の信頼性が不足しており、とくに後者の場
合には、不適切に収率を低下させることになる。
録媒体が不良品と判定された場合、それが光記録媒体製
造工程中に変動要因が生じてその光記録媒体が真に不良
品となったものか、あるいは、その検査装置に飛び込み
ノイズ等が入り、その光記録媒体は実際には良品である
にもかかわらず装置へのノイズに起因して不良品と判定
されたものなのか、判断する手法がなかった。この点に
関しても検査の信頼性が不足しており、とくに後者の場
合には、不適切に収率を低下させることになる。
【０００６】さらに、いずれかの検査装置に故障や不具
合が生じた場合にも、検査の信頼性が損なわれるととも
に、良品を不良品と判定する誤判定の原因となる。
合が生じた場合にも、検査の信頼性が損なわれるととも
に、良品を不良品と判定する誤判定の原因となる。
【０００７】本発明の課題は、上記のような問題点に着
目し、同一種の検査装置を複数台並列に配置した光記録
媒体の検査システムにおいて、検査装置間の性能のばら
つきおよび飛び込みノイズ等の瞬間的変動要因を自動的
に吸収して検査の信頼性を向上することにある。
目し、同一種の検査装置を複数台並列に配置した光記録
媒体の検査システムにおいて、検査装置間の性能のばら
つきおよび飛び込みノイズ等の瞬間的変動要因を自動的
に吸収して検査の信頼性を向上することにある。
【０００８】また、本発明の課題は、検査装置の故障あ
るいは不良の発生を早期にかつ自動的に診断し、誤判定
の発生を防止して、検査の信頼性を一層高めるとともに
全体としての収率を向上することにある。
るいは不良の発生を早期にかつ自動的に診断し、誤判定
の発生を防止して、検査の信頼性を一層高めるとともに
全体としての収率を向上することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光記録媒体の検査システムは、同一種の検
査装置を複数台並列に配置した光記録媒体の検査システ
ムにおいて、いずれかの検査装置で異常値を検出した場
合その光記録媒体を自動的に再検査することを特徴とす
るものからなる。
に、本発明の光記録媒体の検査システムは、同一種の検
査装置を複数台並列に配置した光記録媒体の検査システ
ムにおいて、いずれかの検査装置で異常値を検出した場
合その光記録媒体を自動的に再検査することを特徴とす
るものからなる。
【００１０】また、本発明に係る光記録媒体の検査シス
テムは、同一種の検査装置を複数台並列に配置した光記
録媒体の検査システムにおいて、検査装置毎に収率を算
出し、平均収率よりも予め設定した一定値以上低い収率
の検査装置を検査ラインから外すことを特徴とするもの
からなる。
テムは、同一種の検査装置を複数台並列に配置した光記
録媒体の検査システムにおいて、検査装置毎に収率を算
出し、平均収率よりも予め設定した一定値以上低い収率
の検査装置を検査ラインから外すことを特徴とするもの
からなる。
【００１１】前記異常値を検出した場合の再検査システ
ムとしては、次のような各種の方式を採用できる。
ムとしては、次のような各種の方式を採用できる。
【００１２】たとえば、前記再検査を行う検査装置が、
前記異常値を検出した検査装置自身であるシステムとす
ることができる。つまり、同一の検査装置で再検査す
る。
前記異常値を検出した検査装置自身であるシステムとす
ることができる。つまり、同一の検査装置で再検査す
る。
【００１３】また、前記再検査を行う検査装置が、前記
複数台並列に配置した検査装置の他のいずれかの検査装
置であるシステムとすることができる。つまり、新たに
検査装置を付加することなく、他のいずれかの検査装置
で再検査する。
複数台並列に配置した検査装置の他のいずれかの検査装
置であるシステムとすることができる。つまり、新たに
検査装置を付加することなく、他のいずれかの検査装置
で再検査する。
【００１４】さらに、前記再検査を行う検査装置が、前
記複数台並列に配置した検査装置とは別の検査装置であ
るシステムとすることができる。つまり、新たに実質的
に再検査専用の検査装置を設け、異常値が検出された光
記録媒体をこの再検査専用の検査装置に導入して再検査
する。
記複数台並列に配置した検査装置とは別の検査装置であ
るシステムとすることができる。つまり、新たに実質的
に再検査専用の検査装置を設け、異常値が検出された光
記録媒体をこの再検査専用の検査装置に導入して再検査
する。
【００１５】この検査システムにおいては、再検査専用
の検査装置を、前記複数台並列に配置した検査装置のう
ちの少なくとも2台に対し共通の装置として設けるよう
にしてもよく、また、それぞれに対して再検査専用の検
査装置を設けるようにしてもよい。
の検査装置を、前記複数台並列に配置した検査装置のう
ちの少なくとも2台に対し共通の装置として設けるよう
にしてもよく、また、それぞれに対して再検査専用の検
査装置を設けるようにしてもよい。
