JPH0218977A - レーザー光軸調整装置 - Google Patents
レーザー光軸調整装置Info
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- JPH0218977A JPH0218977A JP16780688A JP16780688A JPH0218977A JP H0218977 A JPH0218977 A JP H0218977A JP 16780688 A JP16780688 A JP 16780688A JP 16780688 A JP16780688 A JP 16780688A JP H0218977 A JPH0218977 A JP H0218977A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2366—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media comprising a gas as the active medium
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
金属蒸気又はガスをレーザー媒質とするレーザー装置を
レーザー増幅器として複数台直列に並べて使用するレー
ザー増幅装置において、レーザー光軸を調整する装置に
関する。
レーザー増幅器として複数台直列に並べて使用するレー
ザー増幅装置において、レーザー光軸を調整する装置に
関する。
（従来の技術）
複数台のレーザー装置を、１台をレーザー発振器として
、それ以外をレーザー増幅器として使用し全体で高いレ
ーザー出力を得るレーザー増幅装置は概略第２図の様な
構成をしている。
、それ以外をレーザー増幅器として使用し全体で高いレ
ーザー出力を得るレーザー増幅装置は概略第２図の様な
構成をしている。
レーザー発振器１１は全反射鏡１３ａ及び部分反射鏡１
３ｂから成る共振器によりレーザービーム２０を出射す
る。
３ｂから成る共振器によりレーザービーム２０を出射す
る。
レーザービーム２０は２枚の全反射鏡１４ａ、 １４ｂ
により光軸を調整されてレーザー増幅器１２に入射し、
同増幅器によりレーザー出力が高められたレーザービー
ム２１となって出射する。レーザー増幅器の台数が更に
多い場合にも上記のくり返しで構成される。
により光軸を調整されてレーザー増幅器１２に入射し、
同増幅器によりレーザー出力が高められたレーザービー
ム２１となって出射する。レーザー増幅器の台数が更に
多い場合にも上記のくり返しで構成される。
この様なレーザー増幅装置でレーザー出力を最大に維持
するためには、レーザービームの光軸がレーザー増幅器
の幾何学的な軸に正確に調整されていることが必要であ
る。
するためには、レーザービームの光軸がレーザー増幅器
の幾何学的な軸に正確に調整されていることが必要であ
る。
ところが実際には振動、熱的原因などによりし−ザー光
軸は初期設定した値からずれるケースが多く、このため
全反射鏡１４ａ、 １４ｂを脱室再調整して光軸を正常
な位置にあわせる作業が必要となる。
軸は初期設定した値からずれるケースが多く、このため
全反射鏡１４ａ、 １４ｂを脱室再調整して光軸を正常
な位置にあわせる作業が必要となる。
従来レーザー光軸の調整を自動的に行なう方法は第３図
に示す様な方法であった。
に示す様な方法であった。
反射鏡１５ｂを部分反射鏡として、レーザービーム２０
の一部分の光が透過する様にして２次元位置検出器１６
ａに入射させる。位置検出器１６ａは入射ビームの光軸
が正常であるべき位置からずれた場合は変位を検出し、
制御装置１７ａを経由して反射鏡１５ａの角度を変化さ
せレーザービーム２０が位置検出器１６の正常な位置に
入射する様に調整する。同様に反射鏡１５ｂは、レーザ
ー増幅器１２を出射し、部分反射鏡１５ｃを透過して位
置検出器１６ｂに入射したビーム位置のずれをもとに制
御装置１７ｂを経由して反射鏡１５ｂの角度を調整する
。
の一部分の光が透過する様にして２次元位置検出器１６
ａに入射させる。位置検出器１６ａは入射ビームの光軸
が正常であるべき位置からずれた場合は変位を検出し、
制御装置１７ａを経由して反射鏡１５ａの角度を変化さ
せレーザービーム２０が位置検出器１６の正常な位置に
入射する様に調整する。同様に反射鏡１５ｂは、レーザ
ー増幅器１２を出射し、部分反射鏡１５ｃを透過して位
置検出器１６ｂに入射したビーム位置のずれをもとに制
御装置１７ｂを経由して反射鏡１５ｂの角度を調整する
。
（発明が解決しようとする課題）
この様な従来構成では反射鏡１５ｂ、 １５ｃに１００
％反射鏡でなく９５％程度の反射率の鏡を使用するため
に調整個所が多くなるにつれて出射レーザービームを損
失するという問題があった。
％反射鏡でなく９５％程度の反射率の鏡を使用するため
に調整個所が多くなるにつれて出射レーザービームを損
失するという問題があった。
（課題を解決するための手段）
本発明は、上記欠点を克服するためになされたもので、
レーザー発振器とレーザー増幅器と、前記発振器から増
幅器へのレーザー光軸調整用の全反射鏡を備えたレーザ
ー増幅装置において、当該レーザー波長と異なる波長の
参照用レーザーを前記レーザー光軸に平行に入射せしめ
、前記レーザー光軸調整用全反射鏡を前記参照用レーザ
ービームが部分透過できる様に選択することにより、前
記レーザー光軸調整用全反射鏡で前記レーザービームを
透過損失させることなくレーザー光軸の調整を行なうこ
