JPH0228567A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、被検査体の電気的諸特性を検査するための検
査装置に関する。

（従来の技術） 従来より、被検査体例えば半導体ウェハや液晶基板（以
下、ＬＣＤと略記する）等の電気的諸特性を検査する装
置としてプローブ装置が知られている。

このようなプローブ装置では、基板上に多数のプローブ
針を配列固定したプローブカードをプローブヘッドに取
付け、これらプロニブ針を上記被検査体の検査部例えば
電極パッド等に当接させて検査が行われる。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上述したプローブカードを使用する従来のプ
ローブ装置では、プローブ針の配列ピッチに限界があり
、狭ピッチ例えば多ビンで１００μｍ以下のパッドピッ
チを有する被検査体の検査を行うことが困難であるとい
う問題があった。

特に近年増加しているＴ　Ａ　Ｂ　（Ｔａｐｅ　Ａｕｔ
ｏｍａｔｅｄＢｏｎｄｉｎｇ）法や、ＣＯＧ　（Ｃｈｉ
ｐ　Ｏｎ　Ｇｌａｓｓ　）法の場合、多ビンで１００μ
ｍ以下の狭ピッチが要求されているので、上述した従来
のプローブカードでは、このような狭ピッチの電極パッ
ドに対応してプローブ針を配列固定できなかった。

また、プローブカードのプローブ針ピッチを狭くするに
つれ、その製造コストが高くなり、検査装置のコスト上
昇を招くという問題もあった。

本発明は上述した問題点を解決するためになされたもの
で、狭ピッチかつ多数の検査部を有する被検査体を確実
に検査することができ、また簡素な構成によりコスト低
減が図れる検査装置を提供することを特徴とする。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） 本発明の検査装置は、被検査体の多数の各電極パッドに
夫々測定用電極を同時に接触させて前記被検査体の電気
的諸特性を検査する検査装置において、前記被検査体の
多数の各電極パッド列に対応して電気的に接触する接触
電極群と、この接触電極群に電気的に接続されこの接触
電極群の配列ピッチよりも大きいピッチで配列された中
継用電極群を有する測定用アダプタを備え、前記中継用
電極群に前記測定用電極を当接して検査を行うように構
成したことを特徴々するものである。

（作　用） 被検査体の電極パッド群と電気的に接触する接触電極群
と、この接触電極群と電気的に接続されこの接触電極群
の配列ピッチよりも大きいピッチで配列された検査用電
極群とを有する測定用アダプタにより検査を行うことで
、狭ピツチ用の検査端子が不要となり、狭ピッチかつ多
数の検査部を有する被検査体を確実にかっ、低コストで
検査することが可能となる。

（実施例） 以下、本発明をアクティブマトリックス型ＬＣＤ基板の
検査装置に適用した一実施例について図を参照して説明
する。

第１図は、実施例の検査装置の測定用アダプタを示す図
で、矩形状のアダプタ本体ｌは例えばＬＣＤ基板と同部
材であるガラス基板からなり、その対向する一組の辺に
は被検査体であるＬＣＤ基板の電極列を電気的に接続す
るためのコネクタ２ａ、　２ｂが設けられ、また地組の
辺には検査用の電極パッド群３ａ、３ｂが形成されてい
る。

各コネクタ２ａ、２ｂは、夫々被検査体であるＬＣＤ基
板の電極部を挿入できるようなソケット状に形成されて
おり、またコネクタ２　ａ　ｓ　２　ｂ内には、ＬＣＤ
基板の電極′ピッチと同ピツチに配列された接触電極群
４が形成されている。

一方、絶縁性アダプタ本体１に例えば印刷技術で形成さ
れた広ピッチの中継用電極パッド群３　ａ　％３ｂは、
夫々コネクタ２ａ、２ｂ内に例えば印刷技術で形成され
た狭ピッチの接触電極群４の配列ピッチ即ちＬＣＤ基板
の電極ピッチよりも広ピッチで配列されており、これら
各中継用電極パッド３ａ、３ｂとこの中継用電極群３ａ
、３ｂに隣接する辺のコネクタ２ａ、２ｂ内の各接触電
極４とは、アダプタ本体１に形成された配線パターン５
により１対１に電気的に接続されている。

一般にＬＣＤ基板では、そのＸ方向電極群（例えば走査
電極群）の配列ピッチおよび配列数とＹ方向電極群（例
えば表示電極群）の配列ピッチおよび配列数は異なるの
で、本実施例では、２つのコネクタ２ａ、２ｂ内に形成
される接触電極群４の配列ピッチおよび電極形状を夫々
ＬＣＤ基板のＸ方向電極群およびＹ方向電極群に対応す
る形状とした。