【００１６】さらに、上記のような各システムを組み合
わせた検査システムとしてもよい。つまり、（A）前記
再検査を行う検査装置が、前記異常値を検出した検査装
置自身であるシステム、（B）前記再検査を行う検査装
置が、前記複数台並列に配置した検査装置の他のいずれ
かの検査装置であるシステム、および、（C）前記再検
査を行う検査装置が、前記複数台並列に配置した検査装
置とは別の検査装置であるシステム、のいずれが2種以
上のシステムを含む光記録媒体の検査システムである。
わせた検査システムとしてもよい。つまり、（A）前記
再検査を行う検査装置が、前記異常値を検出した検査装
置自身であるシステム、（B）前記再検査を行う検査装
置が、前記複数台並列に配置した検査装置の他のいずれ
かの検査装置であるシステム、および、（C）前記再検
査を行う検査装置が、前記複数台並列に配置した検査装
置とは別の検査装置であるシステム、のいずれが2種以
上のシステムを含む光記録媒体の検査システムである。
【００１７】また、本発明の光記録媒体の検査システム
の別の態様は、同一種の検査装置を複数台並列に配置し
た光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査
装置で異状を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システム
である。
の別の態様は、同一種の検査装置を複数台並列に配置し
た光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査
装置で異状を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システム
である。
【００１８】この検査システムにおいては、検査装置の
出力値の異状やフォーカスエラー等の異状を検出した場
合に、上記と同様に再検査を行う。
出力値の異状やフォーカスエラー等の異状を検出した場
合に、上記と同様に再検査を行う。
【００１９】また、上記各態様において、複数台並列に
配置した検査装置毎に検出した異状の内容、発生回数、
発生頻度のうちいずれか１個以上を算出し、あらかじめ
設定した特定の異状が発生した検査装置またはあらかじ
め設定した特定の異状の発生回数上限もしくは発生頻度
上限を越える異状が発生した検査装置を検査ラインから
外すようにしてもよい。
配置した検査装置毎に検出した異状の内容、発生回数、
発生頻度のうちいずれか１個以上を算出し、あらかじめ
設定した特定の異状が発生した検査装置またはあらかじ
め設定した特定の異状の発生回数上限もしくは発生頻度
上限を越える異状が発生した検査装置を検査ラインから
外すようにしてもよい。
【００２０】こうすることにより、各装置について故障
や不具合の発生の自己診断がより容易となり、誤判定を
一層確実に防止することができるとともに、検査の信頼
性を高めることができる。
や不具合の発生の自己診断がより容易となり、誤判定を
一層確実に防止することができるとともに、検査の信頼
性を高めることができる。
【００２１】そして、本発明に係る光記録媒体の製造方
法は、上記のような光記録媒体の検査システムの検査工
程を有することを特徴とする。
法は、上記のような光記録媒体の検査システムの検査工
程を有することを特徴とする。
【００２２】上記のような検査システムにおいては、異
常値が検出されたら自動的に再検査されるので、光記録
媒体が真に不良品なのか、検査装置間の性能差によって
異常が検出されたものなのか、実際には良品であるにも
かかわらず飛び込みノイズ等の瞬間的変動要因に起因し
て異常値が検出されたのか、が正確に判定され、検査の
信頼性が向上されるとともに誤判定が防止される。
常値が検出されたら自動的に再検査されるので、光記録
媒体が真に不良品なのか、検査装置間の性能差によって
異常が検出されたものなのか、実際には良品であるにも
かかわらず飛び込みノイズ等の瞬間的変動要因に起因し
て異常値が検出されたのか、が正確に判定され、検査の
信頼性が向上されるとともに誤判定が防止される。
【００２３】また、検査装置毎に収率を算出したり、発
生した異状の内容、発生回数、発生頻度等を算出するよ
うにすれば、各装置について故障や不具合の発生の自己
診断が可能となり、誤判定を一層確実に防止できるとと
もに、検査の信頼性を一層高めることが可能となる。
生した異状の内容、発生回数、発生頻度等を算出するよ
うにすれば、各装置について故障や不具合の発生の自己
診断が可能となり、誤判定を一層確実に防止できるとと
もに、検査の信頼性を一層高めることが可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態を、図面を参照して説明する。図1ないし図4は、本
発明の光記録媒体の検査システムについて4つの実施態
様をそれぞれ示している。
形態を、図面を参照して説明する。図1ないし図4は、本
