JPH02284783A - ホルダ - Google Patents

ホルダ

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JPH02284783A
JPH02284783A JP2064521A JP6452190A JPH02284783A JP H02284783 A JPH02284783 A JP H02284783A JP 2064521 A JP2064521 A JP 2064521A JP 6452190 A JP6452190 A JP 6452190A JP H02284783 A JPH02284783 A JP H02284783A
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fiber
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Jr Angel L Ortiz
エンジェル・ルイス・オーディズ・ジュニア
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General Electric Co
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 この発明は複数個の光ファイバに対するホルダ、更に具
体的に云えば、ファイバの相互の向きを調節することが
出来る様なホルダに関する。
レーザからの光を使って、工業的なプロセス、例えば穿
孔、溶接、はんた付は等を実行することが出来る。この
目的の為、レーザ光を伝達する複数個の光ファイバが、
米国特許節４，７４４，６２７号に記載される様なホル
ダにより、工作物の近くの作業ステーションに保持され
る。然しこのホルダはファイバを互いに平行に且つ一定
の距離をおいて保持する。いろいろな種類の工業プロセ
スでは、ファイバの間の間隔並びにファイバの間の角度
が調節自在であることが要求される。
従って、この発明の目的は、ファイバの間の間隔及び角
度を調節出来る様な複数個の光ファイバに対するホルダ
、及びこのホルダを使う方法を提供することである。
発明の要約 工作物を照射する複数個の光ファイバに使うホルダが、
ファイバを受入れる中心中孔を有する本体と、該中孔の
中に配置されていて、ファイバに係合すると共に、ファ
イバの相互の向きを調節する手段とを有する。工作物を
処理する方法は、複数個の光ファイバの相互の向きを調
節し、ファイバからの高エネルギのレーザ・エネルギを
用いて工作物を照射することを含む。
詳しい説明 第１図では、ホルダを全体的に１０で示してある。典型
的には石英の心と小合体又は硝子被覆が鋼製の外装ケー
ブルに囲まれて構成される複数個の階段形屈折率先ファ
イバ１２が、外装ケーブル終端子１４に入っている。フ
ァイバ１２は、赤外線（２μｒｎ）から紫外線（１９３
ｎｍ）までの範囲の波長を持つ、任意の形式の固体又は
ガス・ｊノザからの、典型的には０．５乃至１．５ｋＷ
の高エネルギのレーザ・ビームを伝える。これに対して
末端キャップ１６の内ねじ１８が終端子１４を受入れる
。末端キャップ１６の肩２０が円筒形の第１の胴部分２
２に入る。円筒形のファイバ・ホルダ２４（後で詳しく
説明する）の延長部（図に示してない）がねじ山２６に
入る。胴部分２２は、調節自在の止めねじ（後で説明す
る）に出入する為の孔２８が設けられている。２本のフ
ァイバ１２ａ、１２ｂＬか示してないが、更に多く設け
ることが出来る。ファイバ１２の両端の先端は、注入さ
れ且つ放出される高エネルギのレーザによってその被覆
が損傷されるのを防止する為に、米国特許節４，６７６
．５８６号及び同第４，６８１゜３９６号に記載される
様に調製することが好ましい。ファイバ１２ａ、１２ｂ
からの発散ビーム３０ａ、３０ｂが夫々平凸コリメーシ
ョン・レンズ３２に入り、こうしてコリメートされたビ
ーム３４ａ、３４ｂを夫々形成する。この後、ビーム３
４ａ、３４ｂが平凹発散レンズ３６に入り、こうして夫
々発散ビーム３８ａ、３８ｂを形成する。
典型的には、レンズ３２．３６の直径は約１吋（２，５
４ｃｍ＋）である。
第２の円筒形の胴部分４０が第１の胴部分２２にはまっ
ていて、その中に平凹収斂レンズ４２があり、これがビ
ーム３８ａ、３８ｂを受取って、コリメートされたビー
ム４４ａ、４４ｂを作る。
レンズ３６．４２を合せたものがガリレオ式望遠鏡（後
で説明する）を構成する。ビーム４４ａ２４４ｂが平凸
集束レンズ４６に入り、夫々収斂ビーム４８ａ、４８ｂ
を作る。典型的には、レンズ４２．４６の直径は約２吋
（５，０８ｃ＋ｎ）である。
ノズル５０が第２の胴部分４０にはまっていて、入口５
２にプロセス支援ガス、例えば０り、Ｈｅ。
Ａｒ、Ｎ２等を受取って、工作物の材料がレンズ４６に
跳返らない様にすると共に、材料の処理を助ける。具体
的にどんなガスが選ばれるかは、公知の様に、実施され
るプロセスに関係する。ビーム４８ａ、４８ｂが夫々工
作物５６」−のスポット５４ａ、５４ｂに集束される。
この他の照射バタン（後で説明する）も可能である。レ