とを特徴とするレーザー光軸調整装置である。
レーザー発振器とレーザー増幅器と、前記発振器から増
幅器へのレーザー光軸調整用の全反射鏡を備えたレーザ
ー増幅装置において、当該レーザー波長と異なる波長の
参照用レーザーを前記レーザー光軸に平行に入射せしめ
、前記レーザー光軸調整用全反射鏡を前記参照用レーザ
ービームが部分透過できる様に選択することにより、前
記レーザー光軸調整用全反射鏡で前記レーザービームを
透過損失させることなくレーザー光軸の調整を行なうこ
とを特徴とするレーザー光軸調整装置である。
（作 用）
本発明によれば反射鏡２ａ、 ２ｂ、 ２ｃがレーザー
ビーム２０．２１に対して全反射鏡で構成することが可
能なためレーザー増幅装置からのレーザー出カの損失が
全くないという作用を奏する。
ビーム２０．２１に対して全反射鏡で構成することが可
能なためレーザー増幅装置からのレーザー出カの損失が
全くないという作用を奏する。
（実 施 例）
第１図に本発明の一実施例を示す。
レーザー発振器１１からのレーザービーム２０は反射鏡
２ａ、２ｂで反射した後レーザー増幅器１２に入射し、
同増幅器出射ビーム２１は反射ｊ１２ｃで反射する。
２ａ、２ｂで反射した後レーザー増幅器１２に入射し、
同増幅器出射ビーム２１は反射ｊ１２ｃで反射する。
レーザー発振器１１の全反射ミラー１３ａの外側に参照
用レーザー］を設置し参照用レーザービーム３をレーザ
ービーム２０の中心軸上に通す。
用レーザー］を設置し参照用レーザービーム３をレーザ
ービーム２０の中心軸上に通す。
参照用レーザービーム３の波長をヘリウム−ネオンの６
２９ｎｍとしてレーザー発振器１１のレーザービーム２
０の波長（５１０ｎｍ、 ５７８ｎａ＋）と異なる波長
に選択することにより、レーザービームに存在する鏡に
以下の機能を付与することが可能となる。
２９ｎｍとしてレーザー発振器１１のレーザービーム２
０の波長（５１０ｎｍ、 ５７８ｎａ＋）と異なる波長
に選択することにより、レーザービームに存在する鏡に
以下の機能を付与することが可能となる。
反射ｊｌ１３ａ、 １３ｂはダイクロイックミラ（２色
鏡）を採用してレーザービーム２０に対してはそれぞれ
全反射鏡、部分反射鏡として機能するが、参照用レーザ
ービーム３を透過させる機能のものを選択した。
鏡）を採用してレーザービーム２０に対してはそれぞれ
全反射鏡、部分反射鏡として機能するが、参照用レーザ
ービーム３を透過させる機能のものを選択した。
反射鏡２ａ、 ２ｂ、 ２ｃも同じくダイクロイックミ
ラーを用いレーザービーム２０．２１に対しては全反射
鏡として機能するが、参照用レーザービーム３を部分透
過させる機能のものを選択した。
ラーを用いレーザービーム２０．２１に対しては全反射
鏡として機能するが、参照用レーザービーム３を部分透
過させる機能のものを選択した。
これによりレーザー光ｌ１ｉＩｌｌ調整は参照用レーザ
ービーム３に対して、第３図を元に従来例で説明した方
法と同様な方法で行なうことが可能となる。
ービーム３に対して、第３図を元に従来例で説明した方
法と同様な方法で行なうことが可能となる。
反射鏡２ａ、 ２ｂ、 ２ｃがレーザービーム２０．２
１に対して全反射鏡で構成することが可能なためレーザ
ー増幅装置からのレーザー出方の損失が全くないという
特長を有する。
１に対して全反射鏡で構成することが可能なためレーザ
ー増幅装置からのレーザー出方の損失が全くないという
特長を有する。
レーザー発振器１１、レーザー増幅器１２が′ＩＰ４蒸
気レーザー（波長５１０ｎｍ）の場合には、参照用レー
ザー１としてＩＩ ｅ Ｎ ａレーザー（波長６２９ｒ
＋ｍ）を使用することにより、波長が５０ｎｍ以上離れ
ているために銅蒸気レーザービームを全反射させながら
、）ＩｅＮｅ参照用レーザービームを部分透過させなが
ら光軸調整に使用するということが可能となる。
気レーザー（波長５１０ｎｍ）の場合には、参照用レー
ザー１としてＩＩ ｅ Ｎ ａレーザー（波長６２９ｒ
＋ｍ）を使用することにより、波長が５０ｎｍ以上離れ
ているために銅蒸気レーザービームを全反射させながら
、）ＩｅＮｅ参照用レーザービームを部分透過させなが
ら光軸調整に使用するということが可能となる。
以上説明した通り、本発明では反射鏡２ａ、 ２ｂ。
２ｃがレーザービーム２０．２１に対して全反射鏡で構
成することが可能なためレーザー増幅装置がらのレーザ
ー出力の損失が全くないという効果を奏する。
成することが可能なためレーザー増幅装置がらのレーザ
ー出力の損失が全くないという効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図はレー
ザー増幅装置の原理を示す構成図、第３図は従来のレー
ザー光軸調整装置を示す構成図である。 １・・・参照用レーザー ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・反
射鏡３・・・参照用レーザービーム ３′、３″′・・・部分透過参照用レーザービーム１１
・・・金属蒸気又はガスレーザー発振器１２・・金属蒸
気又はガスレーザー増幅器１３ａ、１３ｂ・・・金属蒸
気又はガスレーザー用共振器鏡１４ａ、１４ｂ・・・反
射鏡 １５ａ・・・全反射鏡１５ｂ、１５ｃ・・・
部分反射鏡 １６ａ、１６ｂ・・・２次元位置検出器１７ａ、１７ｂ
・・・レーザービーム補正用制御装置代理人 弁理士
則 近 憲 佑 同 第子丸 健
ザー増幅装置の原理を示す構成図、第３図は従来のレー
ザー光軸調整装置を示す構成図である。 １・・・参照用レーザー ２ａ、２ｂ、２ｃ・・・反
