JP2008258314A - 光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に共振器ミラーや出射光軸調整ミラーの角度を補正し、レーザ光の高い出力及び正しい光軸位置を維持することができる光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法を提供する。
【解決手段】互いに対向配置された第１共振器ミラー１０及び第２共振器ミラー２０と、第１共振器ミラー１０及び第２共振器ミラー２０により光共振されたレーザ光の一部を検知する４象限光検出器５０と、４象限光検出器５０により検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する信号処理部６０と、信号処理部６０により生成された第１制御信号に基づき第１共振器ミラー１０の角度を調整する第１アクチュエータ７０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、入力されたシード光を増幅して出力する光共振器の出力及び光軸を自動補正する光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法に関する。

従来から、レーザ装置等に用いられる光共振器は、相対して平行に置かれた２つの平面鏡や凹面鏡等の共振器ミラーで構成される。２つの共振器ミラー間に設けられた増幅媒質により、共振器ミラーに対して略垂直な光は、その間を多数回往復して増幅される。効率よく増幅するため、これらの共振器ミラーは、非常に高い精度（例えば数百μｒａｄ程度）を持って調整されている。しかしながら、共振器自体の熱や振動による機械的ひずみが原因となり、共振器ミラーの角度がずれて所定の出力が得られない場合や、出射光軸がずれるといった問題が起こりうる。このような場合、操作人は、試行錯誤を重ねて共振器ミラーの角度を調整することとなり、作業効率が悪い。

また、特許文献１には、レーザ発振器内の共振器ミラーの角度ずれとずれ方向を自動的に検出する角度ずれ検出装置が記載されている。この角度ずれ検出装置は、紫外光レーザ発振器の出力光の一部を受ける蛍光板と、該蛍光板に生じた蛍光部を撮像するＣＣＤカメラと、該ＣＣＤカメラにより撮像された画像を画像処理して該画像における特徴量を抽出し、該特徴量からレーザ発振器内の共振器ミラーの角度ずれとずれ方向を検出する画像入力ボード及びコンピュータとを備えている。

したがって、上述した構成を有する角度ずれ検出装置によれば、レーザ発振しているときの、レーザ発振器内の共振器ミラーの角度ずれ、ずれの方向を自動的に検出し、オペレータに警告することができる。従来、共振器ミラーのアライメント調整時には、共振器ミラーのずれている方向が分からないまま試行錯誤で出力が最大効率となるように共振器ミラーの角度調整が行われていた。しかし、この装置を用いることにより共振器ミラーのずれ方向がわかるので、その方向だけ上記の輝度勾配平均値の差が０になるように共振器ミラーを動かせば良く、作業がはるかに容易になる。
特開２０００−２０８８３５号公報

しかしながら、上述した従来の角度ずれ検出装置であっても、輝度勾配の差から角度ずれを検出することはできるが、共振器から出力されるレーザが最大出力であるか否かを判断するのは容易ではない。また、共振器の熱や振動による機械的ひずみが生じた場合に迅速に対応することができず、定期的に操作人が角度ずれを確認して角度の調整を行う必要がある。さらに、ＣＣＤカメラやパーソナルコンピュータといった機材を必要とし、装置が大掛かりになるといった問題がある。また、出射光軸の向きの調整を同時に行うことができない。

そこで、本発明は、光共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に共振器ミラーや出射光軸調整ミラーの角度を補正し、レーザ光の高い出力及び正しい光軸位置を維持することができる光共振器自動補正装置及び光共振器自動補正方法を提供することを課題とする。

本発明に係る光共振器自動補正装置は、上記課題を解決するために、第１の発明は、互いに対向配置された一対の共振器ミラーと、前記一対の共振器ミラーにより光共振されたレーザ光の一部を検知する光検知手段と、前記光検知手段により検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する信号処理部と、前記信号処理部により生成された第１制御信号に基づき前記一対の共振器ミラーの少なくとも一方の角度を調整する第１調整手段とを備えることを特徴とする。