発明の光記録媒体の検査システムについて4つの実施態
様をそれぞれ示している。
【００２５】図1に示す実施態様においては、光記録媒
体の検査工程に、同一種の検査装置M1、M2、・・・が複
数台並列に配置されている。多量に流れてくる光記録媒
体1は、各々いずれかの検査装置に送られ、同一種の検
査が行われる。検査装置M1、M2、・・・は、光記録媒体
1の製造工程で使用されているものであればとくに限定
されない。たとえば、バイトエラーまたはビットエラー
レート検査装置、ティルト検査装置、バイトエラーレー
ト・サーティファイ検査装置、ビットエラーレート・サ
ーティファイ検査装置等である。
体の検査工程に、同一種の検査装置M1、M2、・・・が複
数台並列に配置されている。多量に流れてくる光記録媒
体1は、各々いずれかの検査装置に送られ、同一種の検
査が行われる。検査装置M1、M2、・・・は、光記録媒体
1の製造工程で使用されているものであればとくに限定
されない。たとえば、バイトエラーまたはビットエラー
レート検査装置、ティルト検査装置、バイトエラーレー
ト・サーティファイ検査装置、ビットエラーレート・サ
ーティファイ検査装置等である。
【００２６】各検査装置M1、M2、・・・には、光記録媒
体1を各検査装置に導入し、検査が終了した光記録媒体1
を次の工程へと送る搬送ライン2が設けられているとと
もに、検査が終了した光記録媒体1を再び同じ検査装置
の入口側に戻す搬送ライン3が設けられている。いずれ
かの検査装置M1またはM2で、異常値、たとえば予め設定
した規格範囲外の値、あるいは、予め設定した規格範囲
内ではあるが、上下限値から予め設定した一定範囲内の
領域にあり、再検査要と設定されている領域内の値、等
が検出された場合やフォーカスエラー等の数値化できな
い異状が検出された場合には、その光記録媒体1は自動
的に搬送ライン3を介して同一の検査装置M1またはM2に
再導入され、再検査される。この場合、光記録媒体1を
搬送ライン3を介して戻すことをせず、検査装置M1また
はM2に留めたまま、再検査するようにしてもよいことは
言うまでもない。
体1を各検査装置に導入し、検査が終了した光記録媒体1
を次の工程へと送る搬送ライン2が設けられているとと
もに、検査が終了した光記録媒体1を再び同じ検査装置
の入口側に戻す搬送ライン3が設けられている。いずれ
かの検査装置M1またはM2で、異常値、たとえば予め設定
した規格範囲外の値、あるいは、予め設定した規格範囲
内ではあるが、上下限値から予め設定した一定範囲内の
領域にあり、再検査要と設定されている領域内の値、等
が検出された場合やフォーカスエラー等の数値化できな
い異状が検出された場合には、その光記録媒体1は自動
的に搬送ライン3を介して同一の検査装置M1またはM2に
再導入され、再検査される。この場合、光記録媒体1を
搬送ライン3を介して戻すことをせず、検査装置M1また
はM2に留めたまま、再検査するようにしてもよいことは
言うまでもない。
【００２７】図2に示す実施態様においては、各検査装
置M1、M2、・・・がらの出入口側がら、一旦検査された
光記録媒体1を、複数台並列に配置されている検査装置M
1、M2、・・・のうちの他のいずれかの検査装置の入口
側に戻す搬送ライン4が設けられている。いずれかの検
査装置M1またはM2で異状（検査値の異常値やフォーカス
エラー等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1
は自動的に搬送ライン4を介して他の同種の検査装置M2
またはM1に再導入され、再検査される。この場合には、
検査装置のばらつきの影響を先の態様よりも小さくでき
る。
置M1、M2、・・・がらの出入口側がら、一旦検査された
光記録媒体1を、複数台並列に配置されている検査装置M
1、M2、・・・のうちの他のいずれかの検査装置の入口
側に戻す搬送ライン4が設けられている。いずれかの検
査装置M1またはM2で異状（検査値の異常値やフォーカス
エラー等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1
は自動的に搬送ライン4を介して他の同種の検査装置M2
またはM1に再導入され、再検査される。この場合には、
検査装置のばらつきの影響を先の態様よりも小さくでき
る。
【００２８】図3および図4に示す実施態様においては、
再検査用に、最初に設けられている複数台並列に配置し
た検査装置M1、M2、・・・とは別の同種の検査装置が1
設けられ、再検査専用の装置として用いられる。
再検査用に、最初に設けられている複数台並列に配置し
た検査装置M1、M2、・・・とは別の同種の検査装置が1
設けられ、再検査専用の装置として用いられる。
【００２９】図3に示す実施態様では、上記再検査専用
の検査装置Sが、少なくとも2台の検査装置M1、M2に対し
共通の装置として設けられている。いずれかの検査装置
