JPS5981544A - 内部欠陥の検出方法 - Google Patents
内部欠陥の検出方法Info
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- JPS5981544A JPS5981544A JP57190810A JP19081082A JPS5981544A JP S5981544 A JPS5981544 A JP S5981544A JP 57190810 A JP57190810 A JP 57190810A JP 19081082 A JP19081082 A JP 19081082A JP S5981544 A JPS5981544 A JP S5981544A
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- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 26
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- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 4
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は鋳造部品等における内部欠陥の検出方法に関す
る。
る。
被検物体の内部欠陥を検査するために従来よ）Ｘ線検査
が採用されている。特に：！’ｉＬ’ｆｉｎ部品をその
生産ライン上にて個々にＸ線検査する場合、一般には検
査ステーションの片側にＸ線源を配備して検査ステーシ
ョンを通過する個々の部品にＸ線照射を行う一方、反対
側に検出装置を配（＋ｆｔｉ して透過Ｘ線を検出し、
この透過Ｘ線で与えられる透過画像について欠陥を検出
している。
が採用されている。特に：！’ｉＬ’ｆｉｎ部品をその
生産ライン上にて個々にＸ線検査する場合、一般には検
査ステーションの片側にＸ線源を配備して検査ステーシ
ョンを通過する個々の部品にＸ線照射を行う一方、反対
側に検出装置を配（＋ｆｔｉ して透過Ｘ線を検出し、
この透過Ｘ線で与えられる透過画像について欠陥を検出
している。
しかしながらこのような住所ラインにおりるＸ線検査に
よれば、部品の形状等によって透過）ＵＮ画像に濃淡が
生じ、加えて欠陥箇所のＸ線像が不鮮明な場合が多いた
め、真の欠陥の検出が著しく困難とされている。これに
よシ検斉稍度が悪いという根本的々問題が生じている。
よれば、部品の形状等によって透過）ＵＮ画像に濃淡が
生じ、加えて欠陥箇所のＸ線像が不鮮明な場合が多いた
め、真の欠陥の検出が著しく困難とされている。これに
よシ検斉稍度が悪いという根本的々問題が生じている。
検を精度を上げるためには従来方法では個々の部品に対
する検査ｆｌ；’１間が増大され、生産性を阻害するこ
とにガる。
する検査ｆｌ；’１間が増大され、生産性を阻害するこ
とにガる。
特に（ラミ査員による画像目視検査では疲労が高まり、
検査精度や能率が著しく悪化する。
検査精度や能率が著しく悪化する。
本発明の目的は上述の如き問題点を解消し、多Ａｆｔ多
様々形状の被検物体に関しても同等に高精度で連送に行
える内部欠陥検査方法を提供することにある。
様々形状の被検物体に関しても同等に高精度で連送に行
える内部欠陥検査方法を提供することにある。
このために本発明は、予め欠陥の力い良品のＸ線画像を
画像メモリーに収録しておき、被検物体の各々に関して
待たＸ線画像と比較して画像濃淡を相殺し、これにより
被検物体の欠陥箇所のみ抽出することを特徴とする、こ
れらの画像処理はコンピュータを利用して行い、同様に
欠陥箇所の面積測定等も画像解析装置で行うようにする
ことにより、容易に自動化される。
画像メモリーに収録しておき、被検物体の各々に関して
待たＸ線画像と比較して画像濃淡を相殺し、これにより
被検物体の欠陥箇所のみ抽出することを特徴とする、こ
れらの画像処理はコンピュータを利用して行い、同様に
欠陥箇所の面積測定等も画像解析装置で行うようにする
ことにより、容易に自動化される。
以下に本発明の検Ｕ１方法を図面に）、（−て説明する
。添付図面は何れも本発明の検出方法の原理を概略的に
示している。
。添付図面は何れも本発明の検出方法の原理を概略的に
示している。
第１図に示す実施例？″ｉＸ線透過像をイ４するために
′ｒｖカメラを利用したものである。これにおいて被（
・（物体ｌｄＸ線検査ステーション２の所定位１〃に移
動されて位置決めした状態で示されている。
′ｒｖカメラを利用したものである。これにおいて被（
・（物体ｌｄＸ線検査ステーション２の所定位１〃に移
動されて位置決めした状態で示されている。
被検物体ｌけとこでは第２図に示す如き両側に開口を有
するロンドとされており、第２図に示す１０１ｊ像を得
るべく所定の配向にセットされる。Ｘ線検査ステーショ
ン２には被検物体ｌの片側にＸ線源３が配備されていて
、矢印で示すように被検物体ｌをＸ線照射する。被検物
体ｌを透過したＸ線はととでζｌ Ｘ ｆＪ＋１検査ス
テーション２の検査窓４を通して伝達され、とれを受け
る如＜ＴＶカメラ５が配備される。ＴＶカメラ５は透過
Ｘ線による被検物体の全体像をキャッチするように構成
される。
するロンドとされており、第２図に示す１０１ｊ像を得
るべく所定の配向にセットされる。Ｘ線検査ステーショ
ン２には被検物体ｌの片側にＸ線源３が配備されていて
、矢印で示すように被検物体ｌをＸ線照射する。被検物
体ｌを透過したＸ線はととでζｌ Ｘ ｆＪ＋１検査ス
テーション２の検査窓４を通して伝達され、とれを受け
る如＜ＴＶカメラ５が配備される。ＴＶカメラ５は透過
Ｘ線による被検物体の全体像をキャッチするように構成
される。
ここで本発明の特徴により画像メモリー６が配備されて
おり、通常のＸ線検査に先立って予め選定された欠陥の
々い良品についてのＸ線像をこの画像メモリー６に収録