第１の発明に係る光共振器自動補正装置によれば、一対の光共振器ミラーにより光共振されたレーザ光の出力の大きさを検知し、その出力の大きさに応じて共振器ミラーの角度を調整するので、共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に共振器ミラーの角度を補正し、レーザ光の高い出力を維持することができる。

以下、本発明の光共振器自動補正装置の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。

図１は本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の構成を示すブロック図である。この光共振器自動補正装置は、第１共振器ミラー１０、第２共振器ミラー２０、出射光軸調整ミラー３０、ビームスプリッタ４０、４象限光検出器５０、信号処理部６０、第１アクチュエータ７０、及び第２アクチュエータ８０で構成される。

第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とは、互いに対向配置され、入力されたシード光を多数回往復させて増幅する。通常、これらの共振器ミラーは、密閉された容器内に設けられる。また、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０との間には、増幅媒質が設けられている。

出射光軸調整ミラー３０は、本発明の調整ミラーに対応し、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の出射光軸を調整する。すなわち、レーザ光は、出射光軸調整ミラー３０の角度を変えることで、出力の向きを調整され、例えば図示しない光ファイバ等に入力される。

ビームスプリッタ４０は、出射光軸調整ミラー３０により出射光軸を調整されたレーザ光の一部を透過し、残りを反射する。ビームスプリッタ４０により反射されたレーザ光は、例えば図示しない光ファイバ等に入力される。また、上述したように、ビームスプリッタ４０を設置せずに出射光軸調整ミラー３０により光軸を調整されたレーザ光を図示しない光ファイバ等に直接入力する構成も可能であるが、その場合については実施例２で詳述する。ビームスプリッタ４０が透過させるレーザ光の強度は、強い強度である必要は無く、例えば出射光軸調整ミラー３０により出力されたレーザ光の強度の数パーセント程度でよい。

４象限光検出器５０は、本発明の光検知手段に対応し、４つの光検知器により構成され、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の一部を検知する。具体的には、４象限光検出器５０は、上述したビームスプリッタ４０の背面に備えられ、ビームスプリッタ４０を透過したレーザ光を検知する。

ここで、４象限光検出器５０は、必ずしもレーザ光に対して垂直に設けられる必要はない。図２は、本実施例に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器５０の構成例を示す図である。図２に示すように、４象限光検出器５０は、ビームスプリッタ４０と同じ角度でビームスプリッタ４０の背面に密接するように備えることができる。このように構成することで、レーザ光の検出精度を保ったまま、４象限光検出器５０を設けるスペースを削減でき、装置の小型化が可能となる。この場合、レーザ光は、４象限光検出器５０に斜めに入射することになるが、４象限光検出器５０の動作は変わらない。

また、図３は、本実施例に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器５０の別の構成例を説明する図である。図３に示すように、４象限光検出器５０をレーザ光の入射角と平行に備えた場合には、４象限光検出器５０は、レーザ光を検知することができない。しかしながら、４象限光検出器５０は、レーザ光を検知できる角度にわずかでも傾かせることにより、本発明の実施が可能である。４象限光検出器５０は、必ずしもビームスプリッタ４０に接触している必要は無く、ビームスプリッタ４０から離した構成でもよい。

また、図４は、図３と同様に、本実施例に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器５０の別の構成例を説明する図であり、４象限光検出器５０がわずかにでもレーザ光を検出できる方向に傾いていれば足りることを示す。

信号処理部６０は、４象限光検出器５０により検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する。また、信号処理部６０は、４象限光検出器５０により検知されたレーザ光の出射光軸の向きに基づき第２制御信号を生成する。４象限光検出器５０によるレーザ光の出力の大きさ及び出射光軸の向きの検知については、後述する。

第１アクチュエータ７０は、本発明の第１調整手段に対応し、信号処理部６０により生成された第１制御信号に基づき第１共振器ミラー１０の角度を調整する。なお、本実施例においては、第１アクチュエータ７０は、第１共振器ミラー１０の角度のみを調整するが、本発明においては、第１調整手段は、一対の共振器ミラーの少なくとも一方の角度を調整するものとする。したがって、第１アクチュエータ７０は、第２共振器ミラー２０の角度を調整する構成であってもよい。