ンズ３２゜３６．４２．４６はニューメキシコ州アルバ
カーキのＣＶＩレーザ・コーポレーションによって製造
されている。末端キャップ１６、胴部分２２゜４０及び
ノズル５０は、ＭＵＧ−６アルミニウムの様に、温度変
化に対して寸法が安定な材料で作ることが好ましい。希
望によっては、レンズ３６゜４２は省略してもよい。そ
の場合、胴部分２２゜４０は一定の直径を持つ一体の構
造にすることが出来る。
第２図は、共通の焦点５８を持つレンズ３６゜４２で構
成されたガリレイ式望遠鏡を示す。レンズ３６は点５８
から距離−ｆｅにある。負の符号はレンズ３６が負のレ
ンズであることを示す。レンズ４２は点５８から距Ｍｆ
ｏの所にあり、従って望遠鏡の拡大倍率はｆ。／１−ｆ
ｅｌである。
レーザ・ビームの発散度はこの拡大倍率の逆数分だけ減
少し、スポット５４ａ、５４ｂの大きさもそうなる。
閉ループ処理装置の一部分として、レーザ・ビムの直径
、位置及びビームの軌道の様なパラメータを監視したい
場合がある。その為、監視カメラを使う。第３Ａ図及び
第３Ｂ図は、プロセスを監視カメラによって観７Ｉ１１
出来る様にすると共に、材料上でのレーザ・ビームの輪
郭を監視することが出来る様にする為の第１図のカップ
ラの変形を示す。第３Ａ図では、鏡６０が、第１の胴部
分２２で、レンズ３２及び３６の間の縦軸線に対して４
５″の角度で配置される。鏡６０は、高エネルギ・ビー
ム３４ａ、３４ｂの透過率が１００％になる様に、両面
が被覆されている。然し、ビーム３４の極く小さい一部
分が反射されてビーム６２を形成する。ビーム６２が、
第１の胴部分２２の像部分６６で、ビーム６２に対して
４５″の角度に取付けられた鏡６４に入射する。鏡６４
の内面６８は、１００％の反射防止彼覆になる様に被覆
されている。ビーム６２の少巳が反射されてビーム７０
を形成する。ビーム７０にある少量の光は、典型的なＣ
ＣＤカメラの感度があれば上置である。
このカメラ（図面に示してない）はビーム７０がその前
側に入射する様に像部分６６内に取付けてもよいし、或
いはこの代りに光ファイバ（図面に示してない）の１端
を鏡６４と向い合せに部分６６内に取付け、反対側の端
をＣＣＤカメラの正面に隣接して取付けてもよい。
第３Ｂ図は第３Ａ図と同様な構成であるが、鏡６０が第
２の胴部分４０内でレンズ４２．４６の間に配置されて
いて、こうしてビーム４４ａ、４４ｂを遮る。その他の
点では、動作は同一である。
第３Ａ図及び第３Ｂ図で、カップラ１０の内、具体的に
示してない部分は第１図に示すものと同一である。第３
Ａ図及び第３Ｂ図で、ｍ６０．６４及び像部分６６が、
監視の為に、夫々の部分で光の一部分を方向転換する手
段を構成することが理解されよう。
第４Ａ図は第１図のホルダ２４の細部を示す。
これはプレキシグラスの商品名で販売されている様な合
成樹脂材料で作ることが出来、複数個のねじ孔７２ａ、
７２ｂ、７２ｃ、７２ｄを持ち、その中に止めねじ７４
　ａ、　　７４　ｂ、　　７４　ｃ、　　７４　ｄがあ
る。ホルダ２４は円形の縦方向の中孔７６をも有し、直
径が約１００乃至１，０００μｍのファイバ１２ａ、１
２ｂがその中を通っている。中孔７６の断面には、例え
ば四角、矩形等のこの他の形を使ってもよい。厚さｌｌ
１Ｉ１１の石英の様なじゃま板７８ａ、７８ｂがファイ
バ１２ａの両側に配置され、ファイバ１２ａの機械的な
損傷を防ぐ。
板７８ａがねじ７４ａ、７４ｂと接触する。同様に、じ
ゃま板７８ｅ、７８ｄがファイバ１２ｂの両側にあって
、板Ｌ８ｂがねじ７２ｃ、７２ｄと係合する。ばね８０
ａ、８０ｂの様に、ファイバ１２ａ、１２ｂを離れる様
に押圧する手段が板７８ｂ、７８ｃの間に配置されてい
て、孔７０と整合しているが、この様に整合することは
必要ではない。第１図の第１の胴部分２２にある夫々の
孔２８から、ねじ廻しを挿入１．て、ねじ７４を調節す
ることが出来る。ねＩ；７４を適当に設定することによ
り、ファイバ１２の間の距離と角度を選ぶことが出来る
ことが理解されよう。
これは第４Ｂ図を見れば判る。この図では、ＩＩ−めね
じ７４ａ、７４ｃが孔７２ａ、７２ｃから若干中孔７６
の中に突出しているが、ねじ７４ｂ。
７４ｄは孔７２ｂ、？２ｃから更に中孔７６の中に突出
している。その結果、ファイバ１２ａ、１２ｂの間の距
離と角度は、ホルダ２４の右側では、第４Ａ図とはかな
り異なり、左側ではその違いが一層小さい。
第５Ａ図は、第４Ａ図に示し、たホルダ２４の設定の状
態、即ちファイバ１２が一番遠く離れている時のビーム
の直径に対するビームの強度を示している。ピーク８２
．８４が遠く離れている。第５Ｂ図は、ファイバ１２を
近付けるとく第４Ｂ図）、ピーク８２．８４も近付くこ
とを示している。
ファイバ１２が大体ファイバ１本の直径分未満だけ離れ
ている時、ピーク８２．８４は殆んど一致する（第５Ｃ
図）。１本のファイバ、例えば１２ａが他のファイバ、
例えば１２ｂより直径が小さい時、ファイバ１２ａによ
るピーク８２は、第５Ｄ図に示す様に、ファイバ１２ｂ
によるピーク８４より幅が一層小さい。ファイバ１２ａ
、１２））は開口値が同じでも異なっていてもよい。
２本のファイバだけを示したが、更に数を多くすること