されるのである。この収録の段階をここでは図解的に矢
印（いで示す。
おり、通常のＸ線検査に先立って予め選定された欠陥の
々い良品についてのＸ線像をこの画像メモリー６に収録
されるのである。この収録の段階をここでは図解的に矢
印（いで示す。
然る後、検査のために被検物体１がＸ線検査ステーショ
ン２に運ばれて位置決めされ、同様にＸ線源３でＸ線照
射して得た透過Ｘ線をＴＶカメラ５でキャッチし、その
透過Ｘ線による被検物体の全体像を得る。この検査にお
ける画像形成段階をここでは図解的に矢印（１１）で示
す。
ン２に運ばれて位置決めされ、同様にＸ線源３でＸ線照
射して得た透過Ｘ線をＴＶカメラ５でキャッチし、その
透過Ｘ線による被検物体の全体像を得る。この検査にお
ける画像形成段階をここでは図解的に矢印（１１）で示
す。
このようにして個々の被検物体に関ｌ−でイ（（だ透過
Ｘ線像は、反転増幅器７ Ａ ′ｃｉ）’Ｊ淡を反転さ
れ、画像メモリー６により収録されている良品の透過Ｘ
線像と加算器７Ｂによ如加算されて相殺処理され、両者
の相違点すなわち欠陥についての画像を得るようになさ
れる。このだめの処理技術は一般に知られている何れの
方法でも良い。
Ｘ線像は、反転増幅器７ Ａ ′ｃｉ）’Ｊ淡を反転さ
れ、画像メモリー６により収録されている良品の透過Ｘ
線像と加算器７Ｂによ如加算されて相殺処理され、両者
の相違点すなわち欠陥についての画像を得るようになさ
れる。このだめの処理技術は一般に知られている何れの
方法でも良い。
第２図に上述の画像処理を概略的に示してお）、Ａは検
査基準となる良品のＸ線像を、−土７ＣＢは欠陥Ｂ′を
有する被検物体ｌＯＸ線像をそれぞれ示している。これ
らのＸ線像は反転増幅器７Ａおよび加／！Ａ′、器７Ｂ
の処理により相殺され、結果としてＣに示す如く欠陥Ｂ
′のみが欠陥画像すガわち検査画像とし７て得られるの
である。
査基準となる良品のＸ線像を、−土７ＣＢは欠陥Ｂ′を
有する被検物体ｌＯＸ線像をそれぞれ示している。これ
らのＸ線像は反転増幅器７Ａおよび加／！Ａ′、器７Ｂ
の処理により相殺され、結果としてＣに示す如く欠陥Ｂ
′のみが欠陥画像すガわち検査画像とし７て得られるの
である。
従って、このようにして得た第２図中のＣで示す々［１
炒欠陥箇所のみを示す検査画像について通常の如く画像
解析することにより、例えば欠陥箇所数、面積等を演算
処理して被検物体１０合否を容易且つ正確に判定できる
ようになる。特にこの方法によれば、排検物体の形状、
シェーディング等によって生じる透過ｘＩｖａ像におけ
る濃淡およびその他のすべての誤判断要素が相殺によっ
て排除されるので、検査精度が著しく向上でき、しかも
迅速に行えるのである。
炒欠陥箇所のみを示す検査画像について通常の如く画像
解析することにより、例えば欠陥箇所数、面積等を演算
処理して被検物体１０合否を容易且つ正確に判定できる
ようになる。特にこの方法によれば、排検物体の形状、
シェーディング等によって生じる透過ｘＩｖａ像におけ
る濃淡およびその他のすべての誤判断要素が相殺によっ
て排除されるので、検査精度が著しく向上でき、しかも
迅速に行えるのである。
第３図は他の実施例を示し、これにおいては検査ステー
ション２を通して被検物体１を適当々ベルトコンベヤ８
により連続的に移動させ、またＴＶ右カメラ替えて一次
元イメージセンサーカメラ５７を使用したことを重機と
する。この実施例においても；ｊ、１ｇ本的な処理は前
述の実施例と同じであり、反転増幅器７Ａおよび加算器
７Ｂによりイ！）だ欠陥箇所のみの画像に対して画像解
析装ｆｔ ９で例えば面積測定を行い、これに基いて合
否判定回路１０で判定するようにガされる。
ション２を通して被検物体１を適当々ベルトコンベヤ８
により連続的に移動させ、またＴＶ右カメラ替えて一次
元イメージセンサーカメラ５７を使用したことを重機と
する。この実施例においても；ｊ、１ｇ本的な処理は前
述の実施例と同じであり、反転増幅器７Ａおよび加算器
７Ｂによりイ！）だ欠陥箇所のみの画像に対して画像解
析装ｆｔ ９で例えば面積測定を行い、これに基いて合
否判定回路１０で判定するようにガされる。
以上の如く本発明の内部欠陥の検出方法は判定規準とな
る良品のＸ線像と被検物体のそれとを比較して差分を求
め、これによ多欠陥画像のみを抽出することを特徴とす
るので、あらゆる誤ｌ、α要素か排除でき、これにより
＊雑々形状の被検物体に関しても精度の高い迅速な検査
が達成され得るのである。
る良品のＸ線像と被検物体のそれとを比較して差分を求
め、これによ多欠陥画像のみを抽出することを特徴とす
るので、あらゆる誤ｌ、α要素か排除でき、これにより
＊雑々形状の被検物体に関しても精度の高い迅速な検査
が達成され得るのである。
第１図は本発明の内部欠陥検査方法の説明のために一実
施例の概略構成な示す概略図。 第２図は本発明の方法で得られたＸ線像の処■１１（に
」二つて欠陥像を荀ることを示す概略図。 第３図は他の実加１例に関する第１図と同様７！ｉ−概
略図。 ■・・・・・・・・・・・・被検物体 ２・・・・・・・・・・・・Ｘ線検査ステージ＝１ン３
・・・・・・・・・・・・Ｘ線源 ５・・・・・・・・・・・・ＴＶ右カメラ′・・・・・
・・・・・・・−次元イメージセンザーカメラ６・・・
・・・・・・・・・画像メモリー７Ａ・・・・・・・・
・反転増幅器 ７Ｂ・・・・・・・・・加算器 ８・・・・・・・・・・・・ベルトコンベヤ９・・・・
・・・・・・・・画像解析装釘ＩＯ・・・・・・・・・
判定回路
施例の概略構成な示す概略図。 第２図は本発明の方法で得られたＸ線像の処■１１（に
」二つて欠陥像を荀ることを示す概略図。 第３図は他の実加１例に関する第１図と同様７！ｉ−概
略図。 ■・・・・・・・・・・・・被検物体 ２・・・・・・・・・・・・Ｘ線検査ステージ＝１ン３
・・・・・・・・・・・・Ｘ線源 ５・・・・・・・・・・・・ＴＶ右カメラ′・・・・・
・・・・・・・−次元イメージセンザーカメラ６・・・
・・・・・・・・・画像メモリー７Ａ・・・・・・・・