第１アクチュエータ７０による角度調整について詳述する。第１アクチュエータ７０は、例えば第１共振器ミラー１０のミラー面の中心を基準として、垂直軸、水平軸を独立してあおり（水平及び鉛直方向のミラー角度）調整する。垂直軸と水平軸に対する第１共振器ミラー１０の角度をそれぞれ独立して調整するために、複数のアクチュエータを設置してもよい。第１アクチュエータ７０は、第１制御信号に基づき、４象限光検出器５０で検知したレーザ光の出力の大きさが最大になるように第１共振器ミラー１０の角度を調整する。

第２アクチュエータ８０は、本発明の第２調整手段に対応し、信号処理部６０により生成された第２制御信号に基づき出射光軸調整ミラー３０の角度を調整する。また、第２アクチュエータ８０は、第１アクチュエータ７０と同様に、例えば出射光軸調整ミラー３０のミラー面の中心を基準として、垂直軸、水平軸を独立してあおり（水平及び鉛直方向のミラー角度）調整する。垂直軸と水平軸に対する出射光軸調整ミラー３０の角度をそれぞれ独立して調整するために、複数のアクチュエータを設置してもよい。第２アクチュエータ８０は、第２制御信号に基づき、４象限光検出器５０で検知したレーザ光の出射光軸の向きが予め設定された向きになるように出射光軸調整ミラー３０の角度を調整する。

このように構成された本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の動作を説明する。上述したように、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とは、互いに対向配置され、入力されたシード光を多数回往復させて増幅する。その後、第２共振器ミラー２０は、増幅させたレーザ光を外部に出力する。出射光軸調整ミラー３０は、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振され、第２共振器ミラー２０側から出力されたレーザ光の出射光軸を調整する。本実施例においては、出射光軸調整ミラー３０は、共振器光軸に対して略４５度傾けて設置され、反射したレーザ光がビームスプリッタ４０に向けて出力されるように構成されている。

図５は、本実施例の光共振器自動補正装置の４象限光検出器５０における動作の詳細を示す。出射光軸調整ミラー３０により出射光軸を調整されたレーザ光の一部は、ビームスプリッタ４０を透過して、４象限光検出器５０に入力される。図５（ａ）は、４象限光検出器５０ａの構成例を示す図である。図５（ａ）に示すように、４象限光検出器５０ａは、光検知器５１ａ、光検知器５２ａ、光検知器５３ａ、及び光検知器５４ａの４つの光検知器により構成されている。４つの光検知器は、お互いに近接して配置され、独立して入力されたレーザ光の強度を測定し、測定結果を信号処理部６０に出力する。

図５（ｂ）は、４象限光検出器５０ｂの中央にビームスプリッタ４０を透過したレーザ光が照射された場合の様子を示す。ここで、レーザ光の出射光軸９０の輪郭は円形状であるとする。この場合、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力及びその合計値に基づき第１制御信号及び第２制御信号を生成する。図５（ｂ）の場合には、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂが検知したレーザ光の出力がいずれも出力の合計値の２５％であり、レーザ光の出射光軸の向きは４象限光検出器５０ｂの中央に向いていることがわかる。

また、図５（ｃ）は、レーザ光の出射光軸９１の向きが４象限光検出器５０ｃに対して、右上にずれた場合を示す。この場合、信号処理部６０は、例えば光検知器５１ｃ、光検知器５２ｃ、光検知器５３ｃ、及び光検知器５４ｃが検知したレーザ光の出力が、出力の合計値に対してそれぞれ５０％、２０％、１０％、２０％であり、レーザ光の出射光軸が右上にずれていることを認識することができる。

なお、図２に示すように、４象限光検出器５０のレーザ光に対する角度が垂直でない場合には、４象限光検出器５０に投影されるレーザ光の輪郭は円形とはならないが、同様の動作を行う。