M1またはM2で異状（検査値の異常値やフォーカスエラー
等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1は自動
的に搬送ライン5を介して再検査用の検査装置Sに送ら
れ、該装置Sで再検査される。この態様では、一般に不
良率が低くなる検査を行う場合に再検査用検査装置Sの
稼働率で図4の態様よりも高くすることができる。
の検査装置Sが、少なくとも2台の検査装置M1、M2に対し
共通の装置として設けられている。いずれかの検査装置
M1またはM2で異状（検査値の異常値やフォーカスエラー
等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1は自動
的に搬送ライン5を介して再検査用の検査装置Sに送ら
れ、該装置Sで再検査される。この態様では、一般に不
良率が低くなる検査を行う場合に再検査用検査装置Sの
稼働率で図4の態様よりも高くすることができる。
【００３０】図4に示す実施態様では、再検査専用の検
査装置S1、S2、・・・が、最初に設けられている複数台
並列に配置した検査装置M1、M2、・・・のそれぞれに対
して一台ずつ設けられている。いずれかの検査装置M1、
M2、・・・で異状（検査値の異常値やフォーカスエラー
等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1は、対
応する再検査用の検査装置S1、S2、・・・に、搬送ライ
ン6を介して自動的に送られ、該装置S1、S2、・・・で
再検査される。この態様では、一般に不良率が高くなる
検査を行う場合に再検査用検査装置に媒体が集中して検
査工程のボトルネックとなるのを防ぐごとができる。
査装置S1、S2、・・・が、最初に設けられている複数台
並列に配置した検査装置M1、M2、・・・のそれぞれに対
して一台ずつ設けられている。いずれかの検査装置M1、
M2、・・・で異状（検査値の異常値やフォーカスエラー
等の異状）が検出された場合、その光記録媒体1は、対
応する再検査用の検査装置S1、S2、・・・に、搬送ライ
ン6を介して自動的に送られ、該装置S1、S2、・・・で
再検査される。この態様では、一般に不良率が高くなる
検査を行う場合に再検査用検査装置に媒体が集中して検
査工程のボトルネックとなるのを防ぐごとができる。
【００３１】上記のような光記録媒体の検査システムに
おいては、並列に配置した検査装置M1、M2、・・・のい
ずれかで異状（検査値の異常値やフォーカスエラー等の
異状）が検出されたら、その光記録媒体1は自動的に同
種の検査装置で再検査される。したがって、検査装置M
1、M2、・・・間に性能差がある場合にも、再検査によ
ってその性能差を是正することができる。また、飛び込
みノイズ等による瞬間的変動要因により、たまたま異常
値として検出されたような場合にも、その瞬間的変動要
因を排除した条件で再検査され、真に異常値なのか誤判
定なのかが正確に判定される。その結果、検査の信頼性
が大幅に向上し、誤判定が防止される。
おいては、並列に配置した検査装置M1、M2、・・・のい
ずれかで異状（検査値の異常値やフォーカスエラー等の
異状）が検出されたら、その光記録媒体1は自動的に同
種の検査装置で再検査される。したがって、検査装置M
1、M2、・・・間に性能差がある場合にも、再検査によ
ってその性能差を是正することができる。また、飛び込
みノイズ等による瞬間的変動要因により、たまたま異常
値として検出されたような場合にも、その瞬間的変動要
因を排除した条件で再検査され、真に異常値なのか誤判
定なのかが正確に判定される。その結果、検査の信頼性
が大幅に向上し、誤判定が防止される。
【００３２】上記いずれの態様においても、再検査にお
いて再び異状ありと判定された場合には、真にその媒体
が不良なものとして除外してもよく、さらに再検査して
もよい。また、再検査において正常と判定された場合に
は、さらに再検査して検査結果を多数決で定めてもよ
い。一般に不良率が1％以下などのように低い場合は、
再検査でも不良となった場合のみ除去するのでもよい。
いて再び異状ありと判定された場合には、真にその媒体
が不良なものとして除外してもよく、さらに再検査して
もよい。また、再検査において正常と判定された場合に
は、さらに再検査して検査結果を多数決で定めてもよ
い。一般に不良率が1％以下などのように低い場合は、
再検査でも不良となった場合のみ除去するのでもよい。
【００３３】また、上記各態様を組み合わせてもよい。
たとえば図3の態様において検査装置M1、M2またはSにお
いて不良と判定された場合に同一の検査装置で再び検査
してもよく、MでもSでも不良の場合に再びMで検査して
もよい。
たとえば図3の態様において検査装置M1、M2またはSにお
いて不良と判定された場合に同一の検査装置で再び検査
してもよく、MでもSでも不良の場合に再びMで検査して
もよい。