このような測定用アダプタを用いたＬＣＤ２；！；板の
検査方法について以下、第２図を参照して説明する。

ＬＣＤ基板６の電極群例えば表示電極群７ａは、例えば
１００μ■の配列ピッチで４００本形成されており、こ
の表示電極群７ａに測定用アダプタ１の表示電極用コネ
クタ２ａを接続する。

この後、表示電極用コネクタ２ａ内の各接触電極と配線
パターン５を介して電気的に接続されている中継用電極
パッド群３ａに中継用端子例えばプローブ針８等を当接
させて検査を行う。

こうして、ＬＣＤ基板６の表示電極群７ａの検査を終了
した後、ＬＣＤ基板の走査電極群７ｂに測定用アダプタ
１の走査電極用コネクタ２ｂを接続させて同様な検査を
行う。

上記各検査に際しては、測定用アダプタ１の中線用電極
パッド群３ａ、３ｂの配列ピッチがＬＣＤ基板６の電極
ピッチよりも広ピッチに形成されていることから、プロ
ーブ針８等の検査端子は狭ピツチ用のものを使用せずと
も検査が可能である。

このように、測定用アダプタ１を介して被検査体の検査
を行うことで、被検査体が狭ピッチのものでも、狭ピツ
チ用のプローブカード等の検査端子を使用する必要がな
くなり、狭ピッチかつ多数の被検査体でも確実に検査す
ることができる。さらに、ｎｊ定用アダプタ１の製作に
ついては、ＬＣＤ基板の製造技術を用いれば容易に製作
でき、高価な狭ピツチ用プローブカードを用いる場合に
比べ、安価に検査を行うことができる。

第３図は、本発明を単純マトリックス型ＬＣＤ基板の検
査装置に適用した実施例を示す図である。

単純マトリックス型ＬＣＤＩＩは、ストライプ状の透明
電極群１２を形成した一対の透明電極１３ａ、１３ｂを
夫々電極群が交差するように対向配置させ、各透明基板
１３ａ、１３ｂにより液晶部材１４を挟持して構成した
ものである。

ＬＣＤ基板１１の各透明電極１２は、夫々透明基板１３
ａ、１３ｂの内側に形成されており、上部透明基板１３
ａを検査するためのガラス等からなるｎ１定用アダプタ
１４はＬ字状断面に形成されている。

測定用アダプタ１４の底辺上の縁部には、ＬＣＤ基板の
電極群１２と同配列ピッチの接触用電極１５が形成され
ており、これら各接触電極１５上に検査端子例えばポゴ
ピン１６が設けられている。

また、測定用アダプタ１４の突出部１４ａ上には、接触
用電極群１５の配列ピッチよりも広ピッチな中継用電極
群１７が形成されており、これら各中継用電極群１７と
接触用電極群１５とは、夫々１対１で配線パターンやワ
イヤリング等により電気的に接続されている。

このような測定用アダプタ１４を用いた検査は、Ｄｊ定
用アダプタ１４上にＬＣＤ基板１１を搭載して行う。こ
のとき、ＬＣＤ基板１１の電極群１２とｎ１定用アダプ
タ１４のポゴピン１６とが電気的に接触するように位置
合せをする。そして測定用アダプタ１４の中継用電極群
１７に検査端子例えばプローブ針１８等を当接して検査
を行う。

また、下部透明基板１３ｂの測定は、ＬＣＤ基板を上下
逆転させて同様に検査を行えばよい。

ところで、本発明は、上述実施例に限定されるものでは
なく、例えば高密度実装したプリント配線基板の検査等
にも適用可能で、本発明は、その要旨の範囲内で種々の
変形実施が可能である。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明の検査装置によれば、狭ピ
ッチかつ多数の検査部を有する被検査体をアダプタを用
いることにより確実に検査することができ、また簡素な
構成によりコスト低減を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例の？＃１定用アダプタの
構成を示す図、第２図は実施例を用いた検査動作を説明
するための図、第３図は本発明の他の実施例を示す図で
ある。 １・・・・・・測定用アダプタ、２・・・・・・コネク
タ、３・・・・・・中継用電極群、４・・・・・・接触
電極群、５・・・・・・配線パターン、６・・・・・・
ＬＣＤ基板、７・・・・・・・・・ＬＣＤ基板電極、８
・・・・・・プローブ針、１６・・・・・・ポゴピン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被検査体の多数の各電極パッドに夫々測定用電極を同時
   に接触させて前記被検査体の電気的諸特性を検査する検
   査装置において、 前記被検査体の多数の各電極パッド列に対応して電気的
   に接触する接触電極群と、この接触電極群に電気的に接
   続されこの接触電極群の配列ピッチよりも大きいピッチ
   で配列された中継用電極群を有する測定用アダプタを備
   え、前記中継用電極群に前記測定用電極を当接して検査
   を行うように構成したことを特徴とする検査装置。