次に、信号処理部６０による第１制御信号の生成について説明する。上述したように、例えば図５（ｂ）において、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、合計値に基づき第１制御信号を生成して第１アクチュエータ７０に出力する。

第１アクチュエータ７０は、信号処理部６０により生成された第１制御信号に基づき第１共振器ミラー１０の角度を調整する。上述したように、第１アクチュエータ７０は、例えば第１共振器ミラー１０のミラー面の中心を基準として、垂直軸、水平軸を独立してあおり（水平及び鉛直方向のミラー角度）調整する。第１アクチュエータ７０は、第１制御信号に基づき、４象限光検出器５０ｂで検知したレーザ光の出力の大きさが最大になるように第１共振器ミラー１０の角度を調整する。具体的には、第１アクチュエータ７０は、第１制御信号に基づき、設定している範囲内で第１共振器ミラー１０の角度を少しずつずらしてレーザ光の出力が最大になる角度を捜索する。信号処理部６０は、常に光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計し、その合計値が最大になったところで第１制御信号を介して第１アクチュエータ７０の動作を停止させ、固定する。

次に、信号処理部６０による第２制御信号の生成について説明する。上述したように、例えば図５（ｂ）において、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、その合計値に対するそれぞれの光検知器が検知した出力値に基づき第２制御信号を生成して第２アクチュエータ８０に出力する。

第２アクチュエータ８０は、信号処理部６０により生成された第２制御信号に基づき出射光軸調整ミラー３０の角度を調整する。また、第２アクチュエータ８０は、上述したように、例えば出射光軸調整ミラー３０のミラー面の中心を基準として、垂直軸、水平軸を独立してあおり（水平及び鉛直方向のミラー角度）調整する。第２アクチュエータ８０は、第２制御信号に基づき、４象限光検出器５０ｂで検知したレーザ光の出射光軸の向きが予め設定された向きになるように出射光軸調整ミラー３０の角度を調整する。この設定は、例えば操作人が外部入力により信号処理部６０に記憶させることができる。また、予め信号処理部６０に設定されているとしてもよい。本実施例において、操作人は、出射光軸が４象限光検出器５０ｂの中央に照射されるように設定したとする。この場合、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂが検知したレーザ光の出力がいずれも出力の合計値の２５％となるように第２制御信号を生成して第２アクチュエータ８０を制御する。図５（ｃ）のように、出射光軸９１が４象限光検出器５０ｃに対して右上にずれている場合、信号処理部６０は、第２制御信号を生成して第２アクチュエータ８０に出力する。第２アクチュエータ８０は、第２制御信号に基づき出射光軸調整ミラー３０の角度を調整して、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂが検知したレーザ光の出力がいずれも出力の合計値の２５％となるようにする。信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂが検知したレーザ光の出力がいずれも出力の合計値の２５％となったところで、第２制御信号を介して第２アクチュエータ８０の動作を停止させ、固定する。

なお、操作人は、必ずしも出射光軸が４象限光検出器５０ｂの中央に照射されるように設定する必要は無く、自由に各光検知器に対するレーザ光の出力の分配値を設定することができる。また、上述した動作を行うことにより、光共振器自動補正方法を実現することができる。

以上説明したように、本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置によれば、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の出力の大きさを検知し、その出力の大きさに応じて第１共振器ミラー１０の角度を調整するので、共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に第１共振器ミラー１０の角度を補正し、レーザ光の高い出力を維持することができる。

また、信号処理部６０は、４象限光検出器５０により検知されたレーザ光の出射光軸の向きに基づき第２制御信号を生成し、レーザ光の出射光軸の向きが予め設定された向きになるように出射光軸調整ミラー３０の角度を調整するので、共振器の熱及び振動による機械的ひずみが生じた場合でも、自動的に出射光軸調整ミラー３０の角度を補正し、正しい光軸位置を維持することができる。