・反転増幅器 ７Ｂ・・・・・・・・・加算器 ８・・・・・・・・・・・・ベルトコンベヤ９・・・・
・・・・・・・・画像解析装釘ＩＯ・・・・・・・・・
判定回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｘ線により被検物体の内部欠陥を検出する方法において
、 予め良品のＸ線像を画像メモリーに収録しておき、 イ１波検物体のＸ線像と前記収録されたＸ線像とを比較
して相殺処理し、 これにより欠陥箇所のみを示す欠陥画像を形成し、 該欠陥画像をもとに欠陥を検出する、 ことを！１！ｆ徴とする内部欠陥の検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190810A JPS5981544A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 内部欠陥の検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57190810A JPS5981544A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 内部欠陥の検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981544A true JPS5981544A (ja) | 1984-05-11 |
Family
ID=16264120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57190810A Pending JPS5981544A (ja) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | 内部欠陥の検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981544A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5182775A (en) * | 1990-01-12 | 1993-01-26 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method of processing radiographic image data for detecting a welding defect |
| JP2006189349A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 非破壊欠陥検査システム |
| JP2008096425A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-04-24 | Toyota Motor Corp | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| US20130022167A1 (en) * | 2011-07-22 | 2013-01-24 | Creative Electron, Inc. | High Speed, Non-Destructive, Reel-to-Reel Chip/Device Inspection System and Method Utilizing Low Power X-rays/X-ray Fluorescence |
| WO2019003329A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線インライン検査方法および装置 |
-
1982
- 1982-11-01 JP JP57190810A patent/JPS5981544A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5182775A (en) * | 1990-01-12 | 1993-01-26 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method of processing radiographic image data for detecting a welding defect |
| JP2006189349A (ja) * | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 非破壊欠陥検査システム |
| JP2008096425A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-04-24 | Toyota Motor Corp | 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム |
| US20130022167A1 (en) * | 2011-07-22 | 2013-01-24 | Creative Electron, Inc. | High Speed, Non-Destructive, Reel-to-Reel Chip/Device Inspection System and Method Utilizing Low Power X-rays/X-ray Fluorescence |
| WO2019003329A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線インライン検査方法および装置 |
| JPWO2019003329A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2020-04-16 | 株式会社日立製作所 | Ｘ線インライン検査方法および装置 |
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