が出来る。例えば、３本のファイバを使う場合、中孔７
６は円形断面にする代りに、１２０°の角度だけ離れた
３つの溝孔を持つ様にし、各々の溝孔にファイバを入れ
て１対のじゃま板をつける。４本のファイバを使う場合
、中孔７６はｒＸＪ字形にして、ｒＸＪ字形の各々の溝
孔にファイバと１対のじゃま板とを入れると云う様にす
る。
第６図に示す第２の実施例のホルダ２４では、末端キャ
ップ１Ｇに取付ける代りに、このホルダは、夫々孔８８
ａ、８８ｂに配置された止めねじ８６ａ、８６ｂにより
、第１の胴部分２２に直接的に取付けられている。ねじ
８６がホルダ２４と接触する。この構成は第４図に示し
た第１の実施例にも使うことが出来る。ホルダ２４にあ
る孔９０ａ、９０ｂ、９０ｃ、９０ｄが夫々胴部分２２
にある孔９２ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄと夫々整合し
ている。くさび９４ａ、９４ｂ、９４ｃ。
９４ｄが夫々孔９０ａ、９０ｂ、９０ｃ、９０ｄと９２
ａ、９２ｂ、９２ｃ、９２ｄに伸びている。
くさび９４はアルミニウム又はステンレス鋼で作ること
が出来る。アルミニウムの様なくさび支持体９６ａ、９
６ｂ、９６ｃ、９６ｄが、夫々孔９２ａ、９２ｂ、９２
ｃ、９２ａに隣接して、第１の胴部分２２の外側に取付
けられている。取付は台９８　ａ、　　９８　ｂ、　　
９８　ｃ、　　９８　ｄが支持体９６と向い合っている
。希望によっては、支持体９６及び取付は台９８は胴部
分２２と同じアルミニウムに作ることが出来、従って、
それと一体に作ることが出来る。モータ駆動のマイクロ
メータ１００ａ、１００ｂ、１００ｃ、１００ｄが符号
器を持ち、夫々取付は台９８　ａ、　　９８　ｂ、　　
９８　ｃ、　　９８ｄに固定され、球形の先☆：８を持
つ軸１０２ａ１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄを持ち、そ
れが突出してくさび９４ａ、９４ｂ、９４ｃ、９４ｄと
夫々係合している。マイクロメータ１００は１８２１９
型であってよく、やはりコネクチカット州スタンフォー
ドのオリエル・コーポレーションによって製造されたイ
ンターフェース（図に示してない）つきの１８０１１型
制御装置によって制御することが出来る。
動作について説明すると、インターフェースからマイク
ロメータ１００に制御信号が送られて、軸１０２を回転
させる。これによってくさび９４の垂直方向の移動が起
こり、それがファイバ１２の相互の向きを変える。マイ
クロメータ１００にある符号器（図面に示してない）が
、その向きを正確に制御する為に、軸１０２、従ってフ
ァイバ１２の位置を含む信号をコンピュータ（図面に示
してない）に送る。マイクロメータ１００が第１の胴部
分２２の両側にあって、ファイバ１２を対称的に変位さ
せることが出来る様になっている。
これは、多くのプロセスでは、レーザの対称的な照射パ
ターンが要求されるからである。
工作物５６がカップラ１０に対して垂直である時、第７
図の地形マツプに示すレーザ・ビーム分布が発生される
。第７Ａ図は第５Ａ図の強度分布によって発生され、２
つの孔を同時に穿孔する為に使うことが出来る。第７Ｂ
図及び第７Ｃ図は第５Ｂ図及び第５Ｃ図の強度分布によ
って夫々発生され、楕円形の孔を穿孔する為に使うこと
が出来る。第７Ｂ図は第７Ｃ図よりも偏心率の大きい孔
を作る。第７Ｄ図は第５Ｄ図の分布によって発生され、
この発明のホルダを用いて、一意的な形の孔を穿孔する
ことが出来ることを示している。この分布を使って、種
々の寸法の個別部品をはんだ付けすることが出来る。
力・ンブラ１０に対して垂直以外の角度にある工作物５
６に対し、この他のレーザ・ビーム分布を達成すること
が出来ることが理解されよう。実際、この発明は、工作
物５６の表面に対して１０″以内の角度で使うことが出
来る。溶接の為に単一ビーム・レーザを使う時、スポッ
ト寸法が小さい為に、溶接される部材の間のはめ合せの
許容公差が小さい。この発明は複数個のレーザ・ビーム
を使うから、スポット寸法が一層大きく、こうしてはめ
合せの許容公差を大きくする。幾つかの波長を１１ｆつ
レーザ光をはんだ付けに使うことが出来る。
例えば、高エネルギで発生することが出来る長波長と、
ある材料に対する結合をよくする短波長とを使うことが
出来る。キーホールド溶接の間、１本のファイバ１２が
高エネルギのＣＷレーザ・ビームを持ち、残りのファイ
バが高エネルギのパルス状レーザ・ビームを持つことが
出来る。ファイバ１２の相互の向きを切削の間に変更し
て、切り口の幅を変えることが出来る。切削は、２つの
照明スポットの間の線に対して垂直に、又はそれに対し
て平行に行なって、切り口の幅を変更する２次的な方法
にすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明のホルダを用いたカップラの断面図、 第２図は第１図に使われる望遠鏡の略図、第３Ａ図及び
第３Ｂ図は第１図のファイバ出力カップラの変形を示す
断面図、 第４Ａ図は第１図に使われる第１の実施例のカップラの