さらに、上述したように、４象限光検出器５０を１つ備えるだけで、レーザ光の高い出力を維持するのみならず、正しい光軸位置を維持するという２つの効果が発生する。また、本発明は、構成が簡単であり、従来技術で説明したように操作人が定期的にミラーの角度調整を行う必要も無く、自動的に調整される。

また、光検知手段に４象限光検出器５０を用いるので、容易にレーザ光全体の出力及び出射光軸の向きを同時に知ることができる。

次に、本発明の実施例２を説明する。図６は本発明の実施例２に係る光共振器自動補正装置の構成を示すブロック図である。この光共振器自動補正装置は、実施例１に係る光共振器自動補正装置と異なり、ビームスプリッタ４０が無く、４象限光検出器５０を出射光軸調整ミラー３１の背面に備えている。

出射光軸調整ミラー３１は、実施例１と同様に、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の出射光軸を調整する。また、出射光軸調整ミラー３１は、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の一部を透過し、残りを反射する。出射光軸調整ミラー３１により反射されたレーザ光は、例えば図示しない光ファイバ等に入力される。出射光軸調整ミラー３１が透過させるレーザ光の強度は、強い強度である必要は無く、例えば第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の強度の数パーセント程度でよい。

４象限光検出器５０は、実施例１と同様に、４つの光検知器により構成され、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振されたレーザ光の一部を検知する。具体的には、４象限光検出器５０は、上述した出射光軸調整ミラー３１を透過したレーザ光を検知する。

その他の構成は、実施例１と同様であり、重複した説明を省略する。

このように構成された本発明の実施例２に係る光共振器自動補正装置の動作を説明する。第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより増幅されたレーザ光を第２共振器ミラー２０が外部に出力するところまでは実施例１と同様である。出射光軸調整ミラー３１は、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振され第２共振器ミラー２０側から出力されたレーザ光の出射光軸を調整するとともに、レーザ光の一部を透過させる。

出射光軸調整ミラー３１を透過したレーザ光は、４象限光検出器５０に入力される。第１制御信号の生成については実施例１と同様であり、信号処理部６０は、４象限光検出器５０を構成する光検知器５１ａ、光検知器５２ａ、光検知器５３ａ、及び光検知器５４ａがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、合計値に基づき第１制御信号を生成して第１アクチュエータ７０に出力する。

次に、信号処理部６０による第２制御信号の生成について説明する。実施例１と同様に、例えば図５（ｂ）において、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、その合計値に対するそれぞれの光検知器が検知した出力値に基づき第２制御信号を生成して第２アクチュエータ８０に出力する。

第２アクチュエータ８０は、第２制御信号に基づき、４象限光検出器５０ｂで検知したレーザ光の出射光軸の向きが予め設定された向きになるように出射光軸調整ミラー３１の角度を調整する。ここで、第１共振器ミラー１０と第２共振器ミラー２０とにより光共振され第２共振器ミラー２０側から出力されたレーザ光は、出射光軸調整ミラー３１の角度に依らず透過して４象限光検出器５０に入力される。したがって、実施例２の構成においては、実施例１と異なり、４象限光検出器５０に入力されたレーザ光の向きは、出射光軸調整ミラー３１の角度を反映したものとはならない。そこで、信号処理部６０は、４象限光検出器５０に入力されたレーザ光の向きと、そのレーザ光を適切に反射させるための出射光軸調整ミラー３１の角度との対応関係を示すテーブル又は関係式等を予め記憶する。さらに、信号処理部６０は、光検知器５１ｂ、光検知器５２ｂ、光検知器５３ｂ、及び光検知器５４ｂがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、その合計値に対するそれぞれの光検知器が検知した出力値に基づき入力されたレーザ光の向きを知るとともに、上述したレーザ光の向きとの対応関係を示すテーブル又は関係式等に基づき、第２制御信号を生成して第２アクチュエータ８０に出力する。