【００３４】また、上述の検査システムにおいては、複
数台並列に配置した検査装置M1、M2、・・・毎に収率、
つまり全検査数に対する良品の率を算出するようにし、
平均収率よりも予め設定した一定値以上低い収率の検査
装置や、発生した異状の内容、発生回数、発生頻度等の
うち少なくとも一つを検出した結果あらかじめ設定した
内容または範囲に含まれているような検査装置を、検査
ラインから外すようにしてもよい。検査ラインがら外す
のは、自動的に行ってもよく、上記判定に基づいて手動
的に行ってもよい。また、このようなシステムは、再検
査を行わない検査システムにも適用できる。
数台並列に配置した検査装置M1、M2、・・・毎に収率、
つまり全検査数に対する良品の率を算出するようにし、
平均収率よりも予め設定した一定値以上低い収率の検査
装置や、発生した異状の内容、発生回数、発生頻度等の
うち少なくとも一つを検出した結果あらかじめ設定した
内容または範囲に含まれているような検査装置を、検査
ラインから外すようにしてもよい。検査ラインがら外す
のは、自動的に行ってもよく、上記判定に基づいて手動
的に行ってもよい。また、このようなシステムは、再検
査を行わない検査システムにも適用できる。
【００３５】このようにすれば、各検査装置M1、M2、・
・・毎に、実質的に自己診断機能をもたせることにな
り、故障や不具合の発生した検査装置を、検査工程から
適切に排除できる。故障や不具合の発生している検査装
置の存在は、誤判定の原因になるから、その原因自身を
一時的に（つまり、正常状態に復帰するまで）、検査工
程から外すのである。その結果、誤判定の発生がより確
実に防止され、検査の信頼性が一層向上する。また、良
品を不良品と判定することも防止されるから、結果的に
全体としての収率も向上する。
・・毎に、実質的に自己診断機能をもたせることにな
り、故障や不具合の発生した検査装置を、検査工程から
適切に排除できる。故障や不具合の発生している検査装
置の存在は、誤判定の原因になるから、その原因自身を
一時的に（つまり、正常状態に復帰するまで）、検査工
程から外すのである。その結果、誤判定の発生がより確
実に防止され、検査の信頼性が一層向上する。また、良
品を不良品と判定することも防止されるから、結果的に
全体としての収率も向上する。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光記録媒
体の検査システムおよび製造方法によるときは、異状
（検査値の異常値やフォーカスエラー等の異状）が検出
された光記録媒体を自動的に再検査するようにしたの
で、検査装置間の性能のばらつきや飛び込みノイズ等の
瞬間的変動要因を自動的に吸収して、誤判定の発生を防
止することができるとともに、検査の信頼性を向上する
ことができる。
体の検査システムおよび製造方法によるときは、異状
（検査値の異常値やフォーカスエラー等の異状）が検出
された光記録媒体を自動的に再検査するようにしたの
で、検査装置間の性能のばらつきや飛び込みノイズ等の
瞬間的変動要因を自動的に吸収して、誤判定の発生を防
止することができるとともに、検査の信頼性を向上する
ことができる。
【００３７】また、検査装置毎に収率を算出して自己判
断機能をもたせることにより、検査装置の故障や不具合
の発生を早期に発見でき、適切な対応処置をとることが
可能となる。これによって、一層確実に誤判定を防止す
ることができ、検査の信頼性を一層向上することができ
る。
断機能をもたせることにより、検査装置の故障や不具合
の発生を早期に発見でき、適切な対応処置をとることが
可能となる。これによって、一層確実に誤判定を防止す
ることができ、検査の信頼性を一層向上することができ
る。
【００３８】このような検査の信頼性、確実性の向上に
より、良品を不良品と判定する誤判定がなくなるので、
結果的に、全体としての収率も向上する。
より、良品を不良品と判定する誤判定がなくなるので、
結果的に、全体としての収率も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施態様に係る検査システムの概略
構成図である。
構成図である。
【図２】本発明の別の実施態様に係る検査システムの概
略構成図である。
略構成図である。
【図３】本発明のさらに別の実施態様に係る検査システ
ムの概略構成図である。
ムの概略構成図である。
【図４】本発明のさらに別の実施態様に係る検査システ
ムの概略構成図である。
ムの概略構成図である。
1 光記録媒体 2 搬送ライン 3、4、5、6 再検査用の搬送ライン M1、M2 検査装置 S、S1、S2 再検査用の検査装置
Claims (12)
- 【請求項１】同一種の検査装置を複数台並列に配置した
光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査装
置で異常値を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システ