断面図、 第４Ｂ図は第４Ａ図のホルダに於ける光ファイバの特定
の向きを示す図、 第５Ａ図、第５Ｂ、第５０及び第５Ｄ図は第４図の光フ
ァイバの種々の形に対するビーム強度をビーム直径に対
して示すグラフ、 第６図は第２の実施例のホルダの断面図、第７Ａ図、第
７Ｂ図、第７Ｃ図及び第７Ｄ図は第５図の強度分布に対
応する、工作物上のレーザ・ビーム分布の地形マツプで
ある。 主な符号の説明 １２：光ファイバ ７２：ねじ孔 ７４：ねじ ７６：中孔 ７８：じゃま板 ８０：ばね

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、工作物を照射する複数個の光ファイバに用いるホル
    ダに於て、 ファイバを受入れる中心中孔を持つ本体と、該中孔の中
    に配置されていて、ファイバに係合すると共に、ファイ
    バの相互の向きを調節する手段とを有するホルダ。 ２、前記本体が複数個のねじ孔を持ち、前記手段が該孔
    の中に夫々配置されていて前記ファイバと係合する複数
    個のねじ、及び前記ファイバを該ねじに向って押圧する
    手段で構成されている請求項１記載のホルダ。 ３、前記押圧する手段が前記ねじと向い合って配置され
    た複数個のばねで構成される請求項２記載のホルダ。 ４、前記ねじ及びファイバの間に配置された第１の複数
    個の板と、前記押圧する手段及びファイバの間に配置さ
    れた第２の複数個の板とを有する請求項２記載のホルダ
    。 ５、前記本体が複数個の孔を持ち、前記手段が前記本体
    の外側に配置された複数個のモータ駆動のマイクロメー
    タ軸、及び前記孔の中に夫々配置されていて前記ファイ
    バ及び前記軸と係合する複数個のくさび、及び前記ファ
    イバをくさびに向って押圧する手段で構成されている請
    求項１記載のホルダ。 ６、前記押圧する手段が、前記くさびと向い合って配置
    された複数個のばねで構成される請求項５記載のホルダ
    。 ７、前記くさび及びファイバの間に配置された第１の複
    数個の板と、前記押圧する手段及びファイバの間に配置
    された第２の複数個の板とを有する請求項５記載のホル
    ダ。 ８、少なくとも１本のファイバが残りのファイバとは異
    なる直径を持っている請求項１記載のホルダ。 ９、少なくとも１本のファイバが高エネルギのパルス状
    レーザ・ビームを持ち、残りのファイバが高エネルギの
    連続波レーザ・ビームを持つ請求項１記載のホルダ。 １０、少なくとも１本のファイバが残りのファイバとは
    異なる波長の光を持つ請求項１記載のホルダ。 １１、前記調節する手段が、工作物上に別々の照射パタ
    ーンを発生する様に前記ファイバの向きを定める請求項
    １記載のホルダ。 １２、前記調節する手段が、前記工作物上に重なり合う
    照射パターンを発生する様に前記ファイバの向きを定め
    る請求項１記載のホルダ。 １３、請求項１記載のホルダを有する出力カップラ。 １４、ガリレイ式望遠鏡を有する請求項１３記載の出力
    カップラ。 １５、コリメーション・レンズ及び集束レンズを有する
    請求項１３記載の出力カップラ。 １６、高エネルギのレーザ・ビームを持つ第１及び第２
    の隣接する胴形部分を有し、前記ホルダが前記第１の部
    分の中に配置されている請求項１３記載の出力カップラ
    。 １７、前記第２の部分に配置されたノズルを有し、該ノ
    ズルはプロセス支援ガスを受入れる入口手段を有する請
    求項１６記載の出力カップラ。 １８、前記第１の部分が、監視の為に、前記高エネルギ
    のレーザ・ビームの一部分を方向転換する手段を有する
    請求項１６記載の出力カップラ。 １９、前記第２の部分が、監視の為に、前記高エネルギ
    のレーザ・ビームの一部分を方向転換する手段を有する
    請求項１６記載の出力カップラ。 ２０、複数個の光ファイバの相互の向きを調節し、 該ファイバからの高エネルギのレーザ・ビームで工作物
    を照射する工程を含む工作物を処理する方法。 ２１、照射する工程が、異なる波長を持つ高エネルギの
    レーザ・ビームを使うことを含む請求項２０記載の方法
    。 ２２、照射する工程が、高エネルギの連続波及びパルス
    状の両方のレーザ・ビームを用いる請求項２０記載の方
    法。 ２３、監視の為に、前記光の一部分を方向転換すること
    を含む請求項２０記載の方法。 ２４、調節する工程が、工作物上に別々の照射パターン
    を発生する様に前記ファイバを調節することを含む請求
    項２０記載の方法。 ２５、調節する工程が、工作物上に重なり合う照射パタ
    ーンを発生する様に前記ファイバを調節することを含む
    請求項２０記載の方法。
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GB (1) GB2230353B (ja)