なお、上述したように、４象限光検出器５０に入力されたレーザ光の向きは、出射光軸調整ミラー３１の角度を反映したものとはならないため、本実施例における光共振器自動補正装置は、出射光軸の調整は行わず、レーザ光の出力の調整のみを行うとしてもよい。この場合、信号処理部６０は、４象限光検出器５０を構成する光検知器５１ａ、光検知器５２ａ、光検知器５３ａ、及び光検知器５４ａがそれぞれ検知したレーザ光の出力値を合計するとともに、合計値に基づき第１制御信号を生成して第１アクチュエータ７０に出力するが、第２制御信号は生成せず、第２アクチュエータ８０の制御も行わない。さらに、この場合、レーザ光の向きの情報は必要ないため、光共振器自動補正装置は、４象限光検出器５０の代わりに、１個の光検知器を出射光軸調整ミラー３１の背面に備える構成でもよい。

その他の動作については実施例１と同様であり、重複した説明を省略する。

以上説明したように、本発明の実施例２に係る光共振器自動補正装置によれば、実施例１の効果に加え、ビームスプリッタ４０が不要であるため、さらに簡単な構成で自動的に共振器ミラーや出射光軸調整ミラーの角度を補正し、レーザ光の高い出力及び正しい光軸位置を維持することができる。

本発明は、入力されたシード光を増幅してレーザ光として出力する光共振器を備えた装置、例えば光波妨害装置、レーザ発振器等に適用可能である。

本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器の構成例を示す図である。 本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器の構成例を説明する図である。 本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器の構成例を説明する図である。 本発明の実施例１に係る光共振器自動補正装置の４象限光検出器における動作の詳細を示す図である。 本発明の実施例２に係る光共振器自動補正装置の構成を示すブロック図である。

符号の説明

１０ 第１共振器ミラー
２０ 第２共振器ミラー
３０ 出射光軸調整ミラー
３１ 出射光軸調整ミラー
４０ ビームスプリッタ
５０、５０ａ、５０ｂ、５０ｃ ４象限光検出器
５１ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ 光検知器
５１ｂ、５２ｂ、５３ｂ、５４ｂ 光検知器
５１ｃ、５２ｃ、５３ｃ、５４ｃ 光検知器
６０ 信号処理部
７０ 第１アクチュエータ
８０ 第２アクチュエータ
９０ 出射光軸
９１ 出射光軸

Claims (5)

1. 互いに対向配置された一対の共振器ミラーと、
   前記一対の共振器ミラーにより光共振されたレーザ光を検知する光検知手段と、
   前記光検知手段により検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する信号処理部と、
   前記信号処理部により生成された第１制御信号に基づき前記一対の共振器ミラーの少なくとも一方の角度を調整する第１調整手段と、
   を備えることを特徴とする光共振器自動補正装置。
2. 前記一対の共振器ミラーにより光共振されたレーザ光の出射光軸を調整する調整ミラーを備え、
   前記信号処理部は、前記光検知手段により検知されたレーザ光の出射光軸の向きに基づき第２制御信号を生成し、
   前記信号処理部により生成された第２制御信号に基づき前記調整ミラーの角度を調整する第２調整手段を備えることを特徴とする請求項１記載の光共振器自動補正装置。
3. 前記光検知手段は、４つの光検知器により構成された４象限光検出器であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の光共振器自動補正装置。
4. 互いに対向配置された一対の共振器ミラーにより光共振されたレーザ光を検知する光検知ステップと、
   前記光検知ステップにより検知されたレーザ光の出力の大きさに基づき第１制御信号を生成する信号処理ステップと、
   前記信号処理ステップにより生成された第１制御信号に基づき前記一対の共振器ミラーの少なくとも一方の角度を調整する第１調整ステップと、
   を備えることを特徴とする光共振器自動補正方法。
5. 前記信号処理ステップは、前記光検知ステップにより検知されたレーザ光の出射光軸の向きに基づき第２制御信号を生成し、
   前記信号処理ステップにより生成された第２制御信号に基づき前記一対の共振器ミラーにより光共振されたレーザ光の出射光軸を調整する調整ミラーの角度を調整する第２調整ステップを備えることを特徴とする請求項４記載の光共振器自動補正方法。

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