ム。 - 【請求項２】前記再検査を行う検査装置が、前記異常値
を検出した検査装置自身である、請求項１の光記録媒体
の検査システム。 - 【請求項３】前記再検査を行う検査装置が、前記複数台
並列に配置した検査装置の他のいずれかの検査装置であ
る、請求項１の光記録媒体の検査システム。 - 【請求項４】前記再検査を行う検査装置が、前記複数台
並列に配置した検査装置とは別の検査装置である、請求
項１の光記録媒体の検査システム。 - 【請求項５】前記別の検査装置が、前記複数台並列に配
置した検査装置のうちの少なくとも2台に対し共通の装
置として設けられている、請求項４の光記録媒体の検査
システム。 - 【請求項６】前記別の検査装置が、前記複数台並列に配
置した検査装置のそれぞれに対して設けられている、請
求項４の光記録媒体の検査システム。 - 【請求項７】（A）前記再検査を行う検査装置が、前記
異常値を検出した検査装置自身であるシステム、（B）
前記再検査を行う検査装置が、前記複数台並列に配置し
た検査装置の他のいずれかの検査装置であるシステム、
および、（C）前記再検査を行う検査装置が、前記複数
台並列に配置した検査装置とは別の検査装置であるシス
テム、のいずれか2種以上のシステムを含む、請求項１
の光記録媒体の検査システム。 - 【請求項８】前記複数台並列に配置した検査装置毎に収
率を算出し、平均収率よりも予め設定した一定値以上低
い収率の検査装置を検査ラインから外すことを特徴とす
る、請求項１ないし７のいずれかに記載の光記録媒体の
検査システム。 - 【請求項９】同一種の検査装置を複数台並列に配置した
光記録媒体の検査システムにおいて、検査装置毎に収率
を算出し、平均収率よりも予め設定した一定値以上低い
収率の検査装置を検査ラインから外すことを特徴とす
る、光記録媒体の検査システム。 - 【請求項１０】同一種の検査装置を複数台並列に配置し
た光記録媒体の検査システムにおいて、いずれかの検査
装置で異状を検出した場合その光記録媒体を自動的に再
検査することを特徴とする、光記録媒体の検査システ
ム。 - 【請求項１１】前記複数台並列に配置した検査装置毎に
検出した異状の内容、発生回数、発生頻度のうちいずれ
か１個以上を算出し、あらかじめ設定した特定の異状が
発生した検査装置またはあらかじめ設定した特定の異状
の発生回数上限値もしくは発生頻度上限値を越える異状
が発生した検査装置を検査ラインから外すことを特徴と
する請求項１０に記載の光記録媒体の検査システム。 - 【請求項１２】請求項１ないし１１のいずれかに記載の
光記録媒体の検査システムの検査工程を有することを特
徴とする、光記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27010796A JPH09167383A (ja) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | 光記録媒体の検査システムおよび製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-291825 | 1995-10-12 | ||
| JP29182595 | 1995-10-12 | ||
| JP27010796A JPH09167383A (ja) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | 光記録媒体の検査システムおよび製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09167383A true JPH09167383A (ja) | 1997-06-24 |
Family
ID=26549072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27010796A Pending JPH09167383A (ja) | 1995-10-12 | 1996-10-11 | 光記録媒体の検査システムおよび製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09167383A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075269A1 (de) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Ansgar Kaupp | Verfahren und vorrichtung zum prüfen von optischen datenträgern |
| JP2007179734A (ja) * | 2007-02-26 | 2007-07-12 | Sony Corp | 記録媒体の検査方法、記録媒体の製造方法 |