IT (1) IT1239492B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04133230U (ja) * 1991-05-31 1992-12-11 ホーヤ株式会社 音響光学装置
JPH06134590A (ja) * 1992-10-27 1994-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置
JP2003320472A (ja) * 2002-05-08 2003-11-11 Toshiba Corp 表面欠陥の封止方法
WO2020217353A1 (ja) * 2019-04-24 2020-10-29 株式会社ニコン 加工装置、加工方法及び加工システム

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5102211A (en) * 1990-01-22 1992-04-07 Optical Fibers Technologies, Inc. Method and apparatus for connector assembly
US5113474A (en) * 1990-03-13 1992-05-12 Optical Fiber Technologies, Inc. Method and apparatus for mechanical connector assembly
US5142600A (en) * 1991-02-25 1992-08-25 General Electric Company Optical fiber quick connect/disconnect for a power laser
US5113461A (en) * 1991-03-11 1992-05-12 General Electric Company Optical fiber quick connect/disconnect having electrical contacts
US5065448A (en) * 1991-03-25 1991-11-12 General Electric Company Optical fiber quick connect/disconnect having electronic feedback
DE4301716C2 (de) * 1992-02-04 1999-08-12 Hitachi Ltd Projektionsbelichtungsgerät und -verfahren
JP3237441B2 (ja) * 1995-02-28 2001-12-10 三菱電機株式会社 レーザ加工装置
US5905828A (en) * 1997-08-26 1999-05-18 Hewlett-Packard Company Optical fiber coupling system
DE19840936B4 (de) * 1998-09-08 2005-03-10 Hell Gravure Systems Gmbh Anordnung zum mehrkanaligen Schneiden und Ritzen von Materialien mittels Laserstrahlen
DE19902241A1 (de) * 1999-01-21 2000-08-10 Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt Kopfteil zur Erzeugung mehrerer sich im wesentlichen in einer Richtung ausbreitender Lichtstrahlen
DE19907422B4 (de) * 1999-02-20 2005-09-01 Heinz Walz Gmbh Einrichtung zur Einkopplung von Laserstrahlung
EP1072350A1 (de) * 1999-07-12 2001-01-31 MDC Max Dätwyler AG Bleienbach Verfahren zur Erzeugung einer Intensitätsverteilung über einen Arbeitslaserstrahl sowie Vorrichtung hierzu
EP1068923B1 (de) * 1999-07-12 2007-10-17 MDC Max Dätwyler AG Bleienbach Verfahren zur Erzeugung einer Intensitätsverteilung über einen Arbeitslaserstrahl sowie Vorrichtung hierzu
US7022382B1 (en) * 2000-06-16 2006-04-04 Alcatel UV-cure of coatings for an optical fiber with a laser
JP3686317B2 (ja) * 2000-08-10 2005-08-24 三菱重工業株式会社 レーザ加工ヘッド及びこれを備えたレーザ加工装置