射鏡３・・・参照用レーザービーム ３′、３″′・・・部分透過参照用レーザービーム１１
・・・金属蒸気又はガスレーザー発振器１２・・金属蒸
気又はガスレーザー増幅器１３ａ、１３ｂ・・・金属蒸
気又はガスレーザー用共振器鏡１４ａ、１４ｂ・・・反
射鏡 １５ａ・・・全反射鏡１５ｂ、１５ｃ・・・
部分反射鏡 １６ａ、１６ｂ・・・２次元位置検出器１７ａ、１７ｂ
・・・レーザービーム補正用制御装置代理人 弁理士
則 近 憲 佑 同 第子丸 健
Claims (1)
- レーザー発振器とレーザー増幅器と、前記発振器から増
幅器へのレーザー光軸調整用の全反射鏡を備えたレーザ
ー増幅装置において、当該レーザー波長と異なる波長の
参照用レーザーを前記レーザー光軸に平行に入射せしめ
、前記レーザー光軸調整用全反射鏡を前記参照用レーザ
ービームが部分透過できる様に選択することにより、前
記レーザー光軸調整用全反射鏡で前記レーザービームを
透過損失させることなくレーザー光軸の調整を行なうこ
とを特徴とするレーザー光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16780688A JPH0797672B2 (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | レーザー光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16780688A JPH0797672B2 (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | レーザー光軸調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0218977A true JPH0218977A (ja) | 1990-01-23 |
| JPH0797672B2 JPH0797672B2 (ja) | 1995-10-18 |
Family
ID=15856454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16780688A Expired - Fee Related JPH0797672B2 (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | レーザー光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0797672B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5584877A (en) * | 1993-06-25 | 1996-12-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Antibacterial vascular prosthesis and surgical suture |
| JP2008258314A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法 |
| JP2008288321A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
| JP2008288322A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6385898B2 (ja) * | 2015-07-15 | 2018-09-05 | 三菱重工業株式会社 | レーザ光の反射スポットの位置検出システム、レーザ光軸アライメントシステム及びレーザ光軸アライメント方法 |
| US11588293B2 (en) * | 2017-11-21 | 2023-02-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Methods and systems for aligning master oscillator power amplifier systems |
-
1988
- 1988-07-07 JP JP16780688A patent/JPH0797672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5584877A (en) * | 1993-06-25 | 1996-12-17 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Antibacterial vascular prosthesis and surgical suture |
| JP2008258314A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法 |
| JP2008288321A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
| JP2008288322A (ja) * | 2007-05-16 | 2008-11-27 | Gigaphoton Inc | レーザ光軸調整装置及びレーザ光軸調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0797672B2 (ja) | 1995-10-18 |
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