| JP2010096670A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置 |
| JP2013190334A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | 判定方法、検査装置及び検査システム |
| CN111435118A (zh) * | 2019-01-14 | 2020-07-21 | 日商登肯股份有限公司 | 检查装置和检查方法 |
-
1996
- 1996-10-11 JP JP27010796A patent/JPH09167383A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003075269A1 (de) * | 2002-03-06 | 2003-09-12 | Ansgar Kaupp | Verfahren und vorrichtung zum prüfen von optischen datenträgern |
| JP2007179734A (ja) * | 2007-02-26 | 2007-07-12 | Sony Corp | 記録媒体の検査方法、記録媒体の製造方法 |
| JP2010096670A (ja) * | 2008-10-17 | 2010-04-30 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置 |
| JP2013190334A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Taiyo Yuden Co Ltd | 判定方法、検査装置及び検査システム |
| CN111435118A (zh) * | 2019-01-14 | 2020-07-21 | 日商登肯股份有限公司 | 检查装置和检查方法 |
| JP2020112456A (ja) * | 2019-01-14 | 2020-07-27 | 株式会社デンケン | 検査装置及び検査方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7279923B2 (en) | LSI inspection method and defect inspection data analysis apparatus | |
| US5654632A (en) | Method for inspecting semiconductor devices on a wafer | |
| JPH09167383A (ja) | 光記録媒体の検査システムおよび製造方法 | |
| US6992499B2 (en) | Test method and test apparatus for semiconductor device | |
| US6697691B1 (en) | Method and apparatus for fault model analysis in manufacturing tools | |
| CN106898563B (zh) | 产品验收系统及产品验收方法 | |
| TW202146879A (zh) | 振動處理裝置、振動處理方法以及程式 | |
| JPH028250B2 (ja) | ||
| US6717870B2 (en) | Method for assessing the quality of a memory unit | |
| JPH04313084A (ja) | 半導体テストシステム | |
| JPH08220172A (ja) | 検査装置 | |
| US7436168B2 (en) | Test error detection method and system | |
| JP2822738B2 (ja) | 半導体ｉｃの検査方法 | |
| JPH10199953A (ja) | 歩留まり解析方法及びその装置 | |
| JP2591470B2 (ja) | 信号処理装置 | |
| JPH1050782A (ja) | 半導体検査装置 | |
| JPH08105625A (ja) | ガス遮断装置 | |
| JPS58210575A (ja) | 電子回路パツケ−ジの故障診断方法 | |
| JP3533693B2 (ja) | 電子回路検査方法および電子回路検査装置 | |
| JPH0794559A (ja) | プローバ | |
| JP2002214294A (ja) | 半導体装置の検査方法及び検査装置 | |
| JP2002014138A (ja) | 半導体検査システム | |
| JPH0466883A (ja) | モニタバーンイン装置 | |
| JPS60142211A (ja) | 検査装置監視システム | |
| JP2001210097A (ja) | 半導体記憶装置の不良救済判定方法及びその装置 |