EP1341638B1 (en) * 2000-12-15 2006-02-01 Xsil Technology Limited Laser machining of semiconductor materials
US20050263497A1 (en) * 2004-03-26 2005-12-01 Lehane Christopher J System for laser drilling of shaped holes
FR2873606B1 (fr) * 2004-07-27 2008-10-10 Snecma Moteurs Sa Procede de soudage par laser d'au moins deux pieces metalliques et dispositifs associes pour la mise en oeuvre du procede
WO2006135524A2 (en) * 2005-05-18 2006-12-21 Corning Cable Systems Llc High density optical fiber distribution enclosure
US7519258B2 (en) * 2006-12-21 2009-04-14 Corning Cable Systems Llc Preconnectorized fiber optic local convergence points
US7627214B2 (en) * 2008-02-08 2009-12-01 Corning Cable Systems Llc Adjustable optical tap
US9188759B2 (en) * 2008-10-14 2015-11-17 Corning Cable Systems Llc Optical connection terminal having port mapping scheme
US8755663B2 (en) 2010-10-28 2014-06-17 Corning Cable Systems Llc Impact resistant fiber optic enclosures and related methods
FR2973726A1 (fr) * 2011-04-06 2012-10-12 Air Liquide Welding France Machine de coupage laser avec systeme d'alignement axial du faisceau laser
DK2565994T3 (en) 2011-09-05 2014-03-10 Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Gmbh Laser device and method for marking an object
EP2564973B1 (en) * 2011-09-05 2014-12-10 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of lasers and a combining deflection device
EP2564974B1 (en) * 2011-09-05 2015-06-17 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of gas lasers with resonator tubes and individually adjustable deflection means
ES2530070T3 (es) * 2011-09-05 2015-02-26 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Aparato de marcado con una pluralidad de láseres y conjuntos ajustables individualmente de medios de desviación
ES2544034T3 (es) 2011-09-05 2015-08-27 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Aparato de marcado con al menos un láser de gas y un termodisipador
DK2565996T3 (da) 2011-09-05 2014-01-13 Alltec Angewandte Laserlicht Technologie Gmbh Laserindretning med en laserenhed og en fluidbeholder til en køleindretning af laserenheden
EP2564972B1 (en) * 2011-09-05 2015-08-26 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Marking apparatus with a plurality of lasers, deflection means and telescopic means for each laser beam
EP2565673B1 (en) 2011-09-05 2013-11-13 ALLTEC Angewandte Laserlicht Technologie Gesellschaft mit beschränkter Haftung Device and method for marking of an object by means of a laser beam
US9069151B2 (en) 2011-10-26 2015-06-30 Corning Cable Systems Llc Composite cable breakout assembly
US8873926B2 (en) 2012-04-26 2014-10-28 Corning Cable Systems Llc Fiber optic enclosures employing clamping assemblies for strain relief of cables, and related assemblies and methods

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60108060A (ja) * 1983-11-18 1985-06-13 松下電器産業株式会社 レ−ザ−装置
JPS61162292A (ja) * 1985-01-11 1986-07-22 Yutaka Kaneda 光溶接装置

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3620603A (en) * 1970-07-06 1971-11-16 Xerox Corp Offcenter focusing system
GB1438016A (en) * 1973-09-06 1976-06-03 Plessey Co Ltd Mounting of an optical filament in axial alignment with a second optical element
GB1526259A (en) * 1975-12-18 1978-09-27 Standard Telephones Cables Ltd Connectors
US4193664A (en) * 1977-03-11 1980-03-18 International Standard Electric Corporation Optical fiber connector
DE2713904C3 (de) * 1977-03-29 1979-10-04 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstucken mittels eines Laserstrahles
DE2735821A1 (de) * 1977-08-09 1979-02-22 Licentia Gmbh Verfahren zum justieren der lichtleitenden kerne von lichtleitfasern in einer mehrfachsteckverbindung
DE2810637C2 (de) * 1978-03-11 1982-05-06 Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart Einstellvorrichtung zum Ausrichten der Achse einer Lichtleitfaser auf die Achse eines komplementären Körpers
US4181401A (en) * 1978-03-24 1980-01-01 S. C. Cabling, Inc. Fiber optic waveguide connector
DE7916655U1 (de) * 1979-06-09 1979-10-04 Cannon Electric Gmbh, 7056 Weinstadt Stecker fuer lichtleitungsverbinder
DE7916736U1 (de) * 1979-06-09 1979-10-04 Cannon Electric Gmbh, 7056 Weinstadt Steckerhuelse fuer lichtleiter
US4531810A (en) * 1980-01-17 1985-07-30 Gte Laboratories Incorporated Optical fiber holders
JPS58178312A (ja) * 1982-04-12 1983-10-19 Kawasaki Heavy Ind Ltd 伝光継手
FR2541468B1 (fr) * 1983-02-17 1986-07-11 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'alignement d'un faisceau laser par l'intermediaire de moyens optiques de visee, procede de reperage de l'axe d'emission du faisceau laser et procede de mise en oeuvre du dispositif, pour controler l'alignement
US4753521A (en) * 1984-09-19 1988-06-28 Siemens Aktiengesellschaft Lens system for focussing a divergent laser beam
US4673795A (en) * 1984-10-15 1987-06-16 General Electric Company Integrated robotic laser material processing and imaging system
US4732450A (en) * 1985-02-27 1988-03-22 Amada Engineering & Service Co., Inc. Input/output coupling device for optical fiber used in high power laser beam delivery
US4718744A (en) * 1985-08-16 1988-01-12 Amp Incorporated Collimating lens and holder for an optical fiber
US4707073A (en) * 1985-09-04 1987-11-17 Raytheon Company Fiber optic beam delivery system for high-power laser
CH667413A5 (de) * 1985-09-24 1988-10-14 Laser Work Ag Verfahren und vorrichtung zum fokussieren einer linse bei der laserstrahl-bearbeitung eines werkstueckes.
US4834488A (en) * 1985-10-07 1989-05-30 Lee Ho Shang Fiberoptic switch
US4744627A (en) * 1986-11-03 1988-05-17 General Electric Company Optical fiber holder
US4799755A (en) * 1987-12-21 1989-01-24 General Electric Company Laser materials processing with a lensless fiber optic output coupler

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60108060A (ja) * 1983-11-18 1985-06-13 松下電器産業株式会社 レ−ザ−装置
JPS61162292A (ja) * 1985-01-11 1986-07-22 Yutaka Kaneda 光溶接装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04133230U (ja) * 1991-05-31 1992-12-11 ホーヤ株式会社 音響光学装置
JPH06134590A (ja) * 1992-10-27 1994-05-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザ加工装置
JP2003320472A (ja) * 2002-05-08 2003-11-11 Toshiba Corp 表面欠陥の封止方法
JP4664569B2 (ja) * 2002-05-08 2011-04-06 株式会社東芝 表面欠陥の封止方法及び封止装置
WO2020217353A1 (ja) * 2019-04-24 2020-10-29 株式会社ニコン 加工装置、加工方法及び加工システム

Also Published As

Publication number Publication date
DE4009089A1 (de) 1990-10-04
GB2230353B (en) 1993-07-28
IT9019834A0 (it) 1990-03-27
CA2009602A1 (en) 1990-09-27
CA2009602C (en) 1998-04-14
FR2644900A1 (fr) 1990-09-28
GB2230353A (en) 1990-10-17
US4958900A (en) 1990-09-25
GB9006718D0 (en) 1990-05-23
IT9019834A1 (it) 1991-09-27
IT1239492B (it) 1993-